DE1539715A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes in einem Ionen-Mikroskop - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes in einem Ionen-Mikroskop

Info

Publication number
DE1539715A1
DE1539715A1 DE19661539715 DE1539715A DE1539715A1 DE 1539715 A1 DE1539715 A1 DE 1539715A1 DE 19661539715 DE19661539715 DE 19661539715 DE 1539715 A DE1539715 A DE 1539715A DE 1539715 A1 DE1539715 A1 DE 1539715A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
fluorescent screen
atoms
electrostatic field
metastable
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19661539715
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Brandon David Godfrey
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Battelle Development Corp
Original Assignee
Battelle Development Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Battelle Development Corp filed Critical Battelle Development Corp
Publication of DE1539715A1 publication Critical patent/DE1539715A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/285—Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
DE19661539715 1965-10-11 1966-10-07 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes in einem Ionen-Mikroskop Pending DE1539715A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1399065A CH448299A (fr) 1965-10-11 1965-10-11 Procédé et appareil de formation d'une image dans un microscope ionique

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1539715A1 true DE1539715A1 (de) 1970-01-15

Family

ID=4397027

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19661539715 Pending DE1539715A1 (de) 1965-10-11 1966-10-07 Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes in einem Ionen-Mikroskop

Country Status (5)

Country Link
CH (1) CH448299A (enExample)
DE (1) DE1539715A1 (enExample)
FR (1) FR1496035A (enExample)
GB (1) GB1121347A (enExample)
NL (1) NL6613578A (enExample)

Also Published As

Publication number Publication date
GB1121347A (en) 1968-07-24
NL6613578A (enExample) 1967-04-12
CH448299A (fr) 1967-12-15
FR1496035A (fr) 1967-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2842527A1 (de) Elektrostatische emissionslinse
DE112011100597B4 (de) Feldemissions-Elektronenkanone und Verfahren zu deren Steuerung
DE2302938A1 (de) Mehrstufiger beschleuniger fuer geladene teilchen mit hochvakuumisolation
DE3031220A1 (de) Verfahren und einrichtung zum gravieren integrierter schaltungen
DE1044295B (de) Ionenquelle
DE2151167C3 (de) Elektronenstrahl-Mikroanalysator mit Auger-Elektronen-Nachweis
DE1110877B (de) Verfahren zum Erschmelzen von Metallbloecken mittels Elektronenstrahlen
DE112017008216B4 (de) Ladungsträgerstrahlvorrichtung
DE112005002541T5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung geladener Teilchen
DE19702124A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen, Aktivieren Benetzen und/oder Beschichten der Oberflächen von Werkstücken
DE2138339A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Fertigbearbeiten, Nachbearbeiten oder Reinigen von Spitzen durch Elektronenbeschuß
DE102016223664B4 (de) Strahlaustaster und Verfahren zum Austasten eines geladenen Teilchenstrahls
EP0216750A1 (de) Ionenstrahlgerät und Verfahren zur Ausführung von Änderungen, insbesondere Reparaturen an Substraten unter Verwendung eines Ionenstrahlgerätes
DE1539715A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes in einem Ionen-Mikroskop
DE1929429A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials
DE1953659B2 (de) Ionenquelle für die Zerstäubung mit langsamen Ionen
EP0175807A1 (de) Einrichtung zur Durchführung des SNMS-Verfahrens
DE112012003090T5 (de) Emitter, Gasfeldionenquelle und Ionenstrahlvorrichtung
DE3120793A1 (de) "verfahren und vorrichtung zur dekontamination von festkoerpern"
DE102018131609B3 (de) Partikelstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben eines Partikelstrahlsystems
DE1073655B (de) Verfahren zum Ändern der Bildhelligkeit in Korpuskularstrahlgeräten, insbesondere in Elektronenmikroskopen
DE112019007399T5 (de) Ladungsteilchenstrahleinrichtung
DE2333866A1 (de) Felddesorptions-ionenquelle und verfahren zu ihrer herstellung
EP1614138A2 (de) Hochfrequenz-plasmastrahlquelle und verfahren zum bestrahlen einer oberfläche
DE1920941A1 (de) Elektronenmikroskop