DE1913699B2 - Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer - Google Patents
Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere VakuumkammerInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß,
insbesondere Vakuumkammer, mit mindestens einer flachen Kammerwand und einem zwischen ihren
gegenüberliegenden Kanten liegenden langgestreckten Schlitz, der sich in Richtung von der einen zur anderen
Kante erstreckt, einem den Schlitz abdeckenden Deckelteil, das nahe und parallel zu der Kammerwand
angeordnet ist und eine mit dem Schlitz sich deckende Öffnung hat, wobei das Deckelteil gegenüber der
Kammerwand zum Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz bewegbar ist, mit einer die Öffnung umgebenden
Dichtungsvorrichtung, die zusammen mit einem Werkzeug eine im wesentlichen gasdichte Dichtung über der
Öffnung bildet, so daß ein in der Kammer ortsfest liegendes Werkstück mit Hilfe des Werkzeugs an einem
Punkt behandelbar ist, der durch das Werkzeug entlang dem Schlitz über das Werkstück bewegbar ist, und mit
Abdichtungen, die zwischen dem Deckelteil und der
Kammerwand angeordnet sind und sich rings um den Schlitz erstrecken, zum Aufrechterhalten einer gasdichten
Abdichtung über dem Schlitz bei Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz.
Es ist bekannt, zwei oben und unten durch je ein Blech abgedeckte, mit einem leichten Kernw?rkstoff gefüllte,
tafelförmige Werkstücke durch Verschweißen zweier aneinanderstoßenden Kanten der Abdeckbleche der
beiden Werkstücke mit Hilfe eines Elektronenstrahls miteinander zu verbinden. Bei einer Ausführungsform
des hierzu verwendeten Geräts ruhen die beiden miteinander zu verbindenden Werkstücke auf einer
ortsfesten Unterlage und tragen ihrerseits eine Vorrichtung zur wandernden Zuführung eines Elektronenstromes
entlang der miteinander zu verschweißenden Blechkanten. Oberhalb dieser Kanten und parallel zu
ihnen verläuft in dieser Vorrichtung ein lotrechter Schlitz, durch den bei einer Verschiebung des
Elcktronenzuführrohres in Richtung der miteinander zu verschweißenden Blechränder die Elektronen zur
jeweiligen Schweißstelle gelangen. Für andere Arbeiten als das Verschweißen der parallelen Ränder von in der
gleichen Ebene gelegenen Platten ist dieses bekannte Gerät weder bestimmt noch geeignet (US-Patentschrift
33 01 993).
Bei einer bekannten Vorrichtung zur unter Vakuum erfolgenden Bearbeitung eines Werkstückes mittels
eines Elektronenzuführrohres liegt auf dem zu bearbeitenden Teil des Werkstücks luftdicht eine an eine
Vakuumquelle angeschlossene, kreisscheibenförmige Kammer, die oben von einem durch einen ersten
Elektromotor drehbaren, kreisförmigen Deckel abgeschlossen ist. Oberhalb eines radial verlaufenden
Schlitzes des Deckels kann durch einen zweiten Elektromotor ein gegen den Deckel abgedichtetes
Gleitstück in Richtung dieses Schlitzes hin und hergeschoben werden. Auf dieses Gleitstück ist ein
Elektronenzuführrohr unverrückbar und dicht aufgesetzt. Bei einer Verschiebung des Gleitstückes wird
sodann die Auslaßöffnung des Elektronenzuführrohres genau oberhalb und entlang des Schlitzes im drehbaren
Deckel verschoben. Auf dem Gleitstück ist eine von dem zweitgenannten Elektromotor angetriebene Zahnstange
relativ zu dem Schlitz im Deckel so angeordnet, daß keine unzulässig große Verschiebung des Gleitstücks
über den Deckel hinaus möglich ist. (US-Patentschrift
34 24 891).
Schließlich ist eine Vorrichtung zum Verschweißen der Oberfläche eines Arbeitsstückes mittels eines
Elektronenstrahls bekannt, das sich in einer unter Vakuum stehenden Kammer befindet. Die obere
Abdeckwand der Vakuumkammer weist einen langgestreckten, über den geplanten Schweißstelle liegenden
Schlitz auf, der senkrecht zu zwei gegenüberliegenden Seitenwänden der Kammer verläuft. Dieser Schlitz ist
durch eine streifenförmige Deckelplatte abgedeckt, die über den Schlitz in dessen Längsrichtung gleiten kann
und die Elektronenschleuder trägt. Wenn nun die Länge des Schlitzes größer ist als die halbe Entfernung
zwischen den zwei genannten sich gegenüberliegenden Seitenwänden der Kammer und wenn sich die
Elektronenschleuder in der Nähe eines der beiden Enden des langgestreckten Schlitzes befindet, ragt die
gleitende De :kelplatte über die eine der beiden sich gegenüberliegenden Seitenwände der Kammer hinaus,
was unzweckmäßig, oft sogar ausgesprochen lästig ist. Außerdem ist ein besonderer Antriebsmechanismus
erforderlich, um das Werkstück relativ zum Elektronenstrahl in zwei zueinander senkrechten Richtungen
bewegen zu können. (US-Patentschrift 3! 36 883).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die eben beschriebene Elektronenschweißvorrichtung nach der
US-Patentschrift 31 36 883 so umzugestalten, daß bei einem Verschieben des Werkstücks sowohl in der
Richtung des langgestreckten Schlitzes, als auch senkrecht hierzu ein Vorstehen der Deckelplatte mit
Sicherheit ausgeschlossen wird.
ίο Um dies zu erreichen, schlägt die Erfindung vor, daß
bei der eingangs beschriebenen Bauart einer Kammer zum Bearbeiten eines in ihr befindlichen Werkstücks
unter Luftabschluß, insbesondere Vakuumkammer dem Deckelteil eine Führungsvorrichtung zum Drehen des
Deckelteils parallel zur Kammerwand um eine bewegbare Achse zugeordnet ist und die Führungsvorrichtung
dem Deckelteil eine translatorische Querbewegung gegenüber dem Schlitz aufzwingt, wobei sich die
öffnung in dem Deckelteil entlang dem Schlitz verschiebt, und daß die auf das Deckelteil einwirkende
Führungsvorrichtung dessen translatorische Bewegung in Richtungen senkrecht zu den gegenüberliegenden
Kanten der Kammerwand derart begrenzt, daß beim Bewegen der öffnung entlang dem Schlitz von dem
einen zu dem anderen Schlitzende ein Hinausragen des Deckelteils über die jeweilige Kante hinaus verhindert
ist
Der wesentliche technische Vorteil dieser Kammer besteht darin, daß bei einer Bewegungsmöglichkeit des
ju Werkzeugs, z. B. einer Elektronenschleuder in zwei
zueinander senkrechten Richtungen ein besonderer zweiter Antriebsmechanismus entbehrlich ist und ein
Oberstehen der gleitenden Deckelplatte über eine der Seitenwände der Kammer nicht eintreten kann.
Weitere Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Außerdem ist in der
Zeichnung eine Ausführungsform der Erfindung beispielsweise dargestellt Es zeigt
F i g. 1 eine Vakuumkammer in schematischer schau-
F i g. 1 eine Vakuumkammer in schematischer schau-
w bildlicher Darstellung,
F i g. 2 Einzelheiten der Vakuumkammer nach F i g. 1 in Ansicht von oben und
F i g. 3 einen Schnitt nach der Linie III-I1I in F i g. 2.
Die Vakuumkammer für die Aufnahme eines (nicht dargestellten) Werkstückes, das durch einen Elektronenstrahl geschweißt werden soll, wird durch ein aus sechs Metallwänden gebildetes Gehäuse 1 begrenzt Eine der sechs Wände, nämlich die vordere Kammerwand 2, weist eine Ladetür 3 auf, die geöffnet werden kann, um den Zugang zu der Kammer frei zu geben, ehe in ihr ein Vakuum hergestellt wird. Leitungen (nicht dargestellt) verbinden eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) mit einer öffnung (nicht dargestellt) in einer der Wände des Gehäuses t, um die Kammer in an sich bekannter Weise zu evakuieren. Die obere Kammerwand 4 des Gehäuses 1 ist mit langgestreckten öffnungen in der Form von zwei Schlitzen 5 und 6 ausgestattet, die im Abstand voneinander verlaufen und von der oberen Fläche der Kammerwand 4 in die Vakuumkammer führen. Die langgestreckten Schlitze 5 und 6 verlaufen parallel zur vorderen Kammerwand 2 und erstrecken sich über die obere Kammerwand 4 rechtwinklig zu deren einander gegenüberliegenden Kanten 30 und 31. Die Richtung der Schlitze wird als die
Die Vakuumkammer für die Aufnahme eines (nicht dargestellten) Werkstückes, das durch einen Elektronenstrahl geschweißt werden soll, wird durch ein aus sechs Metallwänden gebildetes Gehäuse 1 begrenzt Eine der sechs Wände, nämlich die vordere Kammerwand 2, weist eine Ladetür 3 auf, die geöffnet werden kann, um den Zugang zu der Kammer frei zu geben, ehe in ihr ein Vakuum hergestellt wird. Leitungen (nicht dargestellt) verbinden eine Vakuumpumpe (nicht dargestellt) mit einer öffnung (nicht dargestellt) in einer der Wände des Gehäuses t, um die Kammer in an sich bekannter Weise zu evakuieren. Die obere Kammerwand 4 des Gehäuses 1 ist mit langgestreckten öffnungen in der Form von zwei Schlitzen 5 und 6 ausgestattet, die im Abstand voneinander verlaufen und von der oberen Fläche der Kammerwand 4 in die Vakuumkammer führen. Die langgestreckten Schlitze 5 und 6 verlaufen parallel zur vorderen Kammerwand 2 und erstrecken sich über die obere Kammerwand 4 rechtwinklig zu deren einander gegenüberliegenden Kanten 30 und 31. Die Richtung der Schlitze wird als die
h3 V-Richtung bezeichnet. Über den Schlitzen 5 und 6 ist
mittels eines kreisförmigen metallenen Deckelteiles 7, das parallel zur Oberfläche der oberen Kammerwand 4
auf letzterer liegt, eine gleitende Vakuumabdichtung
hergestellt. Das Deckelteil 7 kann um die in seiner Mitte vorgesehene Drehachse 8 rotieren, die in Richtungen
parallel zur Kammerwand 4 verschiebbar ist. Weitere Einzelheiten über das Deckelteil 7, seiner Lagerung und
Wirkungsweise werden nunmehr unter Bezugnahme auf die F i g. 2 und 3 beschrieben.
Die Drehachse 8 trägt unterhalb des Deckelteils 7 eine Nockenrolle 9, die ausschließlich auf der innen
gelegenen Nockenfläche 10 eines auf der oberen Fläche der Wand 4 befestigten Nockens 11 abrollen kann.
Dadurch wird es ermöglicht, daß das Deckelteil 7 nicht nur Rotationsbewegungen um die Drehachse 8 ausführen
kann, sonderen daß sie auch eine translatorische Freiheit hat, weil die Drehachse 8 quer zu den Schlitzen
5 und 6 bewegt werden kann. Auf diese Weise kann die Rotationsachse des Deckelteils 7 in der X-Richtung
(F i g. 1 und 2) zwischen den beiden Schlitzen innerhalb der durch die Nockenfläche 10 bestimmten Grenzen
bewegt werden.
In einiger Entfernung von der Drehachse 8 weist das Deckelteil 7 eine kreisförmige öffnung 12 auf. Rund um
diese öffnung herum trägt das Deckelteil 7 eine kreisförmige Trag- und Abdichtungsanordnung 13
(F i g. 3) für die gasdichte Befestigung des Auslaßendes einer Elektronenröhre 14 an dem Deckelteil 7, die dem
genannten Auslaßende einige Rotationsfreiheit (um die Achse des Elektronenrohres) relativ zum Deckelteil 7
beläßt. Vollständig rings um die Schlitze 5 und 6 herum und dicht bei diesen Schlitzen verlaufen Randeinfassungen
15, deren oben liegende Flächen Nuten aufweisen, in denen gasdichte nachgiebige Abdichtelemente 16
liegen. Diese Abdichtelemente 16 bilden eine Gleitdichtung zwischen den Randeinfassungen 15 und der
unteren Fläche des Deckelteils 7 und bewirken gemeinsam mit dem Deckelteil eine Vakuumabdichtung
für jeden der beiden Schlitze 5 und 6. Um die Abnützung der Abdichtelemente, ohne sie zu schmieren, zu
verrringern, kann die untere Fläche des Deckelteils 7 durch Auftragen eines Überzugs aus Polytetrafluoräthylen
und Anpressen einer Glasplatte vor der Härtung hochglanzpoliert werden. Des weiteren wird der
Hauptteil des Gewichts des Deckelteils 7 von Hilfstragemittels 17 aufgenommen, die aus Laufrollen
mit je einer unter Federdruck stehenden Nylonkugel bestehen und die rings um die Schlitze 5 und 6
angeordnet sind.
Das Elektronenrohr 14 wird in bekannter Weise von einem oberhalb der oberen Kammerwand 4 vorgesehenen
Traggerüst (nicht dargestellt) beweglich getragen. Wie beretis erwähnt, steht der Auslaß des Elektronenrohres
mit der Öffnung 12 des Deckelteils 7 in drehbarer, aber vakuumdichten Berührung. Die Zeichnung
zeigt die öffnung 12 in Ausrichtung mit dem Mittelpunkt des rückwärtigen Schlitzes 6, wenn sich die
Nockenrolle 9 in ihrer dargestellten vordersten Lage befindet.
Um rings um den aus dem Elektronenrohr 14 zu der unterhalb der oberen Kammerwand 4 befindlichen
Vakuumkammer gerichteten Elektronenstrahl einen gleichmäßigen magnetischen Schirm vorzusehen, kann
am Auslaßende des Elektronensrohres ein Stahlrohr 18 (F i g. 3) angeordnet sein, das sich durch die öffnung 12
und den Schlitz 6 hindurch in die unterhalb der Wand 4 gelegene Vakuumkammer erstreckt.
Durch die Bewegung des Elektronenrohres 14 auf seinem Traggerüst kann die dabei mit dem Schlitz 6
ausgerichtet bleibende öffnung 12 den Schlitz entlang bis zu seinem rechten Ende bewegt werden. Das
Elektronenrohr nimmt sodann die in der Fig.2 mit 14'
bezeichnete Lage ein. Um diese Bewegung des Elektronenrohres 14 zu ermöglichen, kann sich die
Nockenrolle 9 in die in der F i g. 2 mit 9' bezeichnete
Lage bewegen. Das über der öffnung 12 befestigte Elektronenrohr kann dann den Schlitz 6 entlang bis zu
seinem linken Ende bewegt werden, wodurch das Deckelteil 7 um die Achse der Drehachse 8 und der
Nockenrolle 9 verschwenkt wird. Während dieser
ίο Bewegung kann sich die Nockenrolle 9 in die in Fig. 2
mit 9" bezeichnete Lage bewegen.
Wenn danach der Elektronenstrahl durch den Schlitz 5 in die Vakuumkammer eintreten soll, wird das
Elektronenrohr 14 auf seinem Traggerüst derart
is bewegt, daß es das Deckelteil 7 so verschiebt und
verschwenkt, wie es notwendig ist, um die öffnung 12 mit dem Schlitz 5 zur Deckung zu bringen. Wenn das
Stahlrohr 18 im Schlitz 6 in Gebrauch war, muß es zwecks Ermöglichung einer solchen Bewegung des
Deckelteils 7 erst entfernt werden und kann dann wieder in den Schlitz 5 hineingesteckt werden. Wenn die
Öffnung 12 mit dem Mittelpunkt des vorderen Schlitzes 5 ausgerichtet ist, nimmt die Nockentrolle 9 die in der
F i g. 2 mit 9'" bezeichnete Lage ein.
Es ist dabei von Wichtigkeit, das das Deckelteil 7 die Schlitze 5 und 6 im wesentlichen gasdicht abdichtet,
während die öffnung 12 und der durch diese hindurchgehende Elektronenstrahl vom einen Ende zum
anderen Ende des jeweils im Gebrauch befindlichen Schlitzes 5 oder 6 bewegt wird. Wenn das Stahlrohr 18
nicht verwendet wird, kann die öffnung 12 ohne Zerstörung der durch die an dem Deckelteil 7 über den
Schlitzen 5 und 6 vorgesehenen Abdichtmittel gebildeten Vakuumabdichtung von dem einen zum anderen der
Schlitze 5 und 6 bewegt werden. Die Nockenrolle 9 und der Nocken 11 bilden eine Führung, die die translatorische
Bewegung des Deckelteils 7 in den Richtungen senkrecht zu den einander gegenüberliegenden Kanten
30 und 31 begrenzt. Auf diese Weise verhindert die Zurückhaltung der Nockenrolle 9 innerhalb der
Nockenfläche 10, daß die Deckelplatte 7 über die Kanten 30 und 31 der Wand 4 vorsteht. Die extremen
Rückwärts- und Seitenlagen der Deckelplatte 7 sind in Fig.2 mit den gebrochenen Linien 7'", T und 7"
dargestellt.
Durch die Bewegung des Elektronenstrahls entlang den Schlitzen 5 und 6 kann die erforderliche Bewegung
zwischen dem Schweißstrahl und dem Werkstück in der V-Richtung erreicht werden.
Nochmals auf die F i g. 1 zurückkommend, kann die Bewegung in der X- Richtung durch die Bewegung eines
Arbeitstisches (nicht dargestellt) erreicht werden, der in an sich bekannter Weise das Werkstück innerhalb der
Vakuumkammer trägt. Die erforderliche Bewegung des Arbeitstisches in der XRichtung kann in bekannter
Weise durch eine Antriebsvorrichtung ausgeführt werden, die eine Schub- oder Antriebsstange 19 enthält,
die in die Vakuumkammer durch eine runde Abdichtung 20 in der vorderen Kammerwand 2 unterhalb der
LadetUr 3 eintritt Bekannte Betätigungsvorrichtungen
(nicht dargestellt) für die Antriebsstange S können außerhalb der Vakuumkammer, z. B. unterhalb einer
Ladeplattform (nicht dargestellt) in der Nähe der Wand 2 unterhalb der Ladetür 3 vorgesehen sein.
Bezüglich des Maßstabes der F i g. 2 sei bemerkt, daß
der Durchmesser des ausgeführten Deckelteils 7 der dargestellten Vorrichtung ungefähr 122 mm beträgt.
Die F i g. 2 ist in einem größeren Maßstab gezeichnet,
als die F i g. 1, und der Maßstab der F i g. 3 ist größer als der der F ig. 2.
Einige mögliche vorteilhafte Abwandlungen der dargestellten Vorrichtung sind die folgenden:
Der Nocken U und die Nockenrolle 9 (oder ein äquivalenter einem Nocken folgender Stift) können, was
ihre Lagerung auf der oberen Wand 4 und dem Deckelteil 7 anlangt, miteinander vertauscht werden.
Die flexiblen Abdichtelemente 16 müssen nicht notwendigerweise in unmittelbarer Nähe der Kanten der
Schlitze verlaufen, z. B. könnte ein flexibles Abdichtelement verwendet werden, das rund um beide Schlitze
herumläuft, möglicherweise mit einem zweiten Abdichtelement, das zwischen den beiden Schlitzen liegt und
sich rund um den Nocken 11 der Fig.2 erstreckt.
Jegliche Flächenvergrößerung des Bereiches des Dekkelteiles 7, der zusammen mit den flexiblen Abdichtelementen oberhalb der Schlitze eine Vakuumabdichtung
bewirkt, führt zu vergrößerten Belastungen und daher zu höheren Reibungskräften, die überwunden werden
müssen. Das oder jedes flexible Abdichtelement könnte auf der Unterseite des Deckelteils 7 statt auf der oberen
Fläche der Wand 4 befestigt werden. Ein eventueller Überzug würde sodann auf der oberen Fläche der Wand
4 vorgesehen werden. Es könnte sich aber als sehr schwierig erweisen, einen befriedigenden Überzug oben
auf einer großen Kammer anzubringen. In einigen Fällen kann es wünschenswert sein, an der Stelle jedes
der einfachen flexiblen Abdichtelement 16 eine doppelreihige Abdichtungsanordnung zu verwenden. Wird
zwischen den beiden Abdichtungselementen ein Zwischenraum hergestellt, entsteht eine zweistufige Abdichtung.
Die Verwendung irgendwelcher flexibler Abdichtelemente kann vermieden werden, wenn die untere Fläche
des Deckelteils 7 und die obere Fläche der Wand 4
durch Aufbringen eines Überzugs von Polytetrafluoräthylen auf eine oder beide dieser Flächen hochglanzpoliert werden und das Deckelteil 7 unmittelbar auf der
Wand 4 aufliegt. In diesem Fall könnten die Führungsmittel 9 und 11 in die Wand 4 zurückgezogen oder in
dem Deckelteil 7 angebracht werden. Die praktischen Gesichtspunkte bei der Herstellung eines solchen
optischen Hochglanzes auf zwei so großen Flächen könnten jedoch diese Möglichkeit unwirtschaftlich
machen.
Bei einigen Ausführungsformen kann die Elektronenschleuder auf dem Deckelteil 7 nichtdrehbar befestigt
sein. Die Schlitze 5 und 6 müssen sich nicht immer genau senkrecht zu den beiden Seitenkanten 30 und 31 der
Wand 4 erstrecken. Die Schlitze könnten sogar senkrecht aufeinander stehen und zusammenlaufen,
obwohl dies einige zusätzliche konstruktive Probleme schaffen würde.
Die die Schlitze enthaltende und mit den Mittein für
die Gleitabdichtung und die Festhaltung des Elektronenrohres ausgestattete Wand könnte in einer Abwandlung auch der Boden oder eine der Seitenwände der
Vakuumkammer sein.
Als Abwandlung zu dem Traggerüst und dem Antrieb für das Elektronenrohr könnte das Deckelteil 7
unmittelbar angetrieben werden, um die erforderliche Bewegung des Elektronenrohres über den Schlitzen 5
und 6 zu erzielen.
Eine Kammer nach der vorliegenden Erfindung kann abgewandelt auch so ausgeführt werden, daß das in der
Kammer befindliche Werkstück von einem in diese eingeleiteten inerten Gas, z. B. Argon, umgeben ist. In
diesem Fall der Argon-Lichtbogenschweißung würde das Werkzeug aus einer beweglichen Schweißelektrode
bestehen. Bei einer anderen Abwandlung der Erfindung besteht das Werkzeug aus einem Laserstrahl.
Claims (11)
1. Kammer zum Bearbeiten eines darin befindlichen Werkstücks unter Luftabschluß, insbesondere
Vakuumkammer, mit mindestens einer flachen Kammerwand und einem zwischen ihren gegenüberliegenden
Kanten liegenden langgestreckten Schlitz, der sich in Richtung von der einen zur anderen
Kante erstreckt, einem den Schlitz abdeckenden Deckelteil, das nahe und parallel zu der Kammerwand
angeordnet ist und eine mit dem Schlitz sich deckende öffnung hat, wobei das Deckelteil
gegenüber der Kammerwand zum Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz bewegbar ist, mit einer
die Öffnung umgebenden Dichtungsvorrichtung, die zusammen mit einem Werkzeug eine gasdichte
Dichtung über der Öffnung bildet, so daß ein in der Kammer ortsfest liegendes Werkstück mit Hi!fe des
Werkzeugs an einem Punkt behandelbar ist, der durch das Werkzeug entlang dem Schlitz über das
Werkstück bewegbar ist, und mit Abdichtungen, die zwischen dem Deckelteil und der Kammerwand
angeordnet sind und sich rings um den Schlitz erstrecken, zum Aufrechterhalten einer gasdichten
Abdichtung über dem Schlitz bei Bewegen der Öffnung entlang dem Schlitz, dadurch gekennzeichnet,
daß dem Deckelteil (7) eine Führungsvorrichtung (8, 9, 10, 11) zum Drehen des Deckelteils parallel zur Kammerwand (4) um eine
bewegbare Achse (8) zugeordnet ist und die Führungsvorrichtung dem Deckelteil (7) eine translatorische
Querbewegung gegenüber dem Schlitz (6) aufzwingt, wobei sich die Öffnung (12) in dem
Deckelteil (7) entlang dem Schlitz verschiebt, und daß die auf das Deckelteil einwirkende Führungsvorrichtung
dessen translatorische Bewegung in Richtungen senkrecht zu den gegenüberliegenden
Kanten (30, 31) der Kammerwand (4) derart begrenzt, daß beim Bewegen der Öffnung (12)
entlang dem Schlitz (6) von dem einen zu dem anderen Schlitzende ein Hinausragen des Deckelteils
(7) über die jeweilige Kante hinaus verhindert ist.
2. Kammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsvorrichtung aus einem
ersten und einem zweiten, mit dem ersten zusammenarbeitenden Glied besteht und das erste Glied
eine Nockenrolle (9) ist und das zweite Glied (11) eine innenliegende, die Nockenrolle einschließende
Nockenfläche (10) hat, durch die die parallel zur Kammerwand (4) erfolgende Bewegung der Nokkenrolle
(9) begrenzt wird, wobei eines der beiden Glieder an dem Deckelteil (7) und das andere an der·
Kammerwand (4) befestigt ist.
3. Kammer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nockenrolle (9) auf der frei von
dem Deckelteil (7) nach unten vorstehenden, bewegbaren Achse (8) gelagert und mit Spiel an der
sie umgebenden inneren, eine geschlossene Bahn ergebenden Fläche (10) des an der Kammerwand (4)
befestigten Nockens (11) geführt ist.
4. Kammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Deckelteil (7) auf der der
Kammerwand (4) zugekehrten Seite einen glatten Überzug von Polytetrafluorethylen hat, der mit der
gasdichten Abdichtung (16) an dem Deckelteil (7) oberhalb des Schlitzes (6) zusammenarbeitet.
5. Kammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine zweite Kammerwand (2)
gasdicht eine Schubstange (19) zum Bewegen des in der Kammer befindlichen Werkstücks senkrecht
zum Schlitz (6) geführt ist
6. Kammer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Kammerwand (4) und
dem Deckelteil (7) Hilfstragemittel (17) zum Herabsetzen des Drucks auf die Abdichtung (16)
zwischen der Kammerwand (4) und dem Deckelteil (7) vorgesehen sind.
7. Kammer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Hilfstragemittel (17) federbelastete
Fußrollen sind.
8. Kammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammerwand
(4) zwischen den beiden Kanten (30, 31) einen zweiten langgestreckten Schlitz (5) hat und die
Kammer eine zweite Abdichtung (16) aufweist, die sich um den Schlitz (5) herum zwischen dem
Deckelteil (7) und der Kammerwand (4) erstreckt und den zweiten Schlitz (5) gegen das Deckelteil
gasdicht abdichtet, und daß die Führungsvorrichtung (8, 9, 10, 11) die Öffnung (12) in dem Deckelteil (7)
zur Denkung mit dem zweiten Schlitz (5) bringt und die Öffnung von dem einen zu dem anderen
Schlitzende verschiebbar ist, ohne daß ein Hinausragen des Deckelteils (7) über die gegenüberliegenden
Kanten (30,31) eintritt
9. Kammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Dekkelteil
(7) die Form einer kreisförmigen Scheibe hat.
10. Kammer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden
Schlitze (5,6) in einem seitlichen Abstand voneinander verlaufen und ihre Längsachsen senkrecht auf
einer der beiden Kanten (30, 31) stehen und die Drehachse (8) des Deckeltteils (7) mittig auf ihm und
in einem Bereich zwischen den beiden Schlitzen bewegbar angeordnet ist.
11. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 1 bis 9 zur Ausübung des Elektronen-Schweißverfahrens,
dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (12) im Deckelteil (7) für den Durchtritt des vom
Elektronenrohr (14) ausgesandten Elektronenstrahls vorgesehen ist,
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