DE1803456A1

DE1803456A1 - Verfahren zum Bearbeiten von Werkstuecken mittels Energiestrahlen,insbesondere Energiestrahl-Schweissverfahren

Info

Publication number: DE1803456A1
Application number: DE19681803456
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Karl-Hei Steigerwald
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1966-05-14
Filing date: 1968-10-16
Publication date: 1971-02-11
Also published as: DE1803456B2

Description

Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mittels Energiestrahlen, insbesondere Energiestrahl-Schweißve (Zusats zum Patent ........ (Patentanm. P 15 65 865.8) Das Hauptpatent betrifft ein Verfahren zum Bearbeiten von Werkstücken mittels Energiestrahlen, insbesondere ein Energiestrahl-Schweiß- und Schneidverfahren, bei dem an mindestens einer Stelle der gewünschten Bearbeitungsbahn ein. in die Tiefe des Werkstückmaterials gehende Eintrittaöffnung für den Strahl vorgebildet wird, der Strahl au Beginn des Bearbeitungsvorganges in diese Öffnung eingeführt und so eingestellt wird, daß mindestens ein Teil der Wandungen der Öffnung auf oder über ihre Schmelztemperatur hinaus erhitzt werden, und dann der Strahl in der vorgeschenen Bearbeitungsbahn weitergeführt wird, wobei die Öffnung mit dem Strahl wandert.
Dieses Verfahren hat sur Voraussetzung, daß während des Weiterführens des Strahls ständig ein bestimmter Gleichgewichtszustand zwischen dem Strahl und dem von ihm aufgeschmolsenen Wänden der wandernden Öffnung erhalten bleibt. In vielen Fällen tritt beim Weiter #####wandern der Öffnung eine Schrumpfung des Werkstücks auf.
Diese Erscheinung ist besonders dann ausgeprägt, wenn e8 sich um das Zusammenschweißen zweier Werkstilcke handelt; dabei werden der Strahl und die mit ihm wandernde Öffnung in der Stoßfläche der beiden zu verschweißenden Werkstücke weitergeführt. Wenn wahrend der Bearteitung ein Schrumpfvorgang auftritt, wird die mit dem Strahl wandernde Öffnung notwendigerweise verkleinert.
Diese Gleichgewichtsstörung kann so stark werden, daß sie nicht mehr durch die während der Bearbeitung durch Verdampfen oder Verspritzen auftretenden Materialverluste ausgeglichen wird dabei spielt es noch eine besondere Rolle, daß bei dem Verfahren nach dem Hauptpatent eine im Vergleich zu anderen Energiestrahl-Bearbeitunpsverfahren erheblich geringere Strahlintensität ausreicht, so daß besonders bei voller Ausnutzung dieses Vorteils die Materialverluste durch Verspritzen und Verdampfen nur gering sein werden.
Zur Behebung der geschilderten Schwierigkeiten ist im Hauptpatent vorgeschlagen worden, in der Bearbeitungsbahn Zusatz8ffnungen in solchen Absenden vorzusehen, daß die Volumenabnahme der mit dem Strahl wandernden Öffnung wenigstens annähernd kompensiert wird.
Diese Möglichkeit führt zwar in vielen Fällen zu zufriedenstellenden Ergebnissen, ist aber naturgemäß mit einer gewissen Unsicherheit verbunden und hat überdies den Nachteil, daß man vor dem Bearbeitungsvorgang die Zusatzöffnungen herstellen muß.
Die vorliegende weitere Ausgestaltung der im Hauptpatent beschriebenen Erfindung geht von der Aufgabe aus, die beschriebenen Schwierigkeiten, die sich bei einer Verkleinerung der mit dem Strahl wandernden Öffnung ergeben können, in einfacher Weise zu verhindern.
nach der vorliegenden Erfindung erfolgt die Lösung dieser Aufgabe bei dem eingangs beschriebenen Verfahren, insbesondere Energiestrahl-Schweißverfahren, dadurch, daß in Abstünden die pro Dängenelement des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegebene Energie vorübergehend erhöht wird.
Durch die vorübergehende Erhöhung der spezifischen Energieanlieferung wird die ralt der Strahl wandernde öffnung falls sie sich verkleinert haben sollte, wieder aufgeweitet, z.B. durch verstärktes Verdampfen oder Verspritzen von Werkstückmaterial. Es leuchtet ein, daß die beschrlebene Erhöhung der pro Längenelement des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegeb.nenEnergie in den meisten Fällen nicht übermäßig groß zu sein braucht. 13esonders wichtig ist es dabei. daß die Öffnung als solche vorhanden ist, so daß es beispielweise nicht erforderlich ist, die Strahlintensität auf Werte zu steigern, wie sie für Öffnungen benötigt werden, die nur durch den Dampfdruck verdampften Materials offengehalten werden.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann die Erhöhung der pro Längeneleient des Bearbeitungsweges vorn Strahl abgegebenen Energle dadurch erfolgen, daß in Abständen die Strahlleistung vorübergehend erhöht wird. Statt oder gemeinsam mit dieser Maßnahme kann auch in Abständen die Gewchwindigkeit, mit, der der Strahl in der Bearbeitungsbann weitergeftihrt wird, veririndert werden, insbesondere auch in der Weise, daß der Strahl vorübergehend angehalten wird.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung kann zusammen mit der ErhOung der pro Längenelement des Bearbeitungsweges aus dem Strahl zugeführten Energie der Fokussierzustand des Strahls verändert werden. flabei kann es vielfach vorteilhat seln, den wirksamen Durchaesser des Strahls zu vergrößern, und dies kann in weiterer Ausgestaltung der Erfindung auch dadurch erfolgen, daß der Strahl im Bereich seiner Auftreffstelle bewegt wird Eine besonders einfache Ausführungsmöglichkelt der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände und der Wert der Erhöhung der pro Längenelement des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegebenen Energie nach einem Programm vorgegeben sind. Dabei läßt es sich leicht erreichen, daß bei Jeder Erhöhung der spezifischen Energiezufuhr eine gewünschte Standardgröße der mit dem Strahl wandernden Öffnung wiederhergestellt wird die Abittinde sind dann so klein gewählt, daß sich zwischen ihnen die Öffnung in keinem Fall soweit verkleinert, daß die Gefahr eines vollständigen Schließens bestcht.
Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltungsm5glichkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem in bekannter Weise ein Fühler für die meßtechnische Erfassung des Bearbeitungsvorganges oder der durch ihn hervorgerufenen Zustandsänderungen vorgesehen ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Fühler verwendet wird, der ein von der Größe der mit bam Strahl wandernden Öffnung abhängiges Signal erzeugt, und daß die pro Längenelement des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegebene Energie immer dann erhöht wird, wenn das Signal eine Unterschreitung eines vorgegebenen Wertes der Größe der Öffnung anzeigt. Dieser Vorgang kann in einfachster Weise auch automatisch ausgaführt werden.
Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens ergibt sich ferner dann, wenn die Einführöffnung in an sich bekannter Weise mittels des Strahls geböhrt wird. Drbsi wird vorteilhafterwöise die zun Bohren der Einführöffnung aus dem Strahl in deß Bchrbereich abgegebene Energie obenfalle größer gehalten als die während des nachfolgenden Bearbeitungsvorganges normalerweise pro Längenelement des Bearbeitungsweges abgegebene Energie. Da während des Bearbeitungsvorganges die Öffnung bereits vorhandenist und nur aufgeweitet zu werden braucht, ist das erfindungagemäße Verfahren dann vorzugsweise weiter d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß der Wert der Während des Bearbeitungsvorganges pro Längeneinheit des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegabenen Energie ständig kleiner gchalten wird als der zum Bohren der Einführ-Öffnung verwendete Wert.
Bei Werkstücken mit veräbderlicher Dicke ist es in weiterer Ausgestaltung der Erfindung vorteilhaft, wenn die Abstände, in denen die pro Längenelement des Bearbeitungsweges von Strahl abgegebene Energie vorübergchend erhöht wird, in Abbängigkeit von der Werkstückdicke Verändert werden, Bei Berwendung des weiter vorn beschrabenen Fühlers läßt sich erreichen, daß auch die durch Änderungen der Werkstückdicke hervorgerufenen Veränderungen der Größe der mit dem Strahl wandernden Öffnung automatisch mit berücksichtigt werden.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden an Hand der Zeichnungen näher beschrieben.
Fig. 1 erläutert in teilweise perspektivischer schematischer Darstellung das Verschweißen zweier Werkstücke mittels eines Energiestrahls.
Fign. 2 bis 4 erläutern Ausführungsmöglichkeiten des erfindungsgemäßen Verfahrens an Hand von graphischen Darstellungen.
Fig. 1 zwigt in schematischer perspektivischer Darstellung zwei Werkßtücke 20, 21, die on einem unabgeschrägten Schweißstoß 22 aueinanderliegen und dort verschweißt werden sellen. Oberhalb des Werkstücks befindet sich ein Strahlerzemger 95, der einen intensiven Elektronemstrahl 3 erzeugt, Dei Ersougung des Elekeronenstrahls 3 und die Bearbeitung der Werkstüche 20, 21 erfolgt, wie bei Elektronenstrahlen äblich, im Vakuum; die dafür erforderlichen Enrichtungen sind in Fig. 1 micht dargestellt, Die Werkstücke 20, 21 und der Strahlerzeuger 95 sind so zueinander angeordnet, daß der Strahl 3 auf den Schweißatoß 22 auftrifft, und ferner sind (nicht dargestellte) Vorrichtungen vorgeschen, um eine Relativbewegung zwischen Strahlerzeuger 95 und den Werkstücken 20, 21 in der Weis zu ersougen, daß der Strahl 3 mit steuerbarer Geschwindigkeit in der durch den Schweißetoß 22 bezeichneten Bearbeitungsbahn weitergeführt wird, An einer Stelle der Bearbeitungabahn, in Fig, 1 in der Nähe des linken Endes der herzustellenden Schweißnaht, wird eine in die Tiefe des Werkstückmaterials gehende Eintrittsöffnung 25 für den Strahl vorgebildet, und zwar im dargestellten Fall eine durchgehende Eintrittsöffnung.
Der Strahl wird zu Beginn des Schweißvorganges in die Eintritts-Öffnung 25 eingeführt und so eingestellt, daß mindestens ein Teil der Wandungen der Öffnung auf oder über ihre Schmelztemperatur hinaus erhitzt worden. Sodann werden der Strahl 3 und die Werkstücke 20, 21 im Sinne des am Strahlerzeuger 95 angebnchten Pfeils relativ zueinander derart bewegt, daß der Strahl 3 in der Bearbeitungsbahn 22 weitergeführt wird. Dabei wandert die zunächst als Eintrittsöffnung 25 vorgebildete Öffnung 11 mit dem Strahl weiter. Fig, 1 zeigt einen Zustand während der Bearbeitung, bei dem ein Teil des Schweißetoßes 22 bereits zu einer Schweißnaht 22a verschweißt worden ist. In Fig. 1 ist der besseren Übersichtlichkeit halber ein Teil des Werkstücks 21 weggebrochen dargestellt.
Fig. 1 zeigt ferner einen unterhalb der Einstrahlungsstelle g3 angeordneten Fühler 94, der ein Signal erzeugt, welches ein Maß für die Größe der öffnung 11 darstellt Bei Verwendung eines Elektronenstrahls als bearbeitender Energiestrahl 3 kann der F(lhler 94 einfach aus einer Metallelektrode bestehen. Das vom Fühler 94 gelieferte Signal wird über eine Steuerleitung 96 einem Steuergerät 97 zugeführt, das den Strahlerzeuger 95 und/oder die (nicht, dargestellten) Bewegungseinrichtungen steuert.
Während der Bearbeltung wird Jedem Längenelement des durch den Schweißstoß 22 dargestellten Bearbeitungsweges eine bestimmte Energiemenge aus dem Strahl 3 zugefühut. In gewissen Abständen wird diese Energiemenge erhöht, Dafür gibt es mchrere einfache Möglichkeiten, die einseln oder gemeinsam angewendet werden können, nämlich rhtShung der Strahleistung (die im Fall eines Korpuakularstrahls wieder aus den beiden Komponenten Teilchenstrom und Teilchengeschwindigkeit bestcht) und Verminderung der Weiterführgeschwindigkeit des Strahls 3, gegebenenfalls bis zum vorübergehenden Stillstand. An Jeder Stelle, wo mit derartigen Maßnahmon die dem Werkstückmaterial aus dem Strahl 3 zugeführte spezifische Energiemenge vorübergchend erhöht wird, werden etwaige Verkleinerungen der Öffnung 11, die beispielsweise durch Schrumpfungsprozesse während der Bearbeitung hervorgerufen wurden, durch vermchrte Materialabtragung (beispielsweise durch Verspritzen oder Verdampfen) wieder ausgeglichen Zusätzlich kann man an den Stellen, wo die spesifische Ener£ieabgabe erhöht wird, auch den Foküssierzustand des Strahls 3 Endern. So ist es vielfach günstig, dort den wirksamen Strahldurchmesser zu vergrößern; dies kann entweder durch Defokussieren oder durch Bewegen des Strahls im Bereich der Einstrahlstelle 93 erfolgen. Beispielsweise kann der Strahl mit unverändertem Durchmesser in einer Kreisbewegung mit sehr klein ei Radius geführt werden, so daß der wirksame Durchmesser des Strahls vergrößert wird. Auch sind Kipp- oder Schwenkbewegungen des Strahls relativ zur Achse der Öffnung 11 möglich, um eine Vergrößerung des wirksamen Strahldurchmessers zu erzielen.
Die Abstande, in denen die aus dem Strahl in bar Werkstückmaterial abgegebene spezifische Energiemenge erhöht wird, sind im einfachsten Fall nach einem resten Programm Vorgegeben, wobei die Abstände so klein gewählt werden daß mit Sicherheit eine zu starke Verkleinerung der mit dem Strahl wandernden Öffnung ausgeschlossen ist. Diese Möglichkeit ist in den graphischen Darstellung der Fign. 2 und 3 verwendet worden. Fig. 2 erläutert einen Elektronenstrahl-Schweißborgang im Zusammenhang mit der Fig. 1. Die Abezisse 5 bezeichnet den Bearbeitungs- oder Schweißweg, und die Ordinate die Zeit t. Man erkennt, dab hier der Strahl in bestimmten, glaiahl blekbenden Abständen d an den Stellen si, s2 ... für bestimmte Zeitspannen angchalten wird. Dabei wird die eingestrahlte spezifische Energiemenge erhöht, ohne daß es erforderlich ist, die Strahldaten zu ändern.
Fig. 3 erläutert ebenfalls ein festes Programm, Dabei wird in fest vorgegebenen Abständen de die auf der Ordinate aufgetragene Intensität I des Strahls erhöht. In den Fign. 2 und 3 bezeichnet so die Stelle, an der die Eintrittsöffnung 25 vorgebildet wird; in Fig. 3 ist angedeutet, daß ur dieser Stelle die Strahlintensität besonders hoch gewählt worden ist, um die Eintrittsöffnung 25 verhältnismäßig rasch zu bchren. Das Dohren von öffnungen mit Energiestrahlen ist in der Technik bekannt, so daß hier flieht weiter darauf eingegangen zu werden braucht. Wenn man mit geringeren Bohrgeschwi@@igkeiten zufrieden ist, kann man natürlich die Eintrittsöffnung 25 auch mit geringeren Strahlintensitäten herstellen. Wenn die auf der Ordinate der Fig. 3 aufgetragenen Werte I nicht die Intensität, sondern den Strahldurchmesser darstellen, gibt Wig. 3 eine brauchbare Möglichkeit zur Steuerung des Strahl durchmessers wieder. Die in den Fign. 2 un d3 erläuterten Möglichkeiten können auch gemeinsam angewendet werden. Dies bedeutet, daß z.B. an den Stellen si, s2 ... nicht nur die Geschwindigkeit, mit der der Strahl inde Bearbeitungsbahn weitergeführt wird, vermindert wird, sondern auch gleichzeitig die Strahlintensltät und/ oder der Strahldurchmesser verändert werden können. Statt des in Fig. 2 dargestellten völligen Stillstandes des Strahls an den Stellen s1, s2... kann natürlich auch lediglich eine Verlangsamung an diesen Stellen vorgenommen werden, und vielfach wird es auch möglich sein, allein mit Änderungen der Intensität und/oder des Strahldurchmessers auszukommen, so daß der Strahl gleichförmig durch den Bearbeitungsweg geführt werden kann.
Wenn in der bisher beschriebenen Weise die Abstände, in denen die vom Strahl abgegebene spezifische Enersie erhöht wird nach einem Programm vorgegeben sind, ist der in Fig. 1 dargestellte Fühler 94 natürlich grundsätzlich nicht erforderlich. ein sol-Fühler der bletet besondere Vorteile, wenn er dazu benutzt um die Erhöhung der spesifischen Energieabgabe an bestimmten Stellen automatisch hervorzurufen, sobald die Größe der Öffnung 11 unter einen vorgegebenen Wert absinkt. Es leuchtet ein, daß der Fühler nicht nur in der in Fig. 1 dargestellten Weise unterhalb de Werkstücke angeordnet stin kann, sondern auch gegebenebfalls oberhalb de Werkstücke neben der herzustellenden Schweißnaht. Ein die Größe der Öffnung 11 wiedergebendes Signal läßt sich auf sahlreiche verschiedene Weisen erhalten, Beispielsweise kann als Fühler 94 eine auf Energiestrahl-Streuanteile, Sekundärstrahlen wie Licht- $Röntgen- oder Sekundärelektronenstrahlung, Temperaturstrahlung und dgl. ansprechendes Element verwendet werden. In dem hier besprochenen Fall, daß als Energiestrahl ein Elektronenstrahl verwendet wird kann der Fühler 94 einfach aus einer Metallelektrode bestehen. Bei der in Fi. t dargestellten Anordnung ist vorausgesetzt, daß der Fühler 94 sich ständig unterhalb der t.instrahlungastelle 93 befindet, also relativ zum Strahlerzeuger in Rube ist. Es ist « auch denkbar, einen über die ganze Länge des Bearbeitungsweges 22 erstreckten Fühler zu verwenden.
Die graphische Darstellung der Fig. 4 entspricht der zuletzt beschriebenen Möglichkeit einer automatischen Steuerung mit hilfe eines auf die Größe der Öffnung 11 ansprechenden Fühlers. In diesem Fall werden sich durch die immer vorhandenen zufälligen Unregelmäßigkeiten normalerweise etwas verschieden große Abstände dl, d2, ... ergeben, und auch die Zeitspannen, während derer dieX Weiterbewegung des Strahls unterbrochen (oder verlangsait) wird, bis die mit dem Strahl wandernde @ Öffung ii wieder eine vorgegebene Mindestgröße überschritten hat, sind entsprechend den Jeweils vorliegenden zufälligen Unregelmäßigkeiten etwas verschieden. Die beschriebene autmatische Steuerung der spezifischen Energieabgabe an das Werkstückmaterial bietet weiter den Vorteil, daß sie auch automatisch Veränderungen der Werkottlckdicke oder Werkstückbeschafenheit berücksichtigt. Außerdem kann aie auch automatisch die Herstellung der Eintrittsöffnung 25 bewit@en.
Wenn man diejenige Arbeitsweise wählt, bei der der Strahl in Abstnden ganz angehalten wird, braucht man zu Beginn der gewünschten Bearbeitung lediglich den Strahl auf diejenige Stelle des Werkstücks zu richten, wo die Eintrittsöffnung 25 hergestellt werden soll. Der Strahl bohrt dann diese Eintrittsöffnung in der bekannten Weise, und erst nach dem Überschreiten der vorgegebenen Mindestgröße der Öffnung spricht der Fühler an und veranlaßt die Weiterführung des Strahls im Bearbeitungsweg, bis schließlich nach dem Durchlaufen eines gewissen Teils des Bearbeitungsweges die mit dem Strahl weitergewanderte Üffnung ii sich wieder auf einen wert verkleinert hat, bei dem das vom Aufhänger 94 gelieferte Signal erneut das Anhalten der Relativbewegung zwischen Strahlerzeuger und Werkstück bewirkte usw. Natürlich kann auch in diesen Fall zusammen wit der Beeinflussung der Relativbewegung eine Veränderung des Fokussierzustandes oder allgemeiner, der Strahlgeometrie, automatisch erzcugt werden.
In Fig. 1 ist eine durchgchende Üffnung 11 (bzw. eine durchgehende Eintrittsöffnung 25) dargestellt. Es leuchtet ein, daß das Verfahren auch mit einer nicht durchgehenden Öffnung arbeiten kann; in diesem Fall kann natürlich nicht wie in Fig. 1 ein unterhalb des Werkstücks angeordneter Fühler verwendet werden.
Beispiel: Schweisen zweier plattenförmiger Werkstücke aus Stahl im unabgeschrägten I-stoß mit einem Elektronenstrahl nach festen Programm.

Dicke der Werkstücke: 10## Strahl-Beschleunigungsspannung: 150 KV

Bchren der Erhöhung der zuge-

Einführöffnung Schweißen führten spes. Energie

Strahlstrom

mA 40 15 15

Strahl-Durch-

messer, um 0,2 0,3 0,3

Zeitdauer,

sec 0,5 5 0,5

Weiterführ-

geschwindig-

keit d. Strahls

mm/sec 0 5 0

Andere Ausfübrungsbeispiels sind möglich, ohne den Rabmen der Erfindung zu verlassen.

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e

1. Verfahren zum Bearbeiten von Werkst@cken mittels Energie-@@@@@@len, insbesondere Energiestrabl-Sob@@eißvorfahrem, bei d@ @@@@ @@indentens einer Stelle der gew@@@chten Bearbeitung@-b@@@ sin@ in@@ie Tiefe des Werketückunterials gchende Ein-@r@@@@@@@@@ung für den Strahl vorgebildet wird, der Strchl zu @@@@@@ d@@ @sarbeitung@vorgangen im diese Öffnung eingeführt und @@ @ingestellt wird, daß die Wandunges der Öffnung mindestens tailweise auf oder über ihre Schmalstomperatur hinaus er@it@t w@@den, und dann d@@ Strchl in dar vergeschenen B@erbeitungnbahn weitergeführt wird, wobei die öffnung mit des Strahl wandert, nach Fatent ..... (Patentanm. p 15 65 865.8), d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß im Abständen die p@@ Lüngsnelement des Ecarbeitungsweges vom Strahl abgegobene energie vorübergchend er@@ht wird.

2. Verfahren nach Anspr@ch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß in Abständen die Strchlleistung voüübergchend erhöht wird.

3. Verfahran nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß in Abständen die Geschwindigkeit, nit der der Strahl in der Bearbeitungsbahn weitergefübrt wird, vermindert wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet. daß in Abständen der Strahl vorübergehend angehalten wird.

5. Verfahren nach einen der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zusammen mit der Erhöhung der pro Längenelement des Bearbeitungsweges aus den Strahl zugeführten Energie der Fkussiersustand des Strahls verändert wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennseichnet, daß der wirksane Durchmesser des Strahls vergrößert wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß zur Vergrößerung des wirksamen Strahldurchmessers der Strahl im Bereich seiner Auftreffstelle bewegt wird.

8 Verfahren nach einz der Ansprüche i bis 7» dadurch gekennzeichnet, daß die Abstände und der Wert der Erhöhung der pro-Längenelement des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegebenen Energie nach einem Programm vorgegeben sind.

9. Verfahren nash einem der Ansprüche 1 bis 7, bei dem in bekannter Weise ein Fühler für die meßtechnische Erfassung des Bearbeitungsvorganges oder der durch ihn hervorgerufenen Zustandsünderungen vorgeschen ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß ein Fühler verwendet wird, der ein von der Größe der mit dem Strahl wandernden Öffnung abhängiges Signal erzeugt, und daß die pro Längenelement des Bearbeitungsweges vom Strahl abgegebene Energie immer dann erhöht wird, wenn das Signal eine Unterschreitung eines vorgegebenen Wertes der Größe der t5ffnung anzeigt.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 biß 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Einführöffnung in an sich bekannter Weise mittels des Strahls gebohrt wird.

ii.Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die zum Bohren der Einfuhröffnung aus dem Strahl in den Bohrbereich abgegebene Energie ebenfalls größer gehalten wird als die während des nachfolgenden Bearbeitungsvorganges normalerweise pro Längenelement des Bearbeitungsweges abgegebene Energie.

12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Wert der während des Bearbeitungsvorganges pro Längeneinheit des Bearbeitungaweges vom Strahl abgegebenen Energie ständig kleiner gehalten wird als der zum Bohren der F:inführ-Öffnung verwendete Wert.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 biß ii, dadurch geWennzeichnet, daß die Abstände in Abhängigkeit von der Werkstückdicke verändert werden.