DE112020001691T5

DE112020001691T5 - Kontaktanschluss, prüfmittel und prüfeinrichtung

Info

Publication number: DE112020001691T5
Application number: DE112020001691.9T
Authority: DE
Inventors: Yusuke Yokota; Norihiro Ota
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Advance Technology Corp
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2020-03-12
Publication date: 2021-12-09
Also published as: KR20210146911A; US20220178968A1; WO2020203153A1; CN113646644A; TW202043780A; JPWO2020203153A1

Abstract

Ein Kontaktanschluss weist auf: einen röhrenförmigen Körper, der sich in einer axialen Richtung des Kontaktanschlusses erstreckt und Leitfähigkeit aufweist, einen stabförmigen ersten Leiter, der Leitfähigkeit aufweist und in der Lage ist, in Kontakt mit einem Prüfziel zu kommen, und einen stabförmigen zweiten Leiter, der Leitfähigkeit aufweist. Der erste Leiter weist auf: einen ersten Vorsprung, der von dem röhrenförmigen Körper in Richtung einer Seite in der axialen Richtung vorsteht, und einen ersten Einsetzabschnitt, der an dem anderen Ende des ersten Leiters in der axialen Richtung bereitgestellt und im röhrenförmigen Körper angeordnet ist. Der zweite Leiter weist einen zweiten Einsetzabschnitt auf, der im röhrenförmigen Körper angeordnet ist. Der röhrenförmige Körper weist auf: einen Federabschnitt, der ausgebildet ist in einer Spiralform entlang einer peripheren Fläche des röhrenförmigen Körpers, und einen ersten Körperabschnitt, der verbunden ist mit einer Seite in der axialen Richtung des Federabschnitts. Der erste Einsetzabschnitt ist an dem ersten Körperabschnitt befestigt. Eine endseitige Kerbe, die sich entlang der axialen Richtung von einer Endfläche auf einer Seite in der axialen Richtung des röhrenförmigen Körpers erstreckt, ist auf einer peripheren Oberfläche des ersten Körperabschnitts bereitgestellt.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Kontaktanschluss, der zur Prüfung eines Prüfziels verwendet wird.
STAND DER TECHNIK
Konventionell ist ein mit einem Prüfziel in Kontakt zu bringender Kontaktanschluss bekannt. Ein Beispiel eines solchen Kontaktanschlusses ist in der Patentliteratur 1 offenbart.
Der Kontaktanschluss von Patentliteratur 1weist auf: einen röhrenförmigen Körper, einen ersten zentralen Leiter und einen zweiten zentralen Leiter. Der röhrenförmige Körper ist in einer zylindrischen Form durch ein Material mit Leitfähigkeit ausgebildet. Der röhrenförmige Körper ist mit einem ersten Federabschnitt und einem zweiten Federabschnitt ausgebildet, die sich in der axialen Richtung des röhrenförmigen Körpers ausdehnen und zusammenziehen. Ein Verbindungsabschnitt, der den ersten Federabschnitt und den zweiten Federabschnitt verbindet, ist an einem zentralen Abschnitt des röhrenförmigen Körpers in der axialen Richtung bereitgestellt.
Der erste zentrale Leiter und der zweite zentrale Leiter sind aus einem leitfähigen Material hergestellt und in einer Stabform ausgebildet. Ein erster Schwellabschnitt ist an der Spitze des ersten zentralen Leiters bereitgestellt. Der erste Schwellabschnitt ist im Verbindungsabschnitt in einem Zustand angeordnet, in dem der erste zentrale Leiter an einem Endabschnitt des röhrenförmigen Körpers befestigt ist. Ein zweiter Schwellabschnitt ist an der Spitze des zweiten zentralen Leiters bereitgestellt. Der zweite Schwellabschnitt ist im Verbindungsabschnitt in einem Zustand angeordnet, in dem der zweite zentrale Leiter an dem anderen Endabschnitt des röhrenförmigen Körpers befestigt ist.
Wenn eine Basisplatte an einem Tragelement angebracht ist, das den Kontaktanschluss mit der oben genannten Konfiguration trägt, wird ein Endabschnitt des ersten zentralen Leiters in Druckkontakt mit der Elektrode der Basisplatte entsprechend einer Vorspannkraft des ersten Federabschnitts und des zweiten Federabschnitts gebracht, und der eine Endabschnitt des ersten zentralen Leiters und die Elektrode werden in einem leitfähigen Kontaktzustand gehalten.
Wenn das Prüfziel unter Verwendung des Kontaktanschlusses geprüft wird, wird der andere Endabschnitt des zweiten zentralen Leiters in Druckkontakt mit dem Prüfzielpunkt des Prüfziels entsprechend der Vorspannkraft des ersten Federabschnitts und des zweiten Federabschnitts gebracht, und der andere Endabschnitt des zweiten zentralen Leiters und der Prüfzielpunkt werden in dem leitfähigen Kontaktzustand gehalten.
Als Ergebnis davon wird ein Kontaktpunkt durch Kontakt zwischen dem Prüfziel und dem anderen Endabschnitt des zweiten zentralen Leiters, Kontakt zwischen dem zweiten Schwellabschnitt und dem Verbindungsabschnitt, Kontakt zwischen dem Verbindungsabschnitt und dem ersten Schwellabschnitt und Kontakt zwischen dem einen Endabschnitt des ersten zentralen Leiters und der Elektrode ausgebildet, und ein Strompfad wird ausgebildet.
LITERATURSTELLENLISTE
PATENTLITERATUR
Patentliteratur 1: JP 2019 - 15 542 A
KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
TECHNISCHE AUFGABEN
In dem Kontaktanschluss der Patentliteratur 1 sind jedoch zwei Kontaktpunkte als Kontaktpunkte innerhalb des Kontaktanschlusses ausgebildet, nämlich ein Gleitkontaktpunkt zwischen dem zweiten Schwellabschnitt und dem Verbindungsabschnitt und ein Gleitkontaktpunkt zwischen dem Verbindungsabschnitt und dem ersten Schwellabschnitt, sodass Raum zur Verbesserung des Kontaktwiderstands innerhalb des Kontaktanschlusses besteht.
Angesichts der vorstehenden Umstände ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Kontaktanschluss, der in der Lage ist, den inneren Kontaktwiderstand zu verringern, sowie ein Prüfmittel und eine Prüfeinrichtung unter Verwendung des Kontaktanschlusses bereitzustellen.
TECHNISCHE LÖSUNG
Ein beispielhafter Kontaktanschluss der vorliegenden Erfindung weist auf: einen röhrenförmigen Körper, der sich in einer axialen Richtung des Kontaktanschlusses erstreckt und Leitfähigkeit aufweist, einen stabförmigen ersten Leiter, der Leitfähigkeit aufweist und in der Lage ist, in Kontakt mit einem Prüfziel zu kommen, und einen stabförmigen zweiten Leiter, der Leitfähigkeit aufweist. Der erste Leiter weist auf: einen ersten Vorsprung, der von dem röhrenförmigen Körper in Richtung einer Seite in der axialen Richtung vorsteht, und einen ersten Einsetzabschnitt, der an dem anderen Ende des ersten Leiters in der axialen Richtung bereitgestellt und im röhrenförmigen Körper angeordnet ist. Der zweite Leiter weist einen zweiten Einsetzabschnitt auf, der im röhrenförmigen Körper angeordnet ist. Der röhrenförmige Körper weist auf: einen Federabschnitt, der ausgebildet ist in einer Spiralform entlang einer peripheren Fläche des röhrenförmigen Körpers, und einen ersten Körperabschnitt, der verbunden ist mit einer Seite in der axialen Richtung des Federabschnitts. Der erste Einsetzabschnitt ist am ersten Körperabschnitt befestigt, und eine endseitige Kerbe, die sich entlang der axialen Richtung von einer Endfläche auf einer Seite in der axialen Richtung des röhrenförmigen Körpers erstreckt, ist auf einer peripheren Oberfläche des ersten Körperabschnitts bereitgestellt.
VORTEILHAFTE WIRKUNGEN DER ERFINDUNG
Gemäß dem beispielhaften Kontaktanschluss der vorliegenden Erfindung und dem Prüfmittel und der Prüfeinrichtung unter Verwendung des Kontaktanschlusses ist es möglich, den Kontaktwiderstand im Kontaktanschluss zu reduzieren.
Figurenliste

1 ist ein schematisches Schaubild, das eine allgemeine Konfiguration einer Prüfeinrichtung gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung schematisch veranschaulicht.
2 ist eine Seitenansicht, die einen Kontaktanschluss gemäß einer ersten Ausführungsform veranschaulicht.
3 ist eine seitliche Schnittansicht des Kontaktanschlusses im Zustand von 2.
4 ist eine seitliche Schnittansicht, die einen Zustand veranschaulicht, in dem auf den Kontaktanschluss im Zustand von 3 eine Last angewendet wird.
5 ist eine perspektivische Ansicht eines Hauptteils, die das Anbringen eines ersten Leiters an einem röhrenförmigen Körper veranschaulicht.
6 ist eine perspektivische Ansicht eines Hauptteils, die eine Rastungsstruktur zum Befestigen des ersten Leiters an dem röhrenförmigen Körper veranschaulicht.
7 ist eine Seitenansicht eines Kontaktanschlusses gemäß einem Vergleichsbeispiel.
8 ist eine seitliche Schnittansicht des Kontaktanschlusses im Zustand von 7.
9 ist eine seitliche Schnittansicht, die einen Zustand veranschaulicht, in dem auf den Kontaktanschluss im Zustand von 8 eine Last angewendet wird.
10 ist eine grafische Darstellung, die einen Zustand veranschaulicht, in dem der Kontaktanschluss gemäß der ersten Ausführungsform von einem Tragelement getragen wird.
11 ist eine grafische Darstellung, die einen Zustand veranschaulicht, in dem ein Kontaktanschluss gemäß einem Vergleichsbeispiel durch das Tragelement getragen wird.
12 ist eine Seitenansicht, die einen Kontaktanschluss gemäß einer Modifikation der ersten Ausführungsform veranschaulicht.
13 ist eine Seitenansicht, die einen Kontaktanschluss gemäß einer zweiten Ausführungsform veranschaulicht.
14 ist eine Seitenansicht, die den Kontaktanschluss in einem Zustand veranschaulicht, in dem der erste Leiter und der zweite Leiter aus dem Zustand von 13 ausgetauscht und an dem röhrenförmigen Körper befestigt sind.
15 ist eine Seitenansicht, die einen Kontaktanschluss gemäß einer Modifikation der zweiten Ausführungsform veranschaulicht.

BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend werden beispielhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Im Folgenden ist eine Richtung parallel zu einer zentralen Achse J (siehe 2, 7 und 13) eines Kontaktanschlusses als „axiale Richtung“ definiert. In den Zeichnungen stellt „X1“ eine erste Seite in der axialen Richtung dar, und „X2“ stellt eine zweite Seite in der axialen Richtung dar. Außerdem wird eine Richtung um die zentrale Achse J als eine „Umfangsrichtung“ bezeichnet.
<1. Allgemeine Konfiguration der Prüfeinrichtung>
Eine allgemeine Konfiguration einer Prüfeinrichtung 25 gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf 1 beschrieben. Es ist anzumerken, dass in 1 eine Axialrichtungsseite X1 einer Unterseite entspricht und die andere Axialrichtungsseite X2 einer Oberseite entspricht.
Die in 1 veranschaulichte Prüfeinrichtung 25 prüft ein Prüfziel 30 elektrisch. Die Prüfeinrichtung 25 weist ein Prüfmittel 10 und eine Prüfverarbeitungseinheit 15 auf. Das Prüfmittel 10 ist beispielsweise als eine sogenannte Sondenkarte ausgebildet.
Das Prüfziel 30 ist beispielsweise ein Halbleiterwafer, in dem auf einem Halbleitersubstrat, wie etwa Silizium, mehrere Schaltungen ausgebildet sind. Der Halbleiterwafer wird geteilt, um in Halbleiterchips mit den einzelnen Schaltungen geteilt zu werden. Neben dem Halbleiterwafer kann das Prüfziel 30 beispielsweise ein Halbleiterchip, ein Gehäuse von der Größe eines Chips (Chip Size Package, CSP) oder eine elektronische Komponente wie ein Halbleiterelement sein.
Darüber hinaus kann das Prüfziel 30 ein Substrat sein. In diesem Fall kann das Prüfziel 30 beispielsweise eine Platine, wie etwa eine gedruckte Leiterplatte, eine Glasepoxidplatine, eine flexible Platine, eine keramische Mehrschichtschaltplatine, eine Gehäuseplatine für ein Halbleitergehäuse, eine Zwischenplatine oder ein Folienträger sein. Das Prüfziel 30 kann alternativ eine Elektrodenplatte für eine Anzeige, wie etwa eine Flüssigkristallanzeige, eine Elektrolumineszenz- (EL-) Anzeige oder eine Berührungsbildschirmanzeige oder eine Elektrodenplatte für einen Berührungsbildschirm sein.
Das Prüfziel 30 kann alternativ ein Produkt sein, das durch Konfektionierungstechnologie namens Embedded Multi-Die Interconnect Bridge (EMIB) erhalten wird. Gemäß EMIB ist ein kleines Siliziumsubstrat, eine sogenannte Siliziumbrücke, in eine Harzgehäuseplatine („Package Resin Board“) eingebettet, und auf einer Oberfläche der Siliziumbrücke sind in hoher Dichte feine Drähte ausgebildet, sodass benachbarte Silizium-Dies nah beieinander auf der Harzgehäuseplatine montiert sind.
Wie in 1 veranschaulicht, weist das Prüfmittel 10 einen Sondenkopf 1, eine Rastermaßumwandlungseinheit 4 und eine Verbindungsplatte 5 auf. Der Sondenkopf 1 weist einen Kontaktanschluss (Sonde) 2 und ein Trägerelement 3 auf.
Das Trägerelement 3 trägt mehrere stabförmig ausgebildete Kontaktanschlüsse 2. Das heißt, das Prüfmittel 10 weist die mehreren Kontaktanschlüsse 2 und das Trägerelement 3, das die mehreren Kontaktanschlüsse 2 trägt, auf.
Die Rastermaßumwandlungseinheit 4 ist oberhalb des Trägerelements 3 angeordnet und an dem Trägerelement 3 befestigt. Der Kontaktanschluss 2 weist einen Endabschnitt 2A auf der einen Axialrichtungsseite X1 und den anderen Endabschnitt 2B auf der anderen Axialrichtungsseite X2 auf. Der andere Endabschnitt 2B ist mit jeder von ersten Elektroden 41 (siehe 10) verbunden, die am unteren Endabschnitt der Rastermaßumwandlungseinheit 4 vorgesehen sind.
Jede der ersten Elektroden 41 ist mit jeder der zweiten Elektroden (nicht veranschaulicht), die am oberen Endabschnitt der Rastermaßumwandlungseinheit 4 ausgebildet sind, über einen Verdrahtungsabschnitt (nicht veranschaulicht), der innerhalb der Rastermaßumwandlungseinheit 4 ausgebildet ist, elektrisch verbunden. Die Rastermaßumwandlungseinheit 4 wandelt ein erstes Rastermaß zwischen den Kontaktanschlüssen 2 in ein zweites Rastermaß zwischen den zweiten Elektroden um. Das zweite Rastermaß ist länger als das erste Rastermaß. Die Rastermaßumwandlungseinheit 4 ist beispielsweise aus einem Mehrschichtverdrahtungssubstrat ausgebildet, beispielsweise Multilayer-Organic (MLO) oder Multilayer-Ceramic (MLC).
Die Verbindungsplatte 5 ist so konfiguriert, dass die Rastermaßumwandlungseinheit 4 lösbar ist. Mehrere Elektroden (nicht veranschaulicht), die mit der zweiten Elektrode verbunden sind, sind auf der Verbindungsplatte 5 ausgebildet. Jede der Elektroden der Verbindungsplatte 5 ist mit der Prüfverarbeitungseinheit 15 beispielsweise durch ein Kabel, einen Verbindungsanschluss oder dergleichen (nicht veranschaulicht) elektrisch verbunden.
Die Prüfverarbeitungseinheit 15 weist beispielsweise eine Stromversorgungsschaltung, ein Voltmeter, ein Amperemeter, einen Mikrocomputer und so weiter auf. Die Prüfverarbeitungseinheit 15 steuert/regelt einen Antriebsmechanismus (nicht veranschaulicht) zum Bewegen des Prüfmittels 10.
In einem Fall, in dem das Prüfziel 30 beispielsweise ein Halbleiterwafer ist, werden Prüfpunkte wie Kontaktflächen oder Wölbungen für jede Schaltung entsprechend einem einzelnen Halbleiterchip ausgebildet, der durch Teilen des Prüfziels 30 erhalten werden soll. Die Prüfverarbeitungseinheit 15 definiert eine bestimmte Region der mehreren Schaltungen auf dem Prüfziel 30 als eine Prüfregion und bewegt das Prüfmittel 10 zu einer Position, an der die Kontaktanschlüsse 2, die sich oberhalb befinden, den Prüfpunkten gegenüberliegen, die sich unterhalb in der Prüfregion befinden. Zu diesem Zeitpunkt sind die einen Endabschnitte 2A der Kontaktanschlüsse 2 des Prüfmittels 10 auf das Prüfziel 30 ausgerichtet.
Dann bewegt die Prüfverarbeitungseinheit 15 das Prüfmittel 10 nach unten, um den Kontaktanschluss 2 mit jedem Prüfpunkt in der Prüfregion in Kontakt zu bringen. Auf diese Weise sind die Prüfpunkte und die Prüfverarbeitungseinheit 15 elektrisch verbunden.
Die Prüfverarbeitungseinheit 15 liefert in dem oben beschriebenen Zustand an jeden Prüfpunkt des Prüfziels 30 über jeden Kontaktanschluss 2 einen Strom oder eine Spannung zur Prüfung und führt eine Prüfung des Prüfziels 30 aus, beispielsweise eine Trennung oder einen Kurzschluss eines Schaltkreismusters basierend auf einem Spannungssignal oder einem Stromsignal, das von jedem Kontaktanschluss 2 erhalten wurde. Alternativ kann die Prüfverarbeitungseinheit 15 eine Impedanz des Prüfziels 30 auf Grundlage des Spannungssignals oder des Stromsignals messen, das von jedem Kontaktanschluss 2 durch Zuführen von Wechselstrom oder -spannung zu den Prüfpunkten erhalten wurde.
Das heißt, die Prüfeinrichtung 25 weist auf: das Prüfmittel 10 und die Prüfverarbeitungseinheit 15, die eine Prüfung des Prüfziels 30 auf der Grundlage des elektrischen Signals durchführt, das erhalten wird, indem der Kontaktanschluss 2 mit dem Prüfpunkt in Kontakt gebracht wird, der in dem Prüfziel 30 vorgesehen ist.
Wenn die Prüfung in der Prüfregion des Prüfziels 30 abgeschlossen ist, bewegt die Prüfverarbeitungseinheit 15 das Prüfmittel 10 nach oben, verschiebt das Prüfmittel 10 in eine Position, die der neuen Prüfregion entspricht, bewegt das Prüfmittel 10 nach unten und bringt den Kontaktanschluss 2 in Kontakt mit jedem Prüfpunkt in der neuen Prüfregion, um die Prüfung durchzuführen. Auf diese Weise wird das gesamte Prüfziel 30 geprüft, indem die Prüfung durchgeführt wird, während die Prüfregion sequentiell geändert wird.
Die Position des Prüfmittels 10 kann fixiert sein, und das Prüfziel 30 kann in Bezug auf das Prüfmittel 10 bewegt werden.
<2. Erste Ausführungsform des Kontaktanschlusses>
Nachfolgend wird die Konfiguration des Kontaktanschlusses 2 ausführlicher beschrieben. 2 veranschaulicht einen Fall, in dem keine Last auf den Kontaktanschluss 2 angewendet wird und sich ein erster Federabschnitt 202 und ein zweiter Federabschnitt 203 in einem natürlichen Längenzustand befinden.
Wie in 2 veranschaulicht, weist der Kontaktanschluss 2 auf: einen leitfähigen röhrenförmigen Körper 20, der sich in der axialen Richtung des Kontaktanschlusses 2 erstreckt, einen leitfähigen stabförmigen ersten Leiter (Kolben) 21 und einen leitfähigen stabförmigen zweiten Leiter (Kolben) 22. Der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 sind beispielsweise aus einem leitfähigen Material wie einer Nickellegierung ausgebildet.
Der röhrenförmige Körper 20 hat eine zylindrische Form und ist beispielsweise aus einem Nickel- oder Nickellegierungsrohr mit einem Außendurchmesser von etwa 25 bis 300 µm und einem Innendurchmesser von etwa 10 bis 250 µm gebildet. Vorzugsweise weist der röhrenförmige Körper 20 an seiner Innenumfangsfläche eine Plattierungsschicht, beispielsweise eine Goldplattierungsschicht, auf. Zusätzlich kann der röhrenförmige Körper 20 eine Außenumfangsfläche aufweisen, die bei Bedarf mit einer Isolationsbeschichtung beschichtet ist.
Der röhrenförmige Körper 20 weist auf: einen ersten Körperabschnitt 201, einen ersten Federabschnitt 202, einen zweiten Federabschnitt 203 und einen zweiten Körperabschnitt 204. Der erste Körperabschnitt 201 ist an einem axialen Endabschnitt 20A des röhrenförmigen Körpers 20 vorgesehen. Der erste Federabschnitt 202 ist angeordnet, um mit der anderen Axialrichtungsseite X2 des ersten Körperabschnitts 201 verbunden zu sein. Der zweite Federabschnitt 203 ist in Bezug auf den ersten Federabschnitt 202 auf der anderen Axialrichtungsseite X2 angeordnet. Der zweite Körperabschnitt 204 ist zwischen dem ersten Federabschnitt 202 und dem zweiten Federabschnitt 203 angeordnet.
Der erste Federabschnitt 202 und der zweite Federabschnitt 203 sind als ein Spiralkörper ausgebildet, der sich in einer Spiralform entlang der Umfangsfläche des röhrenförmigen Körpers 20 erstreckt. Der erste Körperabschnitt 201 und der zweite Körperabschnitt 204 weisen eine zylindrische Form auf, die nicht in einer Spiralform ausgebildet ist.
Das heißt, der röhrenförmige Körper 20 weist auf: die Federabschnitte 202 und 203, die in einer Spiralform entlang der Umfangsfläche des röhrenförmigen Körpers 20 ausgebildet sind, und den ersten Körperabschnitt 201, der mit einer Axialrichtungsseite X1 des Federabschnitts 202 verbunden ist und nicht in einer Spiralform ausgebildet ist.
Zur Herstellung eines röhrenförmigen Körpers mit einem solchen spiralförmigen Körper wird beispielsweise eine Goldplattierungsschicht durch Plattieren auf dem Außenumfang eines Kernmaterials ausgebildet, und anschließend wird eine Nickel-Galvanoformungsschicht durch Galvanoformung auf dem Außenumfang der ausgebildeten Goldplattierungsschicht ausgebildet. Auf einem Außenumfang der Nickel-Galvanoformungsschicht wird eine Resistschicht ausgebildet, die dann mit einem Laser belichtet wird, sodass die Resistschicht teilweise in einer Spiralform entfernt wird. Ätzen wird unter Verwendung der Resistschicht als Maskierungsmaterial ausgeführt, um die Nickel-Galvanoformungsschicht an einer Stelle zu entfernen, an der die Resistschicht spiralförmig entfernt wurde. Anschließend wird nach dem Entfernen der Resistschicht die Goldplattierungsschicht an der Stelle, an der die Nickel-Galvanoformungsschicht spiralförmig entfernt wird, entfernt, und das Kernmaterial wird entfernt, während die Goldplattierungsschicht auf dem Innenumfang der Nickel-Galvanoformungsschicht belassen wird, um einen röhrenförmigen Körper auszubilden.
Die Form des röhrenförmigen Körpers 20 ist nicht auf die zylindrische Form beschränkt und kann beispielsweise eine zylindrische Form mit einer rechteckigen Ringform sein, wie etwa ein Viereck oder ein Sechseck in einer axialen Schnittansicht.
Der erste Leiter 21 weist einen ersten Vorsprung 211 und einen ersten Einsetzabschnitt 212 auf. Der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 (später noch zu beschreiben) werden beispielsweise durch Schneiden mittels einer Drehmaschine ausgebildet.
Der erste Vorsprung 211 weist auf: einen stabförmigen Hauptkörper 211A und einen Flansch 211 B, der mit der anderen Axialrichtungsseite X2 des stabförmigen Hauptkörpers 211A verbunden ist. Der stabförmige Hauptkörper 211Aweist auf der einen Axialrichtungsseite X1 einen Spitzenabschnitt 211A1 auf. Der Spitzenabschnitt 211A1 steht in Kontakt mit einem Prüfpunkt des Prüfziels 30, wie später beschrieben. Das heißt, der erste Leiter 21 kann mit dem Prüfziel 30 in Kontakt kommen.
Im Beispiel von 2 weist der Spitzenabschnitt 211A1 eine konische Form auf, ist jedoch nicht darauf beschränkt und kann beispielsweise eine kegelstumpfförmige Form, eine halbkugelförmige Form, eine planare Form oder dergleichen aufweisen.
Der erste Einsetzabschnitt 212 ist mit der anderen Axialrichtungsseite X2 des Flansches 211 B verbunden und ist an einem anderen axialen Endabschnitt 21A des ersten Leiters 21 vorgesehen.
Hier wird das Anbringen des ersten Leiters 21 am röhrenförmigen Körper 20 unter Bezugnahme auf 5 beschrieben. Der erste Einsetzabschnitt 212 weist einen Presssitzabschnitt 212A auf. Hier weist der erste Körperabschnitt 201 auf der einen Axialrichtungsseite X1 einen Befestigungsabschnitt 201A auf. Die Umfangsfläche des Befestigungsabschnitts 201A ist mit einer endseitigen Kerbe S1 versehen, die durch Schneiden entlang der axialen Richtung von einer axialen Endfläche 20A1 des röhrenförmigen Körpers 20 ausgebildet ist. Das heißt, die Umfangsfläche des ersten Körperabschnitts 201 ist mit der endseitigen Kerbe S1 versehen, die sich entlang der axialen Richtung von der einen axialen Endfläche 20A1 des röhrenförmigen Körpers 20 erstreckt.
Der Außendurchmesser D1 eines axialen Endabschnitts 212A1 des Presssitzabschnitts 212A ist in einem Zustand vor dem Befestigen des ersten Leiters 21 an dem röhrenförmigen Körper 20 größer als der Innendurchmesser des Befestigungsabschnitts 201A. Der andere axiale Endabschnitt 212A2 des Presssitzabschnitts 212A ist mit der anderen Axialrichtungsseite X2 des einen axialen Endabschnitts 212A verbunden. Der Außendurchmesser des anderen axialen Endabschnitts 212A2 nimmt allmählich von dem Außendurchmesser des einen axialen Endabschnitts 212A1 in Richtung der anderen Axialrichtungsseite X2 ab. Wenn der erste Leiter 21 an dem röhrenförmigen Körper 20 montiert ist, wird der andere axiale Endabschnitt 212A2 von der einen Axialrichtungsseite X1 in den Befestigungsabschnitt 201A eingeführt. Zu diesem Zeitpunkt, wenn der eine axiale Endabschnitt 212A1 in den Befestigungsabschnitt 201A eingesetzt wird, dehnt sich die endseitige Kerbe S1 aus und der Presssitzabschnitt 212A wird in den Befestigungsabschnitt 201A eingepresst. In diesem Zustand ist der Außendurchmesser D1 des einen axialen Endabschnitts 212A1 gleich dem Innendurchmesser des Befestigungsabschnitts 201A und ist größer als der Innendurchmesser D2 des anderen axialen Endabschnitts 201B des ersten Körperabschnitts 201. Da der Außendurchmesser des Flansches 211B größer als der Innendurchmesser des Befestigungsabschnitts 201A ist, kommt der Flansch 211B mit dem Befestigungsabschnitt 201A in Kontakt, und das Schieben des ersten Leiters 21 ist eingeschränkt. Infolgedessen sind der erste stabförmige Hauptkörper 211A und der Flansch 211B in dem röhrenförmigen Körper 20 auf der einen Axialrichtungsseite X1 angeordnet.
Das heißt, der erste Leiter 21 weist auf: den ersten Vorsprung 211, der von dem röhrenförmigen Körper 20 zu der einen Axialrichtungsseite X1 vorsteht, und den ersten Einsetzabschnitt 212, der an dem anderen axialen Endabschnitt 21A des ersten Leiters 21 bereitgestellt und innerhalb des röhrenförmigen Körpers 20 angeordnet ist. Der erste Einsetzabschnitt 212 ist an dem ersten Körperabschnitt 201 befestigt.
Ferner ist die Befestigung des ersten Leiters 21 und des zweiten Leiters 22 (später beschrieben) an dem röhrenförmigen Körper 20 nicht auf Einpressen beschränkt und kann beispielsweise durch Schweißen oder Verstemmen erfolgen. Da jedoch die endseitige Kerbe S1 wie in 5 veranschaulicht vorgesehen ist, dehnt sich der Einpressabschnitt leicht aus. Dadurch kann der Abstand des Einpressabschnitts verkürzt und die axiale Länge des Kontaktanschlusses 2 verkürzt werden.
Wie in 5 veranschaulicht, weist der erste Körperabschnitt 201 eine Umfangskerbe 201C auf. Die Umfangskerbe 201C ist mit der anderen Axialrichtungsseite X2 der endseitigen Kerbe S1 verbunden und ist in einer Form ausgebildet, die entlang der Umfangsrichtung weg von der endseitigen Kerbe S1 von beiden Umfangsenden der endseitigen Kerbe S1 geschnitten ist. Durch das Bereitstellen der Umfangskerbe 201C ist es, selbst wenn der Einpressabschnitt erweitert wird, unwahrscheinlicher, dass sich der Abschnitt des ersten Körperabschnitts 201 auf der Seite der anderen axialen Richtung X2 ausdehnt und nicht die Umfangskerbe 201C. Wenn der zweite Leiter 22 in Kontakt mit dem Abschnitt kommt, wie später beschrieben, neigt der Kontakt folglich dazu, stabil zu sein.
Der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 (später zu beschreiben) können durch Rastung an dem röhrenförmigen Körper 20 befestigt werden. Wenn der erste Leiter 21 durch Rastung an dem röhrenförmigen Körper 20 befestigt ist, wie in 6 veranschaulicht, weist der erste Körperabschnitt 201 eine endseitige Kerbe 201S1, eine Umfangskerbe 201S2 und eine mittelseitige Kerbe 201S3 auf.
Die endseitige Kerbe 201S1 wird dadurch ausgebildet, dass sie von der einen axialen Endfläche 20A1 des röhrenförmigen Körpers 20 auf der Umfangsfläche auf der einen Axialrichtungsseite X1 des ersten Körperabschnitts 201 in Richtung der anderen Axialrichtungsseite X2 geschnitten wird. Die Umfangskerbe 201S2 ist mit der anderen Axialrichtungsseite X2 der endseitigen Kerbe 201S1 verbunden und ist in einer Form ausgebildet, die entlang der Umfangsrichtung weg von der endseitigen Kerbe 201S1 von beiden Umfangsendabschnitten 201ST der endseitigen Kerbe 201S1geschnitten ist. Die mittelseitige Kerbe 201S3 ist mit der anderen Axialrichtungsseite X2 der Umfangskerbe 201S2 verbunden und wird durch Schneiden der Umfangsfläche des ersten Körperabschnitts 201 in der axialen Richtung ausgebildet.
Wie in 6 veranschaulicht, weist der erste Einsetzabschnitt 212 einen Rastungsabschnitt 212B auf. Der Rastungsabschnitt 212B weist auf: einen geneigten Abschnitt 212B1, einen Wandflächenabschnitt 212B2, eine endseitige Rippe 212B3 und eine mittelseitige Rippe 212B4. Der geneigte Abschnitt 212B1 weist eine geneigte Fläche T1A auf. Die geneigte Fläche T1A ist von der zentralen Achse J getrennt, wenn sie in der Richtung senkrecht zur axialen Richtung betrachtet hin zu der einen Axialrichtungsseite X1 verläuft. Der Wandflächenabschnitt 212B2 ist in dem geneigten Abschnitt 212B1 auf der einen Axialrichtungsseite X1 angeordnet.
Die endseitige Rippe 212B3 ist auf der einen Axialrichtungsseite X1 mit dem Wandflächenabschnitt 212B2 und auf der anderen Axialrichtungsseite X2 mit dem Flansch 211B verbunden. Die mittelseitige Rippe 212B4 ist mit dem geneigten Abschnitt 212B1 auf der anderen Axialrichtungsseite X2 verbunden.
Wenn der erste Einsetzabschnitt 212 an dem ersten Körperabschnitt 201 befestigt ist, wird die mittelseitige Rippe 212B4 in die endseitige Kerbe 201S1 eingesetzt. Wenn dann der geneigte Abschnitt 212B1 mit der endseitigen Kerbe 201S1 in Kontakt gebracht wird und der erste Einsetzabschnitt 212 in Richtung der anderen Axialrichtungsseite X2 geschoben wird, dehnt sich die endseitige Kerbe 201S1 aus. Wenn der erste Einsetzabschnitt 212 so geschoben wird, wie er wird, wird der Wandflächenabschnitt 212B2 in der Umfangskerbe 201S2 aufgenommen, und die endseitige Kerbe 201S1 kehrt in die ursprüngliche Form zurück. Daher kann der Wandflächenabschnitt 212B2 in Kontakt mit dem röhrenförmigen Körper 20 kommen. In diesem Zustand befindet sich die endseitige Rippe 212B3 innerhalb der endseitigen Kerbe 201S1, und die mittelseitige Rippe 212B4 befindet sich innerhalb der mittelseitigen Kerbe 201S3.
Dadurch ist es möglich, das Ablösen des ersten Leiters 21 vom röhrenförmigen Körper 20 in der axialen Richtung zu unterdrücken und die Drehung des ersten Leiters 21 in Bezug auf den röhrenförmigen Körper 20 in Umfangsrichtung durch einen einfachen Montagevorgang zu regeln.
Unter erneuter Bezugnahme auf die Beschreibung aus 2 weist der zweite Leiter 22 einen zweiten Vorsprung 221 und einen zweiten Einsetzabschnitt 222 auf. Der zweite Einsetzabschnitt 222 ist auf der einen Axialrichtungsseite X1 mit dem zweiten Vorsprung 221 verbunden.
Der zweite Einsetzabschnitt 222 weist einen Presssitzabschnitt 222A als den anderen axialen Endabschnitt auf. Hier weist der röhrenförmige Körper 20 einen Befestigungsabschnitt 205 auf, der mit der anderen Axialrichtungsseite X2 des zweiten Federabschnitts 203 an dem anderen axialen Endabschnitt 20B verbunden ist. Die Umfangsfläche des Befestigungsabschnitts 205 ist mit einer endseitigen Kerbe S2 versehen, die durch Schneiden entlang der axialen Richtung von der anderen axialen Endfläche 20B1 des röhrenförmigen Körpers 20 ausgebildet wird.
Der Außendurchmesser des Presssitzabschnitts 222A ist in einem Zustand vor dem Befestigen des zweiten Leiters 22 an dem röhrenförmigen Körper 20 größer als der Innendurchmesser des Befestigungsabschnitts 205. Wenn der zweite Leiter 22 an dem röhrenförmigen Körper 20 montiert wird, wird der zweite Einsetzabschnitt 222 von der anderen Axialrichtungsseite X2 in den Befestigungsabschnitt 205 eingesetzt. Zu diesem Zeitpunkt, wenn der Presssitzabschnitt 222A in den Befestigungsabschnitt 205 eingesetzt wird, dehnt sich die endseitige Kerbe S2 aus, und der Presssitzabschnitt 222A wird in den Befestigungsabschnitt 205 eingepresst. Da der Außendurchmesser des zweiten Vorsprungs 221 größer als der Innendurchmesser des Befestigungsabschnitts 205 ist, kommt der zweite Vorsprung 221 mit dem Befestigungsabschnitt 205 in Kontakt, und das Schieben des zweiten Leiters 22 ist eingeschränkt. Bei einer solchen Konfiguration ist der zweite Vorsprung 221 in dem röhrenförmigen Körper 20 auf der anderen Axialrichtungsseite X2 angeordnet. Das heißt, der zweite Vorsprung 221 steht von dem röhrenförmigen Körper 20 in Richtung der anderen Axialrichtungsseite X2 vor.
Auf diese Weise sind der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 an dem röhrenförmigen Körper 20 befestigt, um den Kontaktanschluss 2 auszubilden.
Wie in 3 veranschaulicht, erstreckt sich der zweite Einsetzabschnitt 222 in der axialen Richtung durch den Befestigungsabschnitt 205, den zweiten Federabschnitt 203, den zweiten Körperabschnitt 204 und den ersten Federabschnitt 202 innerhalb des röhrenförmigen Körpers 20 zu dem ersten Körperabschnitt 201. Das heißt, der zweite Leiter 22 weist den zweiten Einsetzabschnitt 222, angeordnet im röhrenförmigen Körper 20, auf. Infolgedessen ist ein axialer Endabschnitt 222B des zweiten Einsetzabschnitts 222 innerhalb des ersten Körperabschnitts 201 angeordnet.
4 veranschaulicht einen Zustand, in dem der erste Federabschnitt 202 und der zweite Federabschnitt 203 durch Anlegen einer Last an den Kontaktanschluss 2 zusammengedrückt werden. In diesem Fall bewegt sich der zweite Leiter 22 gegenüber dem Zustand der 3 zu der einen Axialrichtungsseite X1. Infolgedessen bewegt sich der eine axiale Endabschnitt 222B des zweiten Einsetzabschnitts 222 zu der einen Axialrichtungsseite X1, während er mit dem ersten Körperabschnitt 201 in Kontakt ist. Andererseits ist der erste Einsetzabschnitt 212 an dem ersten Körperabschnitt 201 durch Presssitz befestigt. Folglich ist der Gleitkontaktpunkt des Kontaktanschlusses 2 aufgrund des Kontakts zwischen dem einen axialen Endabschnitt 222B und dem ersten Körperabschnitt 201 nur der Kontaktpunkt CP. Der Strompfad in dem Kontaktanschluss 2 ist ein Pfad durch den ersten Einsetzabschnitt 212, den ersten Körperabschnitt 201, den Kontaktpunkt CP und den zweiten Einsetzabschnitt 222.
Hier wird ein Kontaktanschluss 2X gemäß einem Vergleichsbeispiel unter Bezugnahme auf die 7 bis 9 beschrieben. Wie in 7 veranschaulicht, weist der Kontaktanschluss 2X einen röhrenförmigen Körper 200, einen ersten Leiter 210 und einen zweiten Leiter 220 auf.
Der röhrenförmige Körper 200 weist auf: einen ersten Körperabschnitt 2001, einen ersten Federabschnitt 2002, einen zweiten Federabschnitt 2003, einen zweiten Körperabschnitt 2004 und einen dritten Körperabschnitt 2005. Der erste Leiter 210 weist einen ersten Vorsprung 2101 und einen ersten Einsetzabschnitt 2102 auf. Der zweite Leiter 220 weist einen zweiten Vorsprung 2201 und einen zweiten Einsetzabschnitt 2202 auf. Die 7 und 8 veranschaulichen einen Fall, in dem keine Last auf den Kontaktanschluss 2X angewendet wird und sich der erste Federabschnitt 2002 und der zweite Federabschnitt 2003 in einem natürlichen Längenzustand befinden.
Ein axialer Endabschnitt 2102A des ersten Einsetzabschnitts 2102 ist an dem ersten Körperabschnitt 2001 durch Presssitz befestigt. Somit ist der erste Leiter 210 an dem röhrenförmigen Körper 200 befestigt. Der andere axiale Endabschnitt 2202A des zweiten Einsetzabschnitts 2202 ist an dem dritten Körperabschnitt 2005 durch Presssitz befestigt. Infolgedessen ist der zweite Leiter 220 an dem röhrenförmigen Körper 200 befestigt.
Wie in 8 veranschaulicht, sind in einem Zustand, in dem der erste Leiter 210 und der zweite Leiter 220 an dem röhrenförmigen Körper 20 befestigt sind, der andere axiale Endabschnitt 2102B des ersten Einsetzabschnitts 2102 und ein axialer Endabschnitt 2202B des zweiten Einsetzabschnitts 2202 innerhalb des zweiten Körperabschnitts 2004 angeordnet.
9 veranschaulicht einen Zustand, in dem der erste Federabschnitt 2002 und der zweite Federabschnitt 2003 durch Anlegen einer Last an den Kontaktanschluss 2X zusammengedrückt werden. In diesem Fall bewegt sich der erste Leiter 210 im Vergleich zum Zustand in 8 zu der anderen Axialrichtungsseite X2, und der zweite Leiter 220 bewegt sich im Vergleich zum Zustand in 8 zu der einen Axialrichtungsseite X1. Daher wird der Gleitkontaktpunkt in dem Kontaktanschluss 2X durch den Kontakt zwischen dem anderen axialen Endabschnitt 2102B und dem zweiten Körperabschnitt 2004 zu einem ersten Kontaktpunkt CP1 und durch den Kontakt zwischen dem einen axialen Endabschnitt 2202B und dem zweiten Körperabschnitt 2004 zu einem zweiten Kontaktpunkt CP2. Der Strompfad in dem Kontaktanschluss 2X ist ein Pfad durch den ersten Kontaktpunkt CP1, den zweiten Körperabschnitt 2004 und den zweiten Kontaktpunkt CP2.
Wie oben beschrieben, kann in dem Kontaktanschluss 2 gemäß der ersten Ausführungsform die Anzahl der Gleitkontaktpunkte im Vergleich zum Kontaktanschluss 2X gemäß dem Vergleichsbeispiel reduziert werden, und der Kontaktwiderstand innerhalb des Kontaktanschlusses kann reduziert werden. Zusätzlich kann der Kontaktwiderstand stabilisiert werden.
Darüber hinaus ist in dem Kontaktanschluss 2X gemäß dem Vergleichsbeispiel, wie in 8 veranschaulicht, die axiale Länge des ersten Leiters 210, der mit dem Prüfziel 30 in Kontakt gebracht werden soll, länger als die axiale Länge des zweiten Leiters 220, und eine Differenz zwischen beiden Längen ist groß. Andererseits ist bei dem Kontaktanschluss 2 gemäß der ersten Ausführungsform, wie in 3 veranschaulicht, die axiale Länge des ersten Leiters 21 verkürzt und die axiale Länge des zweiten Leiters 22 ist verlängert, sodass der Unterschied zwischen beiden Längen verringert werden kann. Dadurch können der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 einfach hergestellt werden.
Zusätzlich kann durch Bereitstellen der endseitigen Kerbe S1 in dem ersten Körperabschnitt 201 ein Abschnitt, in dem der zweite Leiter 22 gleitet, auf der anderen Axialrichtungsseite X2 von der endseitigen Kerbe S1 gesichert werden. Der Effekt des Bereitstellens einer endseitigen Kerbe 201S1, wie in 6 veranschaulicht, ist der gleiche.
Wie in 4 veranschaulicht, kontaktiert der eine axiale Endabschnitt 222B eines zweiten Einsetzabschnitts 22 den ersten Körperabschnitt 201. Dadurch kann der elektrische Widerstandswert des Strompfads weiter reduziert werden, da ein Strompfad ausgebildet wird, der durch einen ersten Einsetzabschnitt 21, den ersten Körperabschnitt 201 und den zweiten Einsetzabschnitt 22 verläuft.
10 ist eine grafische Darstellung, die einen Zustand veranschaulicht, in dem der Kontaktanschluss 2 gemäß der ersten Ausführungsform von dem Tragelement 3 getragen wird. 11 veranschaulicht einen Zustand, in dem der Kontaktanschluss 2X gemäß dem Vergleichsbeispiel durch das Tragelement 3 getragen wird.
Wie in 10 veranschaulicht, weist das Tragelement 3 auf: einen oberen Tragkörper 31, einen Zwischentragkörper 32 und einen unteren Tragkörper 33. Hier wird eine Konfiguration, in welcher der Kontaktanschluss 2 gemäß der ersten Ausführungsform von dem Tragelement 3 getragen wird, beschrieben.
Der untere Tragkörper 33 weist ein Tragloch 33A auf, das ein in der axialen Richtung penetrierendes Durchgangsloch ist. Die Querschnittsfläche des Traglochs 33A, in axialer Richtung betrachtet, ist etwas größer als die Querschnittsfläche des stabförmigen Hauptkörpers 211A, in axialer Richtung betrachtet, und kleiner als die Querschnittsfläche des Flansches 211B, in axialer Richtung betrachtet. Dadurch kann der stabförmige Hauptkörper 211A in das Tragloch 33A eingesetzt werden, und der Flansch 211B verhindert ein Abfallen des Kontaktanschlusses 2.
Der Zwischentragkörper 32 ist oberhalb des unteren Tragkörpers 33 angeordnet und weist ein Tragloch 32A auf, das ein zu dem Tragloch 33A koaxiales Durchgangsloch ist. Die Querschnittsfläche des Traglochs 32A, in axialer Richtung betrachtet, ist etwas größer als die äußere Querschnittsfläche des zweiten Körperabschnitts 204, in axialer Richtung betrachtet. Somit kann der zweite Körperabschnitt 204 in das Tragloch 32A eingesetzt werden.
Der obere Tragkörper 31 ist oberhalb des Zwischentragkörpers 32 angeordnet und weist ein Tragloch 31A auf, das ein zu dem Tragloch 32A koaxiales Durchgangsloch ist. Die Querschnittsfläche des Traglochs 31A, in axialer Richtung betrachtet, ist etwas größer als die äußeren Querschnittsflächen des Befestigungsabschnitts 205 und des zweiten Vorsprungs 221, in axialer Richtung betrachtet. Dementsprechend können der Befestigungsabschnitt 205 und der zweite Vorsprung 221 in das Tragloch 31A eingesetzt werden.
Wenn der Kontaktanschluss 2 durch das Tragelement 3 getragen wird, wird der stabförmige Hauptkörper 211A nacheinander von oben in das Tragloch 31A, das Tragloch 32A und das Tragloch 33A eingesetzt. Die Traglöcher 31A und 32A weisen, in axialer Richtung betrachtet, einen Querschnitt auf, durch den der Flansch 211B eingesetzt werden kann.
Darüber hinaus ist die vorliegende Erfindung nicht auf das Vorstehende beschränkt, und das Tragelement 3 kann eine Ausführungsform sein, die jeweils in den oberen Tragkörper 31, den Zwischentragkörper 32 und den unteren Tragkörper 33 zerlegt werden kann. In diesem Fall ist der stabförmige Hauptkörper 211A in den unteren Tragkörper 33 eingesetzt. Nachfolgend wird der Zwischentragkörper 32 an dem unteren Tragkörper 33 befestigt, während der zweite Körperabschnitt 204 in den Zwischentragkörper 32 eingesetzt wird. Dann wird der obere Tragkörper 31 an dem Zwischentragkörper 32 befestigt, während der Befestigungsabschnitt 205 und der zweite Vorsprung 221 in den oberen Tragkörper 31 eingesetzt werden.
In einem Zustand, in dem der Sondenkopf 1 durch den Kontaktanschluss 2 und das Tragelement 3 zusammengebaut ist, wird der stabförmige Hauptkörper 211A in das Tragloch 33A eingesetzt. Der Flansch 211B wird mit der Oberseite des unteren Tragkörpers 33 in Kontakt gebracht. Der zweite Körperabschnitt 204 wird in das Tragloch 32A eingesetzt. Der Befestigungsabschnitt 205 und der zweite Vorsprung 221 werden in das Tragloch 31A eingesetzt. Somit wird der Kontaktanschluss 2 von dem Tragelement 3 getragen.
Dann wird die Oberseite des oberen Tragkörpers 31 gegen die Unterseite der Rastermaßumwandlungseinheit 4 gedrückt, während ein Spitzenabschnitt 221A des zweiten Vorsprungs 221 in Kontakt mit der ersten Elektrode 41 gebracht wird, die auf der Unterseite der Rastermaßumwandlungseinheit 4 freiliegt. Somit ist das Tragelement 3 an der Rastermaßumwandlungseinheit 4 befestigt. Gleichzeitig werden der erste Federabschnitt 202 und der zweite Federabschnitt 203 in axialer Richtung zusammengedrückt. Dadurch wird ein Spitzenabschnitt 221A1 durch die elastische Kraft der Federabschnitte 202 und 203 gegen die erste Elektrode 41 gedrückt, und der Spitzenabschnitt 221A und die erste Elektrode 41 werden in einem stabilen leitenden Kontaktzustand gehalten.
Ferner wird, wenn das Prüfziel 30 geprüft wird, der Spitzenabschnitt 211A1 des stabförmigen Hauptkörpers 211A mit einem Prüfpunkt 301 des Prüfziels 30 in Kontakt gebracht. Gleichzeitig wird eine Kraft in Richtung der anderen Axialrichtungsseite X2 auf den Spitzenabschnitt 211A1 ausgeübt, und der erste Federabschnitt 202 und der zweite Federabschnitt 203 werden in der axialen Richtung zusammengedrückt. Dadurch wird der Spitzenabschnitt 211A1 durch die elastische Kraft der Federabschnitte 202 und 203 gegen den Prüfpunkt 301 gedrückt, und der Spitzenabschnitt 211A1 und der Prüfpunkt 301 werden in einem stabilen leitenden Kontaktzustand gehalten.
Im Kontaktanschluss 2 weist die Feder den ersten Federabschnitt 202 und den zweiten Federabschnitt 203 auf, die auf der anderen Axialrichtungsseite X2 in Bezug auf den ersten Federabschnitt 202 angeordnet sind, und der röhrenförmige Körper 20 weist den zweiten Körperabschnitt 204 auf, der zwischen dem ersten Federabschnitt 202 und dem zweiten Federabschnitt 203 angeordnet ist und nicht in einer Spiralform ausgebildet ist. Dadurch kann der in der Mitte des röhrenförmigen Körpers 20 befindliche zweite Körperabschnitt 204 durch den Zwischentragkörper 32 getragen werden, und ein Verbiegen des röhrenförmigen Körpers 20 kann unterdrückt werden.
Der zweite Federabschnitt 203 weist auf: einen dritten Federabschnitt 2031 mit der gleichen Wicklungsrichtung wie jene des ersten Federabschnitts 202, und einen vierten Federabschnitt 2032, der verbunden ist mit dem dritten Federabschnitt 2031 und eine Wicklungsrichtung aufweist, die jener des ersten Federabschnitts 202 entgegengesetzt ist. Wenn der erste Leiter 21 gegen das Prüfziel 30 gedrückt wird, wird der erste Federabschnitt 202 zusammengedrückt, und der erste Leiter 21 dreht sich in einer vorbestimmten Richtung in Bezug auf den zweiten Körperabschnitt 204. Gleichermaßen wird auch der zweite Federabschnitt 203 zusammengedrückt, und der zweite Leiter 22 dreht sich in Bezug auf den zweiten Körperabschnitt 204. Da der dritte Federabschnitt 2031, der in dem zweiten Federabschnitt 203 enthalten ist, die gleiche Wicklungsrichtung wie der erste Federabschnitt 202 aufweist, wird der zweite Leiter 22 in die gleiche Richtung wie der erste Leiter 21 gedreht. Da andererseits die Wicklungsrichtung des vierten Federabschnitts 2032, der in dem zweiten Federabschnitt 203 enthalten ist, entgegengesetzt zu jener des ersten Federabschnitts 202 ist, wird der zweite Leiter 22 in der entgegengesetzten Richtung zu jener des ersten Leiters 21 gedreht. Dadurch kann ein Verdrehen beider Enden des Kontaktanschlusses 2 aufgrund eines Zusammendrückens des Kontaktanschlusses 2 unterdrückt werden.
Wie in 10 veranschaulicht, wenn die Summe der Anzahl von Windungen des ersten Federabschnitts 202 und der Anzahl von Windungen des dritten Federabschnitts 2031 gleich der Anzahl von Windungen des vierten Federabschnitts 2032 ist, kann die Drehung beider Enden des Kontaktanschlusses 2 weiter unterdrückt werden.
Im Vergleich zu dem Kontaktanschluss 2X gemäß dem in 11 veranschaulichten Vergleichsbeispiel ist es bei dem Kontaktanschluss 2 gemäß der ersten Ausführungsform zu bevorzugen, dass die axiale Länge des ersten Körperabschnitts 201 länger ausgeführt ist als die axiale Länge des ersten Körperabschnitts 2001 des Kontaktanschlusses 2X, um den Bewegungsbetrag des einen axialen Endabschnitts 222B (siehe 4) des zweiten Einsetzabschnitts 222 innerhalb des ersten Körperabschnitts 201 zu sichern. Daher ist die Anzahl von Windungen des ersten Federabschnitts 202 im Vergleich zur Anzahl von Windungen des ersten Federabschnitts 2002 des Kontaktanschlusses 2X reduziert, und der dritte Federabschnitt 2031 ist mit dem vierten Federabschnitt 2032 verbunden, um die Anzahl von Windungen zu sichern. Infolgedessen kann der zweite Körperabschnitt 204 von dem Zwischentragkörper 32 getragen werden, ohne die Position des Zwischentragkörpers 32 gegenüber dem Fall des Kontaktanschlusses 2X zu ändern. Das heißt, das Tragelement 3 kann angewendet werden.
<2. Modifikation der ersten Ausführungsform>
Wie in 12 veranschaulicht, weist ein röhrenförmiger Körper 20v1 in einem Kontaktanschluss 2V1 gemäß einer Modifikation der ersten Ausführungsform einen ersten Körperabschnitt 201, einen ersten Federabschnitt 202v1 und einen zweiten Federabschnitt 203v1 auf.
Der erste Federabschnitt 202v1 entspricht dem ersten Federabschnitt 202 in dem oben beschriebenen Kontaktanschluss 2 (siehe 2). Der zweite Federabschnitt 203v1 entspricht dem vierten Federabschnitt 2032 des Kontaktanschlusses 2. Der zweite Federabschnitt 203v1 ist mit der anderen Axialrichtungsseite X2 des ersten Federabschnitts 202v1 verbunden. Das heißt, der Kontaktanschluss 2V1 weist eine Konfiguration auf, in welcher der zweite Körperabschnitt 204 und der dritte Federabschnitt 2031 in dem Kontaktanschluss 2 weggelassen sind.
Das heißt, in dem Kontaktanschluss 2V1 weist die Feder den ersten Federabschnitt 202v1 und den zweiten Federabschnitt 203v1 auf, der verbunden ist mit dem ersten Federabschnitt 202v1 auf der anderen Axialrichtungsseite X2, und die Wicklungsrichtung des zweiten Federabschnitts 203v1 ist der Wicklungsrichtung des ersten Federabschnitts 202v1 entgegengesetzt. Dadurch kann die axiale Länge des röhrenförmigen Körpers 20v1 verkürzt werden und ein Element, das die Mitte des röhrenförmigen Körpers 20v1 trägt, kann unnötig gemacht werden.
<3. Zweite Ausführungsform des Kontaktanschlusses>
Wie in 13 veranschaulicht, weist ein Kontaktanschluss 2V2 gemäß einer zweiten Ausführungsform einen röhrenförmigen Körper 20v2 auf. Der röhrenförmige Körper 20v2 weist auf: einen fünften Körperabschnitt 206A, einen fünften Federabschnitt 207, einen vierten Körperabschnitt 206C, einen sechsten Federabschnitt 208 und einen dritten Körperabschnitt 206B.
Der andere axiale Endabschnitt 207A des fünften Federabschnitts 207 ist an einer Position entfernt von einer axialen Mitte C des röhrenförmigen Körpers 20v2 um einen ersten vorbestimmten Abstand L1 in Richtung der einen Axialrichtungsseite X1 angeordnet. Ein axialer Endabschnitt 208A des sechsten Federabschnitts 208 ist an einer Position entfernt von der axialen Mitte C des röhrenförmigen Körpers 20v2 um einen zweiten vorbestimmten Abstand L2 in Richtung der anderen Axialrichtungsseite X2 angeordnet. Der erste vorgegebene Abstand L1 und der zweite vorgegebene Abstand L2 sind gleich. Das heißt, in dem Kontaktanschluss 2V2 weist die Feder den fünften Federabschnitt 207 und den sechsten Federabschnitt 208 auf, die in Bezug auf die axiale Mitte C des röhrenförmigen Körpers 20v2 an symmetrischen Positionen angeordnet sind.
Der sechste Federabschnitt 208 ist auf der anderen Axialrichtungsseite X2 des fünften Federabschnitts 207 angeordnet. Die Wicklungsrichtung des sechsten Federabschnitts 208 ist jener des fünften Federabschnitts 207 entgegengesetzt, und die Anzahl der Windungen des sechsten Federabschnitts 208 ist die gleiche wie jene des fünften Federabschnitts 207.
Der erste Körperabschnitt 206A ist auf der einen Axialrichtungsseite X1 mit dem fünften Federabschnitt 207 verbunden. Der röhrenförmige Körper 2V2 weist den dritten Körperabschnitt 206B auf, der mit dem sechsten Federabschnitt 208 auf der anderen Axialrichtungsseite X2 verbunden ist und nicht in einer Spiralform ausgebildet ist. Die axiale Länge des ersten Körperabschnitts 206A ist gleich der axialen Länge des dritten Körperabschnitts 206B.
Der vierte Körperabschnitt 206C ist so angeordnet, dass er sandwichartig zwischen dem fünften Federabschnitt 207 und dem sechsten Federabschnitt 208 angeordnet ist.
Wie in 13 veranschaulicht, ist der Presssitzabschnitt 212A des ersten Einsetzabschnitts 212 an dem ersten Körperabschnitt 206A befestigt, wodurch der erste Leiter 21 an dem röhrenförmigen Körper 20v2 befestigt ist. Ferner ist der Presssitzabschnitt 222A des zweiten Einsetzabschnitts 222 an dem dritten Körperabschnitt 206B befestigt, wodurch der zweite Leiter 22 an dem röhrenförmigen Körper 20v2 befestigt ist. Der zweite Einsetzabschnitt 222 erstreckt sich über den dritten Körperabschnitt 206B, den sechsten Federabschnitt 208, den vierten Körperabschnitt 206C und den fünften Federabschnitt 207 innerhalb des röhrenförmigen Körpers 20v2 zu dem ersten Körperabschnitt 206A. Dadurch wird ein Gleitkontaktpunkt durch Kontakt zwischen dem zweiten Einsetzabschnitt 222 und dem ersten Körperabschnitt 206A ausgebildet, und der Effekt kann ähnlich wie bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erzielt werden.
Hier ist 14 ist eine Seitenansicht, die den Kontaktanschluss 2V2 in einem Zustand veranschaulicht, in dem der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 an dem röhrenförmigen Körper 20v2 befestigt sind, indem sie mit 13 ausgetauscht werden. Das heißt, in 14 ist der Presssitzabschnitt 222A des zweiten Einsetzabschnitts 222 an dem ersten Körperabschnitt 206A befestigt, und der Presssitzabschnitt 212A des ersten Einsetzabschnitts 212 ist an dem dritten Körperabschnitt 206B befestigt. Infolgedessen erstreckt sich der zweite Einsetzabschnitt 222 über den ersten Körperabschnitt 206A, den fünften Federabschnitt 207, den vierten Körperabschnitt 206C und den sechsten Federabschnitt 208 innerhalb des röhrenförmigen Körpers 20v2 zu dem dritten Körperabschnitt 206B. Infolgedessen wird ein Gleitkontaktpunkt durch Kontakt zwischen dem zweiten Einsetzabschnitt 222 und dem dritten Körperabschnitt 206B ausgebildet.
Wie oben beschrieben, kann in der vorliegenden Ausführungsform mit der Konfiguration des röhrenförmigen Körpers 20v2, wie in den 13 und 14 veranschaulicht, selbst wenn der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 eingesetzt und von jeder Seite in der axialen Richtung an den röhrenförmigen Körper 20v2 montiert werden, im Wesentlichen der gleiche Kontaktanschluss 2V2 montiert werden. Dementsprechend kann die Verarbeitbarkeit der Anordnung verbessert werden.
<4. Modifikation der zweiten Ausführungsform>
Ein Kontaktanschluss 2V3 gemäß einer Modifikation der zweiten Ausführungsform, gezeigt in 15, weist abweichend von der zweiten Ausführungsform (siehe 13) die folgende Konfiguration auf. In dem röhrenförmigen Körper 20v3 des Kontaktanschlusses 2V3 ist der sechste Federabschnitt 208 mit dem fünften Federabschnitt 207 auf der anderen Axialrichtungsseite X2 verbunden. Das heißt, der vierte Körperabschnitt 206C der zweiten Ausführungsform entfällt.
Selbst mit einem solchen Kontaktanschluss 2V3 kann, selbst wenn der erste Leiter 21 und der zweite Leiter 22 von einer beliebigen Seite in axialer Richtung in Bezug auf den röhrenförmigen Körper 20v3 eingesetzt und zusammengebaut werden, im Wesentlichen der gleiche Kontaktanschluss 2V3 zusammengebaut werden.
<5. Sonstiges>
Während die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung oben beschrieben wurden, können die Ausführungsformen im Rahmen der vorliegenden Erfindung auf verschiedene Weise modifiziert werden.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Die vorliegende Erfindung kann zur elektrischen Prüfung verschiedener Prüfziele verwendet werden.
Bezugszeichenliste

1: Sondenkopf
2, 2V1, 2V2, 2V3: Kontaktanschluss
20, 20v1, 20v2, 20v3: röhrenförmiger Körper
201, 206A: erster Körperabschnitt
201A: Befestigungsabschnitt
201B: anderer axialer Endabschnitt
201C: Umfangskerbe
201S1: endseitige Kerbe
201S2: Umfangskerbe
201S3: mittelseitige Kerbe
202, 202v1: erster Federabschnitt
203, 203v1: zweiter Federabschnitt
2031: dritter Federabschnitt
2032: vierter Federabschnitt
204: zweiter Körperabschnitt
205: Befestigungsabschnitt
206B: dritter Körperabschnitt
206C: vierter Körperabschnitt
207: fünfter Federabschnitt
208: sechster Federabschnitt
21: erster Leiter
211: erster Vorsprung
211A: stabförmiger Hauptkörper
211B: Flansch
212: erster Einsetzabschnitt
212A: Presssitzabschnitt
212A1: ein axialer Endabschnitt
212A2: anderer axialer Endabschnitt
212B: Rastungsabschnitt
212B1: geneigter Abschnitt
212B2: Wandflächenabschnitt
212B3: endseitige Rippe
212B4: mittelseitige Rippe
22: zweiter Leiter
221: zweiter Vorsprung
222: zweiter Einsetzabschnitt
222A: Presssitzabschnitt
3: Tragelement
31: oberer Tragkörper
31A: Tragloch
32: Zwischentragkörper
32A: Tragloch
33: unterer Tragkörper
33A: Tragloch
4: Rastermaßumwandlungseinheit
41: erste Elektrode
5: Verbindungsplatte
10: Prüfmittel
15: Prüfverarbeitungseinheit
25: Prüfeinrichtung
30: Prüfziel
301: Prüfpunkt
S1, S2: endseitige Kerbe
CP: Kontaktpunkt
CP1: erster Kontaktpunkt
CP2: zweiter Kontaktpunkt
J: zentrale Achse

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2019 [0008]
JP 15542 A [0008]

Claims

Kontaktanschluss, aufweisend: einen röhrenförmigen Körper, der sich in einer axialen Richtung des Kontaktanschlusses erstreckt und Leitfähigkeit aufweist, einen stabförmigen ersten Leiter, der Leitfähigkeit aufweist und in der Lage ist, in Kontakt mit einem Prüfziel zu kommen, und einen stabförmigen zweiten Leiter, der Leitfähigkeit aufweist, wobei der erste Leiter aufweist: einen ersten Vorsprung, der von dem röhrenförmigen Körper in Richtung einer Seite in der axialen Richtung vorsteht, und einen ersten Einsetzabschnitt, der an dem anderen Ende des ersten Leiters in der axialen Richtung bereitgestellt und im röhrenförmigen Körper angeordnet ist, der zweite Leiter einen zweiten Einsetzabschnitt, der im röhrenförmigen Körper angeordnet ist, aufweist, der röhrenförmige Körper aufweist: einen Federabschnitt, der ausgebildet ist in einer Spiralform entlang einer peripheren Fläche des röhrenförmigen Körpers, und einen ersten Körperabschnitt, der verbunden ist mit einer Seite in der axialen Richtung des Federabschnitts, wobei der erste Einsetzabschnitt an dem ersten Körperabschnitt befestigt ist, und eine endseitige Kerbe, die sich entlang der axialen Richtung von einer Endfläche auf einer Seite in der axialen Richtung des röhrenförmigen Körpers erstreckt, auf einer peripheren Oberfläche des ersten Körperabschnitts bereitgestellt ist.
Kontaktanschluss nach Anspruch 1, wobei ein Endabschnitt in der axialen Richtung des zweiten Einsetzabschnitts in Kontakt mit dem ersten Körperabschnitt ist.
Kontaktanschluss nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Federabschnitt einen ersten Federabschnitt und einen zweiten Federabschnitt, der in Bezug auf den ersten Federabschnitt auf der anderen Seite in der axialen Richtung angeordnet ist, aufweist, und der röhrenförmige Körper einen zweiten Körperabschnitt, der angeordnet ist zwischen dem ersten Federabschnitt und dem zweiten Federabschnitt, aufweist.
Kontaktanschluss nach Anspruch 3, wobei der zweite Federabschnitt einen dritten Federabschnitt mit der gleichen Wicklungsrichtung wie jene des ersten Federabschnitts aufweist, und einen vierten Federabschnitt, der verbunden ist mit dem dritten Federabschnitt und eine Wicklungsrichtung aufweist, die zu jener des ersten Federabschnitts entgegengesetzt ist.
Kontaktanschluss nach Anspruch 4, wobei eine Summe der Anzahl von Windungen des ersten Federabschnitts und der Anzahl von Windungen des dritten Federabschnitts gleich der Anzahl von Windungen des vierten Federabschnitts ist.
Kontaktanschluss nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Federabschnitt einen ersten Federabschnitt und einen zweiten Federabschnitt, der in der axialen Richtung mit der anderen Seite des ersten Federabschnitts verbunden ist, aufweist, und eine Wicklungsrichtung des zweiten Federabschnitts entgegengesetzt zu einer Wicklungsrichtung des ersten Federabschnitts ist.
Kontaktanschluss nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Federabschnitt einen fünften Federabschnitt und einen sechsten Federabschnitt, die in Bezug auf eine Mitte des röhrenförmigen Körpers in der axialen Richtung an symmetrischen Positionen angeordnet sind, aufweist, der sechste Federabschnitt auf der anderen Seite des fünften Federabschnitts in der axialen Richtung angeordnet ist, der sechste Federabschnitt eine Wicklungsrichtung aufweist, die entgegengesetzt zu einer Wicklungsrichtung des fünften Federabschnitts ist, und die gleiche Anzahl an Windungen wie die Anzahl an Windungen des fünften Federabschnitts aufweist, der erste Körperabschnitt mit einer Seite des fünften Federabschnitts in der axialen Richtung verbunden ist, der röhrenförmige Körper einen dritten Körperabschnitt, der mit der anderen Seite des sechsten Federabschnitts in der axialen Richtung verbunden ist, aufweist, und eine axiale Länge des ersten Körperabschnitts gleich einer axialen Länge des dritten Körperabschnitts ist.
Kontaktanschluss nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei der erste Einsetzabschnitt einen Presssitzabschnitt aufweist, und ein Außendurchmesser eines Endabschnitts des Presssitzabschnitts in der axialen Richtung größer als ein Innendurchmesser des anderen Endabschnitts des ersten Körperabschnitts in der axialen Richtung ist.
Prüfmittel, aufweisend: mehrere Kontaktanschlüsse nach einem der Ansprüche 1 bis 8 und ein Tragelement, das die mehreren Kontaktanschlüsse trägt.
Prüfeinrichtung, aufweisend: das Prüfmittel nach Anspruch 9 und eine Prüfverarbeitungseinheit, die eine Prüfung eines Prüfziels auf einer Grundlage eines elektrischen Signals, das durch Inkontaktbringen des Kontaktanschlusses mit einem auf dem Prüfziel bereitgestellten Prüfpunkt erhalten wird, ausführt.