DE1246347B - Acid galvanic copper bath - Google Patents

Acid galvanic copper bath

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DE1246347B DE1966SC038624 DESC038624A DE1246347B DE 1246347 B DE1246347 B DE 1246347B DE 1966SC038624 DE1966SC038624 DE 1966SC038624 DE SC038624 A DESC038624 A DE SC038624A DE 1246347 B DE1246347 B DE 1246347B
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Dr Hans-Guenther Todt
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Description

■■< ^ sr . 3 ei ■■ <^ sr . 3 egg

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. Cl.Int. Cl.

C23bC23b

Deutsche Kl.: 48 a-5/20 German class: 48 a -5/20

Nummer: 1 246 347Number: 1 246 347

Aktenzeichen: Sch 38624 VI b/48 aFile number: Sch 38624 VI b / 48 a

Anmeldetag: 8. März 1966Filing date: March 8, 1966

Auslegetag: 3. August 1967Opened on August 3, 1967

€ 25 D 3-38€ 25 D 3-38

Die Erfindung betrifft einen sauren Elektrolyten zur galvanischen Abscheidung glänzender Kupferüberzüge und hat insbesondere zur Aufgabe, die elektrolytische Abscheidung dieser Niederschläge aus wäßrigen, sauren Lösungen von Kupfersalzen zu verbessern.The invention relates to an acidic electrolyte for the galvanic deposition of shiny copper coatings and has the task in particular of the electrolytic deposition of these precipitates from aqueous, to improve acidic solutions of copper salts.

Es ist bekannt, daß sauren, insbesondere den am meisten verbreiteten schwefelsauren Kupferelektrolyten bestimmte organische Substanzen in geringen Mengen zugesetzt werden können, um statt einer kristallin-matten Abscheidung glänzende Kupferüberzüge zu erhalten. Geeignet sind hierfür in erster Linie organische Thioverbindungen. So wurde z. B. die Verwendung von Thioharnstoff, Thiohydantoin, Thiosemicarbazones Thiocarbaminsäureestern, Thiophosphorsäureestern sowie von zahlreichen Derivaten dieser Verbindungen vorgeschlagen. Da die Qualität der Kupferniederschläge bei alleiniger Zugabe von Thioverbindungen in den meisten Fällen unbefriedigend war, wurde auch eine gemeinsame Verwendung mit stickstoffhaltigen Substanzen, insbesondere Alkaloiden und Phenazinfarbstoffen, oder mit Abkömmlingen des Dioxolans beschrieben.It is known that acidic, in particular the most common sulfuric acid copper electrolyte Certain organic substances in small amounts can be added to instead of one crystalline-matt deposit to obtain shiny copper coatings. Are primarily suitable for this organic thio compounds. So was z. B. the use of thiourea, thiohydantoin, thiosemicarbazones Thiocarbamic acid esters, thiophosphoric acid esters and numerous derivatives suggested of these compounds. Since the quality of the copper precipitates with the sole addition of Thio compounds were unsatisfactory in most cases, and became a common use with nitrogenous substances, especially alkaloids and phenazine dyes, or with derivatives of the dioxolane.

Es hat sich jedoch gezeigt, daß auch diese Kombinationen den erhöhten Anforderungen der Praxis nicht gerecht werden. Insbesondere machen sich folgende Nachteile bemerkbar:However, it has been shown that these combinations also meet the increased requirements in practice not do justice. In particular, the following disadvantages are noticeable:

1. Der Kupferniederschlag ist nur in einem begrenzten Stromdichtebereich glänzend und fällt besonders im Bereich niedriger Stromdichten matt aus. Dies bedeutet, daß man auf profilierten Teilen keinen gleichmäßigen Überzug erhält, sondern daß er zwar auf den äußeren Flächen glänzend, in Vertiefungen aber matt ist.1. The copper deposit is shiny only in a limited current density range and falls particularly well matt in the range of low current densities. This means that you can work on profiled parts does not get a uniform coating, but that it is shiny on the outer surfaces, in But is dull.

2. Der Kupferniederschlag ist mehr oder weniger stark verschleiert und besitzt dadurch kein 3^ dekoratives Aussehen.2. The copper deposit is more or less obscured and thus does not have 3 ^ decorative appearance.

3. Die einebnende Wirkung der organischen Zusätze zum Elektrolyten ist zu gering, so daß Polierriefen oder Fehler im Grundmaterial nach der Ver- Λη kupferung noch deutlich zu sehen sind und eine weitere mechanische Bearbeitung erforderlich ist. Alle zusätzlichen Polierarbeiten verursachen jedoch hohe Kosten. In der Praxis wird deshalb in zunehmendem Maße die Forderung nach stark einebnenden Elektrolyten gestellt, mit denen die Polierkosten auf ein Minimum gesenkt werden können.3. The leveling effect of the organic additives to the electrolyte is too small, so that polishing marks or defects in the base material can still be clearly seen after copper plating and further mechanical processing is required. However, any additional polishing work results in high costs. In practice, therefore, there is increasing demand for highly leveling electrolytes with which the polishing costs can be reduced to a minimum.

Es wurde nun gefunden, daß man die genannten Nachteile überwinden und insbesondere die einebnende Wirkung verbessern kann, wenn man den sauren Kupferelektrolyten mit einem Gehalt an Saures galvanisches KupferbadIt has now been found that the disadvantages mentioned can be overcome, and in particular the leveling one Effect can improve if one contains the acidic copper electrolyte Acid galvanic copper bath

Anmelder:Applicant:

Schering Aktiengesellschaft,Schering Aktiengesellschaft,

Berlin 65, Müllerstr. 170/172Berlin 65, Mullerstr. 170/172

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Dr. Hans-Günther Todt, BerlinDr. Hans-Günther Todt, Berlin

Glanzbildnern auf der Basis organischer Thioverbindungen ein oder mehrere geradkettige oder verzweigte Polyalkylenimine oder deren funktionell Derivate zugibt.Brighteners based on organic thio compounds, one or more straight-chain or branched ones Polyalkylenimines or their functional derivatives are added.

Als funktioneile Derivate seien beispielsweise genannt die Salze der Polyalkylenimine und deren Umsetzungsprodukte mit Kohlendioxid, Kohlensäureestern, Alkylhalogeniden oder Fettsäuren.The salts of polyalkylenimines and their salts may be mentioned as examples of functional derivatives Reaction products with carbon dioxide, carbonic acid esters, alkyl halides or fatty acids.

Das Molekulargewicht der erfindungsgemäß zu verwendenden Verbindungen soll etwa zwischen 180 und 50000 liegen. Die besten Ergebnisse erhält man mit Substanzen, die ein Molekulargewicht zwischen 1000 und 12000 besitzen.The molecular weight of the compounds to be used according to the invention should be approximately between 180 and 50000 lie. The best results are obtained with substances that have a molecular weight between 1000 and 12000 own.

Die Mengen, die für eine deutliche Verbesserung der Kupferabscheidung benötigt werden, sind äußerst gering und liegen bei 0,0005 bis 0,1 g/l, im allgemeinen bei 0,0005 bis 0,03 g/l, je nachdem, welche Thioverbindungen und gegebenenfalls welche weiteren Glanzbildner das Kupferbad enthält. Die Thioverbindungen werden in üblichen Mengen von 0,001 bis 0,1 g/l, vorzugsweise 0,005 bis 0,05 g/l, verwendet.The quantities required to significantly improve copper deposition are extremely high low and are from 0.0005 to 0.1 g / l, in general from 0.0005 to 0.03 g / l, depending on the thio compounds and, if applicable, which other brighteners the copper bath contains. The thio compounds are used in the usual amounts of 0.001 to 0.1 g / l, preferably 0.005 to 0.05 g / l.

Als Elektrolyt wird im allgemeinen eine schwefelsaure Kupfersulfatlösung folgender Zusammensetzung benutzt:Sulfuric acid is generally used as the electrolyte Copper sulfate solution of the following composition is used:

CuSO4 · 5 H2O 125 bis 260 g/lCuSO 4 · 5 H 2 O 125 to 260 g / l

H2SO4 20 bis 85 g/lH 2 SO 4 20 to 85 g / l

Statt Kupfersulfat können zumindest teilweise auch andere Kupfersalze benutzt werden. Die Schwefelsäure kann teilweise oder ganz durch Fluoroborsäure, Phosphorsäure oder andere Säuren ersetzt werden. Der Elektrolyt kann chloridfrei sein oder — was zur Verbesserung des Glanzes meist vorteilhaft ist — Chloride, z. B. Alkalichloride in Mengen von 0,001 bis 0,1 g/l enthalten. Als weitere Zusatzstoffe können andere übliche Glanzbildner und/oder Netzmittel verwendet werden.Instead of copper sulfate, other copper salts can also be used, at least in part. The sulfuric acid can be partially or completely replaced by fluoroboric acid, phosphoric acid or other acids. The electrolyte can be chloride-free or - which is usually beneficial for improving the gloss - Chlorides, e.g. B. contain alkali chlorides in amounts of 0.001 to 0.1 g / l. As further additives you can other conventional brighteners and / or wetting agents can be used.

In Tabelle I sind Substanzen zusammengestellt, die erfindungsgemäß Kupferbädern mit organischen Thioverbindungen zugegeben werden, um schleierfreieIn Table I, substances are compiled which, according to the invention, contain copper baths with organic thio compounds added to be haze-free

709 619/551709 619/551

Kupferniederschläge mit gesteigerter einebnender Wirkung zu erhalten.To obtain copper deposits with increased leveling effect.

Tabelle ITable I.

BevorzugtePreferred g/lg / l Substanzsubstance Konzentrationconcentration bis 0,01up to 0.01 bis 0,01up to 0.01 1. Polyäthylenimin 1. Polyethyleneimine 0,0010.001 bis 0,005up to 0.005 2. Polypropylenimin 2. polypropylene imine 0,0010.001 bis 0,01up to 0.01 3. Polybutylenimin 3. polybutylene imine 0,00050.0005 bis 0,01up to 0.01 4. N-Methylpolyäthylenimin ..4. N-methyl polyethyleneimine .. 0,0010.001 bis 0,01up to 0.01 5. N-Butylpolyäthylenimin ...5.N-butyl polyethyleneimine ... 0,0010.001 bis 0,005up to 0.005 6. N-Amylpolyäthylenimin ...6.N-Amylpolyethyleneimine ... 0,0010.001 bis 0,01up to 0.01 7. N-Amylpolypropylenimin . .7. N-amyl polypropylene imine. . 0,00050.0005 8. N-Acetylpolyäthylenimin...8.N-acetyl polyethyleneimine ... 0,0010.001 9. Umsetzungsprodukt von9. Reaction product of Polyäthylenimin mitPolyethyleneimine with bis 0,03up to 0.03 Äthylencarbonat (KohlenEthylene carbonate (coals säureäthylenester acid ethylene ester 0,0050.005 10. Umsetzungsprodukt von10. Reaction product of Polyäthylenimin mitPolyethyleneimine with bis 0,02up to 0.02 Propylencarbonat (Kohlen-Propylene carbonate (carbon säurepropylenester) acid propylene ester) 0,0050.005 11. Umsetzungsprodukt von11. Reaction product of bis 0,01up to 0.01 PolypropyleniminPolypropylene imine mit Kohlendioxid with carbon dioxide 0,0020.002

25 2 5

Die vorgenannten Substanzen sind entweder an sich bekannt oder können nach an sich bekannten Verfahren hergestellt werden, z. B. durch Polymerisation von Alkyleniminen gemäß den Verfahren der USA.-Patentschrift 2182 306 oder durch Umsetzung der Polyalkylenimine mit Alkylhalogeniden, Fettsäuren bzw. Fettsäureanhydriden, Kohlendioxid bzw. Kohlensäureestern in geeigneten Lösungsmitteln bei erhöhter Temperatur (siehe z. B. W. K e r η und E. B r e η η eisen, »Journal für praktische Chemie« (2), 159, S. 193 bis 240 [1941]).The aforementioned substances are either known per se or can be prepared by methods known per se be produced, e.g. B. by polymerization of alkylene imines according to the procedures of the USA patent 2182 306 or by reacting the polyalkyleneimines with alkyl halides, fatty acids or fatty acid anhydrides, carbon dioxide or carbonic acid esters in suitable solvents at elevated levels Temperature (see e.g. W. K e r η and E. B r e η η iron, "Journal for practical chemistry" (2), 159, pp. 193 to 240 [1941]).

Im Kupferbad liegen die Polyalkylenimine sowie die bezeichneten Umsetzungsprodukte als Salze vor, z. B. als Sulfate in den üblichen schwefelsauren Elektrolyten. Sie können aber auch bereits in Salzform zugegeben werden, z. B. als Hydrochloride, Hydrobromide, Methyljodide, Äthylbromide usw.In the copper bath, the polyalkylenimines and the designated reaction products are present as salts, e.g. B. as sulfates in the usual sulfuric acid electrolytes. But you can also already in salt form be added, e.g. B. as hydrochloride, hydrobromide, methyl iodide, ethyl bromide etc.

In Tabelle II sind bekannte Kupferelektrolytzusätze auf der Basis organischer Thioverbindungen zusammengestellt, die bei der Kupferabscheidung bei alleiniger Verwendung nur eine unbefriedigende Wirkung entfalten.Known copper electrolyte additives based on organic thio compounds are listed in Table II. that in the case of copper deposition when used alone is only an unsatisfactory one Make an impact.

Tabelle IITable II

Substanzsubstance

1. Thioharnstoff 1. Thiourea

2. l-Acetyl-2-thioharnstoff 2. l-acetyl-2-thiourea

3. 1-Acetyltliiohydantoin 3. 1-Acetyltliiohydantoin

4. Dithiocarbaminsäure-carboxymethylester 4. Carboxymethyl dithiocarbamic acid

5. Butyraldehyd-thiosemicarbazon5. Butyraldehyde thiosemicarbazone

6. Thiophosphorsäure-tris-(propylester-tw-natriumsulfonat) 6. Thiophosphoric acid tris (propyl ester tw-sodium sulfonate)

7. Thioapfelsäure 7. Thio malic acid

8. Butan-l,4-dithiol-2,3-disulfonsaures Natrium 8. Butane-1,4-dithiol-2,3-disulfonic acid sodium

Konzentration concentration

g/lg / l

0,010.01

0,0150.015

0,040.04

0,04 0,020.04 0.02

0,03 0,020.03 0.02

0,050.05

Verwendet man diese Verbindungen dagegen gemeinsam mit einer oder mehreren Substanzen der Tabelle I, so erhält man eine deutliche und sprunghafte Verbesserung der Abscheidung, d. h., der Überzug fällt schleierfrei aus und weist eine hervorragende Einebnung auf. Als weitere Zusätze kann der Kupferelektrolyt andere bekannte Glanzbildner wie Alkaloide, aliphatische Carbonsäuren, Gelatine, Dextrin oder Polyäthylenglycole enthalten.
ίο Folgende Beispiele erläutern die Erfindung:
If, on the other hand, these compounds are used together with one or more substances from Table I, a clear and sudden improvement in the deposition is obtained, that is to say, the coating is free of haze and has excellent leveling. As further additives, the copper electrolyte can contain other known brighteners such as alkaloids, aliphatic carboxylic acids, gelatine, dextrin or polyethylene glycols.
ίο The following examples explain the invention:

Beispiel 1
In einem Kupferbad der Zusammensetzung
example 1
In a copper bath of the composition

200,0 g/l Kupfersulfat (CuSO4 ■ 5 H2O),
55,0 g/l Schwefelsäure (konz.),
0,04 g/I Natriumchlorid
200.0 g / l copper sulfate (CuSO 4 ■ 5 H 2 O),
55.0 g / l sulfuric acid (conc.),
0.04 g / l sodium chloride

erhält man bei Zugabe von 0,015 g/l Acetylthioharnstoff und bei einer Elektrolyttemperatur von 2O0C mit Kathodenbewegung glänzende Kupferniederschläge, die aber im Stromdichtebereich von 1,0 bis 7,0 A/dm2 unregelmäßige, milchige Schleier besitzen. Gibt man dem Elektrolyten zusätzlich 0,0025 g/l Polyäthylenimin oder dessen Umsetzungsprodukt mit Kohlendioxid zu, so sind die Überzüge schleierfrei und von deutlich höherer Brillanz.is obtained upon addition of 0.015 g / l acetylthiourea and at an electrolyte temperature of 2O 0 C and the cathode movement bright copper deposits, but in the current density range of 1.0 to 7.0 A / dm 2 have irregular, milky haze. If an additional 0.0025 g / l polyethyleneimine or its reaction product with carbon dioxide is added to the electrolyte, the coatings are free of haze and have a significantly higher brilliance.

Beispiel 2
Der gleiche Elektrolyt wie im Beispiel 1, jedoch mit
Example 2
The same electrolyte as in Example 1, but with

0,04 g/l Acetylthiohydantoin und0.04 g / l acetylthiohydantoin and

0,1 g/l l-Amino-2-methoxy-4-oxyanthrachinon,0.1 g / l l-amino-2-methoxy-4-oxyanthraquinone,

liefert gleichmäßige Kupferniederschläge, die keine Reliefbildung zeigen, jedoch im Stromdichtebereich von 1,2 bis 9,6 A/dm2 milchig verschleiert sind. Durch Zugabe von 0,003 g/l N-Äthylpolyäthylenimin fallen die Niederschläge hochglänzend und schleierfrei aus. Die einebnende Wirkung des Elektrolyten beträgt vor der Zugabe von N-Äthylpolyäthylenimin bei einer Schichtdicke von 24 μ Kupfer etwa 45%, d.h., die Rauhigkeiten des Grundmaterials werden durch die Verkupferung um 45% verringert.provides even copper deposits which do not show any relief formation, but are veiled milky in the current density range from 1.2 to 9.6 A / dm 2. By adding 0.003 g / l N-ethyl polyethyleneimine, the precipitates turn out to be glossy and haze-free. The leveling effect of the electrolyte is about 45% with a layer thickness of 24 μ copper before the addition of N-ethylpolyethyleneimine, ie the roughness of the base material is reduced by 45% by the copper plating.

Durch die Zugabe des N-Äthylpolyäthylenimins steigt die Einebnung auf etwa 63% an, d.h., sie erhöht sich um 40%.By adding the N-Ethylpolyäthylenimins the leveling increases to about 63%, i.e. it increases by 40%.

Beispiel 3
Dem Elektrolyten gemäß Beispiel 1 werden
Example 3
The electrolyte according to Example 1 will be

0,03 g/l Thiophosphorsäure-tris-(propylester-0.03 g / l thiophosphoric acid tris (propyl ester

ω-natriumsulfonat) und
0,1 g/l Polyäthylenglycol
ω-sodium sulfonate) and
0.1 g / l polyethylene glycol

zugegeben. Die einebnende Wirkung beträgt bei einer Schichtdicke von 24 μ Kupfer etwa 48 %. Gibt man dem Bad zusätzlich 0,003 g/l Polyäthylenimin zu, so steigt die Einebnung unter gleichen Arbeitsbedingungen auf 72% an, was einer Zunahme um 50% entspricht. admitted. The leveling effect is around 48% with a layer thickness of 24 μ copper. To give Add an additional 0.003 g / l of polyethyleneimine to the bath, so the leveling increases under the same working conditions to 72%, which corresponds to an increase of 50%.

Ähnlich gute Wirkungen lassen sich bei der jeweils gemeinsamen Verwendung der anderen in den Tabellen I und II aufgeführten Verbindungen erzielen.Similar good effects can be found in the tables when each of the others is used together I and II listed compounds achieve.

Claims (1)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Saures galvanisches Kupferbad mit einem Gehalt an Glanzbildnern auf der Basis organischer Thioverbindungen in Mengen von 0,001 bis 0,1 g/l, vorzugsweise 0,005 bis 0,05 g/l, dadurch1. Acid galvanic copper bath with a content of organic brighteners Thio compounds in amounts of 0.001 to 0.1 g / l, preferably 0.005 to 0.05 g / l, thereby 5 65 6 gekennzeichnet, daß es ein oder mehrere Polyalkylenimine deren Salze oder Umsetzungsgeradkettige oder verzweigte Polyalkylenimine oder produkte mit Kohlendioxid, Kohlensäureestern, deren funktionelle Derivate in Mengen von 0,0005 Alkylhalogeniden oder Fettsäuren enthält,
bis 0,1 g/l, vorzugsweise 0,0005 bis 0,03 g/l, enthält. 3. Bad nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn-2. Bad nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 5 zeichnet, daß es zusätzlich andere übliche Glanzzeichnet, daß es als funktionelle Derivate der bildner und/oder Netzmittel enthält.
characterized in that it contains one or more polyalkyleneimines their salts or reaction straight-chain or branched polyalkyleneimines or products with carbon dioxide, carbonic acid esters, their functional derivatives in amounts of 0.0005 alkyl halides or fatty acids,
to 0.1 g / l, preferably 0.0005 to 0.03 g / l. 3. Bath according to claim 1 or 2, characterized marked-2. Bath according to Claim 1, characterized in that it also has other customary glosses in that it contains the formers and / or wetting agents as functional derivatives.
709 619/551 7.67 ® Bundesdruckerei Berlin709 619/551 7.67 ® Bundesdruckerei Berlin
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