DE1673223C - Verfahren und Vorrichtung zum Tren nen von Ionen mit verschiedenem Verhalt ms Ladung/Masse - Google Patents

Description

If₁

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» ^Resonanzbedingungen nachgewiesen auch der zweite Teil mit einem elektrostatischen

Sinfchfmrt"°^{rgegangen wird}-^bra"cht der Ionen- Feld parallel zum elektrostatischen Feld im ersten

derTn Rel™ S^emesse"- zu werden, um den Anteil Tei! beaufschlagt und ist insbesondere das elektro-

vielmehr kfnn ^f ^gf^{ommenen Ione}* zu bestimmen, statische Feld im zweiten Teil gleich dem im ersten vielmehr kann eine Ionenstrommessung unter anderen 5 Teil.

stromauEier^I!T^geT^inieu^{Werdeilundeinioiien}- ^{Wenn zum} Nachweis der Resonanz das elektro-

^nZrHnIf !,!■ Γ T^ⁿ^^reC^^enden Gesichtspunkten statische Feld im zweiten Bereich moduliert werden

HefvnrH™. · °^{aruber hmaus ist} der Nachweis soll, wird gemäß einer speziellen Ausbildung eines

Zh hfthlrfr α ^ef',^{ner Resonan}zbedingung mit wesent- erfindungsgemäßen Spektrometers an die Gleich- »UHimZ ^Aufl°^sunS ^und Empfindlichkeit möglich io spannungsquelle zur Erzeugung des elektrostatischen

Sekomrnenfrln^{2 auf Grund} '^{m Resonanz Feldes} ™ zweiten Teil ein Rechteckgenerator zur

DaT erfinH„noⁿ" -n w ru Modulation der Gleichspannung und damit der FeId-

DdS erfindungsgemaße Verfahren zum Trennen stärke angeschlossen.

Masse ^nV"¹'¹ ^"'^f™"¹ Verhältnis Ladung- Zur Messung der Energieentnahme aus dem HF-tVurh!nCm .Magnetfeld mit überlagerten elek- 15 Feld zum Nachweis des Vorliegen der Resonanzenih£ Ί« ' ^{deS dad}'^ireh gekennzeichnet, bedingung wird bei dieser Ausführungsform des Qta7;«rh™ χ/" "If ^e'"^em f^sten Bereich mit einem erfindungsgemäßen Massenspektrometer ein phasensehenden ΪΓ und einem senkrecht darauf empfindlicher Detektor vorgesehen, der einerseits mTr It ^eleKl^ro,^st3t'^schen Feld beaufschlagt werden mit dem Rechteckgenerator und andererseits mit m!f7i«» r '^r . ^ng ,^{S!e S!ch mit} cncr konstanten *o einem Oszillator mit lastabhängigem Pegel verbunden £?h\Z h ^¹L*!!! ⁸ u^{Öt m einer Richiun}g ^senk- ist und dessen Ausgang mit einer Anzeige für die £hn κ κ ^F*^dem}*n&^ wobei sie Zykloiden- Energieentnahme aus dem HF-FeId verbunden ist. rannen oeschreiben, daß sie nach einer gewissen Im einfachsten Falle ist die Anzeige für die Energie-Lautzeit in einen zweiten Bereich gelangen, ir. dem entnahme aus dem HF-Feld ein Meßgerät für den !LuU,,. ^emp^ ^el^^ktnschen HF-FeId parallel zum 25 vom Oszillator abgegebenen Pegel, dessen Anzeige siaiiscnen t-eio" des ersten Bereichs beaufschlagt über die Lastkennlinie des Oszillators in Energiewerden, unter dessen Einfluß sich die Amplitude entnahme umgerechnet werden kann
!wvirl w α ^bf ?^enandert' ^und daß sie auf Grund Abweichend von bekannten Massenspektrometern ρ1ΐ!ΐ Γ⁶¹"· ^AmP^{Iitude dur}ch ihre auf Grund der Zyklotron-Resonanz kann der äußere Resonanzbed.ngungen identifiziert werden. 30 Aufbau eines erfindungsgemäßen Massenspekiro- ^ZuITn-Ι"™ ^elekt_^r'^schen HF-Feld kann im meters sehr einfach gehalten werden, es brauchen zweiten bereich ein annähernd elektrostatisches Feld in der Kammer nämlich nur eine Anzahl plattenvornanaen sein, das beispielsweise durch die Raum- förmiger Elektroden untergebracht sein, und zwar laaung, die durch die Ionen selbst hervorgerufen drei einen an den Schmalseiten und oben offenen wird erzeugt werden kann. Eine bessere Trennung 35 Kasten bildende Elektroden und zwei den Kasten der ionen wird jedoch erreicht, wenn auch im zweiten abdeckende Elektroden, die die beiden Teile der Bereich ein elektrostatisches Feld parallel zum elektro- Kammer definieren und von denen wenigstens die statischen held im ersten Bereich herrscht, und ins- den eine lonisierungseinrichtung enthaltenden Teil besondere wenn dieses elektrostatische Feld im definierende gegenüber der den Kastenboden bilzweiten Bereich gleich dem elektrostatischen Feld 40 denden vorgespannt ist.

^im _Tf ^st^^{n B}|^reie^{h Ist}· _L Die Erfindung soll in der Zeichnung an Hand

um aas Spektrum zu überstreichen, in dem Reso- eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden,

nanzen vorkommen können, wird auch beim erfin- Es zeigt

dungsgemäßen Verfahren das HF-FeId, das Magnet- F i g. 1 ein Blockschaltbild eines Spektrometers

reld oder werden beide einem Sweep unterworfen. 45 zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

^um Nachweis der Resonanz können verschiedene F i g. 2 eine schematische, teilweise geschnittene

verfahren angewandt werden, als besonders zweck- perspektivische Ansicht der Elektroden eines erfin-

maUig hat sich ein Modulationsverfahren erwiesen, dungsgemäßen Spektrometers und

z.B. eine Modulation des elektrostatischen Feldes F ig. 3 schematisch den Verlauf einer lonenbahn

im zweiten Bereich. _5o \_{n e}j_nem erfindungsgemäßen Spektrometer.

Das Vorliegen der Resonanzbedingung selbst wird Das in F i g. 1 dargestellte Massenspektrometer IO

gemäß einer speziellen Ausbildung der Erfindung weist eine evakuierbare Kammer U auf, die eine

ιιΐΐ ι ,^ess"ⁿ8 ^der Energieentnahme aus dem längliche Struktur 12 enthält, in der die Ionisierung

π· Ία™^{0 hgewiesen}· und die anschließende Analyse durchgeführt werden,

hin Massenspektrometer zur Durchführung des 55 Die Kammer Il wird vor Beginn einer Messung

erfindungsgemäßen Verfahrens besteht, wie das be- evakuiert, und sobald ein Vakuum von 10 ⁸ bis 10 ⁹

kannte Omegatron-Massenspektrometer, aus einer Torr erreicht worden ist, wird eine zu analysierende

eyakuierbaren, von Elektroden begrenzten und von Gasprobe durch einen Einlaß 20 in die Vakuum-

einem statischen Magnetfeld durchsetzten Karrimer; pumpe eingelassen, bis ein Druck im Bereich von

in Abweichung von dem bekannten Massenspektro- 60 10 'Torr erreicht worden ist. In einem Teil dor

meter besteht diese Kammer jedoch aus zwei in Fort- Anordnung 12 werden durch Elektronenstoß-Ioni-

bewegungsrichtung der Ionen hintereinander auge- sation der Moleküle der zu untersuchenden Gasprobe

ordneten Teilen, von denen der erste mit einem elektro- Ionen erzeugt. Dazu wird ein Elektronenstrom durch

statischen Feld senkrecht zum Magnetfeld beauf- den Ionisierbereich geschickt und schließlich in einem

schlagt ist und die Ionenquelle enthält und der zweite 65 Elcktronenauffänger oder Kollektor aufgenommen,

mit einem zum elektrostatischen Feld im ersten Teil Der Elektronenstrom wird mit einer Regelung 21

parallelen elektrischen HF-FeId beaufschlagt ist. Aus überwacht, so daß die Elektronenemission und damit

den schon erwähnten Überlegungen ist vorzugsweise der loncnstrom stabilisiert wird.

Wenn ein schwaches elektrisches Feld in (—j)-Rich- anderer Impulsgenerator verwendet wird, der mit der tung (F i g. 3) mittels einer Gleichspannungsquelle 22 Gleichspannungsquelle 22 verbunden wird und weiter angelegt wird, wandern Ionen zunächst in Rieh- mit dem Analysierbereich in Verbindung steht. Im tung -\-y: Durch die kombinierte Wirkung eines Resonanzfall ist das Signal eine amplitudenmodulierte elektrostatischen Feldes von der Gleichspannungs- 5 Hochfrequenz vom Oszillator 24. Dieses Signal wird quelle 22 und eines Magnetfeldes in (—z)-Richtung überwacht, wie bei 15 (F i g. 3) angedeutet, und bei von Magnetpolen 23 laufen die Ionen dabei längs 29 verstärkt und kann entweder auf einem Oszillo-Zykloidenbahnen mit konstanter mittlerer Geschwin- graphenschirm 30 beobachtet oder einem phasendigkeit in Richtung+λ; eine solche Bahn 13 ist empfindlichen Detektor 31 zugeführt werden. In in F i g. 3 dargestellt. io diesem wird das Signal mit der Rechteckschwingung

Wenn in einem zweiten Bereich mittels eines verglichen, und an den Schreiber 27 wird eine AusOszillators 24 mit lastabhängigem Pegel ein elek- gangsspannung geliefert, die proportional der Abtrisches Wechselfeld erzeugt wird, nehmen in Reso- sorption in Phase mit der ursprünglich an die Gleichnanz kommende Ionen, d. h. Ionen, deren Verhältnis Spannungsquelle gelieferten Modulation ist.
Masse zu Ladung im allgemeinen der Gleichung 15 In F i g. 2 ist die Anordnung 12 dargestellt, die genügt: aus einer Anzahl Elektroden besteht, die in der

Kammer 11 untergebracht sind. Diese Elektroden

= sind um eine Achse herum angeordnet und bilden

»1 B einen ersten Bereich 32 und einen zweiten Bereich 33,

j_n ^er 20 die beide in Richtung der jc-Achse hintereinander

liegen. Die Anordnung 12 ist ein Kasten mit recht-

e = Ladung des Ions, eckigem Querschnitt und besteht aus einer ersten

m = Masse des Ions, Platte 34, die eine Seite bildet, einer zweiten Platte 35

ω = Frequenz des Schwingungsfeldes und _und einer dritten Platte 36, die zusammen die zweite

B = die Stärke des magnetischen Querfeldes sind, _a5 Seite bilden, einer vierten Platte 37, die die dritte

Seite bildet, und einer fünften Platte 38, die die vierte

Energie vom elektrischen Wechselfeld auf und werden Seite bildet. In einer typischen Ausführungsform sind dadurch veranlaßt, die Amplitude der Zykloidenbahn aile diese Platten aus einem unmagnetischen Metall zu vergrößern, wie bei 14 dargestellt. Die von den hergestellt, beispielsweise aus Molybdän oder rhodiumin Resonanz befindlichen Ionen aufgenommene Netto- 30 plattiertem Berylliumkupfer. Die Platten 34, 37 und Energie kann in einer geeigneten Schaltung fest- 38 sind 128,5 mm lang, die Platten 34 und 37 sind gestellt werden, und zwar ohne die in Resonanz 36,80 mm breit, die Platte 38 ist 24,15 mm breit, und gekommenen Ionen aufzufangen. Nicht in Resonanz die Platten 35 und 36 sind 63,5 mm lang und 24,15 mm kommende Ionen laufen auf Zykloidenbahnen, deren breit. Die Platten sind mittels nicht dargestellter Amplituden in sich wiederholenden Zyklen bis zu 35 isolierender Tragstiele räumlich fest im Abstand einem Maximalwert anwachsen und auf Null zurück- voneinander in der Kammer 11 gehaltert. Ersichtlich fallen usw., bis sie schließlich durch den zweiten ist längs der jc-Achse ein erster Bereich 32 vorBereich hindurchgelaufen sind und aufgefangen wer- gesehen, der durch die Platte 35 und einen Teil der den. Die Anzahl von so aufgefangenen nicht in Platten 34, 37 und 38 definiert ist, und ein zweiter Resonanz kommenden Ionen kann in einer geeig- 40 Bereich 33, der durch die Platte 36 und Teile der neten Meßschaltung 25 überwacht werden, in der Platten 34, 37 und 38 definiert ist.
bei fehlender Resonanz der gesamte lonenstrom Eine Elektronenquelle mit einem Glühfaden 39,

überwacht werden kann. gewöhnlich aus Rhenium und üblicherweise auf

Ionen von unterschiedlichem Verhältnis Masse zu —50 Volt, ist innerhalb des Gefäßes 11 untergebracht Ladung können mit dem elektrischer. Wechselfeld 45 und entläßt einen Elektronenstrom von etwa 2 Mikrodadurch in Resonanz gebracht werden, daß die ampere in (—z)-Richtung parallel zum Magnetfeld; Frequenz des Wechselfeldes oder die Stärke des dieser Strahl läuft durch eine öffnung von etwa Magnetfeldes, oder beides, einem Sweep unterworfen 1 mm in der Platte 34, die ihrerseits auf 0 bis +1 Volt werden. Wie dargestellt, ist ein Regler 26 zur Rege- liegt, durch Bereich 32, eine öffnung von etwa 1,5 mm lung des Magnetfeldes vorgesehen, der bei fester 50 Durchmesser in Platte 37, die auf 0 bis +1VoIt Frequenz ω einen linearen Verlauf der Abhängigkeit liegt, bis zu einer Platte 40, von der die Elektronen des Verhältnisses Masse zu Ladung von der Feld- aufgefangen werden. Die Platte 40 wird üblicherweise stärke liefert; wenn dazu ein x-.y-Schreiber 27 ver- auf +10 bis 2OVoIt liegen, um Sekundärelektronen wendet wird, ergibt sich eine lineare Skala für das aufzufangen, die beim Aufprallen von Primärelek-Verhältnis Masse zu Ladung in Abhängigkeit von 55 tronen emittiert werden. Die Gesamtgasdurchlässigder Schreibstiftstellung, keit der Zwischenräume zwischen den Elektroden-

Wie bereits erwähnt, wird die erforderliche Wechsel- platten, aus denen die Anordnung 12 besteht, und spannung vom Oszillator 24 geliefei t, und wenn der öffnungen darin ist genügend hoch, so daß in Resonanzabsorption im Analysierbereich stattfindet, das Gefäß oder die Kammer 11 eingelassene Gasergibt sich eine Änderung des Schwingungspegels 60 moleküle frei in das Innere der Anordnung 12 hinein des Oszillators auf Grund seiner Lastabhängigkeit. diffundieren können. Wenn der Elektronenstrahl Um diese kleinen Änderungen festzustellen, wird durch den Bereich 32 hindurcHäuft, wird ein Teil ein Modulationsverfahren angewandt. Es sind sowohl der Gasmoleküle ionisiert, die in den Bereich 32 eine Modulation des Magnetfeldes, der Frequenz, eingedrungen sind. Selbstverständlich können Gasdes Elektronenstroms und der Elektronenspannung 65 moleküle auf verschiedene andere Weise in den mit Erfolg verwendet worden. Wie dargestellt, wird Bereich 32 eingelassen und ionisiert werdpn ais nur eine Modulation der Elektrodenspannungen dadurch in der dargestellten Weise,
herbeigeführt, daß ein Rechteckgenerator 28 oder ein 7wischen der Platte 35 und der geerdeten Platte 38

liegt eine Gleichspannung im Bereich von 0 bis H-1 Volt, so daß ein statisches elektrisches Feld in (— ;>)-Richtung im Bereich 32 hervorgerufen wird, das quer zur jc-Achse und quer zum Magnetfeld in (—z)-Richtung zwischen den Polen 23 gerichtet ist. In gleicher Weise liegt eine statische Spannung von üblicherweise 0 bis +1VoIt zwischen Platte 36 und Platte 38 über einen Widerstand 41, typischerweise 10⁷ Ohm, durch den innerhalb des Bereichs 33 ein statisches elektrisches Feld in (— jO-Richtung erzeugt wird, das quer zur *-Achse und zum Magnetfeld in (— z)-Richtung zwischen den Polen 23 liegt. Die kombinierte Wirkung der magnetischen und statischen Felder sorgt dafür, daß im Bereich gebildete Ionen unabhängig von ihrem Verhältnis Masse zu Ladung sich in einer Zykloidenbahn 13 (F i g. 3) kleiner Amplitude im Vergleich zu den Abmessungen der Anordnung 12 mit einer konstanten Geschwindigkeit von typischerweise 100 bis 500 cm/sec in +Α-Richtung längs der x-Achse bewegen, so daß sie vom Bereich 32 in den Bereich 33 wandern. Durch Umkehrung des statischen elektrischen Feldes und des Magnetfeldes kann dafür gesorgt werden, daß sich auch negative Ionen in ähnlicher Weise verhalten.

Eine HF-Spannung von typischerweise 100 Millivolt liegt zwischen der Platte 36 und Erde durch einen Kondensator 42, üblicherweise 50 Picofarad, wodurch ein elektrisches Schwiugungsfeld im Bereich 33 erzeugt wird, das quer zu den magnetischen Kraftlinien und zur x-Achse liegt. Wenn Ionen durch den Bereich 33 wandern, nehmen mit dem Wechselfeld in Resonanz befindliche Ionen Energie hiervon auf und verfolgen eine Zykloiden-Bahn 14 mit wachsender Amplitude. Der Nettobetrag der von den in Resonanz befindlichen Ionen absorbierten Energie wird überwacht und in der beschriebenen Weise verstärkt. Der Kondensator 42 führt zu einem abgestimmten Kreis hoher Impedanz und bildet zusammen mit der Kapazität der Anordnung 12 und dem abgestimmten Kreis den frequenzbestimmenden Teil des lastabhängigeii Oszillators 24.

Die meisten in Resonanz befindlichen Ionen werden schließlich an den Platten 34, 36, 37 und 38 entladen.

ίο In Gegenwart des Wechselfeldes wird ein großer Teil der nicht in Resonanz befindlichen Ionen auf Grund der kombinierten Wirkung der magnetischen und statischen Felder durch den Bereich 33 hindurchwandern und wird schließlich an einem Auffänger 43 entladen. Der Auffänger 43 und eine Verlängerung 44 der Platte 36 bilden eine öffnung, durch die nicht in Resonanz befindliche Ionen vor der Entladung auf Auffänger 43 hindurchtreten. Die Platte 44 ist normalerweise elektrisch mit der Platte 36 verbunden.

ίο Die auf dem Auffänger entladenen Ionen können in einer Schaltung 25 überwacht werden, durch die eine Anzeige für den Gesamt-Ionenstrom und damit den Gesamtdruck geliefert wird. Wo eine etwas größere Genauigkeit erforderlich ist, kann die Rich-

a5 tung des Magnetfeldes um 180° umgekehrt werden, und im Bereich 32 gebildete Ionen werden in ( — .v'i-Richtung gelenkt und an einem ähnlichen Auffänger 45 entladen, der den wechselfeldfreien ersten Bereich 32 begrenzt, nachdem sie durch eine öffnung

zwischen der Elektrode 45 und einer der Platte 44 ähnlichen Platte 46 hindurchgetreten sind. Zusätzlich kann ein Auffänger in den Bereich 32 hineinragen. Statt dessen kann der lonisierbereich der Anordnung 12 offengelassen werden, um Experimente unter

Verwendung von Lichutrahlen durchführen zu können

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1 2

Gleichspannungsquclle zur Erzeugung des elektro-

Patentanspriiche: statischen Feldes im zweiten Teil ein Rechteckgenerator zur Modulation der Gleichspannung

1. Verfahren zum Trennen von Ionen mit ver- und damit der Feldstärke angeschlossen ist. schiedenem Verhältnis Ladung—Masse in eintm 5 11. Massenspektrometer nach Anspruch 10 zur Magnetfeld mit überlagerten elektrischen Feldern, Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Io- dadurch gekennzeichnet, daß ein phasenempfindnen in einem ersten Bereich mit einem statischen licher Detektor vorgesehen ist, der einerseits mit Magnetfeid und einem senkrecht darauf stehenden dem Rechteckgenerator und andererseits mit einem elektrostatischen Feld beaufschlagt werden, unter io Oszillator mit lastabhängigem Pegel verbunden deren Wirkung sie sich mit einer konstanten mitt- ist und dessen Ausgang mit einer Anzeige für leren Geschwindigkeit in einer Richtung senkrecht . die Energieentnahme aus dem HF-Feld verbunzu beiden Feldern bewegen, wobei sift Zykloiden- den ist.

bahnen beschreiben, daß sie nach einer gewissen 12. Massenspektrometer nach einem der An-

Laufzeit in einen zweiten Bereich gelangen, in 15 Sprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß in

dem sie mit einem elektrischen HF-Feld parallel der Kammer eine Anzahl plattenförmiger Elek-

zum statischen Feld des 'ersten Bereichs beauf- troden untergebracht ist, und zwar drei einen an

schlagt werden, unter dessen Einfluß sich die den Schmalseiten und oben offenen Kasten bil-

Ampütude ihrer Zykloidenbahnen ändert, und dende Elektroden und zwei den Kasten ab-

daß sie auf Grund der Verschiedenheit dieser 20 deckende Elektroden, die die beiden Teile der

Amplitude durch ihre Resonanzbedingungen iden- Kammer definieren und von denen wenigstens

tifiziert werden. die den eine Ionisierungseinrichtung enthaltenden

2. Verfahren nach Anspruch I, dadurch gekenn- Teil definierende gegenüber der den Kastenboden zeichnet, daß auch im zweiten Bereich ein elektro- bildenden vorgespannt ist.

statisches Feld parallel zum elektrostatischen Feld 25
im ersten Bereich herrscht.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekenn-

zeichnet, daß das elektrostatische Feld im zweiten

Bereich gleich dem elektrostatischen Feld im

ersten Bereich ist. 30 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trennen

4. Verfahrennach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch von Ionen mit verschiedenem Verhältnis Ladunggekennzeichnet, daß das HF-FeId, das Magnet- Masse in einem Magnetfeld mit überlagerten elekfeld oder beide einem Sweep unterworfen werden. frischen Feldern und eine Vorrichtung zur Durch-

5. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch führung dieses Verfahrens.

gekennzeichnet, daß zum Nachweis der Resonanz 35 Bei einem bekannten Verfahren werden erzeugte

ein Modulationsverfahren angewandt wird, z. B. Ionen durch Blenden in geladenen Platten beschleu-

eine Modulation des elektrostatischen Feldes im nigt und in einen Raum geleitet, in dem sie einem

zweiten Bereich. statischen Magnetfeld und einem elektrischen Schwin-

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gungsfeld ausgesetzt werden. Unter dem EinfluD dadurch gekennzeichnet, daß das Vorliegen der 40 dieser beiden Felder beschreiben die Ionen einen Resonanzbedingung durch Messung der Energie- Spiralweg zum Zentrum des Bereiches, wo ein Aufenf"ahme aus dem HF-FeId nachgewiesen wird. fänger für die ionen angeordnet ist. Der dadurch

7. Massenspektrometer zur Durchführung des im Auffänger entstehende lonenstrom wird angezeigl Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bzw. aufgezeichnet.

bestehend aus einer evakuierbaren, von Elektroden 45 Der Auffänger wird bei diesem bekannten Verbegrenzten und von einem statischen Magnetfeld fahren nur von Ionen erreicht, die mit dem elekdurchsetzten Kammer, dadurch gekennzeichnet, trischen Schwingungsfeld in Resonanz gekommer daß die Kammer aus zwei in Fortbewegungs- sind. Andere Ionen erreichen den Auffänger nicht richtung der Ionen hintereinander angeordneten Das Massenspektrum einer zu analysierenden Probt Teilen besteht, von denen der erste mit einem 50 kann bei diesem bekannten Verfahren dadurch erfaß elektrostatischen Feld senkrecht zum Magnetfeld werden, daß die Frequenz des Schwingungsfelde! beaufschlagt ist und die Ionenquelle enthält und und/oder die Stärke des Magnetfeldes einem Sweef der zweite mit einem zum elektrostatischen Feld unterworfen wird, so daß nacheinander Ionen mi im ersten Teil parallelen elektrischen HF-Fe¹Id unterschiedlichem Verhältnis Masse zu Ladung mi beaufschlagt ist. 55 dem elektrischen Schwingungsfeld in Resonanz kom

8. Massenspektrometer nach Anspruch 7 zur men.

Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2, Bei diesem bekannten Verfahren können jedocl

dadurch gekennzeichnet, daß auch der zweite einige Ionen den Auffänger erreichen, auch wenn si<

Teil mit einem elektrostatischen Feld parallel nicht mit dem elektrischen Schwingungsfeld in Reso

zum elektrostatischen Feld im ersten Teil bcauf- 60 nanz sind, und damit das Meßergebnis verfälschen

schlagt ist. vor allem aber ist es nicht möglich, jeweils dei

•λ Massenspektrometer nach Anspruch 8 zur gesamten lonenstrom zu messen.

Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 3, Durch die Erfindung soll deshalb ein Verfahrei

dadurch gekennzeichnet, daß das elektrostatische der eingangs genannten Art verfügbar gemach

Feld im /weiten Teil gleich dem im ersten Teil ist. 65 werden, bei dem diese Nachteile nicht auftreten, un<

10. Massenspektrometer nach Anspruch 7, 8 das wird prinzipiell dadurch erreicht, daß nich

(idcr 9 zur Durchführung des Verfahrens nach unmittelbar der durch die in Resonanz gekommenei

Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß an die Ionen im Auffänger erzeugte Strom, sondern da