DE1648821C3 - - Google Patents

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DE1648821C3
DE1648821C3 DE19511648821 DE1648821A DE1648821C3 DE 1648821 C3 DE1648821 C3 DE 1648821C3 DE 19511648821 DE19511648821 DE 19511648821 DE 1648821 A DE1648821 A DE 1648821A DE 1648821 C3 DE1648821 C3 DE 1648821C3
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DE19511648821
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DE1648821B2 (OSRAM
Inventor
Jochen Dr. 5810 Witte Franzen
Klaus-Dieter Dr. 6101 Seeheim Schuy
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Varian Mat GmbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H01J49/18—Ion sources; Ion guns using spark ionisation

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
DE19511648821 1951-01-28 1951-01-28 Vorrichtung zur Ionenerzeugung aus Niederspannungsentladungen im Vakuum aus einem Impulsgeber Granted DE1648821A1 (de)

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DE1648821B2 DE1648821B2 (OSRAM) 1973-09-20
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