DE1763049B1 - Photoelektrische abtasteinrichtung - Google Patents

Photoelektrische abtasteinrichtung

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DE1763049B1
DE1763049B1 DE19681763049 DE1763049A DE1763049B1 DE 1763049 B1 DE1763049 B1 DE 1763049B1 DE 19681763049 DE19681763049 DE 19681763049 DE 1763049 A DE1763049 A DE 1763049A DE 1763049 B1 DE1763049 B1 DE 1763049B1
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DE
Germany
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output signal
differential amplifier
signal
pulse
circuit
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Pending
Application number
DE19681763049
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English (en)
Inventor
Chitayat Anwar K
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Optomechanisms Inc
Original Assignee
Optomechanisms Inc
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Publication date
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Publication of DE1763049B1 publication Critical patent/DE1763049B1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q35/00Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually
    • B23Q35/04Control systems or devices for copying directly from a pattern or a master model; Devices for use in copying manually using a feeler or the like travelling along the outline of the pattern, model or drawing; Feelers, patterns, or models therefor
    • B23Q35/08Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work
    • B23Q35/12Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means
    • B23Q35/127Means for transforming movement of the feeler or the like into feed movement of tool or work involving electrical means using non-mechanical sensing
    • B23Q35/128Sensing by using optical means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft eine photoelektrische Abtasteinrichtung zur genauen Bestimmung von reflektierenden, auf einer bewegbaren, durch eine Strahlungsquelle beaufschlagten Oberfläche angeordneten Linien mit den reflektierten Strahl in zwei Teile aufteilende und dadurch eine erste und eine zweite zeitlich unterschiedliche Signalkomponente erzeugende Einrichtungen, mit jeweils einem für jede Signalkomponente vorgesehenen photoelektrischen Detektor und einem den Detektoren nachgeschalteten die beiden Signale vergleichenden und ein Ausgangssignal erzeugenden Differentialverstärker und eine das Ausgangssignal des Defferentialverstärkers verwertende elektrische Schaltanordnung.
  • Es sind Abtastvorrichtungen bekannt, mit denen der abtastende Lichtstrahl in zwei Teilstrahlen aufgeteilt wird, die zwei getrennte lichtempfindliche Organe erregen, welche Signalkomponenten erzeugen, die in einer Auswertschaltun; miteinander verglichen werden (französische Patentschrift 1213 598 und deutsche Patentschrift 1069 413). Es ist weiter ein Folgeregler zur Nachführung eines Werkzeuges längs einer Kurvenbahn bekannt, bei dem mittels zweier Photozellen ein von der Abweichung eines auf dem Werkzeug befestigten Tastkopfes von der Kurvenbahn Stellglieder steuernde Regelsignale erzeugt werden (deutsche Patentschrift 1 198 911). Schließlich ist auch schon ein photoelektrischer Stricheinfang bekannt, wobei die Abtastung statisch durch Maßstabverschiebung und die Auswertung der Abtastung durch Differenzenmessung der von Photozellenströmen erzeugten Signalen erfolgt (Feinwerktechnik, 71. Jahrgang 1967, Heft 4). Mit diesen bekannten Verfahren und Vorrichtungen wird ein Ausgangssignal einer Differentialschaltung eines Hilfssystems für die Ordnung eines Werkstückes verwendet, dessen Bewegung gesteuert werden soll. Im Gegensatz hierzu bezweckt die Erfindung eine Einrichtung, die einen Steuerimpuls mit großer Genauigkeit erzeugt, der dazu dient eine Werkzeugmaschine zu steuern.
  • Die Erfindung löst diese Aufgabe dadurch, daß zur Erzeugung eines einheitlichen Ausgangssignals mit einem Null-Durchgangspunkt die beiden Signalkomponenten um 90° phasenverschoben auf den Differentialverstärker geschaltet sind und daß die nachgeschaltete elektrische Anordnung mehrere zum Zeitpunkt des Null-Durchgangs des Ausgangssignals ein° zur Erzeugung eines Steuerimpulses ausreichende Vorspannung aufzeigende Steuerelemente aufweist und daß zur Unterdrückung des Steuerimpulses bei fehlendem Ausgangssignal des Differentialverstärkers weitere Steuerelemente vorgesehen sind.
  • Mit einem Gerät nach der Erfindung wird eine Linie wahrgenommen und ein Steuerimpuls von hoher Genauigkeit erzeugt, der verwendet werden kann, um die Arbeitsweise einer Werkzeugmaschine zu steuern. Das Gerät nach der Erfindung ist ebenfalls für photographische Präzisionsrepetierkameras geeignet.
  • An Hand der Figuren wird die Erfindung beispielsweise erläutert.
  • F i g. 1 zeigt ein Blockschaltschema des erfindungsgemäßen Gerätes; F i g. 2 zeigt eine Gruppe von Wellenformen, an denen die Betriebsweise des erfindungsgemäßen Gerätes erläutert wird; F i g. 3 zeigt ein Schaltschema der in F i g. 1 dargestellten Ausführungsform nach dieser Erfindung. In F i g. 1 ist eine Einrichtung dargestellt, die Linien 1, 2, 3 abtastet, welche sich an der Objektivlinse 4 vorbeibewegen. Die Linien können Markierungen auf einem sehr genauen Maßstab sein.
  • Zweck des erfindungsgemäßen Gerätes ist es, Linien so genau wie möglich abzutasten. Die Einrichtungen hierfür sind folgende: Eine Strahlungsquelle 5 wird mit der Linse 6 auf einem Strahlenteiler 7 gebündelt, der den Strahl auf die Objektivlinse 4 reflektiert, welche den Strahl auf die Ebene 8 fokussiert, auf der die Linien angeordnet sind. Wenn die Linie 2 sich an der Achse der Objektivlinse vorbeibewegt, wird ein reflektierter Strahl empfangen, der über den Strahlenteiler 7 zurückgeleitet wird und auf einen Prismenreflektor 10 fällt, der den Strahl in zwei Teile aufteilt. Ein Teil, der von der Oberfläche 10 a des Prismenreflektors reflektiert wird, wird in einen ersten photoelektrischen Detektor 11 gelenkt. Das Prisma 10 reflektiert auch einen Strahl auf seiner anderen Oberfläche 10 bin einen zweiten photoelektrischen Detektor 12. Linsen 11' und 12' sind vorgesehen, welche die reflektierten Strahlen in die Detektoren bündeln. Die Ausgänge der Detektoren sind mit einem Differentialverstärker 14 verbunden.
  • Die Wellenform B, die in F i g. 2 dargestellt ist, stellt den Ausgang des ersten Detektors 11 dar, wenn die Linie 2 an der Optik des Gerätes vorbeigeführt wird, und die Wellenform C stellt den Ausgang des zweiten Detektors 12 dar. Infolge der Relativbewegung und der Aufteilung des Strahls durch den Prismenreflektor 10 haben die Ausgänge der Photodetektoren einen zeitlichen Abstand voneinander und sind, wie dargestellt, phasenverschoben.
  • Wenn diese Wellenformen B und C auf den Differentialverstärker 14 aufgegeben werden, hat der Ausgang dieses Verstärkers die Wellenform D (s. F i g. 2), die einen sehr genauen Null-Durchgang an dem Punkt 15 hat. Die Linien 16 und 17 stellen die Aktivierungsniveaus der Rauschsperrschaltung dar, wie noch erörtert werden wird. Nur Signale, die während der Zeit, die zwischen den Stellen 18 und 19 der Wellenform D verstreicht, empfangen werden, werden von der Rauschsperrschaltung durchgelassen.
  • Das Signal mit der Wellenform D wird zu einem Impulsformer 20 geleitet, der eine Schmitt-Triggerschaltung sein kann, die geeignet ist, einen Impuls am Nulldurchgangspunkt 15 der Welle D zu erzeugen.
  • Das Signal mit der Wellenform D liegt ebenfalls an einer Rauschsperrschaltung 21, die einen Impulsdurchgang während der Zeit zwischen den Stellen 18 und 19 der Welle mit der Wellenform D ermöglicht. Unerwünschte Störsignale, die zu anderen Zeiten empfangen werden, werden dadurch unterdrückt.
  • Der Steuerimpuls E am Ausgang der Triggerschaltung 20 liegt an einem weiteren Impulsgenerator 22. Der Ausgang der Schaltung 22 liegt vorzugsweise an einem Impulsformer 23, ebenfalls an einer Torschaltung 24 und an einem Flip-Flop 25. Die Schaltungen 24 und 25 erzeugen Rücksetzsteuerimpulse.
  • Der Ausgang der Torschaltung 24 ist ein Rücksetzimpuls, der durch den Einschalter 27 ausgelöst wird. Das Flip-Flop 25 sperrt normalerweise jeden Ausgang der Torschaltung 24. Wahlweise ist eine Lichtquelle 29 vorzugsweise vorgesehen, falls der Maßstab 9 transparent ist.
  • F i g. 3 zeigt ein Schaltschema des erfindungsgemäßen Gerätes, das in F i g. 1 als Blockschaltschema dargestellt ist. In den Wellenformen, die in F i g. 3 dargestellt sind, ist der Null-Durchgangspunkt mit C bezeichnet. Silicium-Detektoren 11 und 12 empfangen die Signale v 11 und V12 von dem Strahlenteiler des Mikroskops. Diese Signale sind um 90° gegeneinander phasenverschoben. Die Signale werden zu dem Differentialverstärker 14 geleitet. Ein Potentiometer R 1 wird zum Abgleichen der Detektorausgangsströme verwendet. Der Differentialverstärker erzeugt ein Differentialsignal an seinem Ausgang mit einem Verstärkungsfaktor von etwa 1 und bewirkt gleichfalls eine Impedanz-Transformation.
  • Das Signal wird an den Eingang einer bekannten Schmitt-Triggerschaltung 20 gelegt, die von der Transistoren Q 1 und Q 2 gebildet wird. Der Schwellenwert dieser Triggerschaltung wird etwa auf 0 Volt eingestellt. Das Signal wird auch über das Potentiometer R 7 an die Transistoren Q 7 und Q 8 gelegt, die eine Schmitt-Trigger-Rauschsperrschaltung 21 bilden. Die Schaltungen sind so ausgelegt, daß der Transistor Q 1 nicht in den leitenden Zustand kommt, bis der Kollektor von Q 8 negativ wird und das Torsignal G erzeugt. Dies erfolgt, um die Erzeugung des Steuerimpulses E durch die Schaltung 20 in Abwesenheit von aus dem Differentialverstärker kommenden Signalen mit der Wellenform D zu vermeiden. Die Geräuschunterdrückung wird ebenfalls durch Einstellen der Schwellenwerte der Transistoren Q 7 bis Q 8 auf einen höheren Wert als die Schwellenwerte der Transistoren Q 1 bis Q 2 bewirkt.
  • Der Ausgangstriggerimpuls E liegt an Q 4 über eine Differenzierungsschaltung C 3 und R 16, wodurch die Wellenform X erhalten wird. Der Transistor O_ 4 ist bis zu Sättigung vorgespannt und deshalb schaltet die positive Wellenform, die aus der Differenzierung des Triggerimpulses E resultiert, diesen Transistor Q 4 ab und erzeugt einen negativen Impuls Y. Die vordere Flanke dieses Impulses soll mit dem Null-Durch-P Einstellung C ri.' -spunkt des des Eingangssignals Potentiometers zusammenfallen. R 13 bewirkt diese Die Stellung ebenso wie die Einstellung des Nullstellpotentiometers R 1. Der Widerstand R 27 der Schmitt-Trigger-Rauschsperrschaltung 21 wird so eingestellt, daß Q 1 während des richtigen Teils des Zyklus leitfähig wird.
  • Der Ausgang des Transistors Q 4 liegt an den Stufen Q 5 und Q 6. Q 5 bildet die Torschaltung 24 nach F i g. 1 und ist mit der »Rücksetz«-Ausgangsklemme J 6 über die Stufe Q 13 verbunden.
  • Die Stufen Q 10 und Q 11 bilden ein übliches Flip-Flop entsprechen dem Block 25 nach F i g. 1. Die Stufe Q 11 unterdrückt den Rücksetzausgangsimpuls, wenn sie bis zur Sättigung vorgespannt ist. Dies erfolgt jedoch nur, wenn die »Ablese«-Impulse an der Ausgangsklemme J 7 durch den Transistor Q 6 er- zeugt werden, der den Impulsformer 23 nach F i g. 1 bildet.
  • Die positive Flanke der bei Q 4 auftretenden Welle -haltet den Transistor Q 10 ab. Dadurch wird der Transistor Q 11 gesättigt, so daß die Erzeugung eines Rücksetzimpulses verhindert wird, wenn die nächste Linie von dem photoelektrischen Mikroskop nach dieser Erfindung abgetastet wird.
  • Ein Druckknopfschalter 27 ermöglicht, wenn er geschlossen wird, einen Rücksetzsteuerimpuls-Ausgang an der Klemme J 6, der verwendet werden kann, um einen vorbestimmten Arbeitsvorgang einzuleiten.
  • Wenn sich der Schalter 30 in der »Ablese«-Stellung befindet, ist die Rücksetzsteuerschaltung 25 geerdet und es treten nur »Ablese«-Impulse auf.
  • Die an die Erzeugung des Triggerimpulses anschließenden Steuerschaltungen können entsprechend dem jeweiligen Verwendungszweck variiert werden.
  • Die Schmitt-Triggerschaltung ist auf den S. 208 und 210 des US-Department of the Army Technical Manual, TM 11-690, veröffentlicht 1959, beschrieben.

Claims (1)

  1. Patentanspruch: Photoelektrische Abtasteinrichtung zur genauen Bestimmung von reflektierenden, auf einer bewegbaren, durch eine Strahlungsquelle beaufschlagten Oberfläche angeordneten Linien mit dem reflektierten Strahl in zwei Teile aufteilende und dadurch eine erste und eine zweite zeitlich unterschiedliche Signal-Komponente erzeugende Einrichtungen, mit jeweils einem für jede Signal-Komponente vorgesehenen, photoelektrischen Detektor und einem den Detektoren nachgeschalteten, die beiden Signale vergleichenden und ein Ausgangssignal erzeugenden Differentialverstärker und eine das Ausgangssignal des Differentialverstärkers verwertende elektrische Schaltungsanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung eines einheitlichen Ausgangssignals mit einem Nulldurchgangspunkt die beiden Signalkomponenten um 90° phasenverschoben auf den Differentialverstärker (14) geschaltet sind und daß die nachgeschaltete elektrische Anordnung mehrere zum Zeitpunkt des Null-Durchgangs des Ausgangssignals eine zur Erzeugung eines Steuerimpulses ausreichende Vorspannung aufzeigende Steuerelemente Q 1, Q 2, Q 4. Q 5 aufweist und daß zur Unterdrückung des Steuerimpulses bei fehlendem Ausgangssignal des Differenzverstärkers (14) weitere Steuerelemente (Q 7, Q 8, R 27) vorgesehen sind.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0144698A1 (de) * 1983-11-07 1985-06-19 Hoechst Celanese Corporation Verstellbare Extrusionsdüse und Verfahren zu deren Anwendung

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DE1069413B (de) * 1957-03-07 1959-11-19 International Standard Electric Corporation, New York, N. Y. (V.StA.) Verfahren zur Abtastung von optisch abfühlbaren Informationen und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
FR1213598A (fr) * 1958-09-09 1960-04-01 Levallois Optique Et Prec Appareil photo-électrique pour la vérification ou la commande de positions
DE1155846B (de) * 1955-04-29 1963-10-17 Herbert Lindner Fa Vorrichtung zum Einstellen von Messstrecken durch Begrenzen der Verstellbewegung desSchlittens an Werkzeugmaschinen, beispielsweise Koordinatenbohrmaschinen
DE1198911B (de) * 1960-10-10 1965-08-19 Stewart Warner Corp Folgeregler zur Nachfuehrung eines Werkzeugs laengs einer auf einer Schablone befindlichen Kurvenbahn

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