DE1623299A1 - Photoelektrisches Mikroskop - Google Patents

Description

eb ^g· ^{den 15}· ^{Juni 1967}

DR. A. EITEL

E. CZOWALLA 1623299

85 Nürnberg, Königstr. 1

• SQCIETE GENEVOISE D'IFSTRUMEUTS DE PHYSIQUE

Genf (Schweiz).

Photoelektrisches Mikroskop

Die Genauigkeit der bestehenden photoelektrischen Mikroskope, welche ein schwingendes Organ zum Beispiel in der Form eines Verschlusses oder einer Ablenkplatte umfassen, hängt in letzter Stelle stark von der Konstanz der Amplitude der Schwingung dieses schwingenden Organs und von derSjpnetrie dieser Schwingung gegenüber einer Bezugsachse ab.

BAD ORlGiNAL

009 8*8 4/0484

Bis heute haben die Konstrukteure solcher photoelektrischer Mikroskope versucht, die Abweichungen der Amplitude· und der Schwingungssymmetrie des schwingenden Organs zu vermindern, indem sie den Bau dieses schwingenden Organs und seiner Antriebsvorrichtung verfeinerten. Diese konstruktiven Massnahmen gestatten immerhin nicht diese Abweichungen der. Amplitude und der Symmetrie der Schwingung des schwingenden Organs in ausreichender Weise für die Verwirklichung von photoelektrischen. Mikroskopen mit sehr hoher Präzision zu beseitigen.

Gegenstand vorliegender Erfindung ist ein photoelektrisches Mikroskop, welches unter anderem ein mit Hilfe einer Betätigungsvorrichtung in eine periodische Schwingung um eine zentrierte Bezugsstellung angetriebenes schwingendes Organ umfasst, welches den oben genannten Nachteilen abzuhelfen sucht, dadurch, dass es einen Servomechanismus der Betätigungsvorrichtung des schwingenden Organs umfasst, welcher eine Auffindevor-"· richtung besitzt, die in Abhängigkeit von dem augenblicklichen· Schwingungszustand des schwingenden Organs ein elektrisches Signal liefert, sowie eine von diesem elektrischen Signal gespeiste Steuervorrichtung und der einerseits ein erstes Fehlersignal betreffend der Schwingungsamplitude des schwingenden Organs und ein zweites Fehlersignal betreffend der Schwingungssymmetrie dieses schwingenden Organs gegenüber der genannten Bezugsstellung liefert und dadurch, dass diese beiden Fehlersignale die Arbeitsbedingungen der Betätigungsvorrichtung, des schwingenden Organs in der Weise ändern, um jede Abweichung der Amplitude u"nd der Symmetrie der Schwingung des schwingenden Organs gegenüber seinem normalen Schwingungszustand zu korrigieren. ■ .

009884/0464

■Beiliegende Zeichnung zeigt schematisch und beispielsweise zwei Ausführungsformen des erfindungsgemässen piezoelektrischen Mikroskops.

Pig. 1 ist ein Schema einer ersten Ausführungsform des photoelektrischen Mikroskops in Perspektive.

Pig. 2 ist ein Schema einer zweiten Ausführungsform des photoelektrischen Mikroskops in Perspektive.

Pig. 3 ist ein Blockschema des elektronischen Teils des Servomechanismus.

Pig. 4 zeigt bei normaler Arbeitsweise, a die Schwingbewegung der Ablenkplatte, b das von der Auffindevorrichtung nach Pormbildung gelieferte elektrische Signal, c_ das Signal der bistabilen Kippschaltung des Regelkreises für die Amplitude und ά das Signal der bistabilen Kippschaltung des Regel- * kreises für die Symmetrie.

Pig. 5 und 6 sind derjenigen der Pig. 4 ähnliche Darstellungen, aber für eine Veränderung der Amplitude, beziehungsweise für eine Asymmetrie der Schwingungsart der Ablenkplatte gegenüber ihrer normalen Art.

Pig. 7 ist eine Grundschaltung eines Verteilers von

100 Hz.

Pig. 8 ist eine Grundschaltung eines Kreislaufs mit

veränderlicher Verstärkung. -

Pig. 9 ist eine Grundschaltung für einen Verteiler von 50 Hz.

Pig. 10 ist eine teilweise Grundschaltung einer Abänderung der Ausführung.

Das gezeigte photoelektrische Mikroskop umfasst wie die bestehenden photoelektrischen Mikroskope eine optische Visiervorrichtung, eine schwingende Ablenkplatte, welche die op-

. tische Achse dieser Visiervorrichtung, periodisch diesseits und

009884/0464'

' ._ , . ' , . SA0-ORIGINAL

jenseits einer zentrierten Stellung in Schwingung versetzt, sowie eine photoelektrische Zelle, welche das von der Oberfläche eines eingeteilten Prazisionsmessstabes reflektierte Licht auffängt und eine elektronische Messvorrichtung speist.

Die optische Visiervorrichtung umfasst namentlich eine Lichtquelle 1, Linsengläser 2, eine einen feinen Spalt 4 aufweisende Maske 3, einen durch einen halbdurchlässigen Spiegel und ein gegenüber dem anvisierten Messstab 7 angeordnetes Objektiv 6 gebildeten Separator 5· Die reflektierten, ■ von den durch den halbdurchlässigen Spiegel 5 einfallenden Strahlen getrennten Strahlen werden auf eine photoelektrische Zelle 8 geleitet, welche die nicht gezeigte elektronische Messvorrichtung speist.

Die Ablenkplatte 9 wird durch eine planparallele Glasplatte gebildet und durch eine Betätigungsvorrichtung in eine periodische Schwingung um eine mittlere Winkelstellung angetrieben.

Solche photoelektrische Mikroskope sind wohl bekannt und zum Beispiel in der deutschen Patentschrift Nr. 844.076 und in der Patentanmeldung Nr. S67 784 lX/42b beschrieben.

Vorliegendes Patent hat einen Servomechanismus sowohl für die Amplitude, wie für die'Symmetrie" der Schwingung der Ablenkplatte gegenüber der Mittelstellung zum Gegenstand, um die Präzision des photoelektrischen Mikroskopes zu erhöhen.

Der Servomechanismus umfasst eine Auffindevorrichtung A und eine Steuervorrichtung B.

Die erste, in Pig. 1 gezeigte Ausführungsform umfasst eine optische Auffindevorrichtung A, welche eine Lichtquelle 11 und einen Kondensor 12 besitzt, der ein Bündel paralleler

009884/0464

Strahlen bildet, .welche auf eine zwei Spalten 14,15 aufweisende Maske 13 fallen. Die Lichtbündel 16,17 werden durch eine Linse 18 konzentriert und durch einen mit der Ablenkplatte 9 kraftschlü'ssig verbundenen Spiegel 19 reflektiert, und- welcher somit eine periodische, mit dieser Ablenkplatte streng identische Schwingung durchführt, wobei die Lichtbündel 16,17 auf. eine, nur einen Spalt 21 aufweisende Maske 20 zurückgeworfen werden. Eine photoelektrische Zelle 22 ist hinter diesem Spalt 21 angebracht und fängt die Lichtbü'ndel 16,17 auf, wenn diese durch den Spalt 21 durchgehen-

Diese Auffindevorrichtung ist derart eingestellt, dass wenn die Schwenkbewegung der Ablenkplatte normal ist, das heisst, dass sie eine V/inkelbewögung hin und her von bestimmter.'.Amplitude X gegenüber der mittleren Bezugsstellung symmetrisch ausführt, die photoelektrische Zelle 22 für jeden Zyklus der Ablenkplatte das heisst des Spiegels 19» vier elektrische Impulse aussendet, welche sich in zeitlich vollkommen konstanten und gleichen Abständen folgen. Man kann zeigen, dass es dafür erforderlich ist, dass die geometrische Entfernung zwischen den Lichtbündels 16,17 gleich -r^mal der Amplitude X der Schwingung der Ablenkplatte ist. Ausserdem muss die Maske 20 derart angebracht sein, dass der Spalt 21 genau in der Mitte zwischen den Lichtbündeln 16,17 gelegen ist, wenn die Ablenkplatte und somit der Spiegel 19 sich in der mittleren Bezugsstellung be-, findet. Es ist zu bemerken, dass diese Einstellung ein für al- '■ Ie &ale in der Werkstatt ausgeführt werden kann und dass sie sehr genau sein kann.

9884/0464

Die Arbeitsweise der Auffindevorrieiitung A ist die

folgende (Fig.3).

Bei der Schwingung, der Ablenkplatte 9 wird der Spiegel 19 in eine identische Schwingung angetrieben, da er mit dieser Ablenkplatte kraftschlüssig verbunden ist. Dieser Spiegel 19 schwingt periodisch und bewirkt eine Abtastebewegung der Bündel 16 und 17 auf der Maske 20, welche von der stark punktierten gezeigten Stellung (16,17) bis zu der mit gemischten, feinen Strichen (16·17') gezeigten reicht.

Während diesem Abtasten durchqueren die beiden Lichtbündel 16,17 den Spalt 21 der Maske 20, sodass die photoelektrische Zelle 22 für einen vollkommenen Zyklus, welcher einer Hin- und Herbewegung des Abtastens entspricht, vier Impulse aussendet.

Die Steuervorrichtung B umfasst einen Vorverstärker 23» welcher die von der photoelektrischen Zelle 22 gelieferten Impulse verstärkt. Diese verstärkten Impulse werden dann in 24 durch eine Differenzierstufe, gefolgt von einem Schmitt-Trigger und einer Verstärkerstufe in Form gebracht. Man erhält in dieser Weise am Ausgang der Stufe 24 für das Infonabringen, für jeden von der photoelektrischen Zelle 22 gelieferten Impuls einen rechteckigen Impuls von kurzer Dauer b (Pig.4), dessen vordere Flanke der Spitze des durch die photoelektrische Zelle 22 gebildeten Impuls entspricht.

Die Impulse b werden mit Hilfe eines Verteilers 25 (Fig.7) abwechselnd auf die beiden Eintritte einer bistabilen Kippschaltung 26 des Hegelkreises der Amplitude geleifet. Jeder Impuls b bewirkt den Wechsel des Zustandes der bistabilen Kippschaltung 26* Das Signal £ dieser bistabilen Kippschaltung des

009884/0464

Regelkreises der Amplitude wird an ein L-G Filter 27 geliefert-,. welches die stetige Komponente des Signals dieser bistabilen Kippschaltung 26 herauszunehmen gestattet. Die.Gleichstromspannung va des Signals dieser bistabilen Kippschaltung 26, welche bei normaler Arbeitsweise der Ablenkplatte null ist, wird durch einen Gleichstromverstärker 28 verstärkt und einem Stromkreis mit veränderlicher Verstärkung 29 (Pig.8) geliefert, wel^ eher einen'Leistungsverstärker A₁ speist.

Die Diode D₁ dieses Stromkreises mit veränderlicher Verstärkung ist eine Zenerdiode mit einer logarithmischen Kennlinie. Ihr dynamischer Widerstand ändert sich in Abhängigkeit von der auf seine Klemmen gelieferten Spannung.

• Diese Diode ist an den Emitter des Transistors T₁ geschaltet und ist somit ein Bestandteil .der Rückführung.

Durch Aendern der Vorspannung an der Basis von T₁, ändert man auch die Spannung an den Klemmen der Dioden,'was folglich den Wert der Rückführung wechselt.

Aus diesem Grunde wechselt die Wechselstromverstärkung von T₁ und der Wert der <V'echselstromspannung ist eine Punktion der Gleichstromspannung Va.

Dieser Stromkreis mit veränderlicher Verstärkung 29 wird durch eine Wechselstromquelle R gespeist und speist die Betätigungsvorrichtung 10 der Ablenkplatte durch Vermittlung des leistangsverstärkers A₁. Diese verstärkte Gleichstromspannung Va •bildet somit das Pehlersignal der Amplitude, welches durch Aenderung der Leistungsverstärkung eine Aenderung der Schwingungsamplitude der Ablenkplatte 9 und damit des Spiegels 19 bewirkt.

009884 /0464 ^{BAD ÖRmml}

Die Arbeitsweise dieses Amplitudenregelkreises ist die folgende:

■ Sobald sich die Schwingungsamplitude der Ablenkplatte ändert, das heisst von seiner normalen Amplitude abweicht, zum Beispiel zunimmt (Fig.5), folgen sich die Impulse der photoelektrischen Zelle 22 und damit die Impulse b nicht mehr in konstanten zeitlichen Intervallen. Deshalb ist das von der Kippschaltung gelieferte Signal £ nicht mehr symmetrisch und weist eine positive Gleicnstromkomponente va auf, wenn eine Vergrösserung der Amplitude vorliegt, und eine negative, wenn eine Verminderung der Schwingungsamplitude der Ablenkplatte gegenüber seiner normalen Amplitude X vorliegt. Diese Gleichstromspannung va liefert nach Verstärkung das Fehlersignal Va, welches die Verstärkung des' Stromkreises 29 und damit die Amplitude des Signals ändert, das die Betätigungsvorrichtung 10 der Ablenkplatte 9 speist, sodass die Abweichung der Amplitude derselben korrigiert wird.

Die Steuervorrichtung B umfasst noch einen Regelkreis für die Symmetrie der Schwingung der Ablenkplatte gegenüber ihrer zentrierten Mittelstellung.

Dieser Regelkreis für die Symmetrie umfasst einen Verteiler 30, welcher nur die negativen Impulse £- des Ausgangs-.signals £ der bistabilen Kippschaltung 26, das heisst zum Beispiel nur die vordere Flankender rechteckigen Spannung £ an die bistabile Kippschaltung 31 liefert. Die Impulse £- werden abwechselnd mit einer Frequenz die gleich der Hälfte derjenigen iot, mit welcher der Verteiler 25 (Fig.7) wirkt, durch den Verteiler 30 (Fig.9) an die bistabile Kippscnaltung 31 geliefert. Diese

bistabile Kippschaltung 31 ist mit der bistabilen Kippschaltung

0 0 9 8 8 4 / Q A 6 4

26 identisch und liefert eine rechteckige Spannung d deren Gleichstromkomponente .vs_ null ist, wenn die Ablenkplatte gegenüber ihrer zentrierten·-Bezugsstellung in symmetrischer Weise schwingt. Diese Gleichstromkomponente vs wird dank einem Filter 32 erhalten, an welches die Signale d dieser bistabilen Kippschaltung 31 geliefert werden.

Diese Gleichstromspannung vs wird aufeinanderfolgend durch einen Vorverstärker 33, dann durch einen Leistungsverstärker 34 verstärkt, um das Symmetriefehlersignal Va zu bilden, welches die Betätigungsvorrichtung 10 der Ablenkplatte 9 steuert.

Die Arbeitsweise dieses Spmetrieregelkreises ist'die folgende:

Wenn die Schwingung der Ablenkplatte a gegenüber ihrer zentrierten Bezugsstellung (Pig.6) nicht mehr symmetrisch ist, erfolgt die Aufeinanderfolge der von der photoelektrischen Zelle 22 gelieferten Impulse nicht mehr in regelmäßigen Zeitintervallen. Immerhin wenn es sich um .einen reinen Symmetriefehler handelt und wenn man die sinusförmige Bewegung der Ablenkplatte einer Bewegung in Form einer trapezoidalen Welle angleicht, muss man bemerken, dass, obwohl das von der bistabilen Kippschaltung 26 gelieferte. Signal £ nicht mehr symmetrisch ist, ihre Gleichstromkomponente null bleibt. Ein reiner Symmetriefehler lässt somit kein Amplitüdenfehlersignal erscheinen. Dies ist wahr für eine Annäherung erster Ordnung, Gleichschaltung eines !Teiles der Sinuskurve mit einer Geraden. ^-Immerhin führt diese Annäherung in der Tat nur einen Fehler zweiter Ordnung ein, der in der Praxis vernachlässigt werden " kann wie die durchgeführten Versuche es gezeigt haben.

009884/0484 bad o

Dagegen umfasst das von der bistabilen Kippschaltung 31 gelieferte Signal eine Gleichstromkomponente vs_, welche nach Verstärkung ein Fehlersignal Vs liefert. Dieses Gleichstromfehlersignal wird mit dem Wechselstromspeisesignal der Betätigungsvorrichtung der Ablenkplatte überlagert und bewirkt eine Verschiebung der Schwingung der Ablenkplatte, um diese auf die zentrierte Ausgangstellung wieder zu zentrieren.

Es ist noch zu bemerken, dass im Falle eines reinen Amplitudenfehlers der Schwingung der Ablenkplatte die Impulse der photoelektrischen Zelle 22 derart sind, dass die die ungeraden Impulse trennenden' Intervalle gleich sind, sodass die bistabile Kippschaltung 31 ein Signal ä liefert, welches keine Gleichstromkomponente aufweist (Pig.5)· Ein reiner Amplitudenfehler gibt somit keine Veranlassung zu einem Symmetriefehlersignal..

Es ist selbstverständlich, dass wenn die Schwingung der Ablenkplatte gleichzeitig einen Ämplitudenfehler, sowie einen Symmetriefehler umfasst, der Servomechanismus gleichzeitig ein Fehlersignal für die Amplitude und ein Fehlersignal für die Symmetrie" liefert-.

Die in der Fig. 2 schematisch gezeigte zweite Ausführungsform des photoelektrischen Mikroskops unterscheidet sich von der ersten nur durch die Anordnung der Auffindevorrichtung A. In der Tat ist in dieser Ausführungsform die Lichtquelle 11 dieser Auffindevorrichtung durch das beim Durchgang der von der optischen Visiervorrichtung durch den Separator mit halbdurchlässigem Spiegel 5 einfallenden Strahlen reflektierte Licht er-•setzt. Dies stellt in der Tat eine vom ökonomischen Standpunkte, sowie vom Standpunkte der Präzision aus eine bespr.ders glück-

■ - ■ - ■

00*884/0464

liehe Lösung dar. In der Tat bringt die Bereitung der Lichtquelle 11 das Aus scnlies ε en einer immer lästigen Kalorienquelle mit sich. Eine Linse ~t>b konzentriert die durch den Separator

5 reflektierten Lichtstrahlen auf einen Spiegel 36, welcher diese auf die mit zwei Spalten ausgestattete Maske 13 zurückwirft.

Die Arbeitsweise dieser zweiten Ausführungsform ist mit derjenigen für die oben beschriebene erste identisch.

Für die gezeigte Steuervorrichtung sind Messapparate zur Anzeige des Wertes der Gleichstromkomponenten va und vs_ vorgesehen. Dies ist immerhin nicht obligatorisch.

Der Servomechanismus für das schwingende Organ ist in bezug auf eine 'genau bestimmte Art von photoelektrischem Mikroskop beschrieben worden, as ist immerhin klar, dass andere bekannte Arten von photoelektriscnirv Mikroskopen¹ mit diesem Servomechanismus ausgestattet werden Monaten, wie zum Beispiel die photoelektrischen Mikroskope mit schwingenden Fäden oder mit durciisicntig&r. Messstab. Im Falle der photoelo^trischen Mikroskope mit schwingenden Fäden würde die Winkelschwingung des Spiegels 19 zum Beispiel mit den Hin- und Herverschiebungen des schwingenden Fadens elektrisch synchronisiert sein.

Andererseits kann der Spiegel 19» in einer Abänderung durch jede andere Ablenkplatte, wie zum Beispiel eine planparallele Glasplatte ersetzt sein.

. Ferner könnte der elektroniscne Teil des Servomechanismus, namentlich die Steuervorrichtung, in verschiedener V/eise verwirklicht sein, wenn sie nur, von den Anzeigen der Auffindevorrichtung, zwei Fehlersignale liefert, das eine betreffend

8AD ORIGINAL

009884/0484

die Abweichungen der Amplitude und das andere betreffend die Abweichungen der Symmetrie der Schwingungsart des schwingenden Organs gegenüber seiner normalen Schwingungsart. Im besondern kann in einer Abänderung (Pig.10) die Mischung der Gleichstromspannungen Vs_- und der Wechselstromspannungen Va vor einem Leistungsverstärker mit. Direktkupplung A2 gemacht werden, welcher die Betätigungsvorrichtung der Ablenkplatte 10 speist.

Die beschriebene Auffindevorrichtung ist optisch, aber es ist selbstverständlich, dass die Impulsfolge b auch auf rein mechanischem und/oder elektrischem Wege, ausgehend "von der Schwingung des schwingenden Organs des photoelektrischen Mikroskops erhalten sein könnte, wobei das Resultat das gleiche wäre. -

Bezugsquellennachweise und Bibliographie:

a) Bistabile Kippschaltung (26,31) Transistor ΟίΓομίΐ Design Texas : Seite 377 fig. 28.3., Mc Graw-Hill 1963 "''^¥si

b) Schmitt Trigger (24) *"

Transistor Circuit Design Texas : Seite 382 fig. 28.11., Mc Graw-Hill 1963

c) Gleichstromverstärker (34) und kombinierter Verstärker A^A2

Electronic Engineering, Febr. 1965 : Seite 112-114 Leistungsverstärker (29)

Transistor Circuit Design Texas ; Seite 241 fig. 18.3·, Mc Graw-Hill, 1963 &Aft

009884/0464

Claims (1)

1. PATiCMlAK SiRUEGHE , . '·

   1* Photoelektrisches Mikroskop, welches μnter anderem ein mit Hilfe einer Betätigungsvorrichtung in eine periodische Schwingung um eine zentrierte Bezugsstellung angetriebenes schwingendes Organ umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass es einen Servomechanismus der Betätigungsvorrichtung (10) des schwingenden Organs besitzt, welche eine AuffindeVörriGhtung umfasst, die in Abhängigkeit von dem augenblicklichen Schwingungszustand des schwingenden Organs ein elektrisches Signal liefert, sowie eine von diesem elektrischen Signal gespeiste Steuervorrichtung und·der einerseits ein erstes Fehlersignal (c) betreffend der Schwingungsamplitude des schwingenden Organs und ein zweites Fehlersignal (d) betreffend die Schwingungssymmetrie dieses schwingenden Organs gegenüber der Bezügsstellung liefert, und dadurch, dass diese beiden Fehlersignale die Arbeitsbedingungen der Betätigungsvorrichtung (10) des sohwingenden Organs in der Weise ändern, um jede Abweichung der Amplitude und der Sym- , metrie der Schwingung des schwingenden Organs gegenüber seinem normalen Schwingungszustand zu korrigieren*

   2* Photöelektrisches Mikroskop gemäss Patentanspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass die Auffindevorrichtung eine optische Vorrichtung ist, welche eine lichtquelle (ll), Mittel zur · Urzeugung von zwei parallelen Lichtbündeln (16,17), welche '· auf eine in eine mit der Schwingung des schwingenden Organs des piezoelektrischen Mikroskops" streng identische Schwingung angetriebene Ablenkplatte (9) fallen und eine photo-

   BAD ORIGINAL

   009884/0464

   elektrische Zelle (22) umfassen, die die von dieser Ablenkplatte (9) reflektierten Lichtbündel (16,17) auffängt»

   3* Photoelektrisches Mikroskop gemä'ss Patentanspruch 2, da-' durch gekennzeichnet, dass die reflektierten Lichtbündel (16,17) die photoelektrische Zelle (22) durch den Spalt (21) einer Maske (20)" erreichen, wobei dieser Spalt (21) gegen*- / über diesen beiden reflektierten Lichtbündeln (16,17) sym-. metrisch gelegen ist, wenn sich die Ablenkplatte (9) ih ihrer zentrierten Bezugsstellung befindet. , ■

   4. Photoelektrisches Mikroskop gemä'ss Patentanspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der die beiden parallelen Lichtbündel (16,17) trennende Abstand von der Amplitude der Schwingung des schwingenden Organs des p_thotoelektrischen Mikroskops abhängt*

   5* Phötoelektrisches Mikroskop gemä'ss Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der die beiden Lichtbündel (16,17) trennende Abstand gleich 4*-^ mal der Amplitude der Schwingung des schwingenden Organs ist.

   6. Photoelektrisches Mikroskop gemä'ss Patentanspruch 2; dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkplatte (9) mit dem schwingenden Organ des photoelektrischen Mikroskops mechanisch kraftschlüssig verbunden ist*

   7. Photoelektrisches Mikroskop gemäss einem der Patentansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkplatte (9) durch.einen Spiegel (19) gebildet ist.

   8. Photoelektrisches Mikroskop gemä'ss einem der Patentansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkplatte (9) durch eine planparallele Glasplatte gebildet ist. ^

   009884/0464

   9. Photoelektrisches Mikroskop gemäss Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtquelle (11) der Auffindevorrichtung eine Aushilfslichtquelle ist.

   10. Photoelektrisches Mikroskop gemäss Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das für die Auffindevorrichtung erforderliche Licht von der optischen Visiervorrichtung des photoelektrischen Mikroskops geliefert wird.

   11. Photoelektrisches Mikroskop gemäss Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Auffindevorrichtung mechanisch und/oder elektrisch ist.

   12. Photoelektriscnes Mikroskop gemäss einem der Patentansprüche 2,3,4,5,6,9,10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Amplitudenfehlersignal (c) auf die Verstärkersteuerung eines Stromkreises, mit veränderlicher Verstärkung geliefert wird, der die Betätigungsvorrichtung (lü) des schwingenden Organs des photoelektrischen Mikroskops mit Wechselstrom speist.

   13. Pnotoelektrisches Mikroskop gemäss Patentanspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Symmetriefehlersignal (d) der Wechselstromspeisung der Betätigungsvorrichtung (10) des schwingenden Organs des photoelektrischen Mikroskops überlagert ist.

   14. Photoelektrisches Mikroskop, gemäss Patentanspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Amplituden- und Symmetriefehlersignale (c-d) erster Annäherung, voneinander unabhängig sind. "-χ. ν __

   ,,;^ - \ 8AD ORIGINAL

   00988 A/OA.6 A

   1B23299

   15. Photoelektrisehes Mikroskop gemäss einem der Patentansprüche 2,3,4,5,6,9,10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Amplitudenfehlersignal (c) einen Stromkreis (29) mit" veränderlicher Verstärkung speist, dessen Ausgang, gemischt mit dem Symmetriefehlersignal (d) an einen Leistungsverstärker (34) mit 'direkter Kupplung geliefert wird, wobei dieser Leistungsverstärker (34) die Betätigungsvorrichtung (.10) der Ablenkplatte .(9) speist.

   009884/0464

   ty

   Leerseite