DE1615448B1 - Vorrichtung zur Bearbeitung von Materialien mittels eines Elektronenstrahls - Google Patents

Vorrichtung zur Bearbeitung von Materialien mittels eines Elektronenstrahls

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DE1615448B1 DE19671615448 DE1615448A DE1615448B1 DE 1615448 B1 DE1615448 B1 DE 1615448B1 DE 19671615448 DE19671615448 DE 19671615448 DE 1615448 A DE1615448 A DE 1615448A DE 1615448 B1 DE1615448 B1 DE 1615448B1
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electron beam
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DE19671615448
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Charles Wendell Hanks
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Air Reduction Co Inc
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/301—Arrangements enabling beams to pass between regions of different pressure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3501158A1 (de) * 1985-01-16 1986-07-17 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum reinigen von schwefel- und stickstoffhaltigen rauchgasen

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE764927C (de) * 1939-02-22 1951-08-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Verdampfung im Vakuum
US3005859A (en) * 1958-04-24 1961-10-24 Nat Res Corp Production of metals
DE1140299B (de) * 1961-07-20 1962-11-29 Borsig Ag Verfahren zum kontinuierlichen Schweissen von Rohren oder aehnlichen Hohlkoerpern aus Baendern
DE1158183B (de) * 1961-06-09 1963-11-28 Philips Patentverwaltung Permanentmagnetische Fokussierungsanordnung fuer ein Hochleistungsmehrkammerklystron

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE764927C (de) * 1939-02-22 1951-08-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Verdampfung im Vakuum
US3005859A (en) * 1958-04-24 1961-10-24 Nat Res Corp Production of metals
DE1158183B (de) * 1961-06-09 1963-11-28 Philips Patentverwaltung Permanentmagnetische Fokussierungsanordnung fuer ein Hochleistungsmehrkammerklystron
DE1140299B (de) * 1961-07-20 1962-11-29 Borsig Ag Verfahren zum kontinuierlichen Schweissen von Rohren oder aehnlichen Hohlkoerpern aus Baendern

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