DE1539035A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Fokussierung eines Elektronenstrahles - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Fokussierung eines Elektronenstrahles

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defocusing
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Lenk Dipl-Phys Peter
Schiller Dr Siegfried
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Lokomotivbau Elektrotechnische Werke Hans Beimler VEB
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EP2540859A1 (en) * 2010-02-22 2013-01-02 ULVAC, Inc. Vacuum processing device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR3050592B1 (fr) 2016-04-26 2018-04-20 Christophe Arnould Appareil de production d'energie electrique equipe d'un dispositif de commande de la puissance produite

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2540859A1 (en) * 2010-02-22 2013-01-02 ULVAC, Inc. Vacuum processing device
EP2540859A4 (en) * 2010-02-22 2014-06-18 Ulvac Inc VACUUM PROCESSING DEVICE
TWI498934B (zh) * 2010-02-22 2015-09-01 Ulvac Inc 真空處理裝置

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