DE1521314A1 - Verdampferquelle hoher Kapazitaet fuer Vakuumaufdampfsysteme - Google Patents

Description

• Verdanrpf erguelle hoher Kapazitt für Vakuumaufdampfsy sterie

  Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampferquelle hoher Kapa-

  zität für Vakuurnaufdampfsysteme.

  In den letzten Jahren wurden beträchtliche Anstrengungen gemacht,

  die -I3ochvakuumauf'darapftechnik zur Herstellung von elektronischen

  @chaltunden und film verwandte Zwecke anzuwenden. Anfänglich erstell-

  te ßufdampfsysteme benutzten verschiedene Aufdampfverfahren, wie sie

  in .ähnlicher Weise--zur Vergütung optischer Geräte bzw: Linscn be-

  .nutzt" werden. Einige speziell für d-ie -Erfordernisse der eleKtroni-

  sct@.en 6.chdltungen-.entwickelten Systeme besaßen lediglich ;e:r#inpt:

  Größe und waren nur für experimentelle Zwecke geeignet. Diese Vor-

  richtungen waren im. allgemeinen schon Wegen ihrer unökononischer.

  Arbeltsweise ungeeignet zur Aufbringung relativ dicker Jchicliten,

  . wie sie 'für Isolationszwecke Z. B. bei integrierten Schaltun"en er-

  forderlich sind.

  Es ergab sich daher bald ein Bedarf an verbesserten Aufciump'vorrichtungen mit hoher Aufdampfrate, welche speziell geeignet sind für die Massenproduktion von im Vakuumaufdampfverfahren zu eratellende elektronische Schaltungen. Gleichzeitig besteht die 1.otwendigkeit der laufenden Gütesteuerung der Endprodukte, was einer der " Hauptgründe dafür war, daß die fioctivakuumtechnik t'ür die genannten Zwecke nutzbar gemacht wurde. Eine tür die genannten Zwecke geeignete Verdampferquelle sollte daher in der Lage-sein, ächichten herzustellen, welche in zuverlässiger Weise frei von Lunker- bzw.
• Porenbildung: sowie partikelfrei snd,'die@Niederschlagsrate und die übrigen Parameter, wie Streustrahlung usw. sollten gut steuerbar und reproduzierbar sein..
• Erfindungsgemäß-werden die genannten Vorteile dadurch erreicht, daß das Chargengefäß eine äußere mittels einer Kühlleitung gekühlte Hülle: aus' einem die Wärme gut leitenden Material besitzt, üaß diese Hülle innen mit einem isolierenden, feuerfesten Material ausgefüttert ist und daß in dem verbleibenden Innenraum ein in sich selbst rippenartig gefaltetes ,Band aus einem Metall mit hinreichend hohe=m elektrischen Widerstand z. B. aus Tantal derart angebracht ist, daß eine Mehrzahl von Taschen zur Aufnahme des zu verdampfenden 1raterials entsteht und daß dieses Gefäß zur Vermeidung von direkter Hedampfung durch Molekularstrahlbildung an seinem offenen Ende mit einer heizbaren Sperre versehen ist. Diese heizbare Sperre ist ins:-besondere dadurch gekennzeichnet, daß sieg aus einem haarnadelartig gebogenen, ein doppeltes Diaphragma bildenden und von einem Heizstrom durchflossenen Blech aus Tantal besteht, daM dieses Blech auf beiden Seiten mit einer Vielzahl von gegeneinander versetzten Bohrungen versehen st und daß zusätzlich: e" am: äußeren Ende dieser beiden Diaphragmen ein aus Tantaldrahtgeflochtenes Maschendrüntnet2 vorgesehen ist; .-_ _ ,. Es ergibt sich somit nach den Lehren der vorliegenden Erfindung eine für die oben genannten Zwecke geeignete Verdampferquelle, wel-Olle eine; hohe Aufdampfkapazitht für ein zu verdampfendes Material wie z. I3. Siliziummonoxyd besitzt. In einer AusführunGsforrn werden Niedurscülagsraten erreicht, welche innerhalb eines weiteren Bereiches zwischen 0 und 800 R/sec. liegen,'' bei einer -:hari;enkahazitlit _ von Silizummonoxyd von einer Million RE. Dies reicht aus zur fier-Stellung genügend dicker isolierender Schichten aus Siliziummonoxyd z. D. für integrierte äc;haltungen. Diese günstigen i!"ibonschaftun worden erreicht durch eine Kombination eines lamellen- bzw. spiralförmigen Iieizers, welcher einen genügenden Wärmeübergang zu einem großen Vorrat an Siliziummonoxyd sowie gleichzaiti6 eine enge Kontrolle über die insgesamt verdampfte Mange sicherstellt. Eine Sotrennt heizbare Anordnung von teilweise durchbohrten Sperrblechen, im folgenden mit Sperre bezeichnet, verhindert die direkte Ejektion von Partikeln der zu verdampfenden Masse und trägt auch zur Standardisierung der von der Oberfläche der zu verdampfenden Substanz ausgehenden Infrarotstrahlung bei: Gleichzeitig sind Mittel zur KUh-Jung vorgesehen, für die übrigen Teile der Apparatur, beispielsweise für die elektrischen Verbindungen, und für das Gehäuse selbst, so daß undefinierte Streustrahlung auf einen geringen `:eil reduziert wird, wodurch eine reproduzierbare Arbeitsweise auch bei hohen Vemperaturen möglich ist.
• Im folgenden wird der Erfindungsgedanke anhand der Zeichnungen im Zusammenhang 'mit einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In den Figuren bedeuten: Fiß:. 1 einen teilweise mit einem Durchbruch,versehenan Aufriss eines Vakuumaufdampfoyatems mit einer Verdamprerquelle entsprechend einem bevorzugten Ausführungsbeiapiel der vorliegenden Erfindung»

  Fig. 2 einen teilweisen Seitenriß der ,Darstellung von

  Fiß. 1 nach deren Drehung um 900 im Gegenuhr-

  zeigersinn,

  Fig. 3 einen Seitenriß genommen entlang der Linie 3-3

  von ?ig. 2 und

  Fig. 4 ein Diagramm der bei der erfindungsgemäßen Vor-

  richtung benutzten Leitungsführungen für elek-

  trische Ströme bzw. für das Kühlmittel.

  Fig. 1 stellt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel einer Auldampfvor-

  richtung nadh der Lehre vier Erfindung dar. Es handelt sich hierbei

  um eine große, für Zwecke der Produktion konstruierte Aufdampfvor-

  richtung mit einer Vielzahl von Aufdampfstellen mit einer verschließ-

  baren Aufdampfkammeröffnung 10, wobei sich die im folgender. nühe-r zu

  beschreibende Vcrdampferquelle am rechten Ende der-Gesamtapparatur

  der Figur befindet.

  Wie insgesamt aus den Figuren 2 und 3 hervorgeht, umfaßt das Cef üß

  der Verdampfungsquelle 16 eine äußere Kammer 18, welche aus Kupfer

  oder einem anderen thermisch und elektrisch gut leitenden Material

  gefertigt sein kann, mit einer Fütterung 20 aus elektrisch isolieren-

  dem, jedoch feuerfesten Material, z. ü. aus Magnesiumsiiikut. Inner-

  halb dieses Futters 20 befindet sich ein gewundenes iieizelement 22

  aus einem geeigneten elektrischen Widerstandsmaterial, z. i3. aus

  antal, wobei die Spiralen einer Anzahl von lamellenartigcn Konfi-

  gurationen bldet,.welche eine Vielzahl von Taschen 24 zur PLufnahma

  einer groƒen.Menge des zu verdampfenden Materials z. i3. Silizium-

  monoxyd darstellt. Das Heizelement 22 ist mit Umbördelunt;en@ 26 zur

  Erhöhung der Stabilität versehen, und zur Einhaltung des Abstandes

  sind tippen 28 innerhalb der Seiten des Futters 20 vorgesehen, die

  Innerhalb des ;:numes 30 zwischen den einzelnen Winduni;en des Heiz-

  elementes angebracht sind und dieses mechanisch tragen.

  Uber eine Sammelschiene 32 führen elektrische Zuleitungen zu dem

  Heizelement 26. Diese bestehen aus Kupfer oder einem anderen geeiß-

  neten Material und sind freitragend auf einer der Durchführungsver-

  bindungen montiert sowie durch eine; an dem Quellengefäß angebrachte

  Umbördeluncabgestützt. ,Aus der Fig. ist in Verbindung, mit Fig: 2

  ersichtlich, daß die Sammelschiene 32 eine von insgesamt einem Paar

  derartiger Schienen ist, wobei die andere Schiene die Bezeichnung

  34 trägt. Beide führen einem Heizer für die später noch genauer zu

  beschreibende Sperre Energie zu. Die Sammelschiene zur Energic:ver-

  sorgung des ";iiarien-lieizers 22 ist weitgehend durch die anderen

  Teile des Apparates verdeckt. Sie besitzt im wesentlichen die

  gleiche Konstruktion, wie die Sammelschiene 34, wie man aus dieser

  Figur deutlich'sieht und es genügt daher eine einzige Beschreibung

  für beide Sammelschienen.

  Die Sammelschiene 34 ist freitragend mittels eines DurchführunGs-

  rohrverbindungsstüekes 36 befestigt. Dieses ist durch eine Mutter

  38 innerhalb der Öffnung 40 am :1.ingang der Verdampfungskammer ge-

  sichert und von dieser durch das Material 42 isoliert. Das aohrver-

  bindungsstück 36 besteht aus Kupfer oder einem anderen geeigneten

  elektrisch leitenden Material, um einen guten elektrischen Kontakt

  von der .Sammelschiene 34 zu der Verbindungsöse 44 sicherzustellen,

  welche-durch das RohrverbindungsstUck 36 mittels einer Mutter 46

  gehalten wird. Das Rohrverbindungsstück 46 besitzt eine bei 4#3 an-

  gedeutete Bohrung, durch welche KUhlwassor geleitet wird. Dieses

  wird durch an die Sammelsohiene angeschweißte Rohre aus Kupfer ge-

  leiten und dient zu deren Kühlung. .Isolierende Verbindungsstücke

  52 13ind zur elektrischen @Isolaton dieser Kühlführungen vom Ubriben

  Teil den .KUhlsystams vorgesehen.

  Wie am klarsten aus Fig. 3 hervorgeht, klemmt die Sammelschiene zur

  Chargonheizvorrichtung 32, die durch eine Leitung 511 in ähnlicher

  Weise, wie die Sammelschiene 34, gekühlt ist, mittels einer Klemm-

  platte 56 und faltorschrauben 58 ein .:nde 60 des Heizers 22 fest.

  Infolgedessen steht dieser vorspringende 'feil des Heizers 60 in elek-

  trischer Verbinduni, mit der verbindung`söse der Sammelschiene: 32. Am

  anderen Ende 62 des- Heizers besteht Verbindung mit dem vorher bereits

  erwähnten Masseverbindungsflanseh 53 welcher durch den äußeren

  Quellenbehälter 18 getragen wird. Diese Messeverbindung dient eben-

  falls dazu, Verbindungen zu einem Klemmteil 66 des Lalters der Sperre

  mittels der Klemmplatten 70, 72 und den Halteschrauben 74 sicherzu-

  stellen.

  Kühlmittel für die äußere Kammer 18 und die hlasseverbindung 64 sind

  in Form einer Kühlspule 64 aus Kupfer oder einem anderen geeigneten

  Material thermisch leitenden Materials durch Schweißen oaer auf an-

  dere gleise an die vier :leiten sowie an den Boden der Kupferkammer 18

  angebracht. Diese Kühlspule 62 liefert gleichfalls eine gute Masse-

  verbindung,zu den äußeren Schaltungsteilen mit Hilfe der Durch-

  führung 68, welche in allen Teilen ähnlich der oben beschriebenen:

  Durchführung 36 ist, sofern man von der Tatsache absieht, daß eine

  solche Messeverbindung keiner Isolation bedarf.

  Das Verdampfungsgefäß ist durch einen abnehmbaren Abdackteil bedeckt,

  welcher eine Ausgangsprellplatte bzw. eine Sperre für die zu Der-

  dampfende Substanz bildet. In der dargestellten Ausführungsart

  (F'ig: 2 und 3) umfaßt diese Umlenk- oder FalleneinrichtunF; einen

  metallischen U-förmig gestalteten Rahmen 80 mit einem rechteckigen

  inneren Rahmen 84 eines geeigneten Isoliermaterials wie z. B. Mag-

  nosiumsilkat. Der Innere Iiahmpn 82 trägt Rillen zur Aufnahme des

  S.perrenheizers., welcher.aus:Oinem.Streifen aus Tantal oder aus einem

  anderen geeigneten Heisermaterial besteht und. einmal hasrnadelartg

  gefaltet ist, so daß oin oberes Diaphragma 84 und ein unteres

  Diaphragma 86 entsteht. Das obere Diaphragma ist durchlöchert,

  so daß sich eine erste Anordnung von Löchern 88 und das untere

  niaphragma ist ebenfalls durchlöchert, so daß sich eine zweite

  Anordnung von hV>chern 90 ergibt, welche in gekröpfter Weise zu

  der Anordnung 88 anGeordnet sind, so de.ß die ßohrunben auf bei- .

  - den-Diaphragmen gegeneinander versetzt sind. Diese Anordnung von

  Bohrungen stellen daher für die verdampften ?Moleküle eine :;ehr

  schlechte Durchgangsmöglichkeit durch die Sperre dar. Um eine

  mechanische Ejektion von großen-Partikeln von den :#'.uellöntaschen

  24 durch diese Passage zu verhindern, ist eine Absehirmun@@von Tan-

  talmasuhendraht 92 vorgesehen, welche durch:Heftschweißung an das

  untere Diaphragma 86 so angebracht sind, daß die Löeher.90 bedeckt

  sind; .

  Vorrichtungen zur Abstandseinhaltung wie keramische Stifte 92 sind

  vorgesehen, welche die viaphragmen parallel in einem definierten

  Abstand-voneinander halten und die den gewünschten Weg von. einer

  Löcheranordnung 90 zu der anderen 92 sicherstellen: Der isolierende

  Rahmen .82 :kann aus mehreren Stücken hergestellt sein, welche durch

  ,ein Drahtband oder einen Hügel, 94 zusammengehalten werden, der um

  die Außenseite des aahmena herum läuft. niese Hilfseinrichtung ist

  über das offene ;nde des U-förmig gestalteten äußeren aahmen 80 ab-

  nahmbar, so daß die Sperre leicht repariert werden kann. Die Sperr-

  anordnung ist entfernbar sowohl für Zwecke dar Reparatur als auch

  zur Wiederbeschickung oder zur Reparatur der Heizanordnung für den

  Verdampfer., In der dargestellten Konstruktionsweise ist der üu(3erQ

  Rhmen 80 der falle durch Winkel 96 und 98 zusammengehalten, welche

  durch Maschinenschrauben 100 auf Flanschen 120 und 104 des Gehäuses

  18 befestigt sind. Die Enden der Heizverbindung 68, welche die

  Diaphraßmen 84 und 86 der Sperre bilden, sind zum Anschlug an die

  Stromversorgung etwas länger gehalten. Auf -diese ricise wirr: ein

  elektrischer Strom durch den die Sperre bildenden B1coh streifen 68 geleitet, wobei diese Heizung dazu dient, eine Anlagerung des ve-rdampften Materials. zu verhindern. Hierzu führen elektrisch: Verbindungen über die schon früher erwähnten ;perrenheizer-Sammelschiene 34 zur Sperre. Diese Verbindungen sind freitragend mittels cler isolierenden Durchführung 36 sowie der schon früher erwähnten Verbindung 4 zum ?länseh Avor der Kammeröffnung montiert.
• Fig. 4 zeigt schematisch die elektrische Steuervorrichtung des Heizers für den Verdampfer und desjenigen für die Sperre. Natürlich kann der Heizer für den Verdampfer aufgrund der Niederschlagsrate oder aufgrund irgendeiner anderen als Fühler wirkenden Meßeinrichtung, die nicht in den Figuren 1 bis 3, jedoch in Pig. 4 angezeigt ist, gesteuert werden. Lies geschieht in gleicher Weise, wie es auch bei den verschiedensten Maschinensteuerungen üblich ist. Fig. 4 zeigt gleichfalls schematisch das Leitungssystem für das Kühlmittel. In der schematischen Darstellung von Fig. 4 sind der Heizer für die Iharge und derjenige für die Sperre 68 in Übereinstimmung mit vier Anordnung der Figuren 1 bis 3 mit einem gemeinsamen Hrdpotent ial verbunden. Wie schon früher beschrieben wurde, erfolgt die Stromrückleitung Uber die Masse des Behälters 1 £3 und des Kühlsystems 64. :Die Verbindung zwischen dem Gefäß 1$ und dem Kühlsystem 64 ist schematisch ebenfalls bei 110 gezeigt. Die grundsätzliche Schaltverbindung bei der Durchführung 68 des Führungssystems 64 zu dem äußeren elektrischen System des Gerätes außerhalb der Kammeröffnung 10 ist bei 112 gezeigt. Die elektrische Isolation der Sammelschiene 34 für den Heizer der Sperre und der Sammelschiene 32 für den Khargenheizer ist schematisch in Form der isolierenden Kupplungen 52A, 5213, 52C und 52i7 in ig. 1 durch Darstellung eines dieser.Isolaturen.bei 52 . berücksichtigt. Wie das Diagramm von Fiß. 4 zeigt, sind die Kühlsystemführunßen 50, 54 und 64 mit einer geeigneten Quelle 114@zur Versorgung mit Kühlwasser verbunden. .

  I)ie taemma 34 für- den perrenrieizer ist über die @'erbin:lunzs ( )r e 214

  aueerhalb der verschließbaren Kammeröffnung 10 -zur 1;neri;ielaseau£-

  sc:hlnl;ung über eine Sekundärwicklung eines Isoliertransforn;1tors

  120_ angelegt, dessen Primärseite in steuerbarer Weise reit einem

  Autotransformator 122 mit einer geeigneten Wechselstromquelle 124

  in Verbindung steht. In ähnlicher :;eisQ ist die Öse des Durchführungs-

  futters für die Sammelschiene 32 zum "hargenheizer zur ::nerCieversor-

  gung mit einem Isoliertransformator 126 verbunden, welchercbenfalls

  durch: einen verstellbaren Autotransformator 128 gespeist wird. In

  diesem Falle faber ist, wie aus d-er Darstellung ersichtlich, zwischen

  die ;nergieversort2ung124 und dem Autotransformator 128 eine Gecii;-

  note Steuereinriehtunt1226 j;eschaltet, welche aus einer in der Sätti-

  gung betriebenen Reaktanzspule -bestehen kann, welche einen :;teuerein-

  gang 128 besitzt, der entsprechend der Verdamprungsrate durch den

  Fühler 1_30 angesteuert wirb. Der Fühler kann z. F3. ein Ionisations-

  manometer oder ein: anderes Meßinstrumen.t sein, welches an ieeigne-

  ter .stelle angebracht wird, so daß eine Erfassung des Von der Mate-

  rialquelle verdampften Matorialstromes erfolgt.

  In einem Ausführungsbeispiel besitzt der Verdampfer nach den Lehren

  der Erfindung ein Verdampfungsgefäß mit einem Futter mit den inneren

  Abmessungen von etwa. 7,5 x a x 8 cm, ein Quellenheizer aus ß # 10-3cm

  dickem Tantal von 7,5 cm Weite und 95 cm hänge, welcher so Gefaltet

  ist, daß sechs Taschen entstehen, von denen jede 1 x-7,3 cm mißt:

  Der Rahmen für-die Sperre besitzt eine innere Öffnung von 7,3 x 75 cm

  und einen äperrenheizer aus Tantalder .Stärke 7,.5 # 10-3em,lwelcher

  etwa .1+2 Bohrungen von. Q,4 bis 0,5 cm Durchmesser Innerhalb eines je::-

  den Daphragmas besitzt, und durch einen 'L'antalschirm abgeschirrt

  ist-,--welcher über die obere Fläche des 13ehälterdiaphrßgmas punktge-

  schweißt ist;. #UnQ 3,o5 KVA-:nergiequelle ist für den ;har_#en?leizer

  und eines 2,5 KVA-Energiequelle zur Heizung der Sperre vorgesehen..

  Die beschriebene Anordnung stellt eine Niederschlagsrate sicher,

  welche zwischen 0 und 800 Rm- pro Sekunde steuerbar ist bei einen

  Abstand zwischen Substrat und Quelle von etwa 30 cm. Die Konstruk-

  tion erfolgte zur Verdampfung von Siliziummonoxyd bei einer !'nt-

  fernung zwischen Substrat und Juelle von etwa 63,5 cm und besitzt

  eine Kapazität von 264 gr Siliziumoxyd, wobei man pro Charge einen

  Überzug von 1 Million RE erreicht:

  Größere Verdam,pAraggregate, etwa eine solche mit acht Taschen, wie

  sie in den Zeichnungen dargestellt sind, ergaben eine Aufdampfdicke

  bis zu '800 Ri-: pro Sekunde bei 60. cm Abstand zwischen Ouelle und Sub-

  strat. Bei Benutzung einer granulierten Siliziumoxyddhzrge betrug

  die Kapazität über 500 gr Siliziumoxyd, womit sich etwa ein Nieder-

  schlag von einer Million X.E. pro Charge in der genannten Entfernung

  erzielen ließ.

  Typische Arbeitstemperaturen sind in jeder dieser Versionen für die

  Sperren- und ";hargenheizer etwa 1400°C und 1380°:. nie Abstandshal-

  ter der Sperre 92 können aus käuflich zu erhaltenden :Zöhrchen aus

  keramischem Material bestehen, wie sie für fhermoelemente üblich

  sind. Der Falz 132 des Sperrenheizers 68 kanngeöffnet werden zur

  Aufnahme der Abstandssäulen 92, falls dies erforderlich sein sollte.

  Die abgebildete Verdampferquelle ist leicht auswechselbar durch

  öffnen des zu Beginn erwähnten Kammerverschlusses und durch rnt-

  fernung des Deckels der Sperre des Verdampfergefäßes. F;in ',rsatz

  des ''.hargenheizers aus Tantal ist eine einfache Angelegenheit, da

  er lediglich an seinen elektrischen rinapeisungsstellen befestigt

  ist. In ähnlicher Weise kann der Sperrenheizer leicht nach Demontage

  von seinem Rahmen ausgewechselt werden.

  Obwohl die Chargenkapaxitgt groß ist, steht doch die gesamte Chargen-

  menge in geeigneter Relation zu der Auslegung den Chargenheizers

  zwecks irziulung einer wirksamen Gteuerung hofier Vordampfunbsraten.

  In gLeic:her leise besitzt die Sperre eine hohe Kapazität, wobei

  trotzdem jede einzelne: Üffnund. dieses T'eiies klein ist und gut Geüe l

  fartikelejektion geschützt ist.

  Da Mittel vorgesehen sind zur KühlungVer Sammelschienen-uni des

  Verdampferquellengefäßes kann die einzige wesentliche infrarote

  erzcuGte trahlungsenergie von der Sperr: herrühren. Je. jedoch die

  Heizvorrichtung fair die Sperre separat steuorbar ist, kann die

  perre :auf einer im wesentlichen konstanten, auf andereWcise ciefi-

  nierten Temperatur gehalten werden, obwohl Änderungen der Arbeits-

  temperatur der Verdampferquelle vermöge deren HeizeinrichtunG vorge-

  nommen werden können. Durch diese getrennte Beheizunb ist eine Steue-

  rung der den Vakuumniederschlag bewirkenden Parameter wesentlich er-

  leichtert.

Claims (1)

1. f a t e ri t a n s p r ü c 1i e I. Verdampferquelle horiwr Kapazität für Vakuurniiurdxrnpfsystelne mit e.inern Chargen gefäß für fass zu verdampfende Material, dadurch gekennzeiohnet, dass dieses G<: räb eine äußere mittels einer KWil- let:ung (6f) gekühlte Hülle (18) au.- einem die wärme gute leiten- den Material besitzt, daß diese Hülle innen mit einem Isolieren- den, feuerfesten faterial (20) ausgefüttert, ist;, d4113 in dem vor- bleibenden Innenraum ein in sich selbst rippenartig gef'altete3 Sand aus einem PIetall mit hinrßichand hohem elektrischen Wider- stand z. 13. aus Tantal derart anGebracht ist, daß eine Mehrzahl von Taschen (2r8) zur Aufnahme das zu verdampfenden Materials ent- steht und cluß dieses Gefäß zur Vermeidung von direkter Bedarnpfung durch Molekularstrahlbildung an seinem offenen J:nde mit einer heizbaren ;sperre (84, 86) versolien ist. 2. Verdampferquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daL die heizbare :sperre (84, #36) aus cinela haarnadelartig Gebogenen, ein doppeltes niaphraßrna (84, 1:36) bildenden und von einem Helz- strorn durchflossenen Bledh (68) aus Tantal besteht, daß diesen Blech aui' beiden Jclten (84, 86) mit einer Vitlzahl von gegencln- ander versetzten Bohrungen (i38, 90) versehen ist und daß zusätz- lich am äußeren dieser beiden viaphragmen (84, 86) ein aus Tan- taldraht geflochtenes Masehendralitnetz (92) vorgesehen ist. . Vordampferquelle nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzelch- net, d343 die Heizung von Chargen- und 0 perrentieizer unabhängig von- einander und in gesteuerter Weise vorgenommen wird und daß zur Unterdrückung unerwünschter Störstrahlung alle äußeren Flächen der Verdampferqualle mit Ausnahme vier Blechdaphragmen der :jperre gekühlt worden. Vordampferquelle nach den Ansprüchen 1 , 2 uni 1, dadurch gekenn- zeichnut, daß die dammelschienen zur Zuführung der elektrischen Heizanergie gekühlt werden. Vcrdampferquelle nach den Ansprüchen -1 bis 4, dadurch gekennxeich= net, daß das Leitungssystem für däb Kühlmittel aus einem jut lei- tenden Metall besteht und unter l-;infügurg von Solierenden Zwi- schenstücken teilweise gleichzeitig zur Zuführung der glektri- schen Heizenergie benutzt wird.