DE1759198U

DE1759198U - Vorrichtung zur beruehrungsfreien ermittlung der masse eines gegenstandes.

Info

Publication number: DE1759198U
Application number: DE1957Z0005041
Authority: DE
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 1957-11-09
Filing date: 1957-11-09
Publication date: 1958-01-02

Description

Vorrichtung zur berührungsfreien Ermittlung der Maße eines Gegenstandes Die vorliegende Neuerung betrifft eine Vorrichtung zur berührungsfreien Ermittlung der Maße eines Gegenstandes.
Sie findet Anwendung für Meßzwecke aller Art sowie zur automatischen Steuerung von Maschinen, beispielsweise Werkzeugmaschinen.
Die bekannten Feintaster zur Ermittlung der Maße eines Gegenstandes verwenden einen auf dem Gegenstand aufliegenden Fühltaster. Die Bewegung dieses Fühltasters wird dabei über mechanische Mittel auf eine Anzeigevorrichtung übertragen. Die Verwendung von mechanischen Mitteln bringt jedoch den Nachteil mit sich, daß durch sie die Genauigkeit der Messung leidet.
Es ist auch schon ein Feintaster bekanntgeworden, bei dem ein mechanischer Fühlhebel den zur Abbildung einer Meümarke auf eine Skala dienenden Abbildungsstrahlenag durch Verschiebung von planen Spiegelflächen beeinfluß. ein derartiger Taster hat jedoch den Nachteil, daß sein mechanischer Fühlhebel gewissen Abnützungserschoinungen unterworfen ist, welche insbesondere bei einer Anwendung des Tasters zur laufenden Messung allnählieh ins Gewicht fallen. Beispielsweise kann ein solcher taster ohne zusätzliche Steuerungseinrichtungen auch nicht verwendet werden, wenn es sich darum handelt, die Maße von Werkstücken, die durch einen Zwischenraum getrennt sind, laufend festzustellen.
Alle diese Nachteile werden bei der Vorrichtung nach der vorliegenden Neuerung vermieden.
Bei dieser Vorrichtung findet Licht als Tastglied Verwendung, so daß keine Abnutzungserscheinungen auftreten.
Darüber hinaus ist diese Vorrichtung einfach im Aufbau und erlaubt äußerst genaue Messungen.
Die Vorrichtung nach der Neuerung besteht aus einer Abbildungseinrichtung zur Abbildung mindestens einer Marke

ai, f der Oberfläche eines Eichmaßes bzw. des zu meo*ondtn

Gegenstandes sowie aus einer auf diese Oberfläche eingestellten Beobachtungseinrichtung. Diese Beobachtungseinrichtugn dient zur Beobachtung dieses Markenbildes und enthält ein zur Fixierung des Ortes des Markenbilden dienendes Element. Ein solches Element kann beispiel8-weise, bei rein optischer Betrachtung, aus einer im Okuls teil der Beobachtungseinrichtung angeordneten Hilfsmarke bestehen.

Zur Messung wird zunächst eine Marke auf die Oberfläche eines Eichmaßes abgebildet und mittels der auf diene Oberfläche eingestellten Beobachtungseinrichtung beobachtete Zugleich wird der Ort des beobachteten Markenbildes

(Dichbildes) fixiert. Nach Ersatz des Eichmaßes durch den

zu messenden Gegenstand wird das nunmehr beobachtete Mark. n-

bild zu dem Bichbild in Beziehung gesetzt. Dieser eigent

liehe Meßvorgang kann in einer rein optischen Feststellung

der gegenseitigen Lae des Marken-und des Eichbildes bestehen. Es ist jedoch vorteilhaft, den empfindlicheren Nullabgleich zu wählen und die Abbildungs- und Beobachtungseinrichtung oder Teile dieser Einrichtungen so lange zu verschieben, bis das Markenbild am Ort des Eichbildes erscheint. Dabei ist durch diese Verschiebung das zu ermittelnde Maß des Gegenstandes festgelegt.

Zu diesem Zweck wird in der Bildebene der Beobachtungeinrichtend eine Vorrichtung angeordnet, die bei einer Verschiebung des Markenbildes gegenüber dem Eichbild das Licht auf mindestens einen entsprechend angeordneten photoelektrischen Empfänger fallen läßt. Fällt das Licht auf diesen Empfänger, so erzeugt er einen Strom, der nach entsprechender Verstärkung zu einer Nachsteuerung des gesagten Gerätes in der Weise dienen kann, daß nach erfolgter Nachsteuerung das Markenbild wieder am Ort des Eichbildes erscheint. Durch den Betrag um den die entsprechenden Teile des Gerätes verschoben werden ist das festzustellende Maß des Gegenstandes festgelegt. Zur Messung dieser Verschiebung selbst können elektrische, elektronische, mechanische oder optische Mittel oder entsprechende Kombinationen dieser Mittel Verwendung finden.

Eine Verschiebung des Markenbildes zum Ort des Eichbildea kann dabei durch eine Verschiebung des gesamten Gerätes nach der Hohe erreicht werden. Es ist auch möglich und in manchen Fälen vorteilhaft, die Objektive oder entsprechende Teile der Objektive der abbildungs- und der

neobaclrtlUlGseinriohtung zu verschieben. Ferner kann e.

zwecl@@ßäßig sein, im Strahlengang der Abbildungs- und der Beobacht@ngseinrichtung angeordnete optische Elemente zu

verschränken oder in der Bildebene der Beobachtungsein-

richtn angeordnete photoelektrische Empfänger zu ver-

schieben Es ist auch möglich, die beobachtungseinriohtung

parallel nit sich selbst nach der Seite zu verschieben

oder die Auflage des Werkstückes zu verstellen.

Die Vorrichtung nach der Neuerung wird vorteilhaft für

die laufende Messung von Werkstücken, beispielsweise

laufende Dickenmessung verwendet. Es ist ebenso zweck-

mäßig, die Vorrichtung zur Steuerung von Werkzeugma-

schien z vewenden wobei die Vorrichtung an der je-

weiligen @aschine angebracht wird. Mit Vorteil kann die neue Vorrichtung auch zur Serienkontrolle und Sortierung von workstücken verwendet werden.

Die Hcucrm wird im folgenden an Hand der Ausführung8-

beispiele darstellenden Figuren 1 bis 4 näher erläutert.

Dabei zeigen: Yiß. 1 eine Vorrichtung nach der Neuerung, bei welcher das festzustellende Maß eines Gegenstandes durch automat tische Verschiebung von in der Beobachtungseinrichtung angeordneten Photozellen erreicht wird ;

Fi< 2 ein geändertes AusfUhrungsbeispiel, bei welchem

die cssng durch Verschwenken von im Strahlengang an-

geordneten planparallelen Platten vorgenommen wird ;

Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel, das zur Bestimmung von Grenzmaöen dient und ohne Nachsteuerung arbeitet ; Fig. 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel.
In Fig. 1 ist mit 1 eine Lichtquelle bezeichnete welche über eine Linse 2 zur Beleuchtung eines Spaltes 3 dient.

Dieser Spalt 3 wird mittels eines, durch die Glieder 4 und 5 angedeutetes Objektiv auf die Oberfläche eines Werk-

stückes 6 abgebildet. Auf diese Oberfläche ist eine Be-

obachtungseinrichtung 24 eingestellt. Die Beobachtunga-

einrichtung 24 enthält ein durch die Glieder 7 und 8 angedeutetes Objektiv, welches zur Beobachtung des Markenbildes dient. Die Photzellen 9 und 10 sind nebeneinander in der Bildebene der Beobachtungseinrichtung 24 angeordnot, und zwar in der Art, daß zwischen ihnen ein Spalt 11 entsteht. Die Photozellenwiderstände sind mit 12 und 13 bezeichnet. Die an ihnen abfallende Spannung wird gegeneinandergeschaltet und einem Verstärker 14 zugeführt. Da es vorteilhaft ist, einen Wechselstromverstärker zu verwenden, wird in dem hier dargestellten Beispiel mit Wechsellicht gearbeitet, was durch entsprechende Ausbildung der Lichtquelle 1 oder Anordnung einer Schwingblende im Strahlengang möglich ist. Die vom Verstärker 14 geliefette Spannung wird einem Motor 15 zugeführt, welcher dazu dient, über ein Getriebe 16 eine Platte 17 zu be-

wegen, auf welcher die Photozellen 9 und 10 angeordnet

sind. it der Platte 17 ist eine Glasskaia 18 verbunden,

welche über ein Beleuchtungssystem 19 beleuc-tet wird.

EinProjektionssystem 20 dient zur Projektion des jeweils

erleuchteten Ausschnittes der Glasskala 18 auf eine Matt-

21.

Soll nit deu in Figur 1 dargestellten Gerät eine Messung

fährt werden, so wird zunächst das Werkstück 6 durch

ein Sichmaß ersetzt. Die Oberfläche des Eichmaßes « el matt

22 bczsichnet Daraufhin wird das gesamte Gerät in dar

so lange verschoben, bis das beobachtete Bild des

Spaltes 3 mit dem in der Bildebene der Beobachtung » in,."

riehtims 24 angeordneten Spalt 11 zusammenfällt. Auf der

Mattscheibe 21 wird dann der für die Messung gültige Aus-

ancuert angezeigt. Wird nun das Eichmaß durch ein Werkstück

6 ersetzt, dessen Oberfläche mit 23 bezeichnet ist. so entst@ht das Bild des Spaltes 3 auf der Oberfläche 23. Da diese Oberfläche tiefer liegt als die Oberfläche 22 des Eichmaßes, erscheint das Bild des Spaltes 3 vom Betrachter aus

eschen nach links verschoben. Dadurch erhält die Photozelle

10 strom, die am Widerstand 13 abfallende Spannung überniect die am Widerstand 12 abfallende Spannung und die Differenz dieser Werte wird im Verstärker 14 verstärkt.

Der otor 15 erhält Spannung und verschiebt über das Getriobe 16 die Platte 17 so lange, bis das Bild des Spalte 3 mit dem Spalt 11 zusammenfällt. Das Maß dieser Verschiebung

uird af der Mattscheibe 21 angezeigte wobei nach entaprahm

der @ichung der Teilung der Glasplatte 18 direkt das Mal des Werkstückes 6 abgelesen werden kann.
Es ist möglich, daß bei einer verhältnismäßig großen

Apertur der Abbildung-rund der Beobachtungaeinrichtung

bei einer Verschiebung der Werkstück-Oberfläche gegen-

über der Oberfläche des Eichmaßes neben der seitlichen Versetzung des Markenbildes zugleich eine Verbreiterung und gewisse Unschärfe des Markenbildes hervorgerufen wird.

Dieser effekt ist jedoch ohne Belange da die dargestellt te Einrichtung stets auf den Schwerpunkt des Spaltbildes einstellt. Durch die Geeneinanderschaltung der Photozellen 9 und 10 wird erreicht, daß gleiche auf die Photosellen @allende Lichtströme nicht zu einer Verschieb bung der Platte 17 Anlaß geben* Die in Figur 1 dargestellte Vorrichtung kann vorteilhaft zur laufenden Dickenmessung verwendet werden. Es ist jedoch auch möglich, das Gerät an einer Werkzeugmaschine anzubringen und diese Maschine entsprechend den verschieden nen Stellungen der Platte 17 zu schalten. Dazu ist es nur noch notwendige die Platte 17 mit einem Kontaktgeber zu versehen. Ebenso ist es möglich, die Vorrichtung zur Serienkontrolle und zur Sortierung von Werkstücken zu verwenden. Verbindet man beispielsweise die Platte 17 mit eines. Kontaktgeber, so wird bei einer Sortierung Ton Werk-

stUcen der der jeweiligen Dicke des Werktückeß ent-

sprechende Kontakt geschlossen und Werkstücke kennen auf diese Art beispielsweise in verschiedene, verschiedenen Toleranzgyenzen entsprechende Behälter einsortiert werden.

In Stelle der in ? ig. 1 dargestellten kontinuierlichen

Nachstellung des Gerätes über den Verstärker 14"and den

1- otor 15 kann die nordnung auch so getroffen werden, daß

der 1-Iotor 15 Qit konstanter Spannung beaufschlagt wird,

...

wobei an Stelle des Verstärkers 14 ein Relais zum An-und Abschalten dieser Spannung vorgesehen ist.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Vorrichtung ist der Wien-

kiel zwischen der Werkstücknormalen und der optischen Achse

der Abbildungs-* und Beobachtungaeinrichtung gleich groß

gewählt. Es ist jedoch prinzipiell möglich, diese Winkel

a ! : ch verschieden groß zu machen. Ferner ist es möglich,

einen anderen als den dargestellten Winkel zu wählen. insbesondere da die Empf@ndlichkeit des Gerätes steigt, je gestreckter die @nordnung von abbildungs- und Beobachtungseinrichtung wird. In manchen Fällen kann es auch vorteilhaft sein, die Objektive der Abbildungs-und der Beobachtung-

eiurichtng zusammenzufassen d. h., also nur ein gemein-

sames Objektiv zn verwenden Bei der in Figur 2 dargestellten Vorrichtung ist im Strahlengang dor Abbildungs- und Beobachtungseinrichtung jeweile eine verschwenkbare planparallele Platte 35 bzw. 34 angeordnet. Wird in diesem Fall ein Bichmaß, dessen Oberfläche nit 22 bezeichnet ist, durch das Werkstück 6, dessen Obe. flache mit 23 bezeichnet ist, ersetzt, so erhält über ein Teilungsprisma 25 und eine Linse 26 eine Photozelle 29 Licht. Dadurch entsteht am Eingang des Verstär-

kers 30 eine Spannung, und der Motor 31 beginnt zu laufen.

Mittols dieses Motors 31 werden über Getriebe 32 und 33 die planparallelen Platten 34 und 35 so verschwenkt, da8 das Jild des Spaltes 3 genau an der Stelle des Eichbildes, lodiglich nach unter verschoben erscheint. Ist dieser Zustand erreicht, so fällt über das Teilungsprisma 25 und

die su ( ; oordnetcn Linsen 26 und 27 eine gleiche Lichtmenge

af die Photozellen 23 und 29, und der Motor 31 kommt zum

23 rnd 299

DI, 1 Platten 34 und 35 können auch durch

aiicr" : cjinete optische Elemente ersetzt werden.

rotor 5 eine Spindel 36 in der Art gekoppelte

den hai Drohung des Llotors ein Schreibstift 37 verschoben

wird. Dieser Schreibstift 37 zeichnet auf einer rotieren-

clcii 38 eine der Verschwenkung der planplatten 34

d 5 entsvrechende Kurve auf. Trägt die Trommel 38 eine

O eclxende ieilu ss Rs durch die Stellung des

Stiftes 3 ? direkt das Uaß des Werkstückes 6 abgelesen

uoron,

D it ebenso möglich, mit dem otor 31 eine Vorrichtung

s I : ocln) die bei Drehvn des Llotors eine elektriBohe

-ilie sich dad-c-rch ergebende Spannung

in. der Brnckondia. g'onalen ist wiederum ein Maß des Werk-

stcos 6. Jbenso ist es mögliche mit dem Motor 31 andere.

; iCal 73 (t ; O {: ? 1eR rO E he e eSeR : 1 ; r1SChe f mechnn1 xehe

c sich bekannte elektronische, elektrische mechanische

oder optische Anzeigevorrichtungen, beispielsweise ein

zu koppeln.

Dia in FiC-2 darßeotellte Vorrichtung kann wiederum zur

lfoudenickenmessuns, zum Anba an Werkzeugmaschinen

oder uur Serienontrolle und Sortierung von Werkstücken

finden.

In Fig. 3 ist ein anderes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung nach der Neuerung dargestellt, welche besonders vorteilhaft zur Serienkontrolle und Sortierung von Werkstucken oder zur Steuerung von Werkzeugmaschinen Verwendun finden kanm Bei der hier dargestellten Vorrichtung wird ein Bild des Spaltes 3 auf der mit 41 bezeichneten Oberfläche eines Werkstückes 40 abgebildet. Im Strahlengang des Beobachtungsteilea ist eine Teilungsplatte 44 angeordnet, mittels welcher ein Teil des Lichtes auf einen Projektionssehirm 45 geworfen wird. Dieser Schirm trägt eine Teilung, und es kann so das jeweilige Maß des Werkstückes 40 abgelesen werden. Das die Teilungsplatte 44 durchdringende Licht fällt auf einen in der Bildebene angeordneten Doppelspalt 46t 47. Hinter den Spalten 46 und 47 eind zwei Photozellen 48 und 49 angeordnet.
Wird die in Fig. 3 dargestellte Vorrichtung zur Steuerung einer Werkzeugmaschine verwendete die zur Abtragung von

Material dient, so ist die Photozelle 48 mit einem Kontakt

verbunden der zum Abschalten des Grobbearbeitungeteiles

der Maschine und zum Anschalten des Feinbearbeitungsteiles dient. Sobald also vom Werkstück 40 genügend Material abgetragen ist und die mit 42 bezeichnete Oberfläche erreicht wird, fällt auf die Photozelle 48 Licht und es wird über den Kontakt der Grobbearbeitungsteil der Maschine abgeschaltat. Mittels des Feinbearbeitungsteiles der Maschine wird nun weiterhin so lange Material abgetragen, bis die mit 43 bezeichnete Sollfläche erreicht ist. Ist dies der Fall, so fällt durch den Spalt 47 Licht auf die Photozelle 49 und über einen von dieser Photozelle gesteuerten Kontakt wird die Maschine abgeschaltet. Durch Verändern des Abstandes der beiden Spalte 46 und 47 und damit der Photozellen 48 und 49 kann der Abstand zwischen den beiden Oberflächen 42. und 43 gewählt werden. Es ist möglich, den Doppelspat 47 beispielsweise durch einen Mehrfachspalt zu ersetzen und auf diese Art die Werkzeugmaschine in mehreren Stufen zu steuern.
Die dargestellte Vorrichtung findet beispielsweise vorteilhaft Anwendung bei Flächenschleifmaschinen. Bei solchen Maschienen sind auf einer rotierenden Scheibe mehrere Werkstücke angeordnet, die von einer radial bewegten Schleif-Scheibe bearbeitet werden. Das Gerät ist nun auf eine bestimmte Stelle der Scheibe eingestellt und schaltet die Maschine entsprechend dem festgestellten Maß der Werkstücke.
Die Abstände zwischen den einzelnen Werkstücken spielen dabei keine Rolle, denn weder die Photozelle 48 noch die Photozelle 49 erhält Licht, wenn eine solche Stelle angemessen wird.
In FLG. 4 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Vorrichtung nach der Neuerung dargestellt, bei welchem die gesamte Steuerung des Gerätes über eine Photozelle vorgenommen wird. Die Beobachtungseinrichtung enthält in diesem Pall die Spiegel 50, 51 und 52 zur Aufteilung des Lichtes, die Linsen 53 und 54 zur Erzeugung eines Bildes der Oberfläche des Werkstückes 6, eine Wechsellichtblende 55 zur abwechselnden Freigabe der beiden Lichtwege und die Spiegel 56, 57 und 58 zur Wiedervereinigung des Lichtes.
Wandert in dem hier dargestellten Fall das Bild des Spaltes' seitlich aus, so ist die Lichtmenge in den beiden Lichtwegen verschieden groß und in der Photozelle 49 wird ein Wechselstrom erzeugt. Dieser Wechselstrom ist in seiner Amplitude und Phase abhängig von dem Verhältnis der Lichtmenge in beiden Lichte Er kann deshalb zur Steuerung eines Nachlaufmotors verwendet werden.
Dieser, hier nicht dargestellte Nachlaufmotor kann, ebenso wie in Figur 2 dargestellt, im Strahlengang angeordnete optische Elemente verschwenken oder verschieben, er kann jedoch ebenso zur Verschiebung des gesamten Gerätes nach der Höhe dienen.
Ist ein Abgleich erreicht, d.h., fällt das Bild des Spaltes 3 mit dem Eichbild zusammen, so liefert die Photozelle 59 einen Gleiche strom und der Nachstellmotor kommt zum Stillstand.
Es ist ebenso möglich, mit der in Fig. 4 dargestellten Vorrichtung die Objektive der Abbildungs- und Beobachtungseinrichtung zu verschieben. Bei geeigneter optischer Ausbildung dieser Objektive genügt es auch, zur Verschiebung des Spaltbildee einzelne Teile dieser Objektive gegenüber den Restgliedern zu verschieben. Ebenso ist es möglich, in der Beobachtungseinrichtung eine

Verschiebung des Spaltbildes dadurch zu erreichen, daß die Be-

Obachtungseinrichtung parallel mit sich selbst nach der Seite verschoben wird.
In der Beobachtungseinrichtung kann auch ein an sich bekanntes Doppelbildokular verwendet werden. Dieses Okular erzeugt zwei Spaltbilder, die sich bei einer Verschiebung des Gerätes oder bei einer Verstellung von Abgleichelementen, beispielsweise

planparallelen latteiiy gegenläufig bewegen* Zu Beginn

der Hessung wird in diesem Fall das Gerät so eingestellt, daß in Okular nur ein einziges Bild sichtbar ist. Wird nun das Eichmaß durch das Werkstück ersetzt, so entstehen im Okular zwei Bilder, wenn das Werkstückmaß nicht mit dem

Eichmaß übereinstimmt. Die Abgleichelemente werden nun so

lange beuegt, bis die beiden Teilbilder wieder zusammenfallen. Diese Bewegung kann entweder von Hand oder automatisch über photoelektrische Empfänger vorgenommen werden, und

dient zur Festlegung des Verkstückmaßes.

Claims

Schutzansprüche 1. Vorrichtung zur berührungsfreien Ermittlung der Maße eines Gegenstandes, gekennzeichnet durch eine Abbildungeinrichtung zur Abbildung mindestens einer Marke auf die Oberfläche eines Eichmaßes bzw. des zu messenden Gegenstandes sowie durch eine auf diese Oberfläche eingestellte, urBeobachtung dieses Markenbildes dienende, und ein zur Fixierung des Ortes des Markenbildes dienendes Element ent- haltende,Bobachtungseinrichtung.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beobachtungseinrichtung ein zur Aufteilung des Strahlonganges in zwei einen Winkel mit der optischen Achse bildende Strahlengänge dienendes optisches Element enthält, wobei in jedem dieser Strahlengänge ein photoelektrischer Empfänger angeordnet ist und die Empfänger gegeneinander geschaltet sind, und daß ein vom Photostrom erregter, zur Verschiebung des Markenbildes durch Verstellung geeigneter optischer Elemente dienender Motor vorgesehen ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichent, daß die Beobachtungseinrichtung zur Aufspaltung und Wiedervereinigung des Lichtes dienende optische Elemente enthält, zwischen denen eine die beiden Lichtwege abwechselnd freigebende Blende und hinter denen am Ort der Wiedervereinigung der Lichtwege eine Photozelle angeordnet ist, und daß ein von Photostrom erregter, zur Verschiebung des Markenbilden durch Verstellung geeigneter optischer Elemente dienender Llotor vorgesehen ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3e dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlengang der Abbildungs und Beobach- tungseinrichtun verschwenkbare planparallele Platten angeardv net sind, und daß zur Verschwenkung dieser Platten ein mit dem vom Photostrom erregten Motor gekoppeltes Getriebe TOr- gesehenist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennseicimet, daß der vom Photostrom erregte Motor mit einem Getriebe gekoppelt ist, das zur gemeinsamen Verschiebung der abbildung-und Beobachtungseinrichtung nach der Hohe dient.

6. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der vom Photostrom erregte Motor mit einem Getriebe gekoppelt ist, das zur gemeinsamen Verschiebung der Objektive oder zugeordneten Teile der Objektive der Abbildungs- und der Beobachtungseinrichtung dient.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beobachtungseinrichtung einen in der Bildebene angeordneten und quer zur optischen Achse verschiebbaren Spalt enthalt, zu dessen beiden Seiten jeweils ein ausanmen mit dem Spalt verschiebbarer photoelektrischer Empfänger angeordnet ist, wobei diese Empfänger gegeneinander geschaltet sind, und daß ein vom Photostrom erregter und zur seitlichen Verschiebung des Spaltes dienender Motor vorgesehen ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 2 bis 71 dadurch gekennzeichnet, daß der vom Photostrom erregte Motor mit einer Anzeigevorrichtung zur laufenden Anzeige des gemessenen Wertes gekoppelt ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dcobachtungseinrichtung einen in der optischen Achse am Ort des Stehbildes angeordneten Spalt sowie mindestens einen seitlich davon angeordneten weiteren Spalt enthält und daß hinter jeden Spalt ein jeweil zum Schließen eines Kontaktes dienender photoelektrischer Empfänger angeordnet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch die Anwendung zur Steuerung einer Werkzeugmaschine, wobei der seitlich von der optischen Achse angeordnete photo- Empfänger zum Ausschalten des Grobbearbeitungt-i-. oittcis und Einschalten des Feinbearbeitungsmittels und der andere Empfänger zum Ausschalten des Feinbearbeitungen mittelsdiente 11. Vorrichtung nach Anspruch 1. und einem oder mehreren derfolgenden, gekennzeichnet durch die Anwendung zur

Serienkontrolle und Sortierung von Werkstücken, wobei eine von der Beobachtungseinrichtung gesteuerte Vorrichtung zur Anzeige einer festgelegten Toleranzgrenze vorgesehen let.

12. Vorrichtung nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der folgenden, gekennzeichnet durch die Anwendung zur laufenden Messung von werkstücken, wobei eine von der Be- o7 ; tt ric. ng gesteuerte registrierende Anzeige- vorrichia.beicielsweise ein Zifferndruckwerk zur R. <- istrierunc der jeweiligen Werkstückmaße vorge » hen ist.