DE1134844B - Interferenzeinrichtung fuer Mikroskope - Google Patents

Interferenzeinrichtung fuer Mikroskope

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DE1134844B
DE1134844B DEZ8403A DEZ0008403A DE1134844B DE 1134844 B DE1134844 B DE 1134844B DE Z8403 A DEZ8403 A DE Z8403A DE Z0008403 A DEZ0008403 A DE Z0008403A DE 1134844 B DE1134844 B DE 1134844B
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Dr Horst Piller
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/14Condensers affording illumination for phase-contrast observation

Description

  • Interferenzeinrichtung für Mikroskope Die Erfindung betrifft eine Interferenzeinrichtung für Mikroskope zur Durchführung von Durchlichtinterferenzuntersuchungen mit eingebauten polarisationsoptischen Strahlenleiter und Strahlenvereiniger, die aus planparallelen Platten aus doppelbrechendem Material bestehen.
  • Derartige Einrichtungen basieren im allgemeinen auf einem von L e b e d e f f (Revue d'Optique, 9, 1930) angegebenen Prinzip, nach dem ein Beleuchtungsstrahlenbündel in zwei nach der Seite zueinander versetzte kohärente Anteile aufgeteilt, sodann der eine Anteil durch das Objekt und der andere durch ein Vergleichsflächenelement neben dem Objekt geführt wird, und schließlich beide Anteile nach der Wiedervereinigung zur Interferenz gebracht werden.
  • Im einzelnen sei dieses bekannte Prinzip noch an Hand der Fig. 1 näher erläutert.
  • Zwischen zwei gekreuzten linear polarisierenden Elementen Ni und N2, die als Polarisator bzw. Analysator dienen, befinden sich zwei gleich dicke und gleich orientierte Platten Q, und Q2 aus doppelbrechendem Material. Die doppelbrechenden Platten Q1 und Q2 sind so geschnitten und orientiert, daß eine möglichst große seitliche Versetzung des außerordentlichen Strahles gegenüber dem ordentlichen Strahl erfolgt. Bekanntlich wird bei doppelbrechenden Kristallen der den normalen Brechungsgesetzen folgende Strahl als »ordentlicher« Strahl und der davon abweichende Strahl als »außerordentlicher« Strahl bezeichnet. Bei senkrechtem Auffall behält beispielsweise der ordentliche Strahl beim Durchgang durch eine planparallele doppelbrechende Platte seine ursprüngliche Richtung bei, während der außerordentliche Strahl eine seitliche Versetzung erfährt. Beide sind senkrecht zueinander linear polarisiert. Zwischen den beiden doppelbrechenden Platten Q1 und Q2 befindet sich ein 2./2-Plättchen und zwischen der Platte Q2 und dem Analysator N2 ein Kompensator K. Die -Hauptschwingungsebenen des 2./2-Plättchens sind gleichgerichtet mit den Schwingungsebenen der polarisierenden Elemente Ni und N2 und bilden einen Winkel von 45° mit den Hauptschnitten der Platten Q1 und Q2. Als »Kristallhauptschnitt« wird bekanntlich jede die optische Achse des. Kristalls enthaltende Ebene bezeichnet. Die sogenannte »optische Achse« ist die Richtung gleich großer Fortpflanzungsgeschwindigkeit von ordentlichen und außerordentlichen Strahlen, in der allein also keine Doppelbrechung auftritt. Das zu untersuchende Objekt O wird in einen der parallel verlaufenden Strahlengänge zwischen dem A/2-Plättchen und einer der doppelbrechenden Platten Q1 bzw. Q2 eingebracht.
  • Die Wirkung des V2-Plättchens ist folgende: Die Lage der Schwingungsrichtungen ist in Fig. 1 durch die im Kreise eingezeichneten Pfeile gekennzeichnet. Die Polarisationsebenen dieser Strahlen werden beim Durchgang durch das 2./2-Plättchen um 90° gedreht. Hierdurch wird der die Platte Q1 als ordentlicher Strahl verlassende Strahl für die gleich orientierte Platte Q2 zum außerordentlichen Strahl und umgekehrt, so daß in Q2 die Strahlen nun im umgekehrten Verhältnis wie in Q1 gebrochen werden und somit wieder vereinigt werden. Q1 fungiert also als Strahlenteiler und Q2 als Strahlenvereiniger. Der den Strahlenvereiniger verlassende Strahl ist im allgemeinen elliptisch (Grenzfälle: linear oder zirkular) polarisiert. Dieser Strahl wird schließlich mit Hilfe des Kompensators K und des Analysators N2 analysiert. Ist nun ein Objekt in einem der parallelen Strahlengänge zwischen dem Strahlenteiler Q1 und dem V2-Plättchen bzw. zwischen dem )?/2-Plättchen und dem Strahlenvereiniger Q2 plaziert, so wird der das Objekt durchsetzende Strahl eine Phasenverschiebung gegenüber dem anderen erfahren, und beide Strahlen werden nach der Wiedervereinigung und Gleichrichtung durch den Analysator interferieren.
  • Wesentliche Voraussetzung für eine einwandfreie Funktion und insbesondere bei einer meßbaren Verfolgung der durch das eingebrachte Objekt hervorgerufenen Phasenverschiebung mit einem Mikroskop ist eine exakte Justierung der gegenseitigen Lage von Strahlenteiler und Strahlenvereiniger. Andererseits muß aber auch beim Mikroskopieren eine gewisse Nachjustiermöglichkeit, beispielsweise zum Einstellen eines beliebigen Schwarzweiß- oder Farbkontrastes im Mikroskopinterferenzbild oder beim Messen von Phasendifferenzen zum Einstellen der als Indikator dienenden Schwärzung oder Interferenzfarbe des Bilduntergrundes vorhanden sein.
  • Zur Justierung von optischen Strahlengängen sind eine Anzahl von Vorrichtungen bekanntgeworden, die Verkippungen oder Verdrehungen bestimmter optischer Elemente oder des im Strahlengang eingebrachten Objektes zulassen.
  • Beiden bekannten Auflichtinterferenzmikroskopen, die mit strahlenteilenden Spiegelflächen bzw. Prismenkombinationen arbeiten, werden derartige Vorrichtungen benutzt, um die Lage von in den Strahlengang eingebrachten zusätzlichen planparallelen Platten, die entweder zur Ablenkung der Strahlengänge, zur Änderung der Streifenbreite oder der Streifenrichtung oder zur Erzeugung oder Kompensation von Gangunterschieden dienen, zu verändern. Auch ist bei derartigen Interferenzmikroskopen die Anordnung von drehbaren Glaskeilen zum Ausgleich etwaiger Ungleichheiten der Glaswege bekannt. Die eigentlichen strahlenteilenden bzw. strahlenvereinigenden Elemente sind bei diesen bekannten Anordnungen fest orientiert.
  • Es ist ferner ein wahlweise für Durchlicht- bzw. Auflichtuntersuchungen umschaltbares Interferenzmikroskop bekanntgeworden, bei der die gegenseitige Justierung von vier Spiegelflächen einer Mach-Zehnder-Einrichtung dahingehend vereinfacht ist, daß zwei oder drei Spiegelflächen durch Anwendung von Prismenkombinationen in ihrer relativen Lage zueinander festgelegt sind und alsdann nur noch eine bzw. zwei Spiegelflächen gegenüber den Objektiven zu justieren sind. Der bei dieser bekannten Anordnung benutzte, mit dem Objektiv fest verbundene Teilungswürfel ist zur Umschaltung von Durchlicht- auf Auflichtbetrachtung um 180° um die Achse des Mikroskopobjektivs schwenkbar gelagert. Zur Feinjustierung benötigt auch diese bekannte Anordnung noch eine voll kardanisch gelagerte zusätzliche planparallele Glasplatte.
  • Bei den bisher bekanntgewordenen Durchlichtinterferenzmikroskopen, deren Strahlenteiler und Strahlenvereiniger aus doppelbrechendem Material bestehen, ist der Strahlenteiler gegenüber dem feststehenden Strahlenvereiniger beweglich angeordnet. Er ist bei den bekannten Anordnungen in einer für Kondensoren üblichen Dreipunktverstellung dreh-und kippbar gelagert. Der wesentliche Nachteil derartiger Dreipunktverstellungen ist jedoch, daß eine Kippung stets mit einer Drehung verbunden ist, und umgekehrt. Die Verstellung ist also völlig undefiniert und zufällig. Daher ist ein gegenseitiges exaktes Ausrichten der kristalloptischen Achse von Strahlenteiler und Strahlenvereiniger, wie es beispielsweise mit Hilfe einer »konoskopischen« Beobachtung, d. h. einer Betrachtung der Austrittspupille des Objektivs mit einem Hilfsmikroskop (Einstellung auf »Auslöschungskreuz«), geschehen kann, recht kompliziert und langwierig.
  • Ziel der Erfindung ist es, sowohl die Grundjustierung als auch die Feinjustierung der Interferenzeinrichtung für Mikroskope der letztgenannten Art wesentlich zu vereinfachen und dabei eine größere Einstellsicherheit zu erreichen.
  • Erreicht wird dies erfindungsgemäß dadurch, daß der Strahlenteiler (1) in einem im Kondensorgehäuse (16) eingelassenen, verdrehungsfrei kippbaren Einsatz (17) angeordnet ist, dessen Kippachse (I) senkrecht zum Kristallhauptschnitt und senkrecht zur Beobachtungsrichtung (A) des Mikroskops orientiert und festgelegt ist, daß die Kippung des Einsatzes (17) über eine mit einer Einstellskala (18) versehenen Mikrometerschraube (17) meßbar einzustellen ist, daß der Strahlenteiler (1) um eine die Kippachse (1) des Einsatzes (17) senkrecht schneidende und parallel zur Ebene des Kristallhauptschnittes gerichtete Achse (1I) kipp- und arretierbar angeordnet ist und daß der Strahlenvereiniger (2) in einer um die Beobachtungsrichtung (A) des Mikroskops drehbaren Fassung (4) des Objektivs angeordnet ist und die Objektivfassung (4) von einer zweiten drehbaren Fassung (7) umgeben ist, deren azimutale Drehung mit Hilfe eines Anschlages (9) auf etwa 5° begrenzt ist.
  • Die erfindungsgemäße Anordnung hat nun den wesentlichen Vorteil, daß mit ihr die Feinjustierung von Strahlenteiler und Strahlenvereiniger bedeutend schneller und exakter erfolgen kann, als dies mit den bisher bekannten Anordnungen möglich war. Darüber hinaus besteht nun noch der Vorteil, daß man die Anordnung eines gesonderten Kompensators einsparen kann.
  • Ausführungsbeispiele der Ausbildung der Interferenzeinrichtung nach der Erfindung sind in Fig. 2 bis 6 dargestellt, und zwar zeigt Fig. 2 ein Mikroskopobjektiv mit eingebautem verstellbarem Strahlenvereiniger, Fig.3 einen mit dem Mikroskopobjektiv nach Fig.2 zusammenarbeitenden Kondensor mit eingebautem verstellbarem Strahlenteiler, Fig.4 den Kondensor nach Fig.3, um 90° gedreht, Fig.5 eine weitere Bauart eines Kondensors für eine Mikroskopinterferenzeinrichtung (zugehöriges Objektiv nach Fig. 2), Fig. 6 den Kondensor nach Fig.5, um 90° gedreht.
  • Die Erfindung sei nun an Hand dieser Ausführungsbeispiele näher erläutert.
  • Der Strahlenteiler 1 und der Strahlenvereiniger 2, die aus Platten doppelbrechenden Materials, z. B. Kalkspat, bestehen, sind jede für sich verstellbar im Kondensor bzw. Objektiv eines Mikroskops, dessen optische Achse mit A bezeichnet ist, eingebaut.
  • Zum Beispiel befindet sich der Strahlenvereiniger 2 (Fig. 2) in einer die Objektivlinse 3 enthaltenden und azimutal drehbaren Fassung 4, die auf einem mit dem Objektivgehäuse 5 verbundenen Vorspannring 6 aufliegt. Um den unteren Teil der Fassung 4 ist eine weitere Fassung 7 gelegt, die durch die Verbindungsschraube 8 mit der inneren Fassung 4 verbunden ist. Ein mit der äußeren Fassung 7 verbundener Anschlagstift 9 greift in eine in ihrer Länge begrenzte, kreisbogenförmige Führungsnut 10 des um das Gehäuse 5 drehbaren Begrenzungsringes 11 ein. Die Stellung des Begrenzungsringes 11 bzw. der Führungsnut 10 ist durch die Gewindeschraube 12 am Gehäuse 5 arretierbar.
  • Bei gelockerter Schraube 12 erfolgt zunächst eine Grobjustierung des Strahlenvereinigers 2 durch azimutale Drehung der Fassung 7. Hierbei wird der nun vom Gehäuse 5 gelöste Begrenzungsring 11 durch den Anschlagstift 9 mitgenommen. Wird nun die Schraube 12 angezogen, so ist der Begrenzungsring 11 fest mit dem Gehäuse 5 verbunden, und eine Drehbewegung der Fassung 7 bzw. der mit dieser verbundenen Fassung 4 kann dann nur noch entsprechend der Länge der Nut 10 erfolgen. Hierdurch wird die Möglichkeit einer azimutalen Drehung des Strahlenvereinigers 2 um die optische Achse A des Mikroskops auf wenig Grade (etwa 5°) begrenzt.
  • Der Strahlenteiler 1 (Fit>. 3 bis 6) befindet sich zusammen mit einer i/2-Platte 13 in einer gemeinsamen Fassung 14 in der zentralen Bohrung 15 eines am Kondensorgehäuse 16 eingelassenen kippbaren Einsatzes 17. Die Fassung 14 ist um die Achse 1I in der Bohrung 1.5 des Einsatzes 17 kipp- und arretierbar angeordnet. Der Einsatz 17 weist entweder einen kugelförmigen Ansatz 1.8 auf, der in einer an der Oberseite des Kondensorlinsengehäuses 19 eingelassenen Kugelschale 20 gleitend gelagert (Fig. 3 und 4) oder an zwei auf dem Kondensorlinsengehäuse 19 aufgesetzten Trägern 21 (Fig. 5 und 6) pendelnd aufgehängt ist. Der Einsatz 17 (Fig. 3 und 4) ist dabei so bemessen und angeordnet, daß seine Kippachse I durch den Kugelmittelpunkt des Ansatzes 18 geht. In dem Einsatz 17 sind schmale Nuten 22, 23, in welche die Hebel 24, 25 eingreifen, die einerseits eine Kippbewegung des Einsatzes 17 um die Achse I übertragen und andererseits (insbesondere in der Anordnung nach Fig.3 und 4) eine Verdrehung des Einsatzes um die optische Achse A verhindern sollen. Die Festlegung der Kippachse 1 erfolgt in der Anordnung nach Fig. 5 und 6 bereits durch die Träger 21. Der Hebel 25 steht unter dem Druck der an dem Kondensorlinsengehäuse 19 befestigten Druckfeder 26. Die Drehachsen der Hebel 24, 25 sind im Kondensorgehäuse festgelegt. Der zweite Arm des Hebels 24 steht mit einer Mikrometerschraube 27 in Verbindung. Bei Betätigung dieser Mikrometerschraube 27 übt der in der Nut 22 des Einsatzes 17 eingreifende Arm des Hebels 24 einen mehr oder weniger starken Druck auf den Einsatz 17 aus, der in Zusammenwirkung mit dem Hebel 25 eine Kippbewegung des Einsatzes 17 um die Kippachse I in der einen oder anderen Richtung (Pfeilrichtung) bewirkt. Die Kipplage des Einsatzes 17 ist mit einer in Neigungswinkel des Einsatzes 17 geeichten und mit der Mikrometerschraube 27 fest verbundenen Skala 28 und einer gehäusefesten Ablesemarke 29 ables-und einstellbar.
  • Die Kippachsen I und 1I des Strahlenteilers 1 und die optische Achse A stehen räumlich orthogonal aufeinander und schneiden sich im optischen Schwerpunkt des Systems Strahlenteiler 1 /2-Plättchen 13, während der optische Schwerpunkt des Strahlenvereinigers 2 oberhalb des optischen Schwerpunktes des Strahlenteilers 1 auf der optischen Achse A zu liegen kommt.
  • Die Darstellungen in Fig. 2 bis 6 beschränken sich auf die für die Erfindung wesentlichen Teile der Interferenzeinrichtung für Mikroskope. So sind auch beispielsweise der zwischen Lichtquelle und Kondensor des Mikroskops eingeschaltete Polarisator und die nach dem Strahlenvereiniger angeordneten Analysierelemente fortgelassen. Die hier aufgezeigten Teile entsprechen etwa dem Ausschnitt aus dem schematischen Strahlengang nach Fig. 1 zwischen dem dort skizzierten Strahlenteiler Q1 und dem Strahlenvereiniger Q2.
  • Die Justierung der oben dargestellten Interferenzeinrichtung nach der Erfindung geschieht folgendermaßen. I. Die Grundjustierung zum Erzeugen absolut gleicher Gangunterschiede im Strahlenteiler 1 und Strahlenvereiniger 2 vor Gebrauch des Mikroskops erfolgt bei der Montage durch den Hersteller. Diese umfaßt 1. azimutales Ausrichten der Kristallhauptschnitte des Strahlenteilers 1 und des Strahlenvereinigers 2 a) absolut parallel zueinander und b) derart, daß beide einen Winkel von 45° mit der Schwingungsrichtung des in Nullstellung befindlichen Polarisators bilden.
  • Der Kristallhauptschnitt des Strahlenteilers 1 wird parallel zur Achse II eingestellt und fixiert. Dabei wird die 45°-Lage zum Polarisator durch Einrasten der Kondensorhalterung am Kondensorträger gewährleistet. Das Ausrichten des Kristallhauptschnittes des Strahlenvereinigers 2 erfolgt über die drehbare Fassung 4, die nach richtiger Azimuteinstellung mit dem Gewindestift 12 arretiert wird. Das Objektiv ist im Einschraubgewinde 30 festgesetzt und gelangt beim Objektivwechsel immer in die gleiche Drehstellung.
  • 2. Zueinander-Parallelrichten der Kristallachsen des Strahlenteilers 1 und des Strahlenvereinigers 2 durch Ausrichten der Kristallachsen des Strahlenteilers 1 zur Achse des Strahlenvereinigers 2 durch Kippen um die Achsen I und II. Die so eingestellte Kipplage wird vom Hersteller fixiert. 1I. Nachjustieren der Einrichtung während des Mikroskopierens durch den Benutzer mit Hilfe der Vorrichtung nach der Erfindung. Ein Nachjustieren ist aus folgenden Gründen erforderlich und wünschenswert: 1. Zum Einstellen eines beliebigen Schwarzweiß-oder Farbkontrastes im mikroskopischen Interferenzbild. Der zweckmäßigste Kontrast bzw. die Farbe richtet sich nach dem Objekt und Untersuchungszweck.
  • 2. Zum Einstellen der bei der Messung von Phasendifferenzen als Indikator dienenden Schwärzung oder Interferenzfarbe des Bilduntergrundes (im allgemeinen vollkommen dunkel durch Einstellen eines Gangunterschiedes 0).
  • 3. Zur Kompensation von Phasendifferenzen, die durch unerwünschte Einflüsse wie Unebenheiten im Präparat, Verkippen des Präparates usw. bewirkt werden.
  • 4. Zum Ausgleich der Gegeneinanderverdrehung des Strahlenteilers 1 und Strahlenvereinigers 2 um die Mikroskopachse A, wie sie auch beim Zentrieren des Kondensors oder Objektivs mit Dreipunktmechanismus auftritt.
  • Punkt 1 bis 3 ist mit der Anordnung nach der Erfindung leicht durch Verkippen des Strahlenteilers 1 um die Achse I, welche durch Verdrehen der Verstellschraube 31 der Mikrometerschraube 27 um die Achse III in Gang gesetzt wird. Da die jeweilige Kipplage mit Hilfe der Einstellskala 28 meßbar verfolgt werden kann, läßt sich diese Kippeinrichtung auch als Kompensator benutzen.
  • Punkt 4 sowie weitere Feinjustierung zu Punkt 1 bis 3 werden mit der Anordnung nach der Erfindung durch azimutales Drehen des Strahlenvereinigers 2 zusammen mit der Objektivfassung 4 durch eine zweite drehbare Fassung 7, deren Drehbereich etwa auf 5° begrenzt ist, erreicht.
  • Es wird also eine schnelle und übersichtliche Feinjustierung durch begrenztes Verdrehen des Strahlenvereinigers2 um die optische Achse A und sukzessives Kippen des Strahlenteilers 1 um die Achse I erreicht.

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Interferenzeinrichtung für Mikroskope zur Durchführung von Durchlichtinterferenzuntersuchungen mit eingebautem polarisationsoptischen Strahlenteiler und Strahlenvereiniger, die aus planparallelen Platten aus doppelbrechendem Material bestehen, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenteiler (1) in einem im Kondensorgehäuse (16) eingelassenen, verdrehungsfrei kippbaren Einsatz (17) angeordnet ist, dessen Kippachse (I) senkrecht zum Kristallhauptschnitt und senkrecht zur Beobachtungsrichtung (A) des Mikroskops orientiert und festgelegt ist, daß die Kippung des Einsatzes (17) über eine mit einer Einstellskala (18) versehenen Mikrometerschraube (17) meßbar einzustellen ist, daß der Strahlenteiler (1) um eine die Kippachse (I) des Einsatzes (17) senkrecht schneidende und parallel zur Ebene des Kristallhauptschnittes gerichtete Achse (1I) kipp- und arretierbar angeordnet ist und daß der Strahlenvereiniger (2) in einer um die Beobachtungsrichtung (A) des Mikroskops drehbaren Fassung (4) des Objektivs angeordnet ist und die Objektivfassung (4) von einer zweiten drehbaren Fassung (7) umgeben ist, deren azimutale Drehung mit Hilfe eines Anschlages (9) auf etwa 5° begrenzt ist.
  2. 2. Interferenzeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Strahlenteiler (1) und ein V2-Plättchen (13) in einer gemeinsamen Fassung (14) in der zentralen Bohrung (15) eines im Kondensorgehäuse (16) eingelassenen kippbaren Einsatzes (17) derart angeordnet sind, daß die Kippachse (I) des Einsatzes durch den Mittelpunkt des Systems Strahlenteiler-i/2-Plättchen geht.
  3. 3. Interferenzeinrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Einsatz (17) einen kugelförmigen Ansatz (18) hat, der in einer an der Oberseite des Kondensorlinsengehäuses (19) eingelassenen Kugelschale (20) gleitend lagert.
  4. 4. Interferenzeinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Einsatz (17) derart bemessen und angeordnet ist, daß die Kippachse (I) des Einsatzes (17) durch den Kugelmittelpunkt des Ansatzes (18) verläuft.
  5. 5. Interferenzeinrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Einsatz (17) in zwei auf das Kondensorlinsengehäuse (19) aufgesetzte Träger (21) um eine feste Kippachse (1) pendelnd gelagert ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 928 429, 861755; britische Patentschrift Nr. 790 461; Richter und Voss, Bauelemente der Feinmechanik, Berlin, 1949, S. 210, 211, 251; Burris, Das Polarisationsmikroskop, Basel, 1950, S. 169; Feingerätetechnik, 7 (l958), S. 101 bis 104; Technik, 6 (1951), S. 122; deutsche Patentanmeldung O 1534 IX a / 42 h (bekanntgemacht am 19. B. 1954).
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GB (1) GB1012966A (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2428810A1 (de) * 1973-07-02 1975-01-23 American Optical Corp Interferenzmikroskop

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3399591A (en) * 1964-08-13 1968-09-03 Ibm Interferometer for producing variable spatial frequency fringes
US3601491A (en) * 1967-06-07 1971-08-24 William Reid Distance-measuring interferometer
GB2270774B (en) * 1992-09-10 1995-09-27 Univ Open Polarized light microscopy
US7151632B2 (en) * 2001-01-12 2006-12-19 University Of Rochester Apparatus for production of an inhomogeneously polarized optical beam for use in illumination and a method thereof

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE861755C (de) * 1950-08-17 1953-01-05 Zeiss Opton Optische Werke Obe Interferenzmikroskop
DE928429C (de) * 1943-01-31 1955-06-02 Zeiss Carl Fa Interferenzmikroskop, das insbesondere zur Ausfuehrung von Tiefen-messungen an Unregelmaessigkeiten glatter Oberflaechen bestimmt ist
GB790461A (en) * 1955-08-02 1958-02-12 Leitz Ernst Gmbh Improvements in or relating to interference microscopes

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE550719C (de) * 1930-12-13 1932-05-18 Winkel G M B H R Drehbarer Kompensator mit einer planparallelen Platte aus doppelbrechendem Stoffe
US2777360A (en) * 1951-05-18 1957-01-15 Optische Ind De Oude Delft Nv Interference-microscope
US2785601A (en) * 1951-11-12 1957-03-19 Centre Nat Rech Scient Optical device for the observation of transparent objects
US3028782A (en) * 1957-07-13 1962-04-10 Bernhardt Eugen Interferometer for measuring spherical surfaces

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE928429C (de) * 1943-01-31 1955-06-02 Zeiss Carl Fa Interferenzmikroskop, das insbesondere zur Ausfuehrung von Tiefen-messungen an Unregelmaessigkeiten glatter Oberflaechen bestimmt ist
DE861755C (de) * 1950-08-17 1953-01-05 Zeiss Opton Optische Werke Obe Interferenzmikroskop
GB790461A (en) * 1955-08-02 1958-02-12 Leitz Ernst Gmbh Improvements in or relating to interference microscopes

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2428810A1 (de) * 1973-07-02 1975-01-23 American Optical Corp Interferenzmikroskop

Also Published As

Publication number Publication date
CH393773A (de) 1965-06-15
US3182551A (en) 1965-05-11
GB1012966A (en) 1965-12-15

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