DE1497093C - Röntgenelektrophotographisches Aufnahmeverfahren - Google Patents

Röntgenelektrophotographisches Aufnahmeverfahren

Info

Publication number
DE1497093C
DE1497093C DE1497093C DE 1497093 C DE1497093 C DE 1497093C DE 1497093 C DE1497093 C DE 1497093C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrode
electron
emitting
gas
ray
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Karl H. Dr.-Ing. 8520 Erlangen Reiß
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Publication date

Links

Description

Die Erfindung betrifft ein röntgenelektrophotographisches Aufnahmeverfahren, bei dem eine unter dem Einfluß einer Röntgenstrahlung Elektronen emittierende flächenförmige Elektrode mit Röntgenstrahlung bildmäßig belichtet wird und dieser Elektrode ein auf einer Gegenelektrode angeordnetes isolierendes Aufzeichnungsmaterial flächenparallel in Abstand gegenübergestellt, der Zwischenraum mit ionisierbarem Gas ausgefüllt und an die Elektroden eine Gleichspannung angelegt wird.
Bei Einrichtungen zur Durchführung derartiger Verfahren werden in bekannter Weise sichtbare Bilder erhalten, die ohne Verwendung teurer photographischer Schichten und ohne Durchführung eines photographischen, mehrere Entwicklungsbäder durchlaufenden Prozesses entstehen. Die isolierende Schicht ist demgegenüber ein billiges Aufzeichnungsmaterial, welches gegebenenfalls sogar wiederholt verwendbar ist (vgl. zum, Beispiel Zentralblatt für die gesamte Radiologie, 49 [1956], S. 117/118).
Bei röntgenelektrophotographischen Verfahren der obengenannten Art werden die mittels der Röntgenstrahlen erzeugten geladenen Teilchen durch das angelegte elektrische Feld zum Wandern gebracht und ,auf dem isolierenden Aufzeichnungsmaterial niedergeschlagen (vgl. zum Beispiel USA,-Patentschrift 2 221776). Ein anderes Verfahren ist'so ausgebildet, daß ein elektrisches Feld zur Erzeugung der geladenen Teilchen benutzt wird. Die bildmäßige Differenzierung der Ionisation erfolgt dabei über das elektrische Feld, das von einer bildmäßig belichteten photoleitfähigen Elektrode erzeugt und bildmäßig differenziert wird. Auch hier werden die im Feld wandernden Ladungen auf einem isolierenden Aufzeichnungsmaterial gesammelt (vgl. zum Beispiel »Electrical Engineering Abstracts«, 60 [1957], S. 350).
Die Entwicklung derart gebildeter Ladungsbilder erfolgt bekanntlich mittels eines pulverförmigen Toners, der auf verschiedene Weise auf das Ladungsbild aufgebracht wird. Die einfachste Methode besteht darin, daß das Ladungsbild mit einem farbigen, thermoplastischen Tonerpulver bestäubt wird. Die Fixierung des Bildes erfolgt dann durch Erhitzen, wodurch die Tonerteilchen geschmolzen und befestigt werden. Es sind aber auch Methoden bekannt, bei denen die , Tonerteilchen in einer Flüssigkeit dispergiert aufgebracht werden.
Die vorgenannten bekannten Methoden der Rontgenelektrophotographie konnten sich bisher in der Röntgendiagnostik nicht durchsetzen. Der Grund dafür liegt darin, daß die bekannten Einrichtungen zu unempfindlich arbeiten. Der Bedarf an Röntgendosis liegt bei den Aufnahmen im' Vergleich zu den bekannten photographischen Verfahren mit Silbersalzen um einen Faktor von 10 bis 100 höher. Bei den Methoden, bei denen zur Erzeugung der Ladungsbilder photoleitfähige Schichten benutzt werden, ist es zusätzlich noch nachteilig, daß die Stoffe, die Photoleitfähigkeit besitzen, störende Nuchwirkungseffekte zeigen.
Erlindungsgemäß sind die vorgenannten Nachteile dadurch vermieden, daß der Absfand der Elektroden, die Höhe der angelegten Gleichspannung und das verwendete Füllgas in gegenseitiger, Abhängigkeit so gewählt werden, daß der auf Grund der bildmäßigen Belichtung in bildmäiiigcr Verteilung austretende Elektronenstrom in Feldrichtung ausgerichtet so weit beschleunigt wird, daß eine Stoi'ionisation eintritt und in weitcrem Verlauf eine Sekundärionenvervielfachung bewirkt wird, und daß zur Vermeidung einer stehenden Entladung in an sich bekannter Weise ein Löschgas in dem Zwischenraum verwendet wird.
Bei diesem Verfahren werden.durch die Röntgen-Strahlen an der Elektrode Elektronen ausgelöst und /durch das angelegte elektrische Feld beschleunigt. Bei der Beschleunigung entstehen wegen der Größe des elektrischen Feldes Iorienlawinen, so daß eine Verstärkung des Röntgenstrahleneffektes um einen Faktor
ίο von 104 bis 105 erhalten wird. Durch die Auslösung der Ionenlawinen wird daher eine sehr starke Erhöhung der Empfindlichkeit erhalten. Damit aber die dabei enstehende Entladung nachBeendigung der Bestrahlung der ersten Elektrode wieder aufhört, ist'-es notwendig, daß in dem Gasraum ein entladungslöschendes Gas vorhanden ist. Dieses Gas kann, wie weiter unten ausgeführt wird, den ganzen Zwischenraum ausfüllen bzw. nur einen Anteil der Gasfüllung darstellen. Die Entwicklung des auf dem isolierenden Aufzeichnungsmaterial erhaltenen Ladungsbildes erfolgt nach einem der bekannten Entwicklungsverfahren, etwa durch Be-■ stäuben mit einem farbigen, thermoplastischen Pulver und anschließendes Erhitzen.
Es ist zwar bekannt, Röntgenbilder mit einer elektrophotographischen Vorrichtung aufzunehmen, bei welcher der Raum zwischen den Elektroden ein Löschgas enthält (USA.-Patentschrift 2 692 948). Dabei werden aber entladungsempfindliche Photoschichten als Aufzeichnungsmaterial verwendet, und es ergibt sich eine nur geringe Empfindlichkeit, so daß sich das Verfahren nicht einführen konnte. Andererseits hat es ' auch nicht zur Übertragung der dabei verwendeten lonensekundärvervielfachung auf die bekannten röntgenelektrophotographischen Verfahren mit Jsolierfolien als Aufzeichnungsmaterial Anlaß gegeben. Dies beruht offenbar darauf, daß bei den bekannten Verfahren nur geringe Empfindlichkeit auftrat, und darauf, daß wegen der auch seitlichen Ausbreitung der Photoelektronen bei einer für ausreichende Verstärkung genügend dicken Gasschicht unscharfe Bilder zu erwarten waren. Erst die Verbindung der Sekundärionenvervielfachung mit isolierenden Folien als Aufzeichnungsmaterial, die bei der an sich bekannten Anwendung der Sekundärionenvervielfachung in Meßkammern unter vergleichbaren Bedingungen nicht vorhanden war und durch diese auch nicht nahegelegt werden konnte, hat die zusätzliche Erhöhung der Empfindlichkeit ergeben. Damit hat die Erfindung gegenüber dem Stand der Technik in überraschender Weise zu einem empfindlicheren Aufnahmeverfahren geführt, mit welchem Röntgenbilder beachtlicher Auflösung erhalten werden können.
Bei einer beispielsweisen Ausführung der Erfindung ergibt sich der gasgefüllte Abstand zwischen den Elektroden zu 0,3 bis 3 mm, insbesondere 0,5 mm. Die Größe des Abstandes der Elektroden bedingt einerseits die Größe der Verstärkung. Andererseits bedingt der Abstand aber auch die Möglichkeit von Streuungen durch die seitliche Ausbreitung der Lawinen. Durch die Streuung und die dadurch bedingte Unscharfe ist somit der Benutzung großer Abstände eine Grenze gesetzt. Die oben angegebenen Abstandsgrenzen stellen daher einen Kompromiß dar zwischen Zeichenschärfe und Verstärkung. Zweifellos können die genannten Begrenzungen aber auch verlassen werden, wenn man zugunsten besonderer Effekte, etwa durch Vergrößerung des Abstands, erhöhte Empfindlichkeit erhalten will. Dabei muß man allerdings die durch Er-
. - 5 ■ ■ - Λ- ■ ·6 . ^ . j
Fig. 1 den Querschnitt durch eine beispielsweise Röntgenstrahlen ausgelöst werden. Die Sichtbar- f
Ausführung der Erfindung, bei welcher ein Raster zur machung des Bildes erfolgt in der oben erwähnten, be- i
Vermeidung von Streuungen benutzt ist, und in kannten Weise durch Bestäuben mit einem farbigen]
F i g. 2 den Querschnitt durch eine vereinfachte isolierenden Tonerpulver. ~ ■ |
Einrichtung mit automatischer Feldstärkeeinhaltung. 5 Die in der F i g. 2 dargestellte Einrichtung besteht i
Bei der in F i g. 1 dargestellten Einrichtung geht im wesentlichen aus den Teilen, die auch in der Ein- i von der Röntgenröhre 1 das durch die beiden ge- richtung nach Fig. 1 benutzt sind. Die Röntgen- ; strichelten Linien 2 und 3 begrenzte Röntgenstrahlen- strahlen gehen von der Röntgenröhre 18 aus und tref- ! bündel aus. Das Röntgenstrahlenbündel durchdringt fen nach Durchdringen des Untersuchungskörpers 20 ) den zu untersuchenden Körper 4 und fällt dann auf io auf die aus Bakelit bestehende Grundplatte 19 auf. An ! die 0,5 mm dicke Aluminiumplatte 5. Auf ihrer der ihren Rändern ist die Grundplatte 19 nach Art eines ; Röntgenröhre 1 abgewandten Seite befindet sich an Rogowski-Profils in Richtung der Röntgenröhre 18 I der Aluminiumplatte 5 die 1 μπι .dicke Schwermetall- abgerundet umgebogen. Das Röntgenstrahlenbündel schicht 6 aus Uran. An diese Schicht schließt sich das ist durch die beiden gestrichelten Linien 21 und 22 aus Kunststoff bestehende Raster 7 an. Die Quer- 15 begrenzt. An ihrer der Röntgenröhre 18 abgewandten schnitte der Zwischenräume des 0,8 mm dicken Seite ist die Grundplatte 19 mit einer 1,5 μπι dicken Rasters 7 betragen 0,2 mm und sind mit Luft gefüllt. Bleischicht belegt, welche die Elektrode 23 bildet. An An ihrer der Röntgenröhre abgewandten Seite sind die Bleischicht schließt sich eine '3 μπι dicke Filter-, die Rasteröffnungen durch die 0,01 mm dicke Alu- schicht 24 aus Zinn an. In einem Abstand von 0,4 mm miniumfolie abgeschlossen, welche die Elektronen 20 von der Zinnschicht 24 liegt parallel daiu die 45 μπι emittierende Elektrode 8 darstellt. Diese Elektrode ist dicke Kunststoffolis 25, auf welcher das Bild aufgean den Rändern des Rasters 7 abgerundet, nach Art zeichnet werden soll. Die Kunststoffolie 25 selbst beeines Rogowski-Profils in die Richtung Umgebogen, findet sich auf der Gegenelektrode 26, deren ebene aus der die Bestrahlung der Anordnung mit Röntgen- Fläche größer ist als diejenige der Grundplätte 19. strahlen erfolgt. In einem Abstand von 0,5 mm vor der 25 Zwischen der auf der Elektrode 23 liegenden Zinn-Aluminiumfolie der Elektrode 8 befindet sich die schicht 24 und der aus einer Metallplatte bestehenden Oberfläche der 50 μπι dicken Polyesterfolie 9, die auf Gegenelektrode 26 wird mittels der Gleichspannungsder Metallplatte, der Gegenelektrode 10 liegt, deren quelle 27 über die Leitungen 28 und 29 ein elektrisches flächenhafte Ausdehnung wesentlich größer ist als die- Feld aufrechterhalten. Die Spannung der Gleichjenige des ihr gegenüberliegenden und parallel zu ihr 30 Spannungsquelle 27 beträgt 1700 Volt. Der Raum verlaufenden Teils der Elektrode 8. In der Anordnung zwischen der Filterschicht 24 und der Kunststoffist an die Elektrode 8 und die Gegenelektrode 10 die folie 25 ist mit Kohlenstofftetrafluoi id, das unter Betriebsspannung angelegt, wobei an 8 der negative einem Überdruck von 3 Torr steht, gefüllt. Der Druck und an 10 der positive Pol der 2750 Volt liefernden wird über den Stutzen 30 aufrechterhalten, an welchem Gleichspannungsquelle 11 liegt. 35 über einen Schlauch ein Behälter mit Kohlenstoff-
Die Polyesterfolie 9 wird durch ein Vakuum gehal- tetrafluorid angeschlossen werden kann. Soweit entten. Die Ansaugung erfolgt mittels einer nicht darge- spricht die Einrichtung nach F i g. 2 in ihren wesentstellten Vakuumpumpe, die am Stutzen 12 ange- liehen Teilen und auch in ihrer Wirkung derjenigen schlossen wird und über welchen das Vakuum an der nach Fi g. 1. Es ist lediglich das Raster 7 weggelassen porösen Platte 13 angreift. Als poröse Platte ist in die 40 und durch die Filterschicht 24 ersetzt.
Metallplatte 10 eine 5 mm dicke Schicht aus harzge- Bei der Einrichtung nach F i g. 2 ist zusätzlich noch bundenem Quarzsand eingebracht. Der porösen eine Regeleinrichtung 31 zur Anpassung der Spannung Schicht ist zur Erhöhung der Leitfähigkeit Graphit an die jeweiligen Bedingungen vorgesehen. Diese beigemischt. An den Seiten liegt die Folie auf Dich- Regeleinrichtung 31 ist in der Nähe einer Ecke der tungsstreifen 15, 16 auf. Der nach außen abgeschlos- 45 Bildfläche, die auch zur Anbringung von Beschrifsene Zwischenraum 17 zwischen der Elektrode 8 und tungen benutzt werden kann, isoliert in der aus der der Kunststofffolie 9 bzw. der Gegenelektrode 10 ist Platte 19 sowie den Schichten 23 und 24 bestehenden mit einem Gemisch von Argon und Monobromtri- Kombination angebracht. Die Regeleinrichtung 31 fluormethan (CF3 Br) im Verhältnis von 1 : 5 unter selbst besteht aus einem einseitig verschlossenen einem Überdruck von 5 Torr gefüllt. Der Überdruck 50 strahlenundurchlässigen Zylinder 32, dessen offene wird durch Zuführen des Gasgemisches an dem Seite mit einer 0,01 mm dicken Aluminiumfolie 34 beStutzen 18 aufrechterhalten, deckt ist, die an ihrer Innenseite mit einer 1,5 μπι
Beim Betrieb der Einrichtung treffen die von der dicken Bleischicht 34' belegt ist und mit der Ober-Röntgenröhre 1 ausgehenden Röntgenstrahlen auf die fläche der Filterschicht 24 in einer Ebene liegt. Auf Aluminiumplatte 5 auf und lösen an der aus Uran be- 55 dem Boden des Zylinders 32 befindet sich ein aus stehenden Schwermetallschic'.it 6 Elektronen aus. Diese Thulium 171 bestehendes radioaktives Präparat 33, Elektronen werden durch das Raster 7 gerichtet und von welchem ionisierende Strahlen ausgehen, die bei ; treten durch die Folie der Elektrode 8 hindurch in den ihrem Eintreten in den Raum zwischen der Alu- i Zwischenraum 17 ein. Dort werden sie durch das an- miniumfolie 34 und der Kunststoffolie 25 Ionen -aus- ! gelegte, wegen der Ausbildung der Elektroden homo- 60 lösen, die ebenso wie die durch die Röntgenstrahlen j gene elektrische Feld beschleunigt und lösen ihrerseits ausgelösten Ionen beschleunigt werden. Zur Verbes- j Ionenlawincn aus, die dann auf derFolic9 gesammelt serung der Aufnahme der Meßgröße befindet sich in f werdsn. Wegen der Isoliereigenschaften der Folie 9 der Elektrode 26 gegenüber der Regeleinrichtung 31 J kann eine flächenhaft bildmäßige Verteilung der ein weiteres radioaktives Präparat 35, durch welches f Ladungen gespzichert werden. Die bildmäßige Ver- 65 in der Folie 25 eine gewisse Leitfähigkeit erzeugt wird, j teilung der ankommenden lonenlawinen ist darauf so daß die Meßgröße deutlicher aufgenommen werden f zurückzuführen, daß die Ausgangselektronen an der kann. f Schicht 6 proportional zur Dichte der auftreffenden Mit der Regeleinrichtung 31 wird somit eine Meß- |.
: höhütig des Abstandes auftretende Schwächung der flußt werden. Die Beeinflussung beruht darauf, daß
Zeicherischärfe iri Kauf nehmen. Man kann aber auch schräg in diese Schicht eintretende Elektronen stärker
durch Herabsetzen des Abstands eine Erhöhung der absorbiert werden als solche, die senkrecht durch die
Zeichenschärfe unter Verringerung der Empfindlich- Schicht hindurchtreten. Derartige Einrichtungen ohne
keit erhalten. 5 Raster sind vorwiegend für Röntgenstrahlung von
In einer bevorzugten Ausführung einer Einrichtung weniger als 90 kV geeignet.
zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens Die entsprechend den hochspannungstechnischen
besteht die erste Elektrode aus einer strahlendurch- Regeln geformte Gegenelektrode ist eine leitfähige
lässigen Schicht, etwa einer Aluminiumfolie von Platte, die vorzugsweise aus Metall besteht. Auf dieser
0,5 mm Dicke. Auf der der Röntgenstrahlenquelle abge- io Platte liegt das isolierende Aufzeichnungsmaterial,
wandten Seite dieser durchlässigen Folie ist eine bis etwa eine isolierende Kunststoffschicht, z. B. eine
zu einige μπι starke Schwermetallschicht, z. B. eine Polyesterfolie von 50 μπι Dicke. Es kann aber auch ein
.1 μπι dicke Uranschicht oder eine 1,5 μπι dicke Blei- Papierblatt verwendet werden.
schicht angebracht. Die Schwermetallschicht ist an der Der nach obigen Ausführungen etwa 0,3 bis 3 mm
der Röntgenstrahlenquelle abgekehrten Seite der Alu- 15 betragende Abstand zwischen den Elektroden ist vor-
miniumfolie angebracht, um die Rate des Umsatzes zugsweise mit einem schweratomigen Gas, wie z. B.
der Röntgenstrahlen in Elektronen zu erhöhen. Kohlenstofftetrafluorid (CF4), Monochlortrifluorme-
Im Hinblick auf die angelegte hohe Spannung wird than (CF3 Cl), Monobromtrifluormethan (CF3Br) oder entsprechend der. bekannten Methoden der Hoch- Schwefelhexafluorid gefüllt. Das Füllgas wird zweckspannungstechnik der Elektronen emittierenden Elek- 20 mäßigerweise unter einem Überdruck von einigen trode Rogowski-Profil gegeben, d. h., die seitlichen Torr, z. B. 5 Torr, gehalten, damit auftretende UnRänder werden abgerundet nach der Seite hin umge- dichtigkeiten in der Umhüllung automatisch ausgeglibogen, die dem gasgefüllten Zwischenraum abgewandt chen werden. Zur Vermeidung von länger dauernden ist. Eine entsprechende Form kann auch die Gegen- Entladungen ist dem Gas als Löschzusatz etwa Alkoelektrode erhalten. Eine andere Möglichkeit besteht 25 holdampf oder ein Halogen uws. beigefügt. Eine darin, daß nur eine der Elektrodenplatten, etwa die brauchbare Mischung besteht z. B. aus Argon und Elektronen emittierende Elektrode abgerundete Kan- Monobromtrifluormethan (CF3 Br) in einem Verhältten aufweist und die Gegenelektrode eine Platte ist, nis von 1 : 5. Bei den obengenannten fluorierten Med'eren ebene Fläche wesentlich größer ist als die ebene thanen ist ein derartiger gesonderter Löschzusatz nicht Fläche der Elektronen emittierenden Elektrode. 30 notwendig, weil die Nachlieferung von weiteren La-
Zur Vermeidung einer Bildstörung durch Elektro- dungsträgern nach Ablauf der Ionenlawinen selbst-
nenstreuungen wird bei einer Ausführung der Erfin- tätig aufhört.
dung an die Schwermetallschicht der Elektronen An den beiden Elektroden ist eine Gleichspanemittierenden Elektrode ein Lochraster angeschlossen. nungsquelle angelegt, so daß zwischen ihnen eine FeId-Die Rasterlöcher, deren Durchmesser z.B. 0,2 mm 35 stärke erhalten wird, die etwa 1 bis 5 °/0 unterhalb der und deren Tiefe z. B. 0,8 mm betragen kann, können Durchbruchsfeldstärke des Gases im homogenen Feld in Kunststoff oder in Metall eingebracht sein. Durch liegt. Diese Feldstärke sollte mindestens auf ~ 0,3 °/0 ein Raster mit den vorgenannten Maßen werden die eingehalten werden, damit die Verstärkung konstant Elektronen, die bei der Auslösung durch die Röntgen- ist. Die Einhaltung der Feldstärke kann durch ein bestrahlen in allen Richtungen aus der Schwermetall- 4° sonderes Regelglied automatisch erfolgen. Ali, Regelschicht austreten, derart gerichtet, daß diejenigen, die glied wird hierzu z. B. eine Einrichtung benutzt, bei um einen größeren Winkel als 15° von der Senkrechten welcher durch eine isoliert in die Elektronen emittie auf der Fläche der Elektrode abweichen, absorbiert rende Elektrode eingebrachte Mefielekirode mittels werden. Die einen Öffnungsseiten des Rasters sind mit eines radioaktiven Präparates, z.B. Thulium 171. der Elektrode verbunden, die zweiten Öffnungsseiten 45 Ladungsträger erzeugt werden, die längs einer Meßder Rasterlöcher können durch eine dünne, etwa strecke in den Gasraum zwischen den Elektroden ein-0,01 mm dicke Aluminiumfolie abgeschlossen sein. Die dringen und beschleunigt werden. Auch diese Teilchen Aluminiumfolie kann auch in dieBildung des Rogowski- werden durch Lawinenbildung verstärkt, und die VerProfils einbezogen werden, indem sie seitlich etwa auf Stärkung hängt von den in der Meßstrecke herrscheneine gebogene Unterlage auf gezogen wird. Um den aus 5° den Bedingungen, wie Drück und Feldstärke usw., ab. tretenden Elektronen wenig Widerstand entgegenzuset- Diese Bedingungen stimmen aber mit denjenigen überzen, können die Rasterzwischenräume außerdem noch ein, die allgemein zwischen den Elektroden herrschen. mit einem leichtatomigen Gas, etwa Luft, gefüllt sein. Aus dem in der Meßstrecke von der Meßelektrode zur
Die der Röntgenstrahlenquelle benachbarte Elek- Gegenelektrode der Einrichtung erzielten Ladungsfluß trode kann in einer anderen Ausbildung der Erfindung 55 kann daher eine Regelgröße gewonnen werden, mit aus einem röntgenstrahlendurchlässigen Körper be- welcher die Spannungsversorgung der beiden Elekstehen, der Rogowski-Profil hat. An seiner der Rönt- troden in Abhängigkeit von den Bedingungen im Gasgenstrahlenquelle abgewandten Seite ist dieses Profil raum beeinflußt wird. Die Beeinflussung selbst bewerkmit einer Schicht aus Schwermetall, etwa 1 μπι dick stelligt man in vorteilhafter Weise über einen an sich mit .Blei bedampft. Der Körper selbst kann aus Isolier- 6° bekannten Meß- und Regelverstärker. Falls die Meßmaterial bestehen, das ein Kunststoff, wie z. B. Bakelit, strecke unabgeschirmt innerhalb der .bei Aufnahmen sein kann, weil die Schwermetallschicht genügend bestrahlten Fläche liegt, sollte der Verstärker so träge Leitfähigkeit besitzt.. Die ausgelösten Elektronen kön- arbeiten,-daß er der Veränderung des zusätzlichen nen statt durch ein Raster auch durch eine an der der Ladungsflusses durch die kurzzeitige Aufnahmebe-Strahlenquelle abgewandten Seite der Schwermetall- 65 strahlung nicht folgen kann.
schicht angeordnete Filterschicht aus elektronenab- Die Erfindung wird nachfolgend an Hand der
sortierendem Material, z. B. eine 0,03 mm.dicke Zinn- Figuren geschildert. Die Zeichnung umfaf'l folgende
schicht in ihrer räumlichen Verteilung günstig beein- Darstellungen: In
größe erhalten, die von den Bedingungen (Druck, Gasart usw.) ini Raum zwischen der Schicht 24 und der Folie 25 abhängt. Diese Größe wird über die Leitung 28j die Stromquelle 27 und die Leitung 36 einerseits sowie durch die direkt mit der Regeleinrichtung 31 verbundene Leitung 37 dem Verstärker 38 zugeführt. Dieser wirkt dann über die Leitungen 36 und 39 nach Art einer bekannten Einrichtung zur Konstanthaltung elektrischer Größen regulierend auf den Stromkreis der Spannungsquelle 27 und damit auf die den Elektroden 23 und 26 zugeführte Spannung ein. Die Regeleinrichtung bewirkt somit, daß bei Veränderungen der Entladungsbedingungen, z. B. des Druckes, die Stromverstärkung in der Gasstrecke konstant bleibt.

Claims (7)

Patentansprüche:
1. Röntgenelektrophotographisches Aufnahmeverfahren, bei dem eine unter dem Einfluß einer Röntgenstrahlung Elektronen emittierende flächenförmige Elektrode mit Röntgenstrahlung bildmäßig belichtet wird und dieser Elektrode ein auf einer Gegenelektrode angeordnetes isolierendes Aufzeichnungsmaterial flächenparallel in Abstand gegenübergestellt, der Zwischenraum mit ionisierbarem Gas ausgefüllt und an die Elektroden eine Gleichspannung angelegt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand, die Höhe der angelegten Gleichspannung und das verwendete Füllgas in gegenseitiger Abhängigkeit so gewählt werden, daß der auf Grund der bildmäßigen Belichtung in bildmäßiger Verteilung austretende Elektronenstrom in Feldrichtung ausgerichtet so weit beschleunigt wird, daß eine Stoßionisation eintritt und in weiterem Verlauf eine Sekundärionenvervielfachung bewirkt wird und daß zur Vermeidung einer stehenden Entladung in an sich bekannter Weise ein Löschgas in dem Zwischenraum verwendet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das in den Zwischenraum zwischen der Elektronen emittierenden Elektrode und dem Aufzeichnungsmaterial eingebrachte Gas schweratomig ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das den Zwischenraum zwischen der Elektronen emittierenden Elektrode und dem Aufzeichnungsmaterial füllende Gas eine Mischung von Argon und Monobromtrifluormethan im Verhältnis 1 : 5 ist.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen der emittierenden Oberfläche der Elektronen emittierenden Elektrode (8 bzw. 23) und der dieser zugewandten Oberfläche des isolierenden Aufzeichnungsmaterials (9 bzw. 25) 0,3 bis 3 mm, vorzugsweise 0,5 mm, beträgt.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der emittierenden Oberfläche der Elektronen emittierenden Elektrode (8) ein Lochraster (7) vorgelagert ist, dessen Löcher senkrecht auf der Oberfläche der Elektrode stehen (Fig. 1).
6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der emittierenden Oberfläche der Elektronen emittierenden Elektrode (23) eine aus Elektronen absorbierendem Material bestehende Filterschicht (24) angebracht ist (F i g. 2).
7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur automatischen Konstanthaltung der Spannung eine Regeleinrichtung (31) vorgesehen ist mit einer an einer Stelle des Zwischenraumes (17') abgetrennten Meßstrecke, iti welche die Strahlen eines ansonsten abgeschirmten (32) radioaktiven Präparates (33) einfallen (F i g. 2).
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19725168C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen einer Kontamination bei einem Ionenimplantationsprozess
DE1937482A1 (de) Mikrostrahlsonde
DE1922871A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ionenerzeugung
DE2431036A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aufnehmen von roentgenbildern
DE2719856A1 (de) Hochgeschwindigkeits-system zum erzeugen tomographischer roentgenbilder
DE2511896C2 (de) Röntgenelektrophotographisches Bilderzeugungsverfahren
DE2258364C3 (de) Verfahren zur Erzeugung eines elektrostatischen Bildes auf einem dielektrischen Blatt mittels Röntgenstrahlen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE1497093C (de) Röntgenelektrophotographisches Aufnahmeverfahren
DE69810785T2 (de) Analyse geladener teilchen
EP0340866B1 (de) Anordnung zur Erzeugung von Röntgenaufnahmen mittels eines Photoleiters
DE2737052A1 (de) Fotogesteuerte ionenstrom-elektronenradiografie
DE1497093B1 (de) Roentgenelektrophotographisches Aufnahmeverfahren
EP2377575B1 (de) Raster-Dosimetrievorrichtung
DE2715965C2 (de) Röntgenstrahlen-Detektor
DE2226130B2 (de) Vorrichtung zur elektrofotografischen Aufnahme von Röntgenbildern
DE2542362C3 (de) Ionenstreuspektroskopisches Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung desselben
DE2231954C3 (de) Ionografisches Aufzeichnungsverfahren und Vorrichtung zur Durchführung desselben
DE2653793A1 (de) Elektrografisches verfahren
DE2233538B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Entwickeln eines elektrostatischen Ladungsbildes
DE1963980C3 (de) Verfahren und Einrichtung zur elektrofotografischen Aufnahme von Durchleuchtungsbildern
DE2839994A1 (de) Vorrichtung zur radiographischen analyse
DE2113225B2 (de) Kassette zum Herstellen von Röntgenstrahlen-Elektrofotografien
DE2434287A1 (de) Abbildungsgas fuer eine verbesserte aufloesung in einer abbildungskammer einer elektronenradiographischen anordnung
DE2347414C3 (de) Verfahren zur Beseitigung der Untergrundrestladung bei elektrofotografischer Bildwiedergabe
DE2100558A1 (de) Fotoelektronenröhren