DE1588634B1 - Einrichtung zur Erzeugung einer der Huellprofil-Kurve einer auf Rauheit zu pruefenden Werkstueck-Oberflaeche entsprechenden elektrischen Spannung - Google Patents
Einrichtung zur Erzeugung einer der Huellprofil-Kurve einer auf Rauheit zu pruefenden Werkstueck-Oberflaeche entsprechenden elektrischen SpannungInfo
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- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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Description
Die vorliegende Zusatzpatentanmeldung bildet so-5 mit den Gegenstand des Hauptpatents für den Fall
weiter, daß das Istprofil überhöht aufgezeichnet wird und somit auf elektrischem Wege eine Hüllprofilspannung
erzeugt werden muß, die sich einer aus einzelnen Ellipsenbögen zusammengesetzten theorezur
Trennung des Welligkeits- und Rauheitsanteils der io tischen Hüllprofilkurve möglichst weitgehend annähert,
elektrischen Meßwerte zugeleitet werden, bei der ferner Ein Ausrührungsbeispiel der erfindungsgemäßen
das Tastsystem die Werkstück-Oberfläche in beiden Einrichtung ist in der Zeichnung veranschaulicht. Es
Richtungen nacheinander abtastet und hierbei jeweils zeigt
die dem Istprofil entsprechenden, nach Ausscheiden F i g. 1 ein Prinzipschaltbild der erfindungsgemäßen
der Welligkeit vorhandenen elektrischen Meßwerte 15 Einrichtung,
über eine Diode einen Kondensator auf diejenigen Fig. 2 ein etwas detaillierteres Schaltbild der erfin-
Profilspannungsspitzen aufladen, die höher als die dungsgemäßen Einrichtung.
gerade vorhandene Kondensatorspannung sind, bei Vorweg sei bemerkt, daß im folgenden lediglich die-
der weiterhin die Entladung des Kondensators in Form jenigen Teile der Gesamteinrichtung beschrieben
einer — von oben betrachtet — konvex gekrümmten 20 werden, die vom Gegenstand des Hauptpatents ab-
Spannungslinie erfolgt, die Spannungslinie beim Vorwärtslauf des Tastsystems beispielsweise auf einem
Magnetband gespeichert und die gespeicherte Spannungslinie beim Rückwärtslauf des Tastsystems zusammen
mit der bei diesem Rückwärtslauf entstehenden Spannungslinie einer Vergleichsschaltung zugeführt
wird, die in jedem Zeitpunkt nur den größeren der beiden Spannungswerte hindurchläßt, so daß am
Ausgang der Vergleichsschaltung eine dem vollständigen Hüllprofil entsprechende Spannung erscheint.
In dem vorstehend genannten Hauptpatent ist ein Verfahren sowie eine zur Durchführung dieses Verfahrens
geeignete Einrichtung beschrieben, die auf elektrischem Wege die Erzeugung einer dem Hüllprofil
entsprechenden elektrischen Spannung gestatten. Bei dem in diesem Hauptpatent beschriebenen Ausführungsbeispiel
wird das Hüllprofil aus einzelnen, etwa kreisbogenförmigen Kurvenstücken zusammengesetzt.
Nun wird in der Oberflächenmeßtechnik das Istprofil bekanntlich oft überhöht aufgezeichnet. In
diesem Fall werden die Kreisbögen (die der Definition des Hüllprofils nach dem Ε-System zugrunde liegen)
zu Ellipsen verzerrt. Man kann nun zwar diese Ellipsen näherungsweise durch ihre Scheitelkrümmungskreise
ersetzen und hiervon ausgehend das Hüllprofil für ein überhöht dargestelltes Istprofil bestimmen.
Eine derartige Lösung ist jedoch mit einem gewissen Fehler behaftet.
weichen.
Nicht gesondert erläutert werden dagegen
Nicht gesondert erläutert werden dagegen
a) die dem erfindungsgemäßen Schaltungskern vorgeschalteten Geräteteile, die eine dem Istprofil
entsprechende elektrische Spannung liefern (also insbesondere das Tastsystem mit dem elektromechanischen
Meßwertwandler sowie die Einrichtungen, durch die der Welligkeits- und Rauhheitsanteil
der elektrischen Meßwerte voneinander getrennt wird),
b) ferner diejenigen Geräteteile, die sich an den erfindungsgemäßen Schaltungskern anschließen
(und zur Speicherung der beim Vorwärtslauf des Tastsystems entstehenden Entladungsspannungslinie
sowie zum Vergleich mit der beim Rückwärtslauf entstehenden Entladungsspannungslinie
dienen).
Hinsichtlich der beiden vorstehend erwähnten Teile der Gesamteinrichtung wird auf die ausführliche Beschreibung
in dem Hauptpatent Bezug genommen.
Im folgenden wird lediglich der in den F i g. 1 und 2 dargestellte eigentliche Schaltungskern der
erfindungsgemäßen Einrichtung erläutert, der dazu dient, aus der Istprofilspannung beim Vorwärtslauf
und Rückwärtslauf des Tastsystems jeweils ein Teil-
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, 50 hüllprofil zu gewinnen, das sich aus nach rechts bzw.
die eingangs genannte Einrichtung gemäß dem Haupt- nach links von den Spitzen des Istprofils abfallenden
patent dahin weiterzuentwickeln, daß eine elektrische Parabelbögen zusammensetzt.
Hüllprofilspannung erzeugt wird, die der bei über- Die Prinzipschaltung gemäß F i g. 1 enthält einen
höhter Darstellung des Istprofils vorhandenen, sich ersten Kondensator C1, der über einen Schalter S auf
aus einzelnen Ellipsenstücken zusammensetzenden, 55 eine positive Spannung U00 aufgeladen werden kann,
theoretischen Hüllprofilkurve mit großer Genauigkeit Parallel zum Kondensator C1 liegt die Emitter-Kollekangenähert
ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß im Entladekreis des Kondensators ein Schaltungselement
mit variablem Durchlaßwiderstand vorgesehen ist, das derart gesteuert ist, daß sich der
Entladestrom zeitproportional vergrößert.
Mit einer solchen Schaltungsanordnung erhält man
— wie im einzelnen noch näher dargelegt wird — eine
elektrische Hüllprofilspannung, die sich aus einzelnen 65 ist. Wird nun an die Klemmen A, B eine Steuerspan-Parabelbögen zusammensetzt. Diese Parabelbögen nung U8 gelegt, die von Null an linear ansteigt, so
— wie im einzelnen noch näher dargelegt wird — eine
elektrische Hüllprofilspannung, die sich aus einzelnen 65 ist. Wird nun an die Klemmen A, B eine Steuerspan-Parabelbögen zusammensetzt. Diese Parabelbögen nung U8 gelegt, die von Null an linear ansteigt, so
tor-Strecke eines Transistors T10, dessen Basis über
einen Widerstand K6 an einer Steuerspannungsquelle
(Klemmen A, B) liegt.
Es sei angenommen, daß der Kondensator C1 bei
geschlossenem Schalters zunächst auf die Spannung U00 aufgeladen worden sei. Wird der Schalter S
dann geöffnet, so kann sich der Kondensator C1 so lange nicht entladen, wie der Transistor Ti0 gesperrt
stellen dabei eine wesentlich bessere Annäherung an'
die bei überhöhter Darstellung des Istprofils theorewird durch den dann fließenden Basisstrom /& der
Transistor T10 allmählich leitend.
Es sei angenommen, daß die Steuerspannung U8
zeitproportional ansteigt, also
Us — κ · τ.
{±)
Der über den Widerstand R6 der Basis des Transistors
T10 zugeführte Strom /& besitzt somit den Wert
k-t
(2)
Unter der Voraussetzung, daß für den Transistor !T10
gilt,
ic = ß-ib, (3)
und daß β eine Konstante ist, erhält man für den Kollektorstrom ie
U = ß~- (4)
Durch den Strom ic wird der Kondensator C1 entladen.
Hierfür gilt die allgemeine Entladungsgleichung
Setzt man in Gleichung (5) die Gleichung (4) ein, so erhält man
= UcJl-
C1
dt). (6)
Hieraus ergibt sich nach Durchführung der Integration
Uc = - Uc
C1-R9-I
Dies ist die Gleichung einer Parabel, die nach unten geöffnet ist, den Parameter
k-ß
C1 · R6 - 2
besitzt und deren Scheitel bei Uc0 liegt.
Durch Änderung der Größen k, C1, R6 kann die
Parabel an jede beliebige Ellipse angepaßt werden. Man kann also mit der in F i g. 1 dargestellten
Schaltungsanordnung für jede beliebige überhöhte Darstellung des Istprofils ein aus einzelnen Parabelstücken
zusammengesetztes elektrisches Hüllprofil gewinnen, das dem theoretischen (aus Ellipsenbögen
zusammengesetzten) Hüllprofil sehr gut angenähert ist.
F i g. 2 zeigt ein praktisches Ausführungsbeispiel
der in F i g. 1 dargestellten Prinzipschaltung.
Außer den bereits in der Schaltung gemäß F i g. 1 enthaltenen Elementen T10, C1 und R6 sind noch ein
weiterer Transistor T20, ein weiterer Kondensator C4
sowie zwei weitere Widerstände R7 und Rs vorgesehen.
Der Schalter S (F i g. 1) ist als Diode D ausgeführt.
Die dem Istprofil entsprechende elektrische Spannung wird an den Klemmen E und F zugeführt und
lädt den Kondensator C1 über die Diode D auf die
den Profilspitzen entsprechenden Spannungswerte auf. Solange ein solcher Ladestrom fließt und demgemäß
am Verbindungspunkt zwischen dem Kondensator C1 und dem Widerstand Rs ein Potential vorhanden ist,
ist der Transistor T20 leitend und der Transistor T10
demgemäß gesperrt.
Ist nach Aufladung des Kondensators C1 auf einen
Spitzenwert der Ladekreis stromlos, so wird der Transistor T20 gesperrt. Infolgedessen baut sich nun
am Kondensator C4 (der zuvor durch den leitenden Transistor T20 entladen worden war) linear ansteigend
die Spannung Us auf. Der Kondensator C4 ist zu
diesem Zweck an eine verhältnismäßig hohe Gleichspannung Uk angeschlossen, wobei lediglich der erste,
verhältnismäßig lineare Teil der Ladespannungskennlinie ausgenutzt wird. Diese linear ansteigende Steuerspannung
Us bewirkt dann in der an Hand von F i g. 1 erläuterten Weise die zunehmende Verringerung des
Durchlaßwiderstandes des Transistors T10. Es entsteht
infolgedessen an den Ausgangsklemmen G, H eine Spannung Uc, die parabelbogenförmig vom Spannungsscheitelwert
des Kondensators C1 abfällt.
Der gegenüber der Prinzipschaltung gemäß F i g. 1 in der detaillierten Schaltung gemäß F i g. 2 im Entladekreis
zusätzlich vorhandene Widerstand Rs ist so klein, daß er vernachlässigt werden kann. Die an
Hand von F i g. 1 abgeleiteten Gleichungen gelten infolgedessen mit einer für praktische Bedürfnisse
völlig ausreichenden Genauigkeit auch für die Schaltung gemäß F i g. 2.
Claims (3)
1. Einrichtung zur Erzeugung einer der Hüllprofil-Kurve einer auf Rauheit zu prüfenden Werkstück-Oberfläche
entsprechenden elektrischen Spannung, bei der die Werkstück-Oberfläche durch ein
entweder nach dem Trägerfrequenz-Modulationssystem oder nach dem Generatorprinzip arbeitendes
Tastsystem mit einem elektromechanischen Meßwertwandler abgetastet wird, dessen elektrische
Ausgangswerte einem Welligkeitstrenner zur Trennung des Welligkeits- und Rauheitsanteils der
elektrischen Meßwerte zugeleitet werden, bei der ferner das Tastsystem die Werkstück-Oberfläche
in beiden Richtungen nacheinander abtastet und hierbei jeweils die dem Istprofil entsprechenden,
nach Ausscheiden der Welligkeit vorhandenen elektrischen Meßwerte über eine Diode einen
Kondensator auf diejenigen Profilspannungsspitzen aufladen, die höher als die gerade vorhandene
Kondensatorspannung sind, bei der weiterhin die Entladung des Kondensators in Form einer — von
oben betrachtet — konvex gekrümmten Spannungslinie erfolgt, die Spannungslinie beim Vorwärtslauf
des Tastsystems beispielsweise auf einem Magnetband gespeichert und die gespeicherte Spannungslinie beim Rückwärtslauf des Tastsystems zusammen
mit der bei diesem Rückwärtslauf entstehenden Spannungslinie einer Vergleichsschaltung zugeführt
wird, die in jedem Zeitpunkt nur den größeren der beiden Spannungswerte hindurchläßt, so
daß am Ausgang der Vergleichsschaltung eine dem vollständigen Hüllprofil entsprechende Spannung
erscheint, nach Patent 1 269 814 dadurch gekennzeichnet, daß im Entladekreis des
Kondensators (C1) ein Schaltungselement (T10) mit
variablem Durchlaßwiderstand vorgesehen ist, das derart gesteuert ist, daß sich der Entladestrom zeitproportional
vergrößert.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schaltungselement (T10) mit
variablem Durchlaßwiderstand durch einen Transistor gebildet wird, dessen Emitter-Kollektor-Strecke
im Entladestromkreis in Reihe mit dem
Kondensator (C1) liegt und dessen Basis an eine
Steuerspannungsquelle angeschlossen ist.
3. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der Basis des
Transistors (T10) über einen Widerstand (Re) verbundene
Steuerspannungsquelle einen Kondensator (C4) enthält, der über einen Widerstand (R7)
von einer Gleichspannungsquellejaufladbar und über einen mit seiner Emitter-Kollektor-Strecke parallel
geschalteten Transistor (T20) entladbar ist, dessen
Basis an einen im Ladekreis des Kondensators
liegenden Widerstand (Ra) angeschlossen ist.
liegenden Widerstand (Ra) angeschlossen ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEP0043270 | 1967-10-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1588634B1 true DE1588634B1 (de) | 1970-01-15 |
Family
ID=7379319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19671588634D Pending DE1588634B1 (de) | 1967-10-27 | 1967-10-27 | Einrichtung zur Erzeugung einer der Huellprofil-Kurve einer auf Rauheit zu pruefenden Werkstueck-Oberflaeche entsprechenden elektrischen Spannung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
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DE (1) | DE1588634B1 (de) |
FR (1) | FR1561570A (de) |
GB (1) | GB1207597A (de) |
Families Citing this family (3)
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US5400647A (en) * | 1992-11-12 | 1995-03-28 | Digital Instruments, Inc. | Methods of operating atomic force microscopes to measure friction |
US5406832A (en) * | 1993-07-02 | 1995-04-18 | Topometrix Corporation | Synchronous sampling scanning force microscope |
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- 1967-10-27 DE DE19671588634D patent/DE1588634B1/de active Pending
-
1968
- 1968-03-28 GB GB04909/68A patent/GB1207597A/en not_active Expired
- 1968-03-28 FR FR1561570D patent/FR1561570A/fr not_active Expired
- 1968-03-29 US US717284A patent/US3557613A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1207597A (en) | 1970-10-07 |
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FR1561570A (de) | 1969-03-28 |
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