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Hochvakuum-Pumpvorrichtung Es sind Hochvakuum-Pumpvorrichtungen bekannt,
bei denen eine kryogene Pumpstufe mit dem zu evakuierenden Gegenstand verbindbar
ist. Ein kryogene Pumpstufe ist ein durch flüssigen Stickstoff oder ein anderes
verflüssigtes Gas gekühltes Gefäß, in dem die zu entfernenden, bei höheren Temperaturen
sich verflüssigenden Gase oder Dämpfe, z. B. Wasserdampf, kondensieren.
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Die Anwendung derartiger kryogener Pumpstufen in unmittelbarer Verbindung
mit der Hauptvakuumkammer bringt jedoch gewisse Nachteile mit sich.
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Ein solcher Nachteil besteht darin, daß es nach der Kondensation des
Wasserdampfes in der kryogenen Pumpstufe erforderlich ist, den Wasserdampf in der
kryogenen Pumpstufe festzuhalten, bis der gesamte Evakuierungsprozeß abgeschlossen
ist. Dies ist mitunter schwierig durchzuführen, weil ein plötzlicher Anstieg der
Temperatur in dem Pumpgefäß mit einer neuen Bildung von Wasserdampf und einem raschen
Ansteigen des Druckes in der zu evakuierenden Anlage verbunden ist.
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Diesen Nachteil zu beheben und die Schwierigkeit zu überwinden ist
Aufgabe der Erfindung.
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Um zu erreichen, in einfacher Weise die kryogene Pumpstufe von dem
zu evakuierenden Raum abschließen zu können, ohne daß dabei die Wirkungsweise der
kryogenen Pumpstufe im Betrieb beeinträchtigt wird, wird die Aufgabe bei einer Hochvakuum-Pumpvorrichtung
mit einer mit dem zu evakuierenden Körper in Verbindung bringbaren kryogenen Pumpstufe
gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die kryogene Pumpstufe in dem mit dem zu
evakuierenden Körper in Verbindung stehenden Hochvakuum-Pumpraum mittels einer von
außen betätigbaren Abdeckvorrichtung abschließbar angeordnet ist.
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Eine bevorzugte Ausführungsfonn der Erfindung sieht vor, daß die Abdeckvorrichtung
der kryogenen Pumpstufe schalenförmig ausgebildet ist.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Beschreibung im Zusammenhang
mit den Figuren erörtert. Darin zeigt F i g. 1 eine Draufsicht auf eine umfassende
Vakuumanlage mit einer Hochvakuum-Pumpvorrichtung gemäß der Erfindung, wobei die
Draufsicht die Lage auch einer Sorptionsvakuumpumpe, einer elektrischen Kathodenzerstäubungsvakuumpurnpe,
der kryogenen Vakuumpumpe und des glockenförmigen Vakuumgefäßes erkennen läßt, F
i g. 2 einen Querschnitt durch die Vakuumlage nach F i g. 1 längs
der Linie 2-2, , F i g. 3 in vergrößertem Maßstab längs der Linie
3-3 durch die bevorzugte kryogene Vakuumpumpe gemäß F i g. 2,
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F i g. 4 ein Schaubild, in dem der in einer Anlage gemäß F i
g. 1 oder 2 herrschende Druck über der ,i#ifipumpzeit aufgetragen ist, F
i g. 5 einen Querschnitt durch eine etwas abgewandelte Ausführungsform einer
kryogenen Vakuumpumpe gemäß der Erfindung, F i g. 6 einen Querschnitt durch
eine weitere Ausführungsform einer kryogenen Vakuumpumpe gemäß der Erfindung, F
i g. 7 einen Querschnitt durch eine etwas abgewandelte Ausführungsform der
kryogenen Vakuumpumpe gemäß F i g. 3 und F i g. 8 in perspektivischer
Ansicht eine weitere Ausführungsform einer kryogenen Vakuumpumpe gemäß der Erfindung.
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Wie F i g. 1 und 2 im einzelnen erkennen lassen, weist die
Vakuumanlage 11 ein im wesentlichen quaderförmiges Gehäuse 12 auf. In der
Mitte der Deckplatte 13 des Gehäuses befindet sich eine kreisförmige öffnung
14, die durch ein abnehmbares, längliches und glockenfönniges Vakuumgefäß
15 abgedeckt ist.
über öffnungen in einer Seitenwandung des
Gehäuses 12 ist in gasdurchlässiger Verbindung ein Paar Hochvakuumventile
16 angeschlossen. Jedes der Hochvakuumventile 16 steht mit einer Sorptionsvakuumpumpe
17 in Verbindung. Einerseits des glockenförmigen Gehäuses 15 befindet
sich eine Ventilanordnung 18, die von einer Flanschplatte 19
Cletragen
ist, die ihrerseits eine zweite kreisförtnige Öffnung 21 in der Deckplatte
13 des Gehäuses 12 abdeckt. Ein Schraubentrieb 22 mit einer Balgvakuumdichtung
23 ragt durch die Platte 19 und ist an ihrem unteren Ende mit einer
Ventilplatte 24 versehen. Bei Drehung des Handrades 25 erfährt die Ventilplatte
24 längs der FUhrungsstangen 26 eine vertikale Bewegung, bei der eine Öffnung
27, die durch den Ventilsitz 28 am Boden des Gehäuses 12 gebildet
ist, entweder dicht verschlossen oder geöffnet wird. Unterhalb der Ventilsitzanordnung
27 ist an der Unterseite des Gehäuses 12 der Anschlußstutzen 29 einer
elektrischen Kathodenzerstäubungsvakuumpumpe 31 angesetzt. Einer weiteren,
dritten kreisförmigen öffnung 33, die in Nähe des glockenförmigen Gehäuses
15 auf der der Ventilanordnung 18 gegenüberliegenden Seite in der
Gebäuseabdeckung 13
vorgesehen ist, ist eine kryogene Vakuumpumpe
32
zugeordnet.
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Der Aufbau der Anlage gemäß F i g. 1 und 2 bringt ein leicht
und ungehindert zugängliches Arbeitsfeld mit sich, das das glackenförmige Gefäß
15
und das unmittelbar unterhalb dieses Gefäßes 15
liea,ende Gebiet
des Gehäuses mit einschließt.
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Wie insbesondere aus F i g. 3 ersichtlich ist, ist die öffnung
33 für die kryogene Pumpe durch einen kreisförTnigen Befestigungsflansch
34 abgedeckt, der an die Gehäusedeckplatte 13 angeschraubt und dabei von
einer einen 0-förmigen Ring 35 bildenden Dichtung, die zwischen dem Flansch
34 und der Gehäusedeckplatte 13 liegt, abgedichtet ist. Der kreisbogenförmige
Befestigungsflansch 34 weist eine Mittelöffnung 36 mit einem vorspringenden
schulterförmigen Ansatz 37 auf, der eine kreisförmige Zwischenscheibe
38 trägt. Mittel einer Anzahl Schrauben 43, die durch die Scheibe
38 ragen, ist an der Unterseite des schulterförmigen Ringvorsprunges
37 unter vakuumdichter Abdichtung mittels eines 0-förmigen Ringes 42 eine
Ringscheibe 41 angebracht. An dieser Ringscheibe 41 ist das obere Ende eines hochvakuumdichten
Balges 44 beispielsweise durch Hartlötung befestigt, an dessen unterem Ende sich
ein Gewindering 45 befindet. Der Gewindering 45 ist beispielsweise ebenfalls durch
Hartlötung an der Innenseite des Bodens einer schalenförmigen Ventilabdockung 46
befestigt. Der flanschartige Ring 47 der schalenförinigen Ventilabdeckung 46 ist
unter vakuumdichter Abdichtung mittels eines 0-förrnigen Ringes 48 an der Unterseite
des kreisförinigen Tragflansches 34 angebracht, so daß eine Hilfsvakuumkammer 49
gebildet wird. Die Abdeckung 46 ist mittels einer Reihe Stangen 51 geführt,
die in die Flanschplatte 34 von deren Unterseite eingeschraubt sind und entsprechende
öffnungen in dem flanschartig ausgebildeten Ring 47 durchsetzen.
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Innerhalb der Hilfsvakuumkammer 49 ist ein torusförrniger Hohlkörper
52 angeordnet, der an seiner Oberseite mit einer Reihe von öffnungen
53 versehen ist, die mit angesetzten, inneren Rohren 54 in Verbindung stehen.
Die Innenrohre 54 durchsetzen die öffnungen 55 in der Flanschplatte 34 und
münden in nach außen erweiterte Abschnitte 56 aus. Die Ab-
schnitte
56 sind beispielsweise durch Hartlötung mit den nach innen gezogenen Abschnitten
57 äußerer Rohre 58 verbunden, die die inneren Rohre 54 unter Wahrung
eines Abstandes einschließen. Die Außenrühre 58 sind vakuurndicht an die
öffnungen 55 angeschlossen und tragen dabei den Hohlkörper 52.
Die
Innenrohre 54 weisen Einlässe auf, um den Hohlkörper 52 mit einem flüssigen
Kühlmittel zu füllen. Durch den Aufbau der Rohre wird der Weg für die Wärmeübertragung
zwischen dem Hohlkörper 52 und dem Flansch 34 lang, da in diesem Weg sowohl
die Länge der Außenrohre 58 als auch die Länge der Innenrohre 54 eingeschaltet
ist, so daß der Gesamtweg für die Wärmeleitung etwa doppelt so groß ist wie die
Länge eines der Rohre 54 bzw. 58.
Durch diesen Aufbau wird der Verlust an
Kühlflüssigkeit infolge Verdampfung an der äußeren Vakuumfläche wesentlich herabgesetzt.
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Das eine Ende eines Knierohres 59 ist an eine
weitere
Öffnung 61 in dem kreisförmigen Tragflansch 34 angesetzt und steht dabei
in gesdurchlässiger Verbindung mit der Hilfsvakuumkammer 49. Das zweite Ende des
Knierohres 59 ist an einen Vakuumflansch 62 angeschlossen, über den
eine Verbindung init einer weiteren Pumpanordnung (nicht dargestellt) herg> stellt
wird. Der Zweck dieser Maßnahme wird weiter unten erläutert.
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Oberhalb der Ringscheibe 38 ist ein Paar Kugellager
65 angeordnet, die zwischen sich ein nach außen vorspringendes kreisförmiges
Schulterstück64 einer Gewindehülse 63 einschließen. An dem Tragflansch 34
ist weiter mittels Bolzen 60 ein Topfkörper 66 befestigt, der die
Kugellageranordnung 65 einschließt und mit einer Mittelöffnung versehen ist
die von der Gewindehülse 63 durchsetzt ist. In die Gewindehülse
63 ist eine diese Hülse über ihre ganze Länge durchsetzende Spindel
eingeschraubt, deren überstehendes Ende in den Gewindering 45 paßt. Auf dem Topfkörper
66 ruht ein Handrad 68 auf, das mittels einer Madenschraube
69 an der Gewindehülse 63 befestigt ist.
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Die Gewindehülse 63 und das Handrad 68 werden durch
den Topfkörper 66 einerseits und den schultelförmigen Vorsprung
37 andererseits an einer Vertikalbewegung, die schalenförrnige Ventilabdeckung
46 und der an dieser angebrachte Gewindering 45 durch die Führungsspangen
51 an einer Drehbewegung gehindert. Eine Drehung des Handrades 68 führt somit
zu einer Vertikalbewegung der Spindel 61 und einer entsprechenden Vertikalbewegung
der schalenförinigen Ventilabdeckung 46. Auf diese Weise kann die Ventilabdeckung
46 längs der Führungsstangen 51 abwärts bewegt werden, so daß der Toruskörper
52 in die in F i g. 2 wiedergegebene Lage gelangt.
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Bei Inbetriebnahme der Vakuumanlage wird zunächst die Kammer
71, die das Gebiet innerhalb des Gefäßes 15 und des Gehäuses 12 umfaßt,
zunächst auf einen Druck von etwa 50 mrn Hg mittels einer ohne,öl arbeitenden
Vorpumpe, beispielsweise einer Wasserstrahlabsaugepumpe (nicht dargestellt) evakuiert,
wobei sich die Ventilplatte 24 und die schalenförrnige Ventilabdeckung 46 jeweils
in ihren Schließ-
stellungen befinden und die Sorptionspumpen 17 ab-
gesperrt
sind. Hierauf wird die Wasserstrahlvorpumpe abgesperrt, und es werden die durch
flüssigen Stickstoff gekühlten Sorptionspurnpen 17 anschließend
eingesetzt,
uni den Druck innerhalb der Hauptvakuumkammer 71 auf etwa 10-2 mm Hg herabzusetzen.
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Hierauf werden die beiden Sorptionspurnpen 17
wieder abgesperrt
und sowohl die Ventilplatte 24 als auch die Ventilabdeckung 46 in die Freigabestellung
gebracht, so daß es zu einer gasdurchlässigen Verbindung zwischen der Hauptkammer
71 und den beiden ionischen Kathodenzerstäubungspumpen 31
sowie dem
Höhlkörper 52 kommt. Dabei werden innerhalb der Hauptvakuumkammer 71 befindliche
kondensierbare Dämpfe innerhalb einer äußerst kurzen Zeit an der Außenfläche des
Hohlkörpers 52
niedergeschlagen (Kondensation), der zuvor über die Röhre 54
mit einem Kühlmedium, beispielsweise flüssigem Stickstoff, gefüllt worden ist. Dieser
Pumpvorgang führt in Verbindung mit der Wirkung der ionischen Pumpe 31 sehr
rasch zur Verringerung des Systemdruckes auf einen gewünschten Wert. In anderen
Anwendungsfällen, bei denen die an dem käLlten Hohlkörper 52 konjungierten Gase
bei der Temperatur des flüssigen Stickstoffes einen hohen Dampfdruck (beispielsweise
10-5 mm 14g) haben, kann die Ventilabdeckung 46 etwa bei diesem Druck wieder in
die Schließstellung gebracht werden, um den Hohlkörper 52 gegenüber der Hauptkammer
71 zu isolieren und so eine Neubildung dieser kondensierten Dämpfe zu verhüten.
Bei Schließung der Ventilabdeckung 46 bleiben die Dämpfe der Hilfsvakuumkammer 49
im kondensierten Zustand auf der Außenfläche des kalten Hohlkörpers 52. Es kann
dann die Vakuumabdeckung 50 von dem Flansch 62
entfernt und eine weitere
(nicht dargestellte) Vakuumpumpe dort angeschlossen werden, um die Gase abzusaugen,
die sich wieder aus dem Kondensat bilden, wenn das Kühlmedium dem Hohlkörper
52 entnommen wird. Auf diese Weise kann die kryogene Kühlfläche
52 von Kondensaten befreit und wiederum für weitere Pumpvorgänge infolge
Abkühlung des Hohlkörpers 52 und unter Öffnung der schalenförmigen Ventilabdeckung
46 eingesetzt werden.
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Diese einzelnen Arbeitsfolgen sind infolge der Eigenschaften der verwendeten
Vakuumpumpen besonders wirksam. Wenn der Druck nahe der Hauptkammer 71 beispielsweise
etwa 10-2 mm Hg oder darunter beträgt, hat die Bildung von den Innenseiten der Anlage
stammenden Gases einen großen prozentmäßigen Anteil an der gesamten Gasfüllung.
Dieses auftretende Gas enthält einen großen Prozentsatz an Wasserdampf. Die durch
flüssigen Stickstoff gekühlte kryogene Pumpe 32 weist in erster Linie gegenüber
Wasserdampf eine extrem hohe Pumpgeschwindigkeit auf. Daher ist die kryogene Pumpe
32 während dieser Pumpperiode besonders wirksam.
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F i g. 4 gibt schaubildlich die durch den Einsatz der kryogenen
I>umpe 32 während des oben beschriebenen Abpumpvorganges erzielte Wirkung
wieder. Die Linie A veranschaulicht eine Abpumpkurve der Vakuumanlage
11 gemäß der oben beschriebenen Pumpfolge, wobei der Druck innerhalb des
Raumes 71 in legarithmischem Maßstab auf der Ordinate, die Abpumpzeit ebenfalls
im logarithmischen Maßstab über der Abszisse aufgetragen ist. Zum Zeitpunkt Null
hat die Anlage atmosphärischen Druck. Die Linie B stellt eine ähnliche Abpumpkurve
für die Vakuumanlage 11 gemäß der oben beschriebenen Reihenfolge dar, jedoch
mit dem Unterschied, daß die kryogene Vakuumpumpe 32 nicht verwendet wird.
Wie aus der Kurve A ersichtlich ist, führt die Verwendung der kryogenen Pumpe
32 innerhalb etwa 40 Minuten zu einem unterhalb 10-8 mm Hg liegenden
Druckpunkt. Die Linie B zeigt, daß dieselbe, jedoch ohne die kryogene Vakuumpumpe
32
betriebene Vakuumanlage innerhalb des gleichen Zeitabschnittes nur einen
wenig unterhalb 10-6 mm Hg liegenden Druck erzeugen könnte.
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Bei der speziellen Untersuchung der Vakuumanlage hatte der Hauptraum
71 einen Inhalt von etwa 0,1 m3, während der Hohlkörper
52 der kryogenen Vakuumpumpe eine wirksame Außenfläche von etwa
600 cm2 aufwies. Als ionische, mit Kathodenzerstäubung arbeitende Vakuumpumpe
wurde eine solche mit einem Pumpgeschwindigkeitswert von 400 1 pro Sekunde
verwendet.
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F i g. 5 zeigt eine weitere Ausführungsform einer kryogenen
Vakuumpumpe mit abschließbarer Abdeckvörrichtung, wobei F i g. 3 entsprechende
Teile mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind. Die wesentlichsten Unterschiede
gegenüber der Ausführung nach F i g. 3 bestehen darin, daß die Anordnung
72
zur Verstellung des Ventils nicht die Abdeckplatte 13, sondern den
Boden des Gehäuses 12 durchsetzt und die Führungsstangen 73 nicht in dem
kreisförmigen Tragflansch 34, sondern in der Abdeckplatte 13
des Gehäuses
verankert sind. Diese Ausführungsforin bringt den Vorteil mit sich, daß die Ventilabdeckung
46 gegenüber der Abdeckplatte 13 des Gehäuses 12 vakuurndicht abgedichtet
werden kann, wobei der Hohlkörper 52 gegenüber dem Hauptvakuumraum
71 isoliert wird, worauf der gesamte Aufbau 74 der kryogenen Pumpe, der den
Hohlkörper 52, die Einlaßrohre 54, den kreisförrnigen Tragflansch 34 und
das Knierohr 59 umfaßt, von der Gehäuseabdeckung 13 entfernt werden
kann, ohne daß der Hauptvakuumraurn 71 in Verbindung mit der Außenluft tritt.
Somit kann beispielsweise der Hohlkörper 52, wenn er ausnahmsweise verunreinigt
sein sollte, herausgenommen und auf chemischem Wege gereinigt werden, während das
Hochvakuum des Hauptvakuumraumes 71 erhalten bleibt.
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F i g. 6 zeigt eine weitere, zum Einbau in eine Vakuumanlage
gemäß F i g. 1 und 2 geeignete Ausführungsform einer kryogenen Vakuurnpumpe
mit abschließender Abdeckvorrichtung. Auf der Gehäuseabdeckung 13 befindet
sich ein zylindrisches Gehäuse 80 mit einer Deckwand 81, die einen
inneren Balg 82 und einen davon im Abstand angeordneten äußeren Balg
83 trägt. Die konzentrischen Bälge 82 und 83 sind an ihren
oberen Enden im Verhältnis zur Innenseite der Deckfläche 81 und an ihren
unteren Enden mittels einer kreisförinigen Balgplatte 84 abgedichtet, die eine Ventilplatte
85 trägt. An der Unterseite der Gehäuseabdeckung 13 ist eine Reihe
von Führungsstangen 90 verankert, die eine Führung der Ventilplatte
85 bei deren Vertikalbewegung gewährleisten. Durch die Abdeckfläche
81 ragt eine Anzahl von Rohren 86 in die von dem inneren Balg
82 und dem äußeren Balg 83 gebildete Kammer; durch das zylindrische Gehäuse
80 ist ein Flanschrohr 88 geführt, das eine gasdurchlässige Verbindung
mit diesem Gehäuse herstellt. Durch die Abdeckung 81 und den inneren Balg
82 erstreckt sich ein Antrieb 89 ähnlich dem Antrieb nach F i
g. 3, der mit der Balgplatte 84 verbunden ist. Bei Betätigung des Antriebes
89 können die Bälge 82 und 83 in ihre aus F i g. 6 ersichtliche
gedehnte Lage gebracht werden
oder in das zylindrische Gehäuse
80 eingezogen werden, während die angesetzte Ventilplatte 85 einen
vakuumdichten Verschluß der Unterseite der Gehäuseabdeckung 1.3 bildet.
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Die Inbetriebnahme dieses Ausführungsbeispieles erfolgte in der gleichen
Weise, wie im Zusammenhang der Ausführungsform nach F i g. 3 beschrieben,
abgesehen davon, daß in diesem Fall die Außenfläche des äußeren Balges
83 als Kühlwand der kryogenen Vakuumpumpe dient, nachdem die Kammer
87 über die Rohre 86 mit einem flüssigen Kühlmittel gefüllt worden
ist. Der Vorteil dieser Ausführungsform ist in der erhöhten Pumpgeschwindigkeit
zu sehen, die sich infolge der besonders großen Kühloberfläche erzielen läßt, welche
die gewählte Oberfläche des Balges bietet.
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Ein Nachteil dieser Ausführungsform gegenüber den Ausführungen nach
F i g. 3 und 5 besteht darin, daß der gesamte,. das flüssige Kühlmittel
enthaltende Behälter (Bälge 82 und 83) durch den Antrieb
89
- statt nur der Ventilplatten wie bei den Ausführungen gemäß F i
g. 3 und 5 - angehoben oder abgesenkt werden muß. Dadurch gestalten
sich die mechanischen Probleme hinsichtlich des Aufbaus infolge der größeren zu
bewegenden Massen etwas umständlicher. Ebenso sind die Behälter für das flüssige
Kühlmittel (Hohlkörper 52) bei den Ausführungen nach F i g. 3 und
5 vollkommen feststehend ausaebildet und bedürfen daher keiner beweglichen
Flüssigkeitsdichtungen, um ihre Füllung zu ermöglichen.
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F i g. 7 gibt eine abgewandelte Ausführungsforin des Hohlkörpers
52 gemäß F i g. 3 wieder. Die vorstehenden Austragungen
92, die beispielsweise mittels Hartlötung an der Außenfläche 93 des
Hohlkörpers 52 befestigt sind, bilden eine Reihe von Kammern 91. Die
Kammern 91 sind mit einem Stoff 94 gefüllt, das Gas in hohem Maße sorbiert,
beispielsweise mit aktivierter Holzkohle oder mit einem molekularen Siebmittel.
Im Betrieb sorbiert der sorbierende Werkstoff 94, der durch die Kühlflächen des
Hohlkörpers 52 und die Austragungen 92 gekühlt worden ist, eine Vielzahl
von Gasen, die an den kalten Metallflächen des Hohlkörpers 52 nicht zu kondensieren
vermögen. Auf diese Weise können vielmehr verschiedene Gase durch die kryogene Vakuumpumpe
32 abgepumpt werden.
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In F i g. 8 ist eine als Adapter 100 ausgebildete kryogene
Vakuumpumpanlage wiedergegeben, mit der sich die Wirksamkeit bekannter, im Handel
befindlicher Glockengefäßvakuumanlagen wesentlich steigern läßt. An der Oberseite
102 des Gehäuses 103 ist eine kryogene Pumpe 101 gemäß F i
g. 3 in der gleichen Weise, wie in Verbindung mit F i g. 3
beschrieben,
angebracht. Neben der kryogenen Pumpe 101 befindet sich an der Oberseite
102 des Gehäuses 103 eine Öffnung 104, die mit einer weiteren Öffnung
105 von im wesentlichen gleicher Größe fluchtet, die im Boden 106
des Gehäuses 103 vorgesehen ist. In dem Gebiet zwischen der kryogenen Pumpe
101 und den Öffnungen 104 und 105 ist eine Reihe von Verstärkungsstangen
107 zwischen der Oberseite 102 und dem Boden 106 des Gehäuses
103
angeordnet.
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Bei Einsatz des Adapters 100 wird das glockenförmige Gefäß
einer bekannten Vakuumanlage (nicht dargestellt) entfernt und unter vakuumdichter
Verbindung durch das Gehäuse 103 ersetzt, wobei die im Boden des Gehäuses
103 befindliche Öffnung 105
mit der zuvor von dem glockenförmigen Gefäß
bedeckten Öffnung fluchtet. Das abgenommene Glokkengefäß wird dann, unter vakuumdichter
Verbindung, oberhalb der Öffnung 104 an der Oberseite des Gehäuses befestigt, so
daß der Innenraum des Gehäuses 103, das die kryogene Pumpe 101 enthält,
in den Vakuumraum einer bekannten Vakuumanlage eingeschaltet wird.
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Der Adapter 100 ermöglicht es somit, eine bereits vorhandene
Vakuumanlage in einfacher Weise in eine Anlage urnzurüsten, die eine kryogene Vakuumpumpe
besitzt, die innerhalb der Hauptvakuumkammer abschließbar angeordnet ist. Die kryogene
Pumpe vermag dann die Wirksamkeit der Gesamtanlage in der oben beschriebenen Weise
ohne Beeinträchtigung der Leitfähigkeit in hohem Maße zu steigern.
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Bei Betrieb der Vakuumanlage gemäß Fig. 1
und 2 können auch
die Sorptionsvakuumpumpen 17
eingesetzt werden, um den Druck in der Hauptkammer,
unmittelbar vom Luftdruck ausgehend, herabzusetzen, wobei auf die Notwendigkeit
verzichtet werden kann, eine zusätzliche Vorpumpe zu verwenden.