Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion von Defekten am Randbereich eines Wafers und Verwendung der Vorrichtung in einer Inspektionseinrichtung für Wafer
Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung exakter Zieldaten von mit Richtungswerte liefernden Zielverfolgungsgeräten, insbesondere Kinotheodoliten verfolgten bewegten Zielobjekten