DE1439826A1

DE1439826A1 - Duennschichtkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung

Info

Publication number: DE1439826A1
Application number: DE19631439826
Authority: DE
Inventors: Loeb William Erickson; Cariou Frank Ernest; Valley David Joseph
Original assignee: Union Carbide Corp
Current assignee: Union Carbide Corp
Priority date: 1962-12-27
Filing date: 1963-12-27
Publication date: 1969-04-17
Also published as: JPS4531787B1; GB1075094A; BE641788A; DE1439826B2

Description

ÜUOli CABBXJJtB COHFORAf XOR, New York 17» H. Y, / USA Dünnechichtlcondensator und Verfahr en mi seiner Herstellung

Die Srfindung betrifft Dünnsohiohtkondeneatoren, inabesondere ein elektrisches Kondensatorelement in Poru dünner Pilse alt einer Schichtung aus in Dampf form niedergeschlagenem Poly(p-xylylen) und alner leitenden Hetallsohioht, die abwechselnd abgenohieden sind, sowie auf Verfahren zur Heretellung derartiger Anordnungen«

Bisher bat elektrischen Schaltungen verwendete Kondensatoren waren auf baetioate Baufonnen aus Hetallaoheiben, Folien oder Pilmen alt nichtleitenden 2wisohenfiloen beschränkt, sowie auf be« trnXrmXa Verbindungen und ZuBammenfletaungen, die eine Speicherung >nifl Au.freohterhaltung elektrischer ladiingen ohne Ladungeverluet durch dae Dielektrlkuia ge statt en _a PUr derartige Anvendungszveolce αν.-ϊύατι In weitestem Umfang Kondensatoren verwendet» die aus dto- ιλιλ Alujßlaiiimfolien bestehen* die mit Hilfe nichtleitsnder Kunst- s -offf» odor ftaretimprägnierter Materialisn hoher aielglctrisoher >■■.·;e^:igkeit voneinaiiänr getrennt sind, obwohl in jüngster Zeit verschiedene andere Ede!metallverbindungen waä Zueammenoetaungan Xn ähnlicher ffeloe-in elottr-ischan Schaltungen bonutst mirden« Hit new Aufkommen von Miniatur- und Mikrominiaturachaltungen be-Bt3ht jedoch da» Bedürfnis, die Größe bestimmter Bauteile, inebf.oundere der Kondeneatorsn, Widerstände und anderer eperrlger ivLeatmio von Vor σ türkor ~ _? Gleichriohter« und DäEp.avngeaohaltungen sti verßilndenic Auöor den anorganischen Dielektrika, wie Olieaer und Siliaiusioxyö, sind zur Zeit verfügbare Baustoffe nicht für 4 Io Horatel'limg von Ulkrominiatür"JDUnnschiohi;kondensatoren ge·* fjo fcrw:leasn sich in zahlreichen Yaxa

die WiderettiJii?

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als- die am aetettn H&um beanspruchenden Bauteile, die selbst sis. Vielfache® gruger ale die verwendeten Ssanoiatoren und !Dtoäsn wsxen* "....'

llit der vorliegenden Erfindung vrard» nunmehr ge£unden_t daß nloh IHtonsohio&tlcondensatoren dadurch herstellen lassen, daß eine wechselweise Schichtung aus mindestens svsrei clektrlnch leitenden Mstallsohiehten gebildet wiyd, die mittels eineo In Bompfform abgeschiedenen festen PolyCp-xylylene) voneinander getrennt sijid, dae mit mindestens eintr dor leitenden ?iftallachlchten foat verl}uad«n 1st. Dteee Weöhselachiohtungen ergeben» «ie im folgenden aueffliirlioh beeo^rieisen, Kondeneatoren mit praktisch konstanter»

Opazität _c niedrigem Verlust faktor > einem

sieh tiber weite f@mperati2r~ oder Fre^ueEzljaröioho nur .wenig U&r den reaperaturkoeffisienteji dsr Kapazität und mit im üfcrlßsn den Eigensoiieftan bekannter JOlienkonäöneatoren Ubfiirlsgenen odor äquivalenten Bigenaohaften, die Jedoch eis sehr dünne, auf einem nichtleitenden TrBger aufgebaute Btsibalten. oder als dioka aslb?t<» tragende Ulme jeder gewünsohtan Dlcjfco haretellbar aind» dere bewähren, eloh derartige dlitma .?ilm© in Säikromi ttmgen₉ ä&o bisher nicht VQrwirdu.Jriht· vrarien }ii;y.v>.t»

Mit der Brfindtmg wird vrsita^ glxi 7ü^-iaiir?:n i.r?? Aobildung von Xondensatorelementeu gaschaffen, dis slolf';i*5..^riab?. !.

nehmen und speichern Icönnon und alnnsi xwiAzv .i; liarj haben» wobei eine Moiioj-I-Polymörschic-heurig■' ^pXftdu'rc^;h ^ wird» daß bs&b dem Dampfzuötand ein item p-Xylyleiidiiadikal. au£ aineia. leitenücn und abgeaqisieden wird* äer auf etiie Samporatiir unterhalb- dor Kondoaflatidnstejaperatur doa p-ZyljrXendirGdikals gekühlt ist ₅ ®;> da@ auf '..diesem träger eins grexuCyei© B©sehiohtmig von 100 £-Bi£üieiten aufgebaut wird. Die KoucLöuBation dioser fähigen Mradikale auf einer Oberfläche mitörhallb clax»

Köndöneationstemperatur das reakticnefabided Bl^adikniß liOtrt nu

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BAD ORIGINAL

einer nahesu augiabliokliohen Polyeerieation dee SlraAUkala su eines linearen thermoplastischem Poly(p-xylylen) in For» dünner HUM· Porenfreie Filae aue Poly(p-xjrlylen) werden in einer Stärke yon ungefähr 100 Ä-Binheiten und. oehr erhalten, wodurch, fall« erwUneoht, eehr dünne Kondeneatoren nergeetellt «erden können, oder aber aneh Kondensatoren, bei denen der dlelektriaohe KId jede gewünscht· Dloke, beiepielevrelee auch noon 0,025 ble 0,05 mm (250 000 bie 500 000 Ä) hat. Die wertvollsten Eigeneohaften dieser Kondeneatoren worden jedooh bei ultradünnen Pileen von 100 ble 10 000 !-Einheiten verwirklicht.

Auf dleee Itelae let ββ aöglich, die reaktlcnefähigezi Biradikale ale IHelektrilnuB auf einer leitfähigen Metallfolie abeueohelden und an polymerleieren und auf diese Weiße den Kondensator durch eine Bohlohtung ron Pollen aufzubauen, oder umgekehrt einen leitenden Hetallfilii auf einen entsprechend ausgebildeten Poly(p~xylylen) durch treoheelwelee Sotiiohtung von Poly(p-acylylen) und Metall absruBOheiden und auf diese Woiao kapazitive Elemente und dobilde auf Trägern aufzubauen ouer dickere, selbsttragende Pilmanordnungen au verwirklichen, die, obwohl von geringer Größe oder Flache extrem hohe Kapaeität habon.

So ist ee erfindungsgemäß möglicn_f mit Hli.'c ron Yakuunnrerfahreii ein linearoB Poly(p~xylylen)auf sinrr dünnen leitenden Hetallfolie oder einem Draht abzuscheidsn und anschließend wechselweise Schichten aue Metall und Polymer aufzubauen« ble die gevrUneohte Dleke dee Kondeneatorelemente erreioht 1st oder der gewUneohte Kapasitätewert verwirklicht ist« Tb lot außerdem aöglioh, in Vakuum einen Hetallfilm r.uf die r.'t Palymer heeohiohtete Tolle

oder den Draht aufzudampfen und an dGm Matallt-jcägor und den tuf~ gedämpften Metallfilm Leiter ariiiubrinßon, Er lEÜmien beliebig viele einander abwechoelnde Eeßohichtunnen aufgebaut werden, voraus·· gesetzt, daß während der Aufbringung Loiter ?,u ücn alirochttln&Bn aufgedampftem lietallfilntr g-oführt werden, \α*β (

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BAD ORIOINAL

Ab&eetauig oies auflese geeignete Eafinahaen erfolgen kann.

.23© 1st «atep!P§!9]!i@ß<I de? BrfinSotsg welt·? möglisk, eisten dttanen im M£dai©£uss®v@ff£e&r«a auf eine iilnne üaiictffcoff- @ia©n anderen g^e&s&tepEeclis&d®« nlolitleitenden Trtiger Sam weetmeiaä® SsM@Mt@n iron Poljfflt^ ^d Metall

fe^aoea al® ©b@ne Kos^@sag©to3?«n verwendet oder «ofgewiekeit and al· Qioleelkonde&eatoreai benutet wesde&i wenn Sieger iissB tmd fl@3rf.feel ist, .

Sez> ÄUtf§«4aapÜt« leitende Metallfilia «ollte voa

tiag elfte dUTOhgshende leitfähigkeit für elektrische Wb9T iie geeaate Oberfl&ohe des ^etallfilne sichersu-

etellen und die Ablagerung τοη sioirS miteinander verbimdenen Hetallliiseln sti Temelden» 3)lee kaum mit Leichtigkeit bei Bioken von TOOO 1 erreiolit weräen, und wenn ein sauberer Träger benutzt und gewisse reine Metalle aufgetragen werden, lesson sich aufgodampfte Hetallfilne mit einer Dicke von beiepielsweiao mir 100 R-Binheitea verwirkliohen. Beetim&te MoIaIIo₈ wie Chr-oni, Aluminium und Siel lagern eich im allgemeinen als sohr öüiino, vollständig leitende Filee ab, wäJirend andere Metalle oioh bo.l der Abücheidung leloAt eueaaaenballen und au Hotallinseln fttnren und InfoIge des8en einenetwas diokeren Überzug erfordern« Zink, Silber, Gold und Cadmiun genttren dieser zuletßt ganennten MotalUclaeee an und bilden aetftllleohe Inseln, die ialtelnantiar verbunden vrerden mtle-•en, bevor eine elektrische Leitung erfolgt« Infolgedessen können fQx gewle>«e dieser genannten Hotalle dielcero Filme erforderlioh •ein·* . ' . ·_ ;> .

Die besten Ergebnisse wurden bei derartigen Ketallfilman ralt Dioken von 500 bis 5000 Ä erhalten·. Diokere ill cc k&mcm

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werden, haben jedoch bei Mehreehiohtkondenaetoren *uweilen Ale !«igung, an dor Metallschicht nufoureißen ο dar sieh Ton des trüger zu läsen, da die auf go dampfte Hetallachioht gering· Meohanleehe Festigkeit hat« Für viele Zwecke let die* jedoch Hiebt kritisch und führt gegebenenfalle nicht iu Haohteilsn.

Bin besonders auffallender und wichtiger Vorteil dlteee Metall« aufdaapfung&verf-ahrene ist das SGlbstheilungevenBlIgen γοη mat dies« Weiße hergestellten Kondensatoren* Bin elektrieoher Durchsöhlag oder eine Bogenbildung durah dae DielektriJoua kann dureh einen 3trom8toß beseitigt werden» «eloher den· dünnen ftttfgtdaapftea Xetallfila durchbrennt und Ihn auf diese ffeiee ia Bereioh de· öuroheohlogs beseitigt· Auf diese Welee wird eine fortgeeetite Bogenbildttxig oder ein Kuraeohlufl derartige? Kondensat ösen vermieden oder aindeetens sehr selten gemacht«

Während das Auf dampfen von Metall 8ür Bildung der leitenden Mttallachloht von Kondensatoren nach der vorliegenden Srfindung für die meisten DÜimechichtanwendungen und für integrierte Sohaltungen vorzugsweise verwendet wird» ist es auch möglich« Metall* aiii eine oder raohrere der l?iten<iön Metallschlohton au ver-

Ideispiaiawoitae ist «in var^ugDwalao benutzter Kondensa* tor antwüOler In ebener oder gewioJcelter Vsxm mit einer Metall» iolie ver«eh9n, die auf aÄRaestsue 4i:-esr Kei&s alt -»iueia ?oly(p«xylyl8n) besohiohtet iet< das Boinerseits nit einer lsi» tenden 3uhioht aus aufgedampften JtIQtall bojsohiohtet ist* wobei Iföiter an beiden Itetallfilmen angebracht sind. Bin derartiger Kondeneatoraufbau hat den entscheidenden Vorteil, d*8 die leiteten Oberflächen und das Dielektrikum fest miteinander verbunden sind t ohne daß iuf teinsohlttsse ia Dielektrikum -rorhanden sind oder K-Useigkeit oder Dampf swieohen das Dielektrikum md die leitenden filme eindringen und auf diese TMise dl* Kftymsltttt rerandern oder beeinflussen können.

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Bs let nioht kritisch, velehes e?esl*lle Metall verwendet «β sollte j«doeh normalerweise f»at «aft von ffafcur «a» leitend SeIn₁ so daft es den Durchgang tob elektrlsohea Ladungen «rmöglioht. Während Jades beliebige leitend« Metall benutat werden keim» wird lsi allgemeinen 7orsugeiveiss ein Metall benatst, da· Ib festen Sustand ein auageeeielmetef natürlloher Leiter let, d.h« eisen epeaifieohen Widers tend unter 100 ρ Jl cm und vorsttg·* «eise unter 10 nil ob. hat, wie belepleliw^iee (k>ld_f Silber, Kupfer, Aluminium, Blei und Selen, da Httia laden «ad 2Sntladen dee Kondeneatore dann nur geringe oha®@iie Verluste infolce dee TTidersteuadee de· Ketalle eintreten. In der fcevoreu^ten Aueftthrungefora der Sriindung sollte ü&a Metall !©ion* ▼•zdaeqpfbar und durch Vakumnrerfabren ohne weiteras abaeheidbar sein. Derartige duroh Tafeanwverdampfung leicht abkusehsidende Metalle haben eine AbeoheidenseleonBtante von aindestene 5 χ 10 Oranm Je on je Sekunde bei 1 Mikron Druok (abaoltrt), wie b®l©pielewe£ee bei Silber, Gold_f Aluminium, BIei, Chrom, Hiokel, Kupfer, Zifin, EIaen und fiatin und eignen si oh daher beecaders als leitende JPllme in derartigen Bl erneut en. '

Die AuBdrüoke "leitende Metallschicht" odo:? "leitende fläehe" aollen Jode Metalloberfläoho oinsoiaießen, die ausreichend leitend let, un elektrleohe Ladungen im■ Viscen-'cliohen gleioh£^>&x^>«> nig über praktisch alle flächen der Schloht oder der Oborflächo Yerteilen mx ktt&nen· So fallen unter den Begriff eäatliche selbettraeeaden Vollen oder Metallbleche und aucii aufgsdaopfte He tallfilme.

Hie bei den Kondensatoren nach der vorliegenden HxXladung ersielte» horrorxagenden Brgebnlsse find auf die glelnhaäBige Absoheidüttf des reaktionsfähigen p-Xylylendiradikale su eintm glatten porenfreien Polymerüberaug »urÜokzufUhrtn, der mit dem Träger fest Terbanden ist· Me Poly(p»aqrlylea·) sind in jedem bekannten organischen Löeungemittel bei Biiimertemperatüren unlöaliöh} sie

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elnd ferner a!h_t f«iuohtS.gkai*ebeetanÄi$ iutfi tee·» 41· Misten Oaac «ni JNtafft ttnävrohläeai^. at· baoiteen einen etablle* teapcraturlcoafflslentim der Xapaiitttt, Λ«ρ Ton Aus Ttayeratur «Mb· htfa§le let und bleiben euoh bei extra* niedriger 9taipexmtur «aA fludbtX» βο dafl dies« Koaftene«%or«ii In eohnell Bohaltkr<leen imfi Supxttltiteloheltes ¥«nrend«t werden.

dU Nd 5«Bp«rAturen τοη flUsai«·«

flurchgefttlart wurden, ergaben, defi da» Polyaer %·! 01·« ' ,gtn recht bxtiohbtstBadlg let tmd daß eine Grundeehiöht in Vom •Intr Uvtallfoll« lelöhter bricht äIs du Poly»*r» fiuroh da» Bl·- gtn wird der stteaaatabtfiieende Uljereug au« Polyip-iylyi·») nioht tw Ketall abbittet.

looh in aoA*r«r Hlneloht eind derartig· Poly(p-xylylen·) fUr die tondansatoren naoh der Srflndung τοη beeonderea Vorteil· Xn w·- ■•ntllobtn lagern ele »ich auf einem Hotalltrilger äknlioh τοη Feuchtigkeit In einer feuchten Atmosphäre ab» untereoheldtn eich von Feuchtigkeit jedoch dadurch, daß eic keine neigung Beigen, In eohvrereren Maeeen bu der unteraten Stelle des ^artigere «u illee« een und eich dort su eaauneln» DIo .fclyeev-abe^heiduiig ergibt vielmehr in. der Praxis einen glatten, gleünhüäriigtm wb-iraug auf allen freiliegenden Iräßeroberiläahen. Wi^ im fulgoiiaca txlttutert, eollte der Träger kühl gehaiton <,*tlu )äo3 -oii.-.ii&teiui unterhalb der Kondenaationsteaperatur det; .i}.o:i:^: cJlcrt d p-Iylylendiredikale liegen.

Der vorliegend verwendete Auedrnci. '^'iyiylurhdivr.Alkal" eoll diejenigen ebeiaieohen Verblndung^a usuCn«Bci, eil« ti non freien RadlkalplatE an jeden von «wei AlphaatuaoK b^oitaeii, die in Para-atellung an einen ctfomatlechen Kern häitgoti, «la dlea luroh dia Struktur

^y^ \ Gc Pornel 1

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dargestellt let, wobei T entsprechend der unten stehenden Xr~ läuterung jede tntarte einwertige Oruppe darstellen kann. 3)1 ««β p~Xjrly3.endiradlkale sind in danpffürmigom Zustand stabil, kondensieren Jedooh «u einem dttnneA porenfreien Film einte fetten Polymere, das vorliegend βΧβ "PolyCp-atylylen)" beeelohnet wird und, wie in folgenden nooh auefUhrlioher erläutert, durch die Struktur

Ιο

■/ \

form·! II

gelpeimselohnet «erden kann·

Diese Polyaere eignen eloh lh herrorragender Veise XUr dielektri eohe filme für Kondensatoren, und tswar nicht nur in ihrer Anwendung als dünne Pilae sondern auoh infolge weiterer bedeuteaner Eigenschaften, Während die nelsten Dielektrika naobtelliger» weise nur eine niedrige maxlnale Betriebetenperatur haben* die Poly(p-xylylene) über elnon ?/olten Toaperaturbereicii eetst werden« Beiepielewoteo soilgteu fx-ofcestücke von Kondensatoren unter Verwendung τοη PoXy(p-xyly3.en) ßXo Dielelrtrlkim awl-0ohen swel leitenden Hetallflgchen nur eine Kopatsitgteändarung Ton 5,5 + naoh 2$0-sttineiger Spelohexung bei 150⁰O in Luft und einer Olelobstroarorspannung von 180 Volt· Bei Speicherung In Takuua oder in inerten Atmosphären ergab oloh unter entsprechenden Speioherbedingungen bei 175⁰C praktisch keine iinderung. Auoh in anderer Hlnsioht sind-derartSrge. Poly(p-xylylene) anleren T>l> elelctrlka weit Überlegen. Verglelohedaton der omitteltm- cV^:.·· eXektrisohen Eigensohaften dieser Polymere gegenüber üblichen dielektrischen PolynerfUrnen ciacl *n der -

Tabelle A wiedergegeben.

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BADÖRK3INAL

H39826

Material	maximale Arbeitetgm- Deratur °0	minimal brauohbaro Dioke	Dielektriil- tHtskonetante I
Poly(p-xylylen)	^=- 175	100 %	2,7
Poly(2-chlor-p- xylylen)	^=- 175	100 %	3.0
Polyfc^,c^cK¹ ^* t« fluor-p-xylylen)	>· 300	100 Ä	2.6
Polyäthylen- Ierephthalat	135	6,,	5.2
Polytetra- Fluoräthylen	200	12 μ	2.1
Polystyrol	60-70	10 ρ	2,5
Polyäthylen (bestrahlt)	85	40 ρ	2,25
Bisphenol A Polycarbonat	125	20 ρ

Material

JPo Iy (p-xylylen)

Poly (2-ohlo3?"pxylylea)

zient

_rjD|)ile _n.,1p_mMiU./"„C

-250 biß 100⁰O

+500 bio 100°C

Teriust"

-faktor

bei

1 !eg Hertz

Dielektrische Festigkeit

Tolt/oa

0,00 05

100^σ0 O₉OO 05 bei 20^ö0

0,00 25 bei

ιοο^σσ

0,00 25 bti 20⁰C

5 x

10-

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- ίο -

H39826

	im Ie	+250	bis 8O⁰C	brauchbare DiOkQ	Dielektrizi tätskonstante K
Material	Arbeitßtsai- peratur C	-200	bis 120⁰C	0,002 bei 20⁸C
	PoIy^C,ζλ,ο(·,Cv,' tetra— fluor-p-xylylen	-150	bio 60°σ	0,004 fiel 2O⁰C	1-2 ζ 10⁵
Polyäthylen- Terenhthalat	-500	bie 85⁰C	0,0005_rtbei 20⁰C	2 χ 10⁵
Polytetra- Pluoräthylen	-200	bis 120⁰C	0,0005_ftbei 20⁰C	2-2,β χ 10⁵
Polystyrol		0,0009_obel 2O⁰C
Polyäthylen	0,001 bei 2O⁰C
Bisphenol A. Polyoarbonat

So eignen sioh die Poly(p-xylylene) nicht nur Infolge dee angegebenen günstigen Temperaturverhaltene sondern euoh aufgrund ihrer Sielektrlsltätekonatante und der hohen dle'.oktrinohen Festigkeit in hervorragender Weise für

Da eioh die Poly(p-xylylena) in poirenfroien 5'jlmen i2i Stärken

bie herab au 100 Ä niederechlagen_t heben die hieraus ten Kondensatoren extrem hohe Kapazität. Ba die Kapazität in unmittelbarer Beaiehung zu der DiolektriBitätokonu1;anten und 4er yifiohe und in reeiproker Beziehung au der Dicke des kuee steht, vermag das extrsxn dünne Bielelctrikiia aus

lea) die Kapazität eineο Kondensators gegebener Fläoha erheblieh

BU steigern, oder kann umgekehrt die Fläche dee Kondensator«

weeentlleh rerringert werden, die erforderlich ist, un eine beatinate Kapazität au orhelten.

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BAD OBIGiNAL

- 1t -

Jährend Blöken de· Dielektrikums von nur ungefähr 100 i. naturgeiä0 «u einer niedrigen Durchsohlageepannung führen, können der·* Artige Kondensatoren in Mlkromlniatureohaltungen verwendet werden, bei denen niedrige ßignalspannungen üblich sind. Treten höhere 3ignelepannungen auf, kann eine größere Dioke des Poly{p-xylylens) erforderlich werden. Da eich die dampfförmigen p-Xylylendiradlkale in Pora einee porenfreien Poly(p-xylylens) und ale geeohloeeene äohloht abeohelden, beetehen keine Schwierigkeiten, jede gewUneoh- %9 Dioke dee Poly(p-xylylen)dielektrikums zu erhalten«

entsprechend der Erfindung benutzten Poly(p-xylylene) werden Luroh Kondensation von dampfförmigen Diradikalen mit der oben eingegebenen formel I gewonnen· Diese Diradikale sind In der Dampfphase bei Temperaturen über 200 bis 25O⁰O gut stabil. Beim Ab« suhlen kondensieren die Diradikale und polymerleieren sofort au ⁷em linearen Polymer nach Pormei II, Jedes der verschiedenen diradikale hat im allgemeinen seine eigene Kondeneatlonatemperaur, die für gewöhnlich awlοoben ungefähr 25 und 250⁰C oder geringligig darüber liegt, was In gewissem Ausmaß von dem Arbeitsdruck er Anlage abhängt«

Mrartlge Diradikale können auf verschiedene Welse gewonnen wer» len. Als besonders eweckmäßig hat sich eine bei Temperaturen ewi- «ohen 450 und 700⁰O durchgeführte Pyrolyse von mindestens einem yklisohen Dimer erwiesen, dar allgemein durch die Struktur

Y YY Y

G-Y

Q-

ψ ν

•C—Y Y

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BAO Oi⁸UQlNAL

dargestellt warden kann, wobei T jede beliebige einwertige Inerte Subatitnentengruppe, voreu^ewelae Tfeeaeratoff lat, obwohl er, bei Beginn der Realctlon mit dleaem Diaer jede beliebige Inerte Subotltuentengrupp* an dem axonatieohen Kern eoin kann· Bei Pyrolyse wird das Diaer In ewei getrennte reaktionsfähige dampfförmige Slradlkale aufgeapalten« die beide die Struktur

haben·

So werden» trenn all· Y-flrappen laeaeratoff eind oder dar Kernsubetltuent en jedem Siradlkal der gleiohes let, cwel Mole dea gleichen p-Iylylendlradikale gebildet und bei Kondtnaation ein frubetlttilertee oder niobtaubatltulertea p-Xylylenhoaopolyner erhalten· Unt.ereoheiden eioh die Y-Subatltuentengruppan dea aro »atleohen Kerne bei jedes Diradikal, werden zwei veraohiodene Diradikale gebildet» deren Xondeneation, «ie ία folgenden erläu tert« en Gopolymeren führt.

Alphavubatitttlerte p-Iylylondiradikalo «erden auch durch elnee Aryl-bie-eulfono der Struktur

gewonnen» wobei R eine niedrigere Kohlenwaeseratoffgroppe und Y jeder beliebige nicht polare Subatltuent let« SIo Sulfone

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BAD OWGlNAt

eieren eel Brhitsung auf JemperÄturen von ungefähr 600*1000°0 su Sahwefeldioxyd und dem reaktionsfähigen Diradikal

-O ·

Siesee Verfahren eignet »ich insbesondere aur Einführung Ton Alphaheloeubetituentengruppen in dae Poljeer.ron denen sieh besonders dee hoohthereisoh stabile FoIy(X,C^oC¹,oC^-tetrmfluor-pxylylen) easseiohnet«

Beaktionefähig· Diradikale vrerdtn auoh duroh die Pyrolye« eines Dlaryleulfons der Struktur

erhalten, wobei 7 oln üichtpolarer Subetituent iat. Diοse Sulfone pyrolyai«ren bei ürhitaen ouf Temperaturen von ungofShr 400 bis BOO⁰C au Sohwef elfin Oxyd und 2 Holen eines Hon ο radikale der Porael

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BAp Jp

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-H-

daa in ein p-Xyljlen und ein Dlradlkal der Struktur

disproportioniert·

Be versteht »ion, dad auoh jedes andere Verfahren aur Herstellung der dampfförmigen Diradikale benutat «erden kann· Da einige die« eer Verfahren andere gasförmige nebenprodukte (beispieleveiae BO₂) entstehen laeeen» und da einige der verwendeten Metalle dur~ derartige Hebenprodukte angegriffen werden können, lat bei der Auewahl dea atosuaeneldenden Metalle entsprechend« Vorsorge au treffen« wenn derartige reaktionsfähige Biradikale neben anderen verschiedenen Mitteln benutet werden« Da bei der !Pyrolyse dee zyklischen Dimer-di-p-iylylens keine weiteren Hebenprodukte auf» treten und das Dimer sioh quantitativ in zwei Hole dea reaktion? fähigen Siradikala aufspaltet» wird vorzugsweise dieaee Verfahren angewendet.

Da bei der Kopplung und ?olymei.*isai;ioa «riosor Diradikale nach Kondensation ö&r Di:caiikaXo ·5?,ν r.roiLatieoh? Hing

nicht erfasst wird, kann jedes liiohijsubativuioxt^ cder gewUnschtt* aubatltuierte p»Xylylenpolym©r gefironnen'werden, wai?. als tuentengruppe in weeentllohen als eine inerte Oxuppe iitxlz kann die 8ubstltuenteng3>uppe jede organische qüov rmcrgan

Orappe sein, die normalerweise an einem aromatlDohen Kern

an den allphatisohen Alphakohl enet off atomen eines dsrarüigen Biradikale substituiert werden kann«

zt*

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. 15 -

Int«» flea 9ItWtVtIgMi Inerten Gruppen, die an des eroaatiaohsn Ie» oder den aliphatischen o(-Kohlenstoffatoaen derartiger ?oly(p<-xjlylene) vorgesehen worden» sind «öler leaeeretoff die talogemo Ohlop, Broa, Jod und Fluor, die Alkjrlgruppen wie Methyl, ithyl, Propyl, Butyl und Hexyl, eowle Cyano·, Phenyl-, AaIn-, fltro»» Carboxyl-, BenjiyX- und andere Bhnllohe gruppen ma erwihdem· wahrend einige der oben angegebenen Gruppen unter gewissen Bedingungen oder In Terblndung alt beetlaatett reaktionsfähigen Hoffen eelbet potentiell reaktionsfähig Bind, trifft die« far lie Bedingungen der vorliegenden Erfindung nloht *u und ee «lud ti·*· ftrappea daher vorliegend echt Inert.

te da· Poljaer vorliegend Jedoch ale dlelektrleohee Kedlu» dient lad —hlrelohe der obigen eubetltulerten Poly(p»xylyi.ene) ein oder erhebliche· Dlpolaoaent haben» ergeben ele aloht

ifiatHea glelohe und äquivalente Srgebnieae bei Kondeneatorea« )er Terluetfaktor beetlmmter Foly(p-xylylene) alt hoohpolaren iubstltuentengruppen kann höher sein als diee für beetlaate An· lendungaflllle «uläeeig let· Pur andere Anwendungeiweoke kann je· iooh ein hoher Verlustfaktor nloht hinderlich oder möglloherweiae sogar bei einem speziellen Kondeneator ernünsoht eeia, da diese subatitulerten Poly(p-yxlylene) oft eine höhere Bielektrisltätstonstsnts als das niohteubetituierte Poly/ner haben.

2s kann außerdem vorkooaen, daß beetiramte phyelkalieehe KLgeniohaften des speziell an Poly(p--xylylonQ) no vorteilhaft sind, daß Ils dielektrieohen Elgensohafton hln^enoaaen werdtn können. Bsi* iplelswelse ist Poly(2-chlor-p-xylylen) ein sehe Bähββ Polyaer ■it hestlaaten aechanlBchen Yorsitigen gegenüber anderen Poly(p-xyly-Leaen). Ferner ist Poly(d,0(,OC¹ ,Cn ' -tötrafluor-p-xylylen) hoch tsaperaturbeetändig und kann selbst einer Temperatur von 30O⁰O 100 Stunden lang auegeeetet werden, ohne daß eine Änderung der physikalisohen Festigkeit eintritt« Unter den substituierten ?oly(p-yxlylenen) εβlohnen oioh dioee beiden in oeeonderer Weiee

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aus. für die Üblichen Anwendungefttlle wird jedoch normalerweise das nloht substituierte p-Xylylendiradtkal bei der Anwendung der vorliegenden Erfindung bevorzugt, d.h. «in Mradikal, bei de« •totIioh· Y~Subetltuenten Wasserstoff elnd, da da* hieraus gewonnene Polymer die etablierten elektrischen Eigenschaften besitst und die günstigste Dielektrieitütekonötante eeurle den besten Leistungsfaktor aller dieser Polymere hat.

Sie substituierten Di-p-xylylene und die Aryleulfone, aus denen dleae reaktionsfähigen Dlradikale erhalten werden» können duroh Verfahren gewonnen werden· die den «eisten organischen Chealkern gel&ufig elnd. Beiepleleweiee kann dae syklleohe Diner, Di-pxylylen, Lelehthalogenleruuga-, Alkyllerunge« und/oder Oxydatloneeowle Reduktlonarerfahren und ähnlichen Methoden zur Einführung derartiger 8ubetituentengruppen in den aroaatieohen Kern unter« sogen werden« Da das syltliaohe Diner ein sehr «stabiles Produkt bis BU Temperaturen von ungefähr 4CO⁰C let, können für die Gewinnung verschiedener substituierter Stoffe auch bei erhöhter Temperatur ablaufende Reaktionen benutst werden« Im folgenden umfaßt der Ausdruck "Di-p-xylylen*¹ jedec substituierte oder nichteubstituierte ayklieohe Di-p-xylylen entsprechend der obigen Diskueaion, während unter dem Auadruok "p-Xylyendiradikal" ^edee eubetituicrte oder nlQfataubBtltuierte p-Xylylen mit zwei freien Radikal&n an den Alphakohlenetoffatomen verstanden werden soll» wie dies ebenfalls oben beschrieben 1st.

Bei dem Polymerisationsproseß kondensieren und polymerisieren die daopfföraigen Dlradlkale nahezu augenblicklich bei der Konden-•atlonetemperatur der Diradikale. Bei der Kopplung dieser Diredikale tritt eine niedrige Aktivierungsenergie auf_f und die Ketten« au β breitung zeigt nur eine geringe oder keine Yorsug8rlehtun& hinsichtlich dee speslellen Diradikale, eo daß eterleohe und elektronische Effekte nioht bedeutest sind, wie die« bei der Vlnylpolyaerisation der Pall let. Die eubetltulerten und/oder nichtstibstl-

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BAD ORK3INAL "

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tuierten p-Xylyltnhonopolyaere kanne© diireb ftfraigen Biradikale auf jede beliebig· tenperat·* Kondeneetionatecperatur dee Biradlkale gewonnen wertes. M wurde beobachtet, daß für jede Diradikalart eine definierte htefret· Kondenaatlonatemperatur gegeben iet, oberhalb deren da· Bire41*el in wesentlichen nicht kondensiert und polymerisiert. All· e» teten Höchstwerte für eubstitulerte p-Xylylendlredikale lafwa unter ungefähr 200⁰C, ändern eioh jedoch in gewieeen AueaaB alt lev betreffenden Betriebedruok, Beiepielemiee sind bei eine« Brtwk von 0,5 «■ Hg für die folgenden Diradikele diu unteneteheaden optt—-lon Xondeneatione* and Polymerieationeteeperatüren emittelt worden:

p-zariyi«!	- 25	- 30⁰C
Ohlor-p-xylylen	- 70	- 80⁰C
n-Botyl-p-xylylen	* 130	- UO⁰O
Jod-p-xylylen	- 180	- 200⁰O
Dlohlor-p-xylyle»	• 200	- 250⁰O
Te t raO( iOC,o(' ♦ <X*-ttuor-p-aylylen	- 35	- 4O°O

8o «erden bei dleeea Verfahren boaopolyeere dielektrieohe film» erhalten, Indes dl· frttgeroberi'iä^he auf einer Temperatur unter* halb der huoheten Kondensat ions teaperatur der botreffenden oder in dem Hoeopolyaer gewttneohten Ciradikalart gehalten wird« Dies wird as tref/eneten alt "Bomopoljaaxleationebedinguiigen¹¹ beaelohnet.

reraohiedone in dem pyrolieierte» Oealeoh T0in«aden· Bir«dlkale Tereohledenen Bampfdruok und aeweiehende Kondenta eohaften aufweisen, wie die· beifielfeJil— für f-Xylylen tad Ghlor-iHxylylen und Mohlor-p-xfljrlem β4·» «11« andexea mit anderen eubetituierten Diradikalea 4er lall iet_t «ritt eiM Uomopolyaeriaation ein, wenn die Konde»ee.tion*~ und Polyaerlaatione· temperatur so gewühlt wird» ä*Q ele bet oder unterhalb 4er

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1439825 J

pesatuv lieft _t bei der our eine· der Btradikale kondensiert und , polyaerleltrt. So toll Torliegead ier Ausdruck ^NTtatv*»>Hoaepoly" fterlMtionebeälagungen" diejenigen Bedingung wm.fa—n» unter denen aar Homopolymer« hebiläet wegden» Be ist daher mOgkioh, Hosopolyaere aus einem Oeodeoh abzueohei&en, das eine oder Mehrere der eubvtltulerten Biredikale enthält» wenn alle anderen denen Dir ad 1 kai β andere Kotidenaations-» oder ten liaben und wenn nur eine Diradikal&rt- auf d@r konAenelert und polynserieiert wird. Be werateht eioh» dafi andere Blredlkalarten» die nicht auf der Träg«-rob©rfläoht kondensiert wurden_t wie ie folgenden besohrieben, in Bampfforn durch die Vorrlehtong hindurchgeleitet werden kennen« vm an einer nachfolgend angeordneten Xältesenke kondenelert und pol^aerieiert su werden.

p»XylyleiUlixedi3sfcle b@l9piele«9iee bei peraturen vm 25 Mt 90⁰O JEondeneldren_r «μ ertwbliob imter den Werten für Caloiwp-iylylesdirÄaikAle <nH&liob 70 bie 80⁰O) ließt, 1st ee auglloh« Sermrfcig* 9if«dikale in dem dvqpffuxaigen pyrolieierten SeMaeh voanamm ei* den ehloreubetltwiertefi THr^a ιν«ι#η vorliegen su haben« Xo einem eo3.chen )?alie warden HomopalyiaeriaationebedIndungen verwirkliohl;» Indem üSm irüßerobf>a?i.ifich.j auf einer Xeoperatur unterhalb, C.&x huchaten Kond&nf3ätion£.ifsaipcratur dee substituierten p-Xylylens3 ebor Qliorhali? dor X peratur des p-Xyljrlons gehalten wird, oo .*iaö die ohne Kondensation uiid Polymeriaation durcli üie Anlass hindurchlauf en können und das Poly-p-xylylen in einer nachfolgenden Jtälte-•«ttke gesatnelt wird«

la iat ««oh möglioh, substituierte Copolyinore duroh den oben be« f eahrlebanen Pyrolyeeproaeß zu gewinnen. Copolyaore aus p-Xylylen u»i Bttbetituiertea p-Iylylendiradilcalen können abeneo »ie Copolymer« το» verschiedenen substituierten. p-Xylyleadiraäikalöii, bei denen die aubatituierten Gruppen allö «ifr gleichen lind _f Diradikal aber eine untorschiedllohe ilnsabl von

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BAD

gruppen enthält, durch den Pyrolyseproseß erhalten werden«

Copolymerisation tritt gleichseitig mit Kondeneatiou bei Kühlung dee dampfförmigen Gemische aus reektloneffthigen Diradikalen auf eine {temperatur unterhalb 200⁰C bei liolyaerie ation· bedingungen «uf·

Copolymere können gewonnen werden, indem die !PrSgeroberf läohe auf einer Temperatur unterhalb der huohsten Kondensatlonetemperatur des niedrigst eiedenden Diradikale gehalten wird; dae in dea Copoljwsr vorhanden sein soll, beispielsweise bei Zimmerttoperatür oder darunter. Dieθ wird ale "CopolyAerisatlonshedingungen" betraohtet, da mindestens ewei der JDiradlkale bei einer derartigen Temperatur kondensieren und zu einem wlllkürliohen Copolymer oopolyaerieieren.

Bei dem Pyrolyseproaeß eines Di-p-xylylents werden die reaktlonefähigen Diradikale gewonnen, indem das substituierte und/oder nichteubetituierte Di-para-xylylen bei einer Temperatur Bwiechen ungefähr 450 und 700⁰O, vorEUgeveies xwleohen ungefähr 550 und 600⁰O pyrolleiert wird. Bei eolohen Temperaturen werden erhebliche quantitative Auebeuten dee raaktianefghigen Diradikale eioherge« stellt« Die Pjrolyae (tee als .Uxnigan^ün'GOfZ el ie nemd cm M-p-sylylene beginnt bei ungefähr 450 bin 53O^CO_: cicch erfolgt bei sololion peraturen nur ein Anotoigen dar ItsalrticusKölt \ma oino Terringerung der Auebeute dee gewonnenen PalyKors. Bai Tompsroturen über ungefähr 700⁰O kann eine Abopnlinuig «ev öuhetituentenfcTuppe orfolgen, woraus drei* oder polyfunktioricls Ar-yen en/feetehcn, die au einer Quervernetrung und hochverÄweigten tolyaeren führen«

Die Pyrolyse temperatur ist irc weeentliohezi unabhängig von dex Arbeitsdruok. Ee ist jedoch exforderlieh, daß Unterdrücke verwen det werden, um in der gleichen Kajsmer oder Anlage eine zufrieden stellende Abscheidung aueanmer rcit dem Ue+all su ->?.>r3<ohen* 2HIr

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«te ate Γ ^lyet Simekft ewl-

•oata 0»®1 Silcrea «ad 10 an Ig ** t»>UKv Awoh ttnmit fülle ·γ-wfteaante Ätterte dampf£iismi«e ^sfatüaaußgsnöittil* wi* Stiel»toft,

BeHna mi Otsgl.· fee&jgtst «erden,, na die

®dn&@k in dev inlag© tiks ein @@^1β£«ΐΜϋ4·ΐιΑθβ Äl>»oSi*lden dee Mttaildaspfe ^md de? p<-Xylylendi£ftdilcfel« in d*r gltlohen Anlage hängt ftelfeatVeretSndlieh voa den jeveil« auagevililteii Metallea «te« Ils m erwarten, eignen eloh fiiJf das vorli«gande Ter-

fetoea «B.btstea Metalles dl© b«i aied^ig®sea fe«p«Tftttartia

fl«2|_e Metalle alt einer Tes&effipfigBftte^ezatus uuter 1200⁰C

10 M££c£®& 3)smek. Bei ent sprechender Vorsorge und geeigneten Oesftten let 99 jedoeh nSglich, Jadee beliebige Metall alttele aas vorliegenden Terfahrens wn verdeapfen«

Sie erflttdungageaäe erhaltenen DümieöMofctki^ienafttoren kOsnen in verachiedenster >/eiee angewendet werden« lelspleleweiee let es möglich f selbsttragende Kondensatorfll-me ähnlioh dem üblichen Verfahren bei der Herstellung von Kondensatoren auisuwiokoln. Elerbel 1st es ssweokm&ßlg, ssunäohot einen Träger mit einer nichtleitenden Schicht dee Polymere zu bedecken, ehe der Mstallfilto abgeoohieden wird, üaohdea eine auareiohende Sioke an Metall aufgebaut let, kennen die Arbeltssohrltte wiederholt werden, üb den PlIu duroli weoheelweieee Abscheiden von Polymer und ISetall aufeu» bauen· Der YiIn Jcsnn als ebener Kondensator benutst oder ron den Trftger abgelöst und au einem Wickel Euaaomeagerollt werden« wobei Leiter an den verachiedenerv Baden angebraoht werden· Dünne Pllne von 0,001 bis 0,025 mm Stärke können ebenso wie erheblich dickere Vilne auf diese Weise einfach gehandhabt werden«

Bs ist ferner möglich, diese dttnnen ?ilme auf einen ßetallioohen folien- oder Drahtträger vorzusehen^ indem der Hotel !träger

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- at -

ait tilter Besokiektung aaa rolyfp-gylylen) überzogen «Ml •in ItUs sos leias «stall enfgedaapft wird. Die Wf UMt Wei»· gebildete Schichtung kann al· ebener Kondensate* Ota* aaeh Aufrollen in tiblioher «»ice ale Wickelkondensator verwendet warden« Torvugsweiee besteht der aus eine» einsigen 3BLe-It eafa·- baute Wickelkondensator aus eines vollständigen liest·! mm Pely(patylylen) um eine Metallfolie herum, die dann »it Aueaaaae «ia*· •onnalen Bandes lange einer Xante der beschichteten folie beidseitig in Takuua aetallisiert wird. laoh den Pickeln ameht da· eine Bnde der sylindrieenen Anordnung die dünne mtallieierte Beeohiehtttng sugfinglich, während am anderen Hnde die nur alt Joly· aer beaeliientete folie Tornanden ist, die elngeeetaitten wird, m die Ketallfolie freiBulegen« Sie beiden Blektrodenoberfliolien werden dann duroh Sprtlhlöten oder Anwendung leitender Klebstoffe» farben oder Barse alt AneonluB Verbunden* fall· erwünaebt» kann der fertig· Kondensator eelbet alt elnea tlbersug aue foly(p-xylylen) Tereehen werden» der ebenso wie das reaktlonsfllaifs Biradikal aufgedampft wird. Be veretekt »loh, daß Waohs» Epojcynarse oder andere Werkstoffe ebenso wie Metallbehälter gleichfalls benotet werden können, un dsn auf diese Welse gebildeten HftAtnsator au kapseln und/oder mechanisch su sohfttsen.

Her auf dleee Welee erhaltene Kondensator hat den Vorteil» daß die Kapasit&t die gleiohs ist» unabhängig davon» ob der Kondensator eben oder aufgewickelt ist, da der niohtXeitende Ioly(p-xylylen)fila fest und eng alt dem einen netalllechen träger Terbunden let» während der aufgedampfte Hetallfilm seinerseits Bit dea Poly(p-xylylen) fest verbunden ist. So können aioh eelbet in aufgewiokelter Form keine Lufttaeohen. in dem dielektrieohen Bereioh swiaohen den Elektroden bilden oder Yereohantsuagen oder Feuchtigkeit la das dielektrische feld eindringen und auf dleee Ueise die Kapaaität ändern oder den Kondensator koreechlleBen· Auch ein lookern oder Straffen des Viokele beeinflußt die Kapasit&t nioht. fatsäohlloh kann die Kapasität dea Bleaents vor dea Wickeln be*·

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BAD ORIGINAL.

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f bei äe»@n die Kondeneatoa?£i!m@ mur In 4en bestircmte: Boreichen aiUTgetragea .werden dürfen-,

abgeetütst (Ά,he reicht

eingeeetst verden» Meee diokaren SrMges'ao^ieiiten gebta grööere V,lde3?etnaaefäiiigiceit gegen x@oliaiii@@lä.€i Ümutsttog und

deher die Anwendung ultradünner Kondenoatoreii« Bei gee1»pelten MehracMah-skondensatoren, bei äenen el»© AW»akUDg orfosderiieh let, um den Niedereöhlagafeexeisn der Foljvere und d^o anfgedeBpften Metalls genau JTeetzulesen_e ist dae TorJuetAensein el&ee Inerlgaeee aur förderung höherer Sledersohlftg*£*«olnrtii<ligkeiten nicht so günstig wie bei Wlds-elkondensatoren, da durolx

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BAD

1433826 - a* -

Streuung In Wradikaldisipfe A«* JMeekeffekt imgUnetfc beeinmit werden

eofatiLtuagen «it derartigen ltouasohlehtkei»ae&eatoren mich ftt* eohnell arbeitend* 8ofcaltel«Mmte wot füs ίβρβί-oher*af«tlohTnmg«ierate u&A «l&I tntole· ^Ä·¹ gHnttiita 11·**·»·

Β· T«setcht Hch, dae ·β durob tn^ipreohtad fcospXlelnritr« dfokvcrfftbrtn aOglieh iit, «unächrfc PoXy(p-aqrlyl«a)- odtr Metall* ■oMoht«n mfntrAetn, ta koapllettrt· gß&wotkt· DQnntohieht»<dialtomgttt «1| kayMittv«! Ele«ent*a uad leitern btnmsttlltA« vobal durch gl«lohMlti««n lUdereohla« τοη ltotell und Polyeesr ·ηΑ·Γ-d«m auob «in Wtdtretmndeelement Yerwtrklickt «ordea Kabs«

Es vereteltt alob, daB dl· Sondeneätoren dturoh Anwepdii&g kontiiaui«r* Hoher Ifitdereohlagveriehren und/oder unter Anwendung der glel» ohen oder verschiedener SiedereohlagebediriSttoee⁰ hergeetellt werden können. Sei der praktischen Ausführung der vorliegenden Erfindung ist es nicht unbedingt erforderlich, Setall und Polymir in der gleichen Kaaaer absueohelden, obwohl dies am zweoka&eigsten ist« Im Ohargenbetrieb oder halbkontlnuierliGh arbeitende Hiedersohlegevorfahren können leleht eingesatst werden«

Anhand der folgenden Beispiele wird die Erfindung weiter erläuttrt. Sie Beispiele sind jedooh keinesfalle als Einschränkung au betraohten« Wenn nicht enders angegeben, verstehen βloh alle Teiloder Prosentangaben ale Gawichtstöile bisw. Uewiohteprosente·

Beispiel I

Die bei diesem Beispiel benutete Anlage beβtend quo einem einteiligen Quarsrohr alt 51 ca Lunge und 42 am Innenduxchmoeser» das

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an unteren Bade geeenloesen war und eowohl die la untevtn Teil ale anon Alt Spaltcone im ob er on, r«il ftlr di«

Pyroljree de« Di-p-xjlyXene uinfaeete« Sie HeiB«3 nrUilittuig für 4is SubHjsatio&BSone an unteren Kade dee Rohr ο beetenl aur drc;

150 Watt Heiekatuaohen» die in Partlleleohfiltung mit einer Ynrlao«

Steuerung verbunden waren, um die SCeaperatur in der Zone auf je«

den gewünschten tfert bla au 25O⁰C eineuBtelXen. J)Ie Temperaturüberwachung erfolgte aittela ei&ea

das unmittelbar in die Dimeroharge eingeaetst

BIe Spaltaone eretreöfcte sich von einer Kühe von 24 cm dea Boden* mit einer deeamtlänge von 27 om bis sum oberen BnAe daa Quararonra und bestand aua 16 parallelen Tantaldrähten mit 0,5 as Durelwoeeer, die durch Ablenkplatten getrennt waren, um eine längere YerweilBeit in der Spaltkammer herbeizuführen und eine, entapreohende Aufhetzung dea eublimlerten Dimers oiohersu« stellen« so daß eine erhebliche quantitative Aufepaltu&g in die reaktionsfähigen Dlradikale eintrat. Die Spaltsonentexaperatur konnte aittele einer eineteilbaren Hoohatromheiseinrlohtung raifc· 2000 Watt auf jeder gewUneohten Souperatur bis 700⁰O gehalten werden« Der Tantalheisdraht hatte bei 25°C einen Wideretand von ungefähr 0,1 Oho« Die Temperatur in der Spaltzone mirde mittel ο einee Ohrouel-Aluael-fherisopaare Uberwaoht· Ein üüantalw&rmeschirm nag afc die Außenseite dea Quarsrohre über der Spoltsone, um die Strahlung auf die Üagebung zu vernindern und eine gleiohis&eigere Helauog in der 8paltsone herbelsufUhren«

Sin kurzes Quarzrohr, das veroohiedene halbkreiofürmige optisohe Ualenkplatten enthielt _t wurde Über der 8paltzone angeordnet, ysi die thtrmieche Energie dar Biradikale herabimacteoa und den Betrag de« auf den Träger von «or SpaltBone auffallenden thmm^J'--■-gehen Strahlung au eenlcen.

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Bine von Hand drehbar« Maske war innerhalb der Kammer und Über dem Auslaß der- i>peltkaamer angebrannt, sie konnte nach Bedarf über die Kamme? gedreht werden und die Zufuhr on Dlradikalen unterbrechen.

Bin (mit Wassereanlangen verbundenes) wassergekühlten Aluminiumblech von 152 χ 152 χ 0,25 am diente ale V.llfjer für den Polyaer-Metallfiliaüberzug und war einige Zentiae .ru» "borhalb der Bpaltsons angeordnet* Mittels eines an da« Trö^sr befestigten Taenaopaaros könnt» die Trügertemporawur überwacht worden.

Did Metal !.verdampfung erfolgte mit Hilfe von vier Wolfnedrehtkörben zur Aufnuhrne der Katalloharge, dio imterhalb de« AluelniumtrUgorble iLn* und aui3exhalb der direkten Verbindung mit der Spaltzon9n-Träf;erv'orbindungolini0 lagen, un den Beechlohtungsvorgang nicht au atüren₀

Die beschriebene Verdaiapfungs- und Beschichtungaaniags war .In eine 46 oia-trlooke eines Xinney-Vakuumverdampfungssyetem eingebracht ₉ das aus zwei Eii-chanlachan Pumpen bestand, dia über eine *5»2 om öldiffusionspucipe und sine flüssige Stickstoff-Dampf fallemil» der Bsachi-ihtungskonimcr verbunden waren. ."Da? Druck in der Be-

nurdR nitisia vlat 7aUuuir-£r.eSs9räten

Die lutitan angegebou·.! -üypiBohe A?:>o I.tefolge gibt d.lo Bedingungen an, dfe., YtJ& biobttohtet; d:le glei ■■ihiüriaig.'3-fe«in durchgehenden Poly(p«

Die Aluailiumträgßr wurden in Anotun siitfettst^ in oine» Alconox-Reiniguögsli5aung gewaschen, in ni^dendera deßtillierfcem Watitfer ge- »pult und schließlich im Ofen bsi ^0O⁰U 3C Minuten getrocknet, iäine Charge von 2-5 g kristall LaierseK niohtenbotltulerten Dl-p« xylylene liner wurde in den Suhlisationekolboh ningobracht. -mvmf die Anordnung geschlossen und i?ntsprnohöiv;i überprüft wurde. JDif»

90 9816/0109 BADOFHGiNAt.

Koumt wurde mat #inen Brück «wischen 1 ζ 10 und 5 χ 10 «a Hg evakuiert. Während dee Ana-pumpan* miede due eingeschaltet, nadle OJrägtrteinpcra'.iic auf unget'lüa' 15°Γί utssu-

eenken. Die Spaltaone wurde inr.nrhßXb von 10-Iilan. ton auf ungefühv 65O⁰O erhitat, indea älu Stron von. 80 Anpere hol 20 ToIt {1600 duroh den Taütalhelsdraht g!:i,;/(ij.c!:t wurde.

Ale die Spelt zone ungefähr 6Cü°0 erreiohta, wurde die 3ubltmatto:va heiaquelle eingeschRltet» Di-3 l^c.perntuv konnte irmorhalb von 30 Minuten auf 20O⁰C (falls gewünnoht) ge steigert v/erdon\ Dia Bubll™ mation des Dimere begann bei ungeführ BO⁰O und wer durch ainen geringen Druokanetie^ an den Vakuuraiaeßgerüfean foetEuetollon. ΤΛο Sulillioatlonegeachwindigkeit wuohe bei weiterer Steigexunc der Temperatur bis auf 12O⁰C an; der Druok errsichte ungefähr 60 let der Vorrat en Dimer eroohöpft, fällt dar Druck aehr ?i auf 1 Mikron surüoJt,

Hünmehr wurde die Heizung fUr den Y/olframduah tkorb ei£geec'nalt*it. daa AluainiUB eohmols und begann zu verdampfen und mir ils auf ü3ni mit Polymer beschichteten TrUgerblech abgeeohldden« JJaeli AbachluJ der Aluailnittaabeohaidung wurde die Anlage aui Zlismertenp3i*&t'\r abgekühlt und wurden die Soufleneatortm an t no amen ₀

Die Kapasltäte~ und Verlußtfaktorme5>y»rn»eii erfolgten bsi 2?⁰O, 6 Volt eieiohBtromvorapaiini.mg und elmm L^ßeigiia'Ä von 3 Volt in einem ?re<]Uenssbereifih von 1 kHa biu iOO kHsyJJer VnrlUHtitrora "■ und die Surohbruohsapannungen wurden ebenfalls ^meaosn urd Bind in der folgenden fabeilr I wiedergugcboii? finden eioh in Tabelle II»

9 0 9.8 16/0 109

Tabelle

	Versuch Hr.	■i	Kondensator- ₉ fläche A in car	Kapazitäten und VerluetfaktormeeeunÄen	Kapaeität in uur 1 kH«	C 100 kHs	Verlustfaktor 1 kHz 100 kHz	0,0002	Eapasltlt bei ι UU	4· in	I to -4
		P.	0,56	Dicke t dee Dielektrikiune in Mikron	1485	1474	O,	O_t0002	27 X 10²		^!
BAD (		5	0,64	0,93	1494	1483	O₁	0,0002	23 x 10²
VJ		1-	0^70	1,1	1582	1566	O,	0-0002	23 x 10²
Q	CO		0,4S	1-1	1137	1130	O,		24 χ 10²
	O CD CO			ι. i
	CD
	O
	O CO
		,0002
	,0002
,0002
.0002

Tatiell« II

Diel#ktrie«h·

in Mikron tätakonatante sient in_T*il· J· Vtrluetfaktor f—tl&*i Mmion7°C 1 kHs Mb 100 kB« Tolt/ca

Poly(p-xylylen)

film auf Kupfer- _fl , 0,0005 _{o 6}

1 2,7* -200 ble su 105⁰C (25 fei· 100⁰O) 5 χ 10

k <° fiii SSrJu!¹¹ _o _φ g,ooo2 ₅ ,

% ° alnimtviüwr 1 2,7* -200 bis eu 1O5°C (25 C) 5 χ 10^ρ

% S 8

-^ *) Zwischen 60 Herta und 100 kHz praktisch frequenzunabhängig, ο

Unter Anwendung eines ähnlichen Ysrfahrene und einer ähnliohen Pyrolyeeanlage wie in Beispiel X wurden eine Reihe von Bieeulfonen mit der alleemeinen Struktur

H-SO₂- Q*₂~<£ X>-C%- 8O₂ - B

wobei H eine Methyl, n-Propyl, n»?entyl und Phtnylgruppe war, pyrolieiert und hiereue Poly(perfluor-p-xylylen) gewonnen.

Me Pyrolysekammer bestand aus eines befaeigten Quarsrobr, da« mit einer IlsdwsonlsgekaBaer in form eines Qlaarohres Bit 7,6 on Surohmeeesv und 50,5 on länge verbunden wer» deren Wandungen iir eine Auskleidung aus einer 0,0038 mm starken Aluminiumfolie geeignet waren, die nur auf der einen Seite mit dem ,',C<'-tetrafluor-p-xylylen) beschichtet wurde«

BIe Pyrolyse der Biseulf one unter vermindertem Druok begann te.¹ Temperaturen oberhalb 400⁰O. Einer derartigen Brhitsung wurde das Biseulfon eerlegt, wobei sich Echwefeldioxyd und andere danβ bildeten, was su einer Steigerung des Drucke führte, dor nach Ab-■ohluä der Reaktion auf den Anfangsdruok aurttokkehrt»- Bas Pyrolysst polymeriBlerte bei Kondensation augenblioklioh unter Bildung eines klaren transparenten Filmen, der auf dor Folie der gekühlten Hedersohlagskammsr abgeschieden wurde. Das Polymer, fc t*tvafluor~p~xylylen), ist ein hoohkristalliner Werkstoff, der •inen kristallinen Sehaelapunkt oberhalb 36O⁰O beeitat. Seine thermieohe Stabilität 1st ausgeseiohnet. Sine Brhitsung des Polymers an
terung·

909816/0109 BAD OBtGINAi.

mere auf 30O⁰O in luft während 100 8tundβη ergab keine Ternehleoh-

Au» fftb*n» III »rgiM tlob Al« Herstellung vob Poly(oC,C<, ·α*,θ(·- tetrafluor-p-xylyl·») aas den Bleeolfonen.

9098 16/0109

Tab·!!»

tob Poly(oC.oC «dl'aCll.*·

temperatur temperatur

R - OJ* 250° 700^c

R «- C₂H₅ 200° 650°

R * CHn 200° 700°

° ft ^ C.EL 200° 700°

CO 4 *■»

°1 H - C,Z_e 300° 700°

^ S=* CA 240° 800°

Drttok Anfazu	(mn B«) «thl c Reaktion	!Mi	f
	0,3	0,1	Ol
0,1	0,3	0.03	I
0,05	1,2	0.1
0,1	0.8	0,1
0,1	0,4	0,09
0*05	0,5	0,02
0,02

-tr-Ca) CD OO

ro

CD

Dia dielektrischen Sigeneaneften elnea Kondaaaaftora au· Polx(bU(A»&%o(^l-t«tx*fluor-P~xylylen) alt dar Strukturt

wurden bei ein*» ρ dicken Kin in dar glalohea Welae wie oben angegeben, ermittelt« Dia Srgebaieaa diaaar Tarauohe bei τ·γ-eohiedane» Tre^uensen eind in dar unten«tehtndan Tabelle IT auaaaaanearttllt ·

tabelle IT

f.

Bielektrlgltatekonetapte Tarlnatfaktor

1
1

60Bl

c 10³ Hs c 10⁶ Ba

2,6 - 2,7
2,55 - 2,65
2,50 - 2,6

0,0017 0,0020 0,0037

Beleoial III

Bai dlaaaa Balapial wurden Vakuuopumpen und eine alt einem Biradikalgenerator verbundene Qlaebeeahlchtungakaj&ser mit 7,fi «ε lanandurofcaaaaex und 46 on Läng« benutet. Der Uiradilcalgenorator baatand aua einer avf 18O⁰C aufgehalsten Subllaationaaone, die über ein gewBhnliohea Vyoor-eiaarohr alt 3*8 oa Inna&durohmerr und 89 oa !finge alt alner bei 650⁰O betriebenen Spalt- oder Pyrolaraeaone rerbunden war. Ma TaJcuuajoapeinheit baatand nun einer aeetaanleohan Poepe-40,14 oba/aln)« dia Gbar eine 5_f1 oa Oldiffttalonapuapa und eine Trockeneiafalle alt dar Beeehicbtujige· kaaaar Tarbunden war« Kupfardralitleitar waren unter Abdiohtung

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BAD ORIGINAL

- 53 -

durofa dl· Und· der BeeobJLebtungekammer hindurohgeftthrtund inner* halb der F—Mr mit einer der Verdampfung von Metall dienenden ttolframepftle verbunden. Da« betreffende Metall wurde la dl· VoIf* ramspule eingelegt! dann wurde die Boaohichtungskammer ge*ehloe~ sen«

Di-p-xylylen oder substituierteo Dl-p-rylyltn wurde in ein Olaarohr In der sublimationesone eingebracht} Im allgemeinen wurden ungefähr 5,0 g benutet. Die Zuleitungen der VtolfraMpule werden alt den Klemmen eine· Stromwandlers und einer Tarlao-Begelci»- riohtung verbunden* die Anlage wurde auf einen Druck tob umgef&hr 1 Mikron Sg abeolut evakuiert.

91· TlLraesufuhr tür Pyrolyse ζ on« wurde elngeeohaltet, bis eine konetamte leaperatur von ungefähr 650⁰O erreicht war, wihrend der Betriebedruek aafrechterhmlten wurde· Die temperatur in der 8ubllmationeeone wurde dann auf ungefghr 180⁰O gesteigert· Si· Diejerdttnpf· wurden bein Dorohlauf durch die Pyrolyeeeone ojoantltatlT in dae entepreohend· reaktlonsftihige Dlradikal aufgeepalten und gelangte dann but Bdeohichtungokanaier» γ/obei der Druck in der Beechlohtungekanaier auf ungefähr 20 bis 100 Mikron Hg anstieg.

BIe Dl rad! kai β wurden auf den Wandungen dur (die auf Siaoerteaperatur gehalten waren) kondensiert und gleichseitig polyeerlelert, wobei ein klarer säher Film auf sämtlichen kalten Wnden der Kamner entstand, um elxte Abscheidung auf der Volfranepule und dea darin befindlichen Metall eu verhindern, ließ man in des betreffenden Stromkreis einen geringen Strom •oblleBen, um die leaperatur dort auf fiber 25O⁰O su halten·

laohdem maarelohend Polymer abgaeohieden wer oder da· Dimer volletündlg aufgebraucht war, wurde die Hei*einriohtune der Sublim*- tionsEono abgesohaltet und der Strom in der Wolframepul· gesteigert, ble das Metall eu verdampfen fcegenn,. was duroh die Bildung

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BAD ORIGINAL

U39826

einee Spiegele »of der Oberfläohe dee awui? abgeeohiedenen Kv.nuiiatoffllma zu erkennen

In einer Anzahl von Versuchen (Sabelle Tf) ttuvde eu£&»2licb<»& Polymer abgeschieden und in einer Heiß® von fällen ein wolt@ror Hetallübersug hergestellt. Sei anderem Versuchen wurde Metall und dann J&lymer abgeschieden. Xn ie? Tabelle ¹F¹ Polymer und ^Bl^w Metall. Mt teifcenfeXga der Buahstafcaß bedeutet ate Eeili©nitalge des ATbßiheidun^. So teHs&®i©tinet T-M»F^a eine ?ol^iie^->3l9t!aU-Pol7&e7-S@lilentuEg» lsi Igllen₉ wo xuni®hat Mat&ll abgeeehieien wu£de, d.h. bei "!5°?® und ^M^P«M^H _S er^iee es sloh als swtoksseig, auf de& Slaev/änian i®^ Ka^s.ax¹ ein Silikiicsntior-

dl@ H»aate@ d@? nine mi erleici>torn >

wasr» roii den EeaE©rw§nten a^ge^ogen und lagen lsi wesant« in Pora eines Rohres ams der ?olpi©?-Metall-6uliiah%iing vor» Bei Beiepiel 20 wurde der Folymer*H«8tall-tfe@rzwg auf «iiieni &.>x-

von 2,5 ^ 10,2 qü el)g@eehi®den, um für die der Kap&eitüt8wert© einen besseren Kontakt lie?^ustel»> len. Bie nieätisetallieierte Schicht aus roly(oiilosr-p-xylyl©n) auf der Hüü&aeit© der Folie wurds abgessogenj der ontetimdeB© Kondenaatos? hatte die folgeaissi Eigenschaften s

Abgeeoliiedene Alumlniiuuiohieht -

S&l&sität - O,0119 u? Diölektrialtätokonelaüte -5,0 Barenhru@a«8pasinung ~ 32 900 Volt/aas

vURtifc Mittelwert)

der Kapasitttt - f9^ 3 ο leistungsfaktor - 4 f>

Weitere Proben hatten ähnlich·

909816/0109 BADORIGIfWL

"Mrmflilnl

Chlor-p-xylylen Dlchlor-p-xylylen

Chlor-

p-xylyl

Httall

Aufbau

Al AI Al	P-H P-H-P H-P
Al Zn Cu Kg Sl	H-P-H-P P-H-P H-P P-H-P K-P
Al Al	K-P-H H-P-H
Pb	H-P-H
0«	H-P
Ge S Al Ag	P-H-P X-P U-P-H P-H« M-P

*) Auf «jL&ca AluMiniuaafo sohnl ft abgsoohieden.

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Beispiel IV

Xn eine* ei&&beaoiileSitttZi£e&&si@er von 15 »2 eis BarohaeeBer und 1,22 α Längo, die alt de? gleichen Art wn Sublimations·» und Pysolyaescmen sowie Vaku«®pissip@n wie beim Beispiel ΧΣΙ suageetattet war, wurden Ü&erEüg© durch Biradilcalkonaensation und Polymerisation hergestellt* Almslniuxafolienetreifen von O_fOt5 as Dicke, 2,54 ms Breite un4 V₉B bis 2,1 m Zrätage wurden mittel« Spangen derarl in der Eamsep aufgehängt, daß der FiIs die Wfisdo der BsaohioSifcysgwümsmsv nicht »erühren lcoxmte.

In ADbängigk«it von der gewUnsenten Besohiohtungsdieke wurden 2, 3,5 oder 6 Sram üi-p-xylylan oder das betreffende eufestitulerte St-p-syiyleii in Sie Sufelinationskasmer eingecraohi und ergaben suf des Foil« Polyserüberstige von 0_v0019₉ 0,0025; 0,0038 bsw. 0_t0048 am. Bei den Übereügen wurde das in Verbindung mit Beiepiel II teeschriebeae Verfahren angewendet.

Die ?olienstü€&e wurden aiaf einer von Hand betriebenen Dornwiokelvorrichtung stream aufgewickelt, ms einen festen WlokelkondcnBa* tor Ton ungefähr 25,4 aas Länge und 6,35 bbb Burohmesser herauetellen« Zwei Streifen der mit Polymer beschichteten AluralniuiafoJ.le wurden su»a«Biengelegt _s wobei jeäc Folie rait leitern Torbunden war, um entspreohend den Tabellen VI' und- VII die Kapazität _t den Verlustfaktor und den Leoketrom.zu bestimmen*

Sie Kapazität und der Verlustfaktor nach Tabelle VI warden bei einer !frequenz von 60 He bei einer öleichatroEnrorepaammg von 20 Volt gemessen. Alle Hessungen erfolgten bei 29⁰O, Die in Tabelle VX angegebene theoretieohe Kapazität wurde aus der bek.'im:- ten yiftohe und der Sielektrieltätakonstante von 2,8 für α&3 nv-c-rr eubstitulerte Poly(p-xylylen) und von 3,0 für dae xylylen) sowie dae Chlor-diohlor-p-acylylen-oopolymer Die in Tabelle VI «it den Index ^wpⁿ vereehonen Proben «aran ^t

909816/0109 ./.

Kondensatoren, die aus dir beachiohtetea Polte dadurch hergestellt wurden, daß ein leitender Film durch eine Keek* nit «ine* Pläohe Ton 2,0 car cwacke Vergleich Mit äen Wickelkondensator·!» abgeschieden wurde.

vr

	Dieks	0,0102	Pläoh·	gemßasene	Ytrluit-
3?rofeä ' ',	(mm)	0,0051	(ca²)	Kapoaitüt	faktor
	0,0178	0,0097	116,0	(pf)	O.tf
A - PolyCp-ocylylen)	Ap - Poly(p-xylylen)O,0069	0,0137	2,0	0,015	—
	B - 3?oly(ohlor-p-	0,0069		0,00162
xylylan/	0,0076	123,0		—
Bp ·	0,0038	2,0	0,031
C Poly(p-xylylen)	0,0051	126,0	0,00128	0,02
I) "	0,002δ	116,0	0,039	0,02
Up »		2.0	0,022	0,08
B ⁿ		132,0	0,00084 .	0,02
Sy	O₃OOGS	2.0	0,031	—
		116,0	0,00156	0,02
		2,0	0,030	—
'' i'h.iar-4ichlor		0,00194
Cop« jmac (9 su"1
¹Jt; i*h J X "fcTii 3 )	116,0		—
Vf»» *	2,0	0;ü2>
	0,00077

9 0 9 8 16/0 10 9

Claims

1 »j SueaeseneetE-ung aur Verwendung al» Kondensator wir Avfn&hne und Speicherung «ines elektrischen 'Ladling mit einer Schichtung au» mindestens svti elektr4e@h leitend an ltet&lleoiiiahten und einer zwischen diesen angeordneten elektrisch isolierenden Trennschicht, dadurch gekenneeieliiiQtf äaS dia tretmsoMeht ein aufgedampfter poranfireier PolyCp-xylylenifllii let, dee alt Bindeetene eine? der leitenden Hetallsohloiiten lest Tepbimdta iet·

2« ZoseMWBsetsu&g saeb Anspruch 1_r dadurch geka&BselohEieti daß ■liideetene eiae der MetaXlaahielrten »ine *ufg»daapfte Metall- ron 100 bis SOOQ S Dicks iet.

3. ZueeiiMeneetsiing naoh eines der vorhergehenden Ansprüche* dadurch gekennseiQhnet, d«J der PoIy(p~xyly-ieR)film auf einem dünnen metallischen leitenden Träger aufgedampft ist und einander abwechselnde Sohlohten. von leitendem Metall und PolyCp-xyly-Ien)fil8! vorgesehen elnd·

4. Zusammensetzung naca jAnsprueh 5, äaduroh gökearnj^ichnöt, 4aB der iräger eine atltme niötalliBclne Xeltönäe FoIIs₉ eiti metallieoher leitender Draht, eiae dümis KuaetaSoffbalm ein anderer niohtleltender träger ist*

5« SuaaaEBeneetzuag nach einem der Vorhergehendem ÄÄBpillcBe. cla durch gaSteimseiehnet, daß das elelct2?iOQii leiteade Mota33 .vnr-Balenreifie fest und natürlitvh leitend iat, ao daB ein^ 5^JeIx aäflige Verteilung elektrischer IiEduagen üboi« ps»altl;taah ijSmtIit Bereiche dee Hetalls erfolgt» .

6· Zueaaaß^neetssuög naek Anspruch 5» aadurah gö]ce3iH»9iehnöt₄ dft« das Metall einsn sgezifisohen WidörßtaTia v«m ν*οϊΐΙβνΓ alif :tOÖ j Ohm-om hat.

BAD OfiJGiNAL

7. Saesaseneetsung naoh Anspruch 6» dadurch geksnnseiefenet, dsl dM elektrisch leitend« metall Gold, Silber, Sapfer, Aluainlus, Blei oder 8el*a 1st·

8· Suseaaensetsung naoh eines der vorhergehenden Ansprttah*f 4sdttroh gekexmseiohntt, da0 sine Ithrsmhl veohsslader 8ehlehtungen «us einer leitenden Metallschicht ait «!newest derart angebrachten aufgedaapften porenfireien Poly(p^xylyl«n)filji ▼on aindeetene 100 I^inneiten Moke vorgesehen iet_t daB jedt der leitenden MetaHeehiohten gegen die nfiohstliegende Setalleohieht dupoh den Poly(p-iylyltn)fil« isoliert let und dej «eolteelnde leitende Mt tall sohl ohten alt der gleionen AnsenlmS-lelttxng verbunden sind·

9· XuMMfttns«tsung nach eines der Anspruch· 1-7, gekennaeioliaet duroh ein Sohlahteleaent alt einer eelbettregenden leitenden Metallfolie _v auf der ein «nfgedaspfter porenfreier SolyCp-aqrlylen)flla vomosindeetene 100 Ä Sicke fest angebracht ist und auf des eine elektrisch leitende aufgedaapfte Ketallsohleht von aindeetene 100 S-Binhtiton Dicke elektrisch isoliert gegen die Metallfolie aufgetragen ist» wobei das Sehiohteleaent eu einen eylindrieohen Viokel aufgerollt iat und mit «wai getrennten Leitern versehen let, die mit der leitenden Metallfolie be*· der aufgedampften Metalleohioht verbunden sind.

10« ZuBaemenaetBung naoh Anspruch 9» dadurch ge&unuselohnat, daß der dielektriache Poly(^-xylylan) film zwischen 500 und 20 000 X-Binheiten dlok ist.

11. Eusaaneneetzxmg naoh eines der Ansprüoh· 1-7, gekennseiohnet duroh ein Schlohteleoent mit einer sie eine Elektrode dienenden selbsttragenden leitenden Metallfolie, auf der ein aufgedampfter porenfreier Poly(p-xylylan)fils vom alnäestene 100 Ä-Einheiten Sicke lost aufgebracht ist und einer ale svelte ELektro-

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de eie&enAen »weiten, vele«tt&sg*&Aem leltes&ea Sfetelifolle» wofeei dae SoMebteXeaent und die sw@ite Metallfolie su «la·» sylinäzleefeen Nickel aufgewunden sine und sw·! gesonderte Leiter en den beiden leitenden Metallfollen angetaaeStt elai·

12· Terfaaren «ur Heretelluisg de? Siaea^emeetsimg n*eh elnea der Torhe?eehenden AneprUohe« dftdnvobi gek»aasele]snet9 deJ ein deapfföraigee reel^ioaefililee· p-IjIyleMiraÄikÄl «us des Bwpfsuetand «uf eines YsfieeroberAKohe lEondeneierl tind abeeeehleden wixd, die auf eine feqpesatur tmteziieli» des Xondeneatloneteaperatur de· p-Iylylendiradikaie gekühlt iet_e wodureh ein alt der SrigeroDerfläeiL· £eet rertninäenec llnearee P©lj{p«-xylyleii) gebildet wird, dee die Kendeneatlon und Abeoheiduog fortgeeetst wird, bis ein PoIy(p-zylyien)überzug τ@η alndeeteiie 100 % auf der ffregeroberfläohe aufgetragen let, eowie da6 dann aindeetene eine leitende Metalloberfläche auf die Poly(p-xylylen)oberfl&ohe aufgebxmeht wird·

13. Verfahren nach Anspruch 12, daduroh gekaimBeiohnet, daß die

TrägeroberfläQlie ein im ?&kuua abgeschiedener leitender Metallfilm mit einer Sdoke von Bindeatene 100 £_r2inheiten auf einoB festen Träger ist.

14« Terfanren nach Anepruoh 12« dadurch gekennseionnet, daß als fträgeroberfläohe eine eelbettragende leitende Metallfolie verwendet wird·

15. Verfahren naoh Anspruoh 14» dadurch gekennselohnet, dafi die

•weite leitende Metalloberfläche auf dae £oly(p-2cylylen) dadurch aufgebraoht wird, daß ein leitender Metallf 11» aufgedampft und abgecehieden wird, bis eine Metall stärk« von Bindeetene 100 2 aufgebaut ist«

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BAD ORIGfNAU

H39826

16. Verfahren naoh ein·« der Aneprtioh· 12-15, dadurofe gekmuiceiabnet, daß al· l«lt«nd·· Httall «la noxmalerwti·« f««t«e uai V natürlich leitende a M«t*lX Y«rwtiidtt wird, d** ·1β· fltloh- \

aäflig· Verteilung el#ktrieoh«r Lsdungtn ttb«r pxmktlaoli di· '

Pläoh· do· Metall· bewirkt.

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