DE112023006228T5 - Belichtungsvorrichtung für ein substrat mit gedruckter verdrahtung, belichtungsverfahren und herstellungsverfahren für ein substrat mit gedruckter verdrahtung - Google Patents

Belichtungsvorrichtung für ein substrat mit gedruckter verdrahtung, belichtungsverfahren und herstellungsverfahren für ein substrat mit gedruckter verdrahtung

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Yoshikazu Ohtani
Hiroshi Yamaoka
Masami Kurata
Taketo Usami
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Shin Etsu Engineering Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Engineering Co Ltd
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor

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