Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Verfahren zum Erzeugen einer strukturierten Schicht auf einem Substrat mit Hilfe von Photoätzprozessen sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
Einrichtung mit einer elektrischen Entladungsroehre mit band-foermigem Buendel, das abgelenkt und in verschiedenen Lagen gehalten wird (sog. Zaehlroehre)