DE112020001296T5 - Fräsen von flexfolie mit zwei leitenden schichten von beiden seiten - Google Patents
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Abstract
Ein Verfahren zum Fräsen von Flexfolie umfasst ein Bereitstellen einer Bahn (14) aus Flexfolie mit einem Substrat; einer ersten leitenden Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; einer zweiten leitenden Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; einer ersten isolierenden Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und einer zweiten isolierenden Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist. Das Verfahren umfasst ein Trockenfräsen einer Seite der Bahn unter Verwendung eines Fräsrades (20-1) und eines ersten Klischeemusters (25-1) (mit einer rotierenden Trommel (24-1) und eines flexiblen Substrats (26-1), das erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte aufweist, um selektiv die erste leitende Schicht und/oder die erste isolierende Schicht zu entfernen. Das Verfahren umfasst ein Trockenfräsen einer gegenüberliegenden Seite der Bahn unter Verwendung eines Fräsrads (20-2) und eines zweiten Klischeemusters (25-2), das obere erhöhte Abschnitte, untere erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte aufweist, um die zweite isolierende Schicht selektiv zu entfernen.
Description
- QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGEN
- Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der US-Patentanmeldung Nr.
16/389,277 - GEBIET
- Die vorliegende Offenbarung bezieht sich auf eine Verdrahtung von elektrischen Komponenten, insbesondere auf ein Fräsen von Flexfolie mit zwei leitenden Schichten von beiden Seiten.
- HINTERGRUND
- Die Informationen in diesem Abschnitt dienen dazu, den Kontext der Offenlegung allgemein darzustellen. Arbeit der vorliegend genannten Erfinder in dem Umfang, in dem sie in diesem Abschnitt beschrieben ist, sowie Aspekte der Beschreibung, die nicht auf andere Weise als Stand der Technik zum Zeitpunkt der Einreichung berechtigen, sind weder explizit noch implizit als Stand der Technik gegenüber der vorliegenden Offenbarung anerkannt.
- Verdrahtungskabelbäume werden zur Verbindung elektrischer Komponenten in verschiedenen Anwendungen verwendet. Wenn eine große Anzahl von Komponenten an einer bestimmten Stelle angeschlossen werden muss, können mehrere Drähte, gedruckte Schaltungen (PCBs) und/oder flexible Substrate mit Leiterbahnen verwendet werden. Die flexiblen Substrate bestehen in der Regel aus einer einzelnen leitenden Schicht und äußeren Isolierschichten (hier als flexible Folie oder Flexfolie bezeichnet). Die einzelne leitende Schicht kann so gemustert werden, dass Leiterbahnen, Finger und andere Strukturen definiert sind, die zur Herstellung mehrerer Verbindungen verwendet werden können.
- ZUSAMMENFASSUNG
- Ein Verfahren zum Fräsen von Flexfolie umfasst ein Bereitstellen einer Bahn aus Flexfolie, die ein Substrat aufweist; einer ersten leitenden Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; einer zweiten leitenden Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; einer ersten isolierenden Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und einer zweiten isolierenden Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist. Das Verfahren umfasst ein Trockenfräsen einer Seite der Bahn unter Verwendung eines ersten Klischeemusters mit erhöhten Abschnitten und nicht erhöhten Abschnitten, um selektiv die erste leitende Schicht und/oder die erste isolierende Schicht zu entfernen. Das Verfahren umfasst ein Trockenfräsen einer gegenüberliegenden Seite der Bahn unter Verwendung eines zweiten Klischeemusters mit oberen erhöhten Abschnitten, unteren erhöhten Abschnitten und nicht erhöhten Abschnitten, um die zweite isolierende Schicht selektiv zu entfernen.
- Bei weiteren Merkmalen entfernt das erste Klischeemuster die erste isolierende Schicht und/oder die erste leitende Schicht benachbart der erhöhten Bereiche und entfernt nicht die erste isolierende Schicht und die erste leitende Schicht benachbart der nicht erhöhten Bereiche. Die oberen erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters entfernen die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn an Stellen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht entfernt sind. Die unteren erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters entfernen die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn an Stellen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht nicht entfernt sind. Die nicht erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters entfernen die zweite isolierende Schicht nicht.
- In anderen Merkmalen umfasst das Verfahren ein Zuführen der Bahn zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Bahn angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet ist, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster enthält. Das Verfahren umfasst ein Zuführen der Bahn zwischen ein zweites Fräsrad, das auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet ist, und ein zweites Klischee, das auf der einen Seite der Bahn angeordnet ist, wobei das zweite Klischee das zweite Klischeemuster enthält.
- In anderen Merkmalen umfasst das Verfahren ein Zuführen der Bahn zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Bahn angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet ist, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster enthält; Ändern des ersten Klischeemusters auf dem ersten Klischee in das zweite Klischeemuster; Umdrehen und Ausrichten der Bahn; und Zuführen der Bahn zwischen dem ersten Fräsrad und dem ersten Klischee.
- Bei anderen Merkmalen haben die erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht eine Dicke in einem Bereich von 5 µm bis 40 µm.
- Eine Flexfolie umfasst ein Substrat; eine erste leitende Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; eine zweite leitende Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; eine erste isolierende Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und eine zweite isolierende Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist. Eine Seite der Flexfolie wird unter Verwendung eines ersten Klischeemusters, das erhöhte und nicht erhöhte Abschnitte aufweist, trocken gefräst, um selektiv die erste leitende Schicht und/oder die erste isolierende Schicht zu entfernen. Eine gegenüberliegende Seite der flexiblen Folie wird unter Verwendung eines zweiten Klischeemusters trocken gefräst, das obere erhöhte Abschnitte, untere erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte umfasst, um die zweite isolierende Schicht selektiv zu entfernen.
- Bei weiteren Merkmalen entfernt das erste Klischeemuster die erste isolierende Schicht und/oder die erste leitende Schicht benachbart der erhöhten Bereiche und entfernt nicht die erste isolierende Schicht und die erste leitende Schicht benachbart der nicht erhöhten Bereiche. Die oberen erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters entfernen die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie an Stellen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht entfernt sind. Die unteren erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters entfernen die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie an Stellen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht nicht entfernt sind. Die nicht erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters entfernen die zweite isolierende Schicht nicht.
- In anderen Merkmalen wird die Flexfolie zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Flexfolie angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie angeordnet ist, zugeführt, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster aufweist. Die Flexfolie wird zwischen einem zweiten Fräsrad, das auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie angeordnet ist, und einem zweiten Klischee, das auf der einen Seite der Flexfolie angeordnet ist, zugeführt, wobei das zweite Klischee das zweite Klischeemuster aufweist.
- In anderen Merkmalen wird die Flexfolie zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Flexfolie angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie angeordnet ist, zugeführt, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster aufweist. Das erste Klischeemuster auf dem ersten Klischee wird in das zweite Klischeemuster geändert. Die Flexfolie wird umgedreht und ausgerichtet. Die Flexfolie wird zwischen dem ersten Fräsrad und dem ersten Klischee zugeführt.
- Bei anderen Merkmalen haben die erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht eine Dicke in einem Bereich von 5 µm bis 40 µm.
- Eine Flexfolie umfasst ein Substrat; eine erste leitende Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; eine zweite leitende Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; eine erste isolierende Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und eine zweite isolierende Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist. Ein erster Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht werden an der einen Fläche des Substrats an einer ersten Stelle gefräst. Ein erster Abschnitt der zweiten Isolierschicht wird an der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der ersten Stelle gefräst.
- Bei anderen Merkmalen haben die erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht eine Dicke in einem Bereich von 5 µm bis 40 µm.
- Bei anderen Merkmalen ist ein zweiter Abschnitt der ersten Isolierschicht und der ersten leitenden Schicht auf der einen Fläche des Substrats an einer zweiten Stelle nicht gefräst, und ein zweiter Abschnitt der zweiten Isolierschicht ist auf der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der zweiten Stelle gefräst.
- Bei anderen Merkmalen ist ein dritter Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht an der einen Fläche des Substrats an einer dritten Stelle nicht gefräst. Ein dritter Abschnitt der zweiten Isolierschicht ist nicht auf der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der dritten Stelle gefräst.
- Bei anderen Merkmalen ist ein vierter Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht an der einen Fläche des Substrats an einer vierten Stelle nicht gefräst. Ein vierter Abschnitt der zweiten Isolierschicht ist auf der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der vierten Stelle nicht gefräst.
- Weitere Bereiche der Anwendbarkeit der vorliegenden Offenbarung gehen aus der ausführlichen Beschreibung, aus den Ansprüchen und aus den Zeichnungen hervor. Die ausführliche Beschreibung und die spezifischen Beispiele sind nur zu Veranschaulichungszwecken bestimmt und sollen den Schutzumfang der Offenbarung nicht einschränken.
- Figurenliste
- Die vorliegende Offenbarung wird umfassender verständlich aus der ausführlichen Beschreibung und aus den beigefügten Zeichnungen, in denen:
-
1A eine seitliche Schnittansicht eines Beispiels einer Flexfolie mit zwei leitenden Schichten vor dem Fräsen gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; -
1B eine seitliche Schnittansicht eines Beispiels der Flexfolie mit zwei leitenden Schichten nach dem Fräsen einer Seite der Flexfolie gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; -
1C eine seitliche Schnittansicht eines Beispiels der Flexfolie mit zwei leitenden Schichten nach dem Fräsen beider Seiten der Flexfolie gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; -
2A eine Seitenansicht eines Beispiels eines Frässystems zum Fräsen einer Flexfolie mit zwei leitenden Schichten von beiden Seiten gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; -
2B eine Seitenansicht eines Beispiels eines anderen Frässystems zum Fräsen einer Flexfolie mit zwei leitenden Schichten von beiden Seiten gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; -
3A eine Seitenansicht eines Abschnitts eines ersten Klischeemusters, das zum Fräsen einer ersten Seite der Flexfolie verwendet wird, gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; -
3B eine Seitenansicht eines Abschnitts eines zweiten Klischeemusters, das zum Fräsen einer zweiten Seite der Flexfolie verwendet wird, nachdem die erste Seite gefräst wurde, gemäß der vorliegenden Offenbarung ist; und -
4 ist ein Flussdiagramm eines Beispiels für ein Verfahren zum Fräsen der Flexifolie mit zwei leitenden Schichten gemäß der vorliegenden Offenbarung. - In den Zeichnungen können Bezugszeichen wiederverwendet sein, um ähnliche und/oder gleiche Elemente zu identifizieren.
- AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
- Die flexiblen Substrate (im Folgenden als flexible Folie oder Flexfolie bezeichnet) bestehen in der Regel aus einer einzelnen leitenden Schicht sowie einer ersten und einer zweiten äußeren Isolierschicht. Die einzelne leitende Schicht kann unter Verwendung von Photolithographie gemustert oder trocken gefräst werden, um Leiterbahnen, Finger und andere Strukturen zu definieren, die zur Herstellung mehrerer Verbindungen verwendet werden können. In manchen Situationen muss eine höhere Dichte von Leiterbahnen und Verbindungen vorgesehen werden.
- Auf der Flexfolie kann eine zusätzliche leitende Schicht angebracht werden. Herkömmliche Trockenfräsverfahren können jedoch im Allgemeinen nicht verwendet werden, um die Flexfolie von beiden Seiten zu strukturieren. Ein erstes Muster wird von einer Seite in die erste leitende Schicht gefräst. Ein zweites Muster wird für eine gegenüberliegende Seite der Flexfolie verwendet. Das erste Muster verursacht jedoch Schwankungen in der Dicke der Flexfolie und im Abstand zwischen dem Fräsrad und dem Klischee beim Fräsen unter Verwendung des zweiten Musters.
- Ein Trockenfräsverfahren für eine Flexfolie mit einer einzelnen leitfähigen Schicht ist beispielsweise in dem US-Patent Nr.
7,919,027 , die am 5. April 2011 erteilt wurde, mit dem Titel „Methods and Devices for Manufacturing of Electrical Components and Laminated Structures“ dargestellt und beschrieben, das hiermit durch Bezugnahme in vollem Umfang eingeschlossen ist. Beim Trockenfräsen wird eine Bahn aus einer Flexfolie, die eine einzelne leitende Schicht und eine isolierende Schicht enthält, zwischen einem Klischee und einem Fräsrad zugeführt. Das Klischee enthält ein Muster mit erhöhten und nicht erhöhten Abschnitten. - In einigen Beispielen wird das Muster mit Hilfe von Photolithografie auf einem dünnen, flexiblen Substrat definiert und das flexible Substrat an einer Außenfläche einer rotierenden Trommel befestigt. Das Fräsrad ist auf einer gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet. Die erhöhten Abschnitte des Musters auf dem Klischee drücken die Bahn in das Fräsrad und die entsprechenden Abschnitte der leitenden Schicht und/oder der äußeren Isolierschicht werden entfernt. Die verbleibenden Abschnitte der leitenden Schicht werden so strukturiert, dass sie als Leiterbahnen, Pads für Finger usw. dienen. Nach dem Fräsen kann eine Isolierschicht oder Deckschicht (oder Coverlay) über der strukturierten leitfähigen Schicht angebracht werden, und es kann ein weiterer Frässchritt zugeführt werden.
- Es ist jedoch klar, dass der Prozess nicht einfach auf der gegenüberliegenden Seite wiederholt werden kann, um eine zweite leitende Schicht der Flexfolie zu strukturieren. Das entfernte Material der ersten leitfähigen Schicht führt zu Problemen bei der Strukturierung des zweiten Musters nach der oben beschriebenen Vorgehensweise.
- Die Trockenfrässysteme und -verfahren gemäß der vorliegenden Offenbarung beziehen sich auf ein Fräsen von Flexfolie mit zwei leitenden Schichten von beiden Seiten. Die erste leitende Schicht und/oder die isolierende Schicht werden wie oben beschrieben unter Verwendung eines ersten Musters gefräst, das erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen Material entfernt wird) und nicht erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen kein Material entfernt wird) aufweist.
- Nach dem Fräsen der ersten leitenden Schicht und/oder der Isolierschicht wird die Bahn umgedreht oder um 180° gedreht und ein zweites Muster zum Fräsen der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie verwendet. Das zweite Muster umfasst obere erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen Material von beiden Seiten der Bahn entfernt wird), untere erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen Material während des zweiten Frässchritts, aber nicht während des ersten Frässchritts entfernt wird) und nicht erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen kein Material entfernt wird).
- In einigen Beispielen bestehen die leitenden Schichten aus Metall wie AI oder Cu und haben eine Dicke im Bereich von 5 µm bis 40 µm, obwohl auch andere Metalle oder dickere oder dünnere Schichten verwendet werden können. Nur beispielhaft kann Cu mit einer Dicke von 9 µm, 18 µm oder 35 µm oder AI mit einer Dicke von 9 µm oder 18 µm verwendet werden. In einigen Beispielen umfassen die isolierenden Schichten und/oder das Substrat Filme wie Polyethylenterephthalat (PET), Polyethylennaphthalat (PEN) oder Polyimid (PI), obwohl auch andere Substrate oder isolierende Materialien verwendet werden können.
- Bezug nehmend auf die
1A bis1C ist ein Fräsen einer Flexfolie2 von beiden Seiten dargestellt. In1A ist die Flexfolie2 vor dem Fräsen dargestellt. Die Flexfolie2 umfasst ein Substrat4 , eine erste leitende Schicht5 , die auf einer Seite des Substrats4 angeordnet ist, und eine erste Isolierschicht6 , die auf der ersten leitenden Schicht5 angeordnet ist. Die Flexfolie2 enthält außerdem eine zweite leitende Schicht8 , die auf einer gegenüberliegenden Seite des Substrats4 angeordnet ist, und eine zweite isolierende Schicht9 , die auf der zweiten leitenden Schicht8 angeordnet ist. In1B wird ein erstes Klischeemuster verwendet, um die erste leitende Schicht5 und die erste isolierende Schicht6 zu fräsen, wie an einer oder mehreren mit 7 gekennzeichneten Stellen gezeigt ist. In1C wird ein zweites Klischeemuster zum selektiven Fräsen der zweiten Isolierschicht9 an einer oder mehreren mit 10 gekennzeichneten Stellen verwendet. - Nun Bezug nehmend auf
2A ist ein Frässystem12 zum Fräsen einer Bahn14 der Flexfolie2 dargestellt. Eine erste Rolle16 liefert die Bahn14 der Flexfolie2 . Die Bahn14 wird zwischen dem Fräsrad20 und einem Klischee25 zugeführt. In einigen Beispielen umfasst das Klischee25 eine rotierende Trommel24 . Ein flexibles Substrat26 , das ein erstes Muster oder ein zweites Muster definiert, ist an der rotierenden Trommel24 befestigt. Alternativ kann das erste oder zweite Muster auch direkt auf der rotierenden Trommel24 erstellt werden. In einigen Beispielen wird das erste Muster oder das zweite Muster auf dem flexiblen Substrat26 oder der rotierenden Trommel24 mit Hilfe von Photolithographietechniken definiert, obwohl auch andere Techniken verwendet werden können. - Das Fräsrad
20 ist in einem vorbestimmten Abstand von der rotierenden Trommel26 angeordnet, um ein Fräsen von erhöhten Abschnitten der Bahn14 zu ermöglichen, während die Bahn durchläuft. Das Fräsrad20 enthält Zähne, die Abschnitte der Bahn14 schneiden, die durch entsprechende erhöhte Abschnitte des ersten Musters angehoben sind. Die Bahn14 wird um eine zweite Trommel28 zu einer Trommel32 geführt. - Die erste leitende Schicht
5 und/oder die erste isolierende Schicht6 werden wie oben beschrieben unter Verwendung des ersten Musters gefräst. Die erhöhten Abschnitte des ersten Musters entsprechen Stellen, an denen die erste leitende Schicht5 und/oder die erste isolierende Schicht6 entfernt wurden. Das erste Muster enthält nicht erhöhte Abschnitte, die Stellen entsprechen, an denen kein Material entfernt wird. - Nach dem ersten Fräsvorgang wird die Bahn um 180° gedreht und das erste Muster durch ein zweites Muster ersetzt. Alternativ kann auch ein zweites Klischee verwendet werden, wie in
2B gezeigt ist. Das zweite Muster umfasst obere erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen Material von beiden Flächen der Bahn14 entfernt wird), untere erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen Material von der Seite entfernt wird, die der zweiten leitenden Schicht entspricht, aber nicht von der Seite, die der ersten leitenden Schicht entspricht), und nicht erhöhte Abschnitte (entsprechend Stellen, an denen Material nicht von der Seite entfernt wird, die der zweiten leitenden Schicht entspricht). - In
2B enthält das Frässystem12 ein erstes Klischee25-1 (mit einer rotierenden Trommel24-1 und einem flexiblen Substrat26-1 ), das benachbart einem ersten Fräsrad20-1 angeordnet ist, und ein zweites Klischee25-2 (mit einer rotierenden Trommel24-2 und einem flexiblen Substrat26-2 ), das benachbart einem zweiten Fräsrad20-2 angeordnet ist. Das erste Klischee25-1 ist auf einer Seite der Bahn14 angeordnet und das zweite Klischee25-2 auf einer gegenüberliegenden Seite der Bahn14 angeordnet. Das erste Klischee25-1 fräst das erste Muster auf der einen Seite. Das zweite Klischee25-2 fräst das zweite Muster auf der gegenüberliegenden Seite. Nach dem Fräsen können weitere Arbeitsgänge zugeführt werden. Zum Beispiel kann ein Schneidevorgang zugeführt werden, um einzelne Flexfolien von der Bahn14 zu trennen. - Bezugnehmend auf
3A definiert eine Fläche des Substrats26 einen Abschnitt eines ersten Musters48 , das zum Fräsen einer Seite der Bahn14 verwendet wird. Das erste Muster48 umfasst nicht erhöhte Abschnitte50 (wo kein Fräsen der Bahn14 erfolgt) und erhöhte Abschnitte52 (wo das Isoliermaterial und/oder die erste leitende Schicht von der einen Seite der Bahn14 entfernt sind). - Bezugnehmend auf
3B definiert eine Fläche des Substrats26 ein zweites Muster58 , das zum Fräsen einer gegenüberliegenden Seite der Bahn14 verwendet wird. Das zweite Muster58 umfasst obere erhöhte Abschnitte54 (entsprechend Stellen, an denen Material von beiden Seiten der Bahn14 entfernt wird). Das zweite Muster58 umfasst untere erhöhte Abschnitte52 (die den Stellen entsprechen, an denen Material von der Seite der Bahn14 benachbart der zweiten leitenden Schicht, nicht aber von der Seite benachbart der ersten leitenden entfernt wird). Das zweite Muster58 umfasst nicht erhöhte Abschnitte50 (entsprechend Stellen, an denen kein Material von der zweiten leitenden Schicht entfernt wird). - Zurück zu
1C wird an Stellen A ein Fräsen auf beiden Seiten der Flexfolie2 ausgeführt. Ein entsprechender Abschnitt des ersten Musters für die Stelle A weist erhöhte Abschnitte auf (um die Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht zu entfernen). Ein entsprechender Abschnitt des zweiten Musters weist die oberen erhöhten Abschnitte auf, um das durch das erste Muster entfernte Material auszugleichen und die zweite isolierende Schicht zu fräsen. An den Stellen B wird kein Fräsen von beiden Seiten ausgeführt. Entsprechende Abschnitte sowohl des ersten als auch des zweiten Musters weisen nicht erhöhte Abschnitte auf. - An den Stellen C weisen entsprechende Abschnitte des ersten Musters erhöhte Abschnitte auf, um die erste leitende Schicht und/oder die Isolierschicht zu entfernen. Die entsprechenden Abschnitte des zweiten Musters weisen nicht erhöhten Abschnitte auf, da die zweite isolierende Schicht nicht entfernt wird.
- An Stellen D haben die entsprechenden Abschnitte des ersten Musters nicht erhöhte Abschnitte, so dass kein Material entfernt wird. Entsprechende Abschnitte des zweiten Musters weisen niedrigere erhöhte Abschnitte auf, um die zweite isolierende Schicht zu entfernen.
- Nun Bezug nehmend auf
4 ist ein Verfahren200 zum Fräsen der Flexfolie/Bahn von beiden Seiten dargestellt. Bei210 werden erste und zweite Muster für erste und zweite leitende Schichten der Flexfolie auf der Grundlage eines gewünschten Layouts definiert. Bei214 wird ein erstes Muster auf einem Substrat oder einer Trommel erstellt, um erhöhte und nicht erhöhte Bereiche zu definieren. Wenn das Substrat verwendet wird, wird das Substrat am Klischee befestigt. Bei218 wird die Bahn/Flexfolie unter Verwendung des ersten Musters auf dem Klischee und dem Fräsrad gefräst, um ein Trockenmuster auf einer Seite der Bahn/Flexfolie zu erstellen. - Bei
224 wird ein zweites Muster auf einem Substrat oder einer Trommel erzeugt, um obere erhöhte Abschnitte, untere erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte zu definieren. Wenn das Substrat verwendet wird, wird das Substrat mit dem ersten Muster entfernt und das zweite Muster auf dem Klischee angebracht. Alternativ dazu wird ein zweites Klischee verwendet, wie in2B dargestellt ist. Bei276 wird die Bahn, die die Flexfolie enthält, optional umgedreht und auf das zweite Klischeemuster ausgerichtet. Die Bahn wird mit dem zweiten Klischeemuster und dem Fräsrad gefräst, um eine gegenüberliegende Seite der Bahn/Flexfolie trockenzumustern bzw. trockenzustrukturieren. - Die vorstehende Beschreibung ist dem Wesen nach lediglich veranschaulichend und soll die Offenbarung, ihre Anwendung oder Verwendungen in keiner Weise einschränken. Die umfassenden Lehren der Offenbarung können in einer Vielzahl von Formen implementiert werden. Obgleich diese Offenbarung bestimmte Beispiele enthält, soll der wahre Umfang der Offenbarung somit nicht darauf beschränkt sein, da andere Änderungen beim Studium der Zeichnungen, der Beschreibung und der folgenden Ansprüche hervorgehen. Selbstverständlich können einer oder mehrere Schritte innerhalb eines Verfahrens in einer anderen Reihenfolge (oder gleichzeitig) ausgeführt werden, ohne die Prinzipien der vorliegenden Offenbarung zu ändern. Auch wenn jede der oben beschriebenen Ausführungsformen bestimmte Merkmale aufweist, können ein oder mehrere dieser Merkmale, die in Bezug auf eine beliebige Ausführungsform der Offenbarung beschrieben sind, in einer beliebigen anderen Ausführungsform implementiert und/oder mit Merkmalen einer beliebigen anderen Ausführungsform kombiniert werden, selbst wenn diese Kombination nicht ausdrücklich beschrieben ist. Mit anderen Worten, die beschriebenen Ausführungsformen schließen sich nicht gegenseitig aus, und Kombinationen von einer oder mehreren Ausführungsformen untereinander bleiben im Rahmen dieser Offenbarung.
- Räumliche und funktionale Beziehungen zwischen Elementen (z. B. zwischen Modulen, Schaltungselementen, Halbleiterschichten usw.) werden mit verschiedenen Begriffen beschrieben, darunter „verbunden“, „im Eingriff“, „gekoppelt“, „benachbart“, „neben“, „über“, „daüber“, „unter“ und „angeordnet“. Wenn eine Beziehung zwischen einem ersten und einem zweiten Element in der obigen Offenbarung nicht ausdrücklich als „direkt“ bezeichnet wird, kann diese Beziehung eine direkte Beziehung sein, bei der keine anderen dazwischenliegenden Elemente zwischen dem ersten und dem zweiten Element vorhanden sind, sie kann aber auch eine indirekte Beziehung sein, bei der ein oder mehrere dazwischenliegende Elemente (entweder räumlich oder funktional) zwischen dem ersten und dem zweiten Element vorhanden sind. Wie hierin verwendet, sollte die Formulierung „mindestens eines von A, B und C“ als logisches (A ODER B ODER C) unter Verwendung eines nicht ausschließenden logischen ODER ausgelegt werden und nicht als „mindestens eines von A, mindestens eines von B und mindestens eines von C“ verstanden werden.
- In den Figuren zeigt die Richtung eines Pfeils, wie sie durch die Pfeilspitze angegeben ist, im Allgemeinen den Informationsfluss (z. B. Daten oder Anweisungen) an, der für die Figur von Interesse ist. Wenn z. B. Element A und Element B eine Vielzahl von Informationen austauschen, die von Element A zu Element B übertragenen Informationen jedoch für die Figur relevant sind, kann der Pfeil von Element A zu Element B zeigen. Dieser unidirektionale Pfeil bedeutet nicht, dass keine anderen Informationen von Element B zu Element A übertragen werden. Bei Informationen, die von Element A an Element B gesendet werden, kann Element B Anfragen oder Empfangsbestätigungen für die Informationen an Element A senden.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- US 16/389277 [0001]
- US 7919027 [0025]
Claims (21)
- Verfahren zum Fräsen einer Flexfolie, umfassend: Bereitstellen einer Bahn aus Flexfolie, umfassend: ein Substrat; eine erste leitende Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; eine zweite leitende Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; eine erste isolierende Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und eine zweite isolierende Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist; Trockenfräsen einer Seite der Bahn unter Verwendung eines ersten Klischeemusters, das erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte aufweist, um selektiv die erste leitende Schicht und/oder die erste isolierende Schicht zu entfernen; und Trockenfräsen einer gegenüberliegenden Seite der Bahn unter Verwendung eines zweiten Klischeemusters, das obere erhöhte Abschnitte, untere erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte aufweist, um die zweite isolierende Schicht selektiv zu entfernen.
- Verfahren nach
Anspruch 1 , wobei das erste Klischeemuster die erste isolierende Schicht und/oder die erste leitende Schicht benachbart der erhöhten Bereiche entfernt und die erste isolierende Schicht und die erste leitende Schicht benachbart der nicht erhöhten Bereiche nicht entfernt. - Verfahren nach
Anspruch 1 , wobei die oberen erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn an Stellen entfernen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht entfernt sind. - Verfahren nach
Anspruch 3 , wobei die unteren erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn an Stellen entfernen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht nicht entfernt sind. - Verfahren nach
Anspruch 4 , wobei die nicht erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters die zweite isolierende Schicht nicht entfernen. - Verfahren nach
Anspruch 1 , ferner umfassend: Zuführen der Bahn zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Bahn angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet ist, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster enthält; und Zuführen der Bahn zwischen einem zweiten Fräsrad, das auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet ist, und einem zweiten Klischee, das auf der einen Seite der Bahn angeordnet ist, wobei das zweite Klischee das zweite Klischeemuster enthält. - Verfahren nach
Anspruch 1 , ferner umfassend: Zuführen der Bahn zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Bahn angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Bahn angeordnet ist, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster enthält; Ändern des ersten Klischeemusters auf dem ersten Klischee in das zweite Klischeemuster; Umdrehen und Ausrichten der Bahn; und Zuführen der Bahn zwischen dem ersten Fräsrad und dem ersten Klischee. - Verfahren nach
Anspruch 1 , wobei die erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht eine Dicke in einem Bereich von 5 µm bis 40 µm aufweisen. - Flexfolie, umfassend: ein Substrat; eine erste leitende Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; eine zweite leitende Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; eine erste isolierende Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und eine zweite isolierende Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist, wobei eine Seite der Flexfolie unter Verwendung eines ersten Klischeemusters, das erhöhte und nicht erhöhte Abschnitte aufweist, trocken gefräst wird, um selektiv die erste leitende Schicht und/oder die erste isolierende Schicht zu entfernen wobei eine gegenüberliegende Seite der Flexfolie unter Verwendung eines zweiten Klischeemusters trocken gefräst wird, das obere erhöhte Abschnitte, untere erhöhte Abschnitte und nicht erhöhte Abschnitte umfasst, um die zweite isolierende Schicht selektiv zu entfernen.
- Flexfolie nach
Anspruch 9 , wobei das erste Klischeemuster die erste isolierende Schicht und/oder die erste leitende Schicht benachbart der erhöhten Bereiche entfernt und die erste isolierende Schicht und die erste leitende Schicht benachbart der nicht erhöhten Bereiche nicht entfernt. - Flexfolie nach
Anspruch 9 , wobei die oberen erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie an Stellen entfernen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht entfernt sind. - Flexfolie nach
Anspruch 11 , wobei die unteren erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters die zweite isolierende Schicht auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie an Stellen entfernen, an denen die erste Isolierschicht und/oder die erste leitende Schicht nicht entfernt sind. - Flexfolie nach
Anspruch 12 , wobei die nicht erhöhten Abschnitte des zweiten Klischeemusters die zweite isolierende Schicht nicht entfernen. - Flexfolie nach
Anspruch 9 , wobei: die Flexfolie zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Flexfolie angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie angeordnet ist, zugeführt wird, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster aufweist; und die Flexfolie zwischen einem zweiten Fräsrad, das auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie angeordnet ist, und einem zweiten Klischee, das auf der einen Seite der Flexfolie angeordnet ist, zugeführt wird, wobei das zweite Klischee das zweite Klischeemuster aufweist. - Flexfolie nach
Anspruch 9 , ferner umfassend, dass: die Flexfolie zwischen einem ersten Fräsrad, das auf der einen Seite der Flexfolie angeordnet ist, und einem ersten Klischee, das auf der gegenüberliegenden Seite der Flexfolie angeordnet ist, zugeführt ist, wobei das erste Klischee das erste Klischeemuster aufweist; das erste Klischeemuster auf dem ersten Klischee in das zweite Klischeemuster geändert wird; die Flexfolie umgedreht und ausgerichtet wird; und die Flexfolie zwischen dem ersten Fräsrad und dem ersten Klischee zugeführt ist. - Flexfolie nach
Anspruch 9 , wobei die erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht eine Dicke in einem Bereich von 5 µm bis 40 µm aufweisen. - Flexfolie, umfassend: ein Substrat; eine erste leitende Schicht, die auf einer Fläche des Substrats angeordnet ist; eine zweite leitende Schicht, die auf einer gegenüberliegenden Fläche des Substrats angeordnet ist; eine erste isolierende Schicht, die benachbart der ersten leitenden Schicht angeordnet ist; und eine zweite isolierende Schicht, die benachbart der zweiten leitenden Schicht angeordnet ist, wobei ein erster Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht an der einen Fläche des Substrats an einer ersten Stelle gefräst werden, und wobei ein erster Abschnitt der zweiten Isolierschicht an der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der ersten Stelle gefräst ist.
- Flexfolie nach
Anspruch 17 , wobei die erste leitende Schicht und die zweite leitende Schicht eine Dicke in einem Bereich von 5 µm bis 40 µm aufweist. - Flexfolie nach
Anspruch 17 , wobei: ein zweiter Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht an der einen Fläche des Substrats an einer zweiten Stelle nicht gefräst ist, und ein zweiter Abschnitt der zweiten Isolierschicht auf der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der zweiten Stelle gefräst ist. - Flexfolie nach
Anspruch 19 , wobei: ein dritter Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht an der einen Fläche des Substrats an einer dritten Stelle gefräst ist, und ein dritter Abschnitt der zweiten Isolierschicht auf der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der dritten Stelle nicht gefräst ist. - Flexfolie nach
Anspruch 19 , wobei: ein vierter Abschnitt der ersten isolierenden Schicht und der ersten leitenden Schicht an der einen Fläche des Substrats an einer vierten Stelle nicht gefräst sind, und ein vierter Abschnitt der zweiten Isolierschicht auf der gegenüberliegenden Fläche des Substrats an der vierten Stelle nicht gefräst ist.
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