DE1521250B2 - Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen, mit Quarz oder Metallen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen, mit Quarz oder Metallen

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DE1521250B2
DE1521250B2 DE19661521250 DE1521250A DE1521250B2 DE 1521250 B2 DE1521250 B2 DE 1521250B2 DE 19661521250 DE19661521250 DE 19661521250 DE 1521250 A DE1521250 A DE 1521250A DE 1521250 B2 DE1521250 B2 DE 1521250B2
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Karl Dipl.-Phys. Dr. 4150 Krefeld Dietzel
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Bayer AG
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Farbenfabriken Bayer AG
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders
    • C23C14/505Substrate holders for rotation of the substrates

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Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen oder Brillengläser aus Kunststoff, mit Quarz oder Metallen unter Hochvakuum, wobei die auf den Traversen einer in einem Kessel rotierenden Trommel befestigten Gegenstände infolge der Rotation der Trommel mehrmals durch die Bedampfungszone geführt werden und die Traversen eine Eigendrehung ausführen.
Bekannte Vorrichtungen zum Bedampfen bestehen im wesentlichen aus einem Kessel, in welchem eine rotierende Trommel angeordnet ist, deren drehbare Traversen, auf denen sich die Halterungen für die Gegenstände befinden, in den Stirnseiten der Trommel gelagert sind und von einem Antrieb, beispielsweise mit einer Kette, einer dauernden Drehbewegung unterworfen werden. Während der Drehung der Trommel durchwandert jede Traverse die von der in der Trommel angeordneten Verdampferquelle ao ausgehende Bedampfungszone, wobei sich die Traversen dauernd drehen, so daß die zu bedampfenden Gegenstände eine Zykloidenbewegung ausführen.
Der Nachteil bei dieser Vorrichtung ist, daß der Dampfstrahl während des Durchlaufs der Traversen nur immer dann unter dem günstigsten Winkel, nämlich senkrecht, auf die Gegenstände auftrifft, wenn, bedingt durch die Eigendrehung der Traversen, die Gegenstände sich gerade für Bruchteile von Sekunden in senkrechter Lage zum Dampfstrahl befinden. Insbesondere beim Aufdampfen von Quarz ist die Haftung und die Kondensationsrate der Dämpfe sehr stark vom Auftreffwinkel abhängig, da die Kondensationsrate mit dem cos2 des Auftreffwinkels abnimmt. Bei der vorbekannten Vorrichtung befindet sich aber die Oberfläche des Gegenstandes während mehr als 90% der Bedampfungszeit unter einem ungünstigen Winkel zum Dampfstrahl. Die Qualität und Haftfestigkeit der aufgedampften Schicht ist entsprechend gering.
Die Verdampfungszeit läßt sich verkürzen und die Qualität und Haftfestigkeit der aufgedampften Schicht verbessern, wenn erfindungsgemäß die Traversen bei jeder Umdrehung der Trommel außerhalb der Verdampfungszone jeweils um 180° gedreht und innerhalb der Verdampfungszone in Ruhestellung gehalten werden. Zur Durchführung des Verfahrens ist die Vorrichtung zum Antrieb der 'Traversen mit einem Schrittschaltwerk ausgestattet. In besonders einfacher Weise besteht das Schritt-Schaltwerk erfindungsgemäß aus an den einen Enden der Traversen angeordneten Malteserkreuzen und zwei am feststehenden Kessel außerhalb der Bedampfungszone befestigten, mit den Armen der Malteserkreuze zusammenwirkenden Schaltstiften, wobei die Traversen an jedem der beiden Schaltstifte um 90° gedreht werden, so daß also die Traversen nacheinander bei jeder Umdrehung der Trommel eine Eigendrehung von 180° ausführen.
Das Wesen der Erfindung sei nun in einer Zeichnung schematisch erläutert, und zwar zeigt
F i g. 1 die Trommel in der Seitenansicht,
F i g. 2 die Trommel in der Stirnansicht und
F i g. 3 im Schnitt zum Veranschaulichen der Stellung der Traversen.
Zur besseren Übersicht ist in der Zeichnung der die Trommel vakuumdicht umschließende Kessel weggelassen.
In Fig. 1 besteht die Trommel aus den Stirnseiten 2, die auf Rollen 3 gelagert sind und von denen wenigstens eine mit dem Antrieb 4 verbunden ist. Die Traversen 5 weisen Halterungen 6 (Fig. 3) für die Linsen 7 auf und sind in den Stirnseiten 2 drehbar gelagert, wobei die einen Enden 8 durch die eine Stirnseite 2 hindurchragen und mit Malteserkreuzen 9 versehen sind. Diese wirken mit den beiden an einer feststehenden Platte 10 angebrachten Schaltstiften 11 zusammen und drehen die Traversen 5 beim Vorbeiwandern durch Eingreifen in die Malteserkreuze 9 jeweils um 90°. Die Verdampferquelle 12 ist im Innern der Trommel fest angeordnet, und ihr Bedampfungswinkel α erfaßt die gesamte Breite der Traversen S. Bei sehr langen Trommeln können mehrere Verdampferquellen nebeneinander angebracht sein, oder bei Anordnung nur einer Verdampferquelle kann diese hin und her wandern.
In Fig. 2 ist die Stirnseite 2 auf Rollen 3 gelagert. Die Malteserkreuze 9 sind im Eingriff mit den beiden auf der Platte 10 angeordneten Schaltstiften 11 gezeigt, die so angebracht sind, daß die Drehung der Traversen 5 erst nach dem Passieren der von der Verdampferquelle 12 unter dem Winkel α ausgehenden Bedampfungszone stattfindet.
In F i g. 3 sind die Traversen 5 mit Halterungen 6 versehen, an denen die Linsen 7 befestigt sind, und zwar so, daß Vorder- und Rückseite für die Bedampfung frei bleiben. An der Lage der Wölbung der Linsen 7 ist die jeweilige Stellung der verschiedenen Traversen 5 zu erkennen. Die Pfeile 13 weisen auf die beiden Schaltpunkte hin, an denen die Traversen 5 jeweils um 90° gedreht werden. Die Linsen 7 weisen also bei einer Umdrehung der Trommel mit der Rückseite zum Dampfstrahl, während sie bei der nächsten Umdrehung ihm die Vorderseite zuwenden.
Es versteht sich, daß die Halterungen für die Gegenstände an den Traversen auf die verschiedenste Weise gestaltet sein können. Es können beispielsweise Klemmgabeln Anwendung finden, oder die Traversen können auch als Bleche mit Bohrungen ausgebildet sein, in welche die Gegenstände eingesetzt werden.

Claims (3)

Patentansprüche:
1. Verfahren zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen oder Brillengläser, mit Quarz oder Metallen unter Hochvakuum, wobei die auf den Traversen einer in einem Kessel rotierenden Trommel befestigten Gegenstände infolge der Rotation der Trommel mehrmals durch die Bedampfungszone geführt werden und die Traversen eine Eigendrehung ausführen, dadurch· gekennzeichnet, daß die Traversen bei jeder Umdrehung der Trommel außerhalb der Bedampfungszone jeweils um 180° gedreht und innerhalb der Bedampfungszone in Ruhestellung gehalten werden.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, bestehend aus einer Verdampferquelle und einem Kessel, in welchem eine rotierende Trommel angeordnet ist, die aus drehbaren und mit Halterungen versehenen Traversen besteht, die in den Stirnseiten der Trommel gelagert sind und einen Antrieb aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß der An-
trieb aus einem Schrittschaltwerk (9,10,11) besteht.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Schrittschaltwerk aus an den einen Enden (8) der Traversen (5) angeordneten Malteserkreuzen (9) und zwei am feststehenden Kessel außerhalb der Bedampfungszone befestigten, mit den Armen der Malteserkreuze (9) zusammenwirkenden Schaltstiften (11) besteht.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DE19661521250 1966-05-03 1966-05-03 Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen, mit Quarz oder Metallen Withdrawn DE1521250B2 (de)

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GB1171977A (en) 1969-11-26
BE697973A (de) 1967-10-16
DE1521250A1 (de) 1969-05-29
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