DE1539133B1 - Ionengetterpumpe - Google Patents

Description

trodenanordnung vorgesehen ist, welche zwischen ist. Es wird dementsprechend vorgeschlagen, Anoden-

plattenförmigen Kathoden eine gitterartige Anode mit zellen von verschiedenem optimalen Durchmesser

einer Vielzahl paralleler Entladungsräume aufweist. entsprechend der Inhomogenität des Magnetfeldes zu

Bei derartigen Anordnungen liegt das die Kathoden- to verwenden. Die Lehre dieser Veröffentlichung gibt

platten und die Anode aufnehmende Gehäuse völlig einen Hinweis darauf, wie die Anodenzellen innerhalb

innerhalb der durch die Querschnittsprojektion der des durch die Magnetschuhe gebildeten Spaltes ange-

Magnetpole bestimmten Fläche. Die magnetischen ordnet werden sollen. Da die Anodenanordnung noch

Kraftlinien erstrecken sich jedoch, abgesehen von vor dem Ende des Magneten abschließt, gibt diese Ver-

einem annähernd homogenen Verlauf, innerhalb 15 öffentlichung keine dahingehende Lehre, die Anoden-

dieser Fläche auch in erheblichem Umfang als Streu- anordnung gemäß der Erfindung derart zu wählen,

feld über die geometrischen Abmessungen der Pol- daß über dem Kern des Magneten hinaus auch das

schuhe hinaus. Da bei den bekannten Anordnungen außerhalb liegende inhomogene Feld zu erfassen ist.

ein Polabstand von mehreren Zentimetern erforder- Die vorgeschlagene Ausbildung läßt sich sowohl

Hch ist, ergeben sich erhebliche Werte des magneti- ao bei permanentmagnetischen als auch bei elektro-

schen Streufeldes, die in den bekannten Anordnungen magnetischen Systemen zur Erzeugung der magne-

nicht ausgenutzt werden. tischen Feldstärke verwenden. Ergibt sich in beson-

Die Erfindung geht von der Aufgabenstellung aus, derer Ausführung eine unsymmetrische Streufeldaus-

die Saugleistung einer Ionengetterpumpe bei gegebe- bildung, so kann dies ebenfalls durch eine entspre-

nem Magneten zu vergrößern. Das Kennzeichnende 25 chend unsymmetrische Elektrodenanordnung nach

der Erfindung ist darin zu sehen, daß der gesamte den angegebenen Grundsätzen berücksichtigt werden.

Feldraum des Magneten einschließlich der verwert- In der Zeichnung- ist ein Ausführungsbeispiel des

baren Teile des Streufeldes mit der Elektrodenanord- Gegenstandes der Erfindung schematisch dargestellt,

nung belegt ist. Es ergibt sich demnach eine Aus- Es zeigt

führungsform, bei der das die Kathodenplatten und 30 Fig. 1 eine schematische: Seitenansicht einer

die Anode einschließende Pumpengehäuse erheblich Ionengetterpumpe mit aufgesetzten Polschuhen eines

über den Rand der Polschuhe hinausragt und in die- Permanentmagneten,

ser Randzone vom Streufeld des Magneten durchsetzt Fig. 2 eine Draufsicht auf die in Fig. 1 gezeigte

wird. Eine Grenze der Ausnutzung ist allerdings in . Elektrodenanordnung,

größerem Abstand durch die rasch abfallende magne- 35 Fig. 3 eine gitterartige Elektrodenanordnung für tische Feldstärke gegeben. Im einzelnen hängt die eine Ionengetterpumpe gemäß Fig. 1,
Abmessung der Elektrodenanordnung zur vollständi- In Fig. 1 erkennt man Polschuhe 1, 2 eines Pergen Ausnutzung des Feldes von der Luftspaltgröße manentmagneten, zwischen die ein Gehäuse 3 eingedes Magneten und von der erzeugten magnetischen schoben ist, welches zwei gegenüberliegende Platten-Feldstärke ab. 40 kathoden 4, 5 mit dazwischenliegender Anode 6 ein-

In der britischen Patentschrift 1 003 212 ist eine schließt. Die Anode 6 zeigt gemäß Fig. 2 einen aus Ionisationsvakuumpumpe beschrieben, weiche mit Rechteckteilen zusammengesetzten, hintereinandereiner Doppel- bzw. Mehrfachmagnetanordnung aus- geschalteten Ionisierungsraum, wobei die Rechteckgerüstet ist. Die Magnete sind nach dieser Ausfüh- flächen im Bereich der Streufeldeinwirkung größer rung mit jeweils gegenüberliegenden Süd- bzw. Nord- 45 sind als im homogenen Mittelbereich,
polen angeordnet, so daß sich zwischen den einzel- Die alternative Ausführung-nach Fig. 3 zeigt eine nen Magneten kein magnetisches Feld bilden kann. gitterartig, aus Teilräumen zusammengesetzte Anode Das inhomogene Feld erstreckt sich bei dieser An- 6 a, wobei die Teilräume des vom Streufeld durchordnung um die Rückseite eines jeden verwendeten setzten Randes gegenüber dem homogenen Mittelteil Magneten von dessen Südpol, zu seinem Nordpol, so 50 größere Querschnittsflächen aufweist,
daß die erfindungsgemäße Ausnutzung der verwert- In ähnlicher Weise können auch kreissymmetrische baren Teile des Streufeldes entfällt. bzw. Spiralanordnungen aufgebaut sein.

In zweckmäßiger Ausbildung der Erfindung τ> r * ■■ t,
kann die Elektrodenanordnung der insgesamt inho- ■ .-- -- Patentanspruches_.„._... mogenen Feldverteilung geometrisch angepaßt sein. .55. . .. L Ionengetterpumpe .mit ,einer zwischen den Wird beispielsweiseeine'"aus eirief ^Mehrzahl"" von ^ ' "Pölschuhäreines Magneten'liegenden Elefeoden-Einzelsystemen zusammengesetzte .Anode verwendet, anordnung, dadurch-- gekennzeichnet, so sind die Einzelsysteme im Bereich des Streufeldes daß der gesamte Eeldraum; des Magneten einaußerhalb des feldhomogenen Mittelbereichs mit schließlich der verwertbaren Teile des Streufeldes größerer lichter Weite zu wählen, so daß hinsieht- 60 mit der Elektrodenanordnung belegt ist.
lieh der Ionisierungswirkung in den einzelnen Zellen 2. Ionengetterpumpe nach Anspruch 1, darn wesenÜichen gleiche Bedingungen vorliegen. Wählt durch gekennzeichnet, daß die Elektrodenanordman bevorzugt eine Anodenanordnung, welche aus nung der Feldverteilung geometrisch angepaßt ist. einer Hintereinanderschaltung von Entladungsräumen 3. Ionengetterpumpe nach Anspruch 1 oder 2, in einem zusammenhängenden Linienzug besteht, so 65 dadurch gekennzeichnet, daß bei einer aus einer ist die Linienführung der Feldverteilung entsprechend Mehrzahl von Einzelsystemen zusammengesetzten anzupassen. Dies ergibt z. B. bei einer aus Geraden- Anode die Abmessungen der Systeme im Bereich stücken nach der Art einer Spirale Zusammengesetz- des schwächeren Streufeldes vergrößert sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

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Die Erfindung betrifft eine Ionengetterpumpe mit ten Führungslinie einen unterschiedlichen Abstand

einer zwischen den Polschuhen eines Magneten lie- . zwischen dea einzelnen Geradenstücken,, der im Be-

genden Elektrodenanordnung. reich der Streufelddurchsetzung am größten ist.

Es sind bereits verschiedene Ausführungsformen Aus der Deutschen Αμβ^ββο^ΐίί 1128 946 ist es

von Ionengetterpumpen bekannt, Bei denen zwischen 5 bekannt, daß das magnetische Feld eines Magneten

den Polschuhen eines Permanentmagneten eine Elek- in der Querrichtung des Spaltes nicht gleichförmig