DE1801860A1 - Vakuumpumpe - Google Patents

Vakuumpumpe

Info

Publication number
DE1801860A1
DE1801860A1 DE19681801860 DE1801860A DE1801860A1 DE 1801860 A1 DE1801860 A1 DE 1801860A1 DE 19681801860 DE19681801860 DE 19681801860 DE 1801860 A DE1801860 A DE 1801860A DE 1801860 A1 DE1801860 A1 DE 1801860A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piston
pump
vacuum pump
shaft
rotary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19681801860
Other languages
English (en)
Inventor
Jean Hasquenoph
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Publication of DE1801860A1 publication Critical patent/DE1801860A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C21/00Oscillating-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C21/005Oscillating-piston pumps specially adapted for elastic fluids the piston oscillating in the space, e.g. around a fixed point

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

  • Vakuumpumpe Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe, die ganz besonders für Aufgaben der Kerntechnik ausgelegt ist. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumpumpe mit hoher Pumpenleistung bei gleichzeitiger vollkommener Abdichtung der Arbeitsräume gegen die saubere Atmosphäre zu schaffen.
  • Es sind bereits Pumpen mit einem Taumeischeibenkolben bekannt, beispielsweise durch die französische Patentschrift Nr. 1 494 951> in der eine solche, besonders für Anwendungen auf dem Gebiet der Kerntechnik bestimmte Pumpe beschrieben und dargestellt ist. Eine derartige Taumelscheibenkolbenpumpe enthält einen konischen "Sitzkörper, der mit einem Scheibenkolben derart zusammenwirkt, daß dieser Kolben eine Taumelbewegung gegenüber dem konischen Sitz ausfhhrt, bei der er mit dem Sitz längs einer Erzeugenden der konischen Sitzfläohe in ständiger Berührung bleibt, die sich mit der Taumelbewegung in Umfangsrichtung über den Sitz bewegt. Dadurch entstehen zwischen dem Scheibenkolben und dem konischen Sitz Ansaug- und Ausschubräume mit stetig sich änderndem Volumen, die mit Ansaug-und Ausschuböffnungen verbunden sind. Da der Taümelscheibenkoiben einer derartigen Pumpe keine Drehbewegung sondern nur eine reine Taumelbewegung ausführt, können zwischen dem Scheibenkolben und dem konischen Sitz Membrandichtungen, beispielsweise gewellte Bälge, eingebaut werden, die lediglich mit einer konischen Pendelbewegung beansprucht werden aber nicht mit Drehmomenten.
  • Weiterhin sind ebenfalls dicht abschließbare Kreiskolbenpumpen mit zylindrischem Gehäuse bekannt, in dem ein mit kleinerem Durchmesser als das Gehäuse ausgeführter zylindrischer Kolben eine Kreisversohiebungsbewegung um die Achse des Gehäusezylinders ausführt, wobei die zylindrische Innenfläche des Gehäuses und die zylindrische Mantelfläche des Kolbens dauernd längs einer Erzeugenden in Berührung bleiben, die mit der Kreisverschiebungsbewegung am Umfang der Gehäuseinnenfläche wandert, wobei auch hier das Gehäuse mit Ansaug- und Ausschuböffnungen versehen ist, gegebenenfalls mit geeigneten Ventilen.
  • Nun sind in der Vakuumtechnik die Pumpen mit Taumelscheibenkolben nur als Primärpumpen angewendet worden, weil sie nur ein mäßiges Vakuum herstellen können, während die Kreiskolbenpumpen das Erzielen wesentlich niedrigerer Drücke gestatten, so daß sie als Sekundärpumpen verwendbar sind.
  • Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, mit der die eingangs gestellte Aufgabe gelöst wird, ist nun dadurch gekermzeichnet daß sie zumindest zwei auf die gleiche Welle aufgebaute Einzelpumpen umfaßt, von denen die erste einen Taumelscheibenkolben und die zweite einen Kreiskolben aufweist, der exzentrisch in einem zylindrischen Gehäuse eine Kreis-Translationsbewegung ausführt.
  • Man erhält auf diese Weise eine kompakt zusammengebaute Pumpeneinheit, bei der die beiden unterschiedlichen Pumpenausführungen, die axial unmittelbar hintereinander auf gegeneinander geneigten bzw. exzentrisch versetzten Abschnitten einer gemeinsamen Welle gelagert sind, in sehr einfacher Weise auch im Sinne der Förderung des Arbeitsmediums hintereinander geschaltet werden können, so daß die Kreiskolbenpumpe als erste Stufe das hohe Vakuum erzeugt und die Taumelscheibenkolbenpumpe als Vorpumpe arbeitet. Es ist auch ohne weiteres möglich, ohne Abweichung vom grundsätzlichen Erfindungsgedanken bei entsprechender Ausbildung der Welle zwei Kreiskolbenpumpen hintereinander oder nebeneinander zu schalten und sie mit einer einzigen Taumelscheibenkolben-Pumpe zu kombinieren, ebenso eine einzige Kreiskolbenpumpe mit zwei Taumelscheibenkolben-Pumpen.
  • In allen diesen Fällen konnen die bewegten Pumpelemente auf eine gemeinsame Welle aufgebaut werden.
  • Zur näheren Erläuterung der Erfindung wird ein Ausführungsbeispiel beschrieben, das in der Zeichnung veranschaulicht ist.
  • Von den beiden Figuren der Zeichnung zeigt die Fig. 3 einen schematischen Axialschnitt durch eine erfindungsgemäße Vakuumpumpe und Fig. 2 eine teilweise aufgeschnittene, schaubildlich dargestellte Ansicht einer Pumpe ähnlich Fig. 1.
  • Der Pumpensatz der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe wird von einer gemeinsamen Antriebswelle 1 angetrieben, die mit einem Antriebsmotor 15 gekuppelt ist und durch die beiden Lager 2 in einem Lagerkörper 3 des Pumpengehäuses 4 geführt ist. Die im unteren Teil des Gehäuses liegende Taumelscheibenkolbenpumpe hat an dem Gehäuseteil 4 eine konische Fläche 5, relativ zu der ein Scheibenkolben 6 eine Taumelbewegung ausführen kann, bei der zumindest eine ebene oder konische Fläche 7 des Kolbens dauernd in Berührung mit der konisohen Fläche 5 bleibt. und zwar längs einer umlaufenden Erzeugenden beider Flächen.
  • Die Taumelbewegung des Scheibenkolbens wird beispielsweise dadurch erzeugt, daß sich an die zentrische Welle 1 mit der Achse A-B ein geneigter Wellenteil 8 mit der Achse B-C anschließt, der bei der Drehung der Antriebswelle 1 mit seiner Achse längs der Mantelfläche eines geraden Kegels bewegt wird; auf diesem geneigten Wellenteil 8 ist eine zylindrische Buchse 9 drehbar gelagert, die mit Flanschen versehen ist und auf der der Taumelscheibenkolben 6 sitzt.
  • Zwei konische Zahnkränze 10 und 11, von denen der erste.
  • am Lagerkörper 3 und der zweite an der Buchse 9 sitzt, greifen jeweils an einer mit der Drehung der Welle umlaufenden Stelle des Umfangs ineinander und sorgen dafür, daß bei der Drehung der Welle 1 und der schrägen Welle 8 die Buchse 9 und mit ihr der Scheibenkolben 6 stets nur eine Taumelbewegung, aber keine Drehbewegung ausführen. Der Kolben 6 bleibt also stets in der gleichen Umfangswinkellage relativ zum Gehäuse 4, während er die am Umfang umlaurende Kippbewegung als Taumelbewegung au'sführt, Zwischen dem Scheibenkolben 6 und dem Gehäuse ist eine Führung und Abdichtung über entsprechende Kugelschalenflächen 12 und 13 vorgesehen, die an den einander gegenüberliegenden und ineinandergeführten Bauteilen des Kolbens und des Gehäuses vorgesehen sind; das Zentrum dieser kugeligen Flächen liegt im gemeinsamen Punkt der Achsen A-B und B-C, d.h. beim Ausführungsbeispiel im Punkt B.
  • Zur Abdichtung ist ein gewellter Dichtungsbalg oder eine Dichtungsmembran 14 zwischen einem unteren Flansch der Buchse 9 und dem Gehäuse 4 vorgesehen, diese Dichtung umgibt den zentralen Teil des Lagerkörpers 3. Außerdem ist der Taumelseheibenkolben mit Umfangsdichtungen versehen, die das Kompressions- oder Ansaugeverhältnis verbessern. Schließlich kann in zweckmäßiger Weise - entsprechend der Darstellung in Fig. 1 - die Taumelscheibenkolben-Pumpe eine zweistufige Pumpe sein; dies ist möglich durch Verwendung von nach Kugelzonen gekrümmten Dichtungsringen 16 auf den beiden Flächen des Scheibenkolbens, die in entsprechend geformte Schlitze der anliegenden Gehäuse teile eingreifen und Jeweils die beiden Stufen der Ansaug- und Druckräume (wie beispielsweise Druckraum 17 in Fig. 1) voneinander trennen.
  • Die Kreiskolbenpumpe ist im oberen Teil des Pumpengehäuses angeordnet, sie besteht im vorliegenden Falle aus einem hohlen Kolben 19, dessen zentraler Teil 20 auf einer Verlängerung 21 der zentralen Welle gelagert-ist, wobei die Achse C-D dieser Wellenverlängerung parallel zur Achse A-B der Antriebswelle 1 ist, aber eine gewisse, durch die Schräglage des Wellenteils 8 gegebene Exzentrizität hat. Der Kolben 19 wirkt mit einem zu der Achse A-B der Antriebswelle l koaxialen Zylinderfläche des Gehäuses zusammen, das eine äußere Zylinderwand 22 und eine innere Zylinderwand 23 aufweist.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel ist vorausgesetzt, daß die Kreiskolbenpumpe zwei seitlich mit a bzw. b bezeichnete Stufen aufweist, so daß der Kolben und die Zylinderteile Jeweils doppelt vorhanden und durch eine Trennwandanordnung 24 gegeneinander getrennt sind.
  • Wie bei der oben zu be s beschriebenen Taumelscheibenkolben-Pumpe sind auch bei der Kreiskolbenpumpe Einrichtungen vorgesehen, die eine Drehung des Kolbens um seine eigene Achse relativ zum Gehäuse verhindern. Als derartige Einrichtungen können hier ebenfalls konische Zahnkränze 26 und 27 vorgesehen werden, die zwischen der Buchse 9 und dem zentralen Teil 20 des Kolbens 19 angeordnet sind.
  • Die gesamte Pumpe ist selbstverständlich mit in geeigneter Weise angeordneten Einlässen und Auslässen sowie gegebenenfalls Ventilen für das Einlassen oder die Druckseite versehen, die in Fig. 1 aber nicht dargestellt sind; jeder Fachmann ist in der Lage, aufgrund der Kenntnis der Wirkungsweise der Kreiskolbenpumpen derartige Einlässe und Auslässe an die richtigen Stellen zu setzen. Zur Abdichtung ist eine gewellte Membran oder ein Dichtungsbalg 28 zwischen dem oberen Flansch der Buchse 9 und der oberen Innenseite des hohlen Kolbens 19 angeordnet.
  • Es sei noch erwähnt, daß das äußere Gehäuse der Pumpenkombination oder des Pumpensatzes gemäß der Erfindung in mehrere Einzelteile, wie 3, 25, 22, unterteilt ist, die zusammen-nicht nur den dicht am Antriebsmotor liegenden Teil sondern auch die beiden Pumpenkörper 25 (primäre, zweistufige Pumpe I) und 22 (sekundäre, zweistufige Pumpe II) bilden, sowie einen Sockelteil 29. Durch diese Unterteilung werden der Zusammenbau und das bei Reparaturen notwendige Auseinanderbauen wesentlich erleichtert.
  • In Jedem Fall erhält man gemäß der Erfindung einen Pumpensatz, der nach der nur sehr schematischen Darstellung in Fig. 2 in der Weise arbeiten kann, daß das Strömungsmedium zuerst von dem oder den sekundären Pumpeneinheiten II entlang den Pfeilen fl und f2 angesaugt und gefördert wird, um dann in den oder die primären Pumpenteile I gebracht zu werden, entsprechend den Pfeilen f3 sowie f4, und daß das Strömungsmedium schließlich in Richtung des Pfeiles f5 austritt.
  • Die erfindungsgemäße Pumpenkombination macht es möglich, ein sehr hohes Vakuum (oder im umgekehrten Falle gegebenenfalls sehr hohe Drücke) mit Hilfe einer sehr einfach konstruierten Pumpe zu erzielen. Dabei ist noch darauf hinzuweisen, daß der mechanische Teil der Pumpe leicht zu schmieren ist und daß die Arbeitsräume der Pumpen durch die Abdichtungsmembranen oder Balgen 14 und 28 vollständig gegen Wellendurchführungen und dgl.
  • abgeschlossen sind, so daß auch bei toxisch wirkenden Strömungsmedien keine Verseuchung der Umgegend möglich ist.
  • Als selbstverständlich sollte schließlich gelten, daß die Erfindung durchaus nicht auf die Anwendungsweisen bzw. die Ausführungsformen der einzelnen Teile der Vakuumpumpe beschränkt sind, wie sie soeben beschrieben wurden und in der Zeichnung dargestellt sind; die Erfindung umfaßt auch für einen Fachmann naheliegende Abwandlungen.

Claims (5)

Patentansprüche
1. Vakuumpumpe, insbesondere für die Kerntechnik, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß sie auf einer drehangetriebenen Antriebswelle (1,8,21) zumindest zwei Einzelpumpen ausweist von denen die erste Einzelpumpe einen Taumelscheibenkolben (6) hat und die zweite Einzelpumpe einen Kreiskolben (19), der exzentrisch in einem äußeren Zylinder (22) eine Kreis-Translationsbewegung durehführt.
2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die drehangetriebene Welle (1) einen ersten, relativ zu der Achse der Pumpe geneigten Wellenabschnitt (8) aufweist, der einen den Taumelsoheibenkolben bildenden Plattenteil (6) trägt, und daß an diesen ersten Wellenteil sich eine Wellenverlängerung (21) mit einer parallel zur Antriebsachse liegenden Achse anschließt, der den Kreis-Translationskolben (19) trägt.
3. Vakuumpumpe-nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einzelpumpe mit Taumelscheibenkolben zweistufig ist.
4. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse der gesamten Pumpe aus mehreren axial zusammengefügten Einzelteilen (),25,22,29) besteht.
5. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einzelpumpe mit Kreis-Translationskolben zweistufig ist.
DE19681801860 1967-10-25 1968-10-08 Vakuumpumpe Pending DE1801860A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR125848 1967-10-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1801860A1 true DE1801860A1 (de) 1969-05-29

Family

ID=8640725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19681801860 Pending DE1801860A1 (de) 1967-10-25 1968-10-08 Vakuumpumpe

Country Status (7)

Country Link
BE (1) BE720741A (de)
CH (1) CH496892A (de)
DE (1) DE1801860A1 (de)
ES (1) ES359434A1 (de)
FR (1) FR1548598A (de)
GB (1) GB1196565A (de)
LU (1) LU57018A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0394720A1 (de) * 1989-04-28 1990-10-31 Balzers-Pfeiffer GmbH Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0394720A1 (de) * 1989-04-28 1990-10-31 Balzers-Pfeiffer GmbH Pumpe zur Förderung von Gasen und zur Erzeugung eines Differenzdruckes

Also Published As

Publication number Publication date
ES359434A1 (es) 1970-08-16
LU57018A1 (de) 1969-01-20
CH496892A (fr) 1970-09-30
GB1196565A (en) 1970-07-01
FR1548598A (de) 1968-12-06
BE720741A (de) 1969-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1628418B2 (de) Vakuumpumpe mit spiralrotationskolben
DE3432915A1 (de) Innenachsige drehkolbenmaschine
DE10356373A1 (de) Hubkolbenmaschine
EP0320963A2 (de) Nach Art einer Drehkolbenpumpe wirkende volumetrische Pumpe für flüssige oder gasförmige Medien
DE2212020A1 (de) Drehkolbenmaschine
DE2914527C2 (de) Rotationskolbenpumpe
DE2839408A1 (de) Hilfsgesteuerter fluidmotor mit veraenderlicher verdraengung
DE1801860A1 (de) Vakuumpumpe
DE2556654A1 (de) Fluessigkeitspumpe
DE1934147B2 (de) Einrichtung zum Kuppeln einer An bzw Abtnebsmaschine mit einer Druck flüssigkeit Schragscheiben Axialkolben maschine
EP0130436A1 (de) Rotationskolbenmaschine als Expansionsmaschine oder Verdichter
DE4234055C2 (de) Spiralkompressor
DE10055445C1 (de) Kompressor mit umlaufenden Zylindern
DE2345136A1 (de) Wechselverdichter oder wechselpumpe
DE1903256C3 (de) Ventilanordnung für Kolbenpumpen
DE102010063532A1 (de) Pumpe, Verdichter oder Motor mit kleinem Durchmesser-Längenverhältnis
DE624254C (de) Fluessigkeitswechselgetriebe
DE2447485C3 (de) Rotationskolbenpumpe
DE69918675T2 (de) Hydraulische rotierende axielkolbenmaschine
DE2220943A1 (de) Als saug- oder druckpumpe oder als motor verwendbare maschine
DE2201553A1 (de) Umlaufende Maschine fuer Druckfluessigkeit
DE10119601A1 (de) Verdrängerpumpe, insbesondere zum Fördern von Kraftstoff
DE2123429A1 (de) Abdichtung für unter hohem Druck stehende fließfähige Medien
DE818606C (de) Hydraulische Mehrkolbenpumpe
DE2353706A1 (de) Hydraulische drehkolbenpumpe