DE1514589C3 - - Google Patents

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DE1514589C3
DE1514589C3 DE19511514589 DE1514589A DE1514589C3 DE 1514589 C3 DE1514589 C3 DE 1514589C3 DE 19511514589 DE19511514589 DE 19511514589 DE 1514589 A DE1514589 A DE 1514589A DE 1514589 C3 DE1514589 C3 DE 1514589C3
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DE
Germany
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stigmator
image
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astigmatism
video signal
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DE19511514589
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Inventor
Karl-Heinz Dr. 1000 Berlin Herrmann
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
DE19511514589 1951-01-28 1951-01-28 Verfahren und Anordnung zur Einstellung eines einer korpuskularstrahloptischen Linse,insbesondere einer Elektronenlinse in einem Elektronenmikroskop,zugeordneten Stigmators Granted DE1514589A1 (de)

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DES0099781 1965-09-29

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DE1514589A1 DE1514589A1 (de) 1969-05-08
DE1514589B2 DE1514589B2 (enrdf_load_stackoverflow) 1973-09-20
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