DE112019007698T5

DE112019007698T5 - Montagevorrichtung und verfahren zum einstellen derselben

Info

Publication number: DE112019007698T5
Application number: DE112019007698.1T
Authority: DE
Inventors: Ryota Kimura
Original assignee: Nalux Co Ltd
Current assignee: Nalux Co Ltd
Priority date: 2019-09-10
Filing date: 2019-09-10
Publication date: 2022-06-23
Also published as: JPWO2021048914A1; CN113950394A; KR102561421B1; KR20220002503A; US20220055220A1; WO2021048914A1; JP7292752B2; CN113950394B

Abstract

Eine Montagevorrichtung, die mit Transfermechanismen in drei orthogonalen Richtungen versehen ist und mehrere Teile mit einem hohen Grad an Genauigkeit zusammenbauen kann, indem sie eine Haltevorrichtung verwendet, die an einem der Transfermechanismen angebracht ist, ist bereitgestellt. Die Montagevorrichtung weist auf: einen x-Achsen-Transfermechanismus 101, einen y-Achsen-Transfermechanismus 103, einen z-Achsen-Transfermechanismus 105, eine Haltevorrichtung 107 zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, eine Basis 1000, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, eine erste Kamera 201, die an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und eine zweite Kamera 203, die an der Basis derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Montagevorrichtung und ein Verfahren zum Einstellen dieser Vorrichtung.
Hintergrundtechnik
Eine Montagevorrichtung, die mit Transfermechanismen in drei zueinander orthogonalen Richtungen versehen ist und die den Zusammenbau mehrerer Teile unter Verwendung einer an einem der Transfermechanismen angebrachten Haltevorrichtung durchführt, wird verwendet. Eine solche Montagevorrichtung wird beispielsweise für den Zusammenbau einer Linse und eines Linsentubus verwendet. Beim Zusammenbau einer Linse und eines Linsentubus wird eine Position der Linse mit Hilfe einer Kamera überprüft, die von einer Haltevorrichtung bereitgestellt wird, wird die Linse von der Haltevorrichtung gehalten, wird die Haltevorrichtung zu einer Position des Linsentubus transferiert und wird die Linse derart in den Linsentubus eingesetzt, dass die Mittelachse der Linse und die des Linsentubus miteinander übereinstimmen. Stimmen die Mittelachse der Linse und die des Linsentubus beim Einsetzen der Linse in den Linsentubus nicht überein, muss der Innendurchmesser des Linsentubus um einen Betrag größer sein als der Außendurchmesser der Linse, der von einem maximal möglichen Wert des Abstands zwischen den Mittelachsen abhängt. Dies führt nachteiligerweise zu einer Vergrößerung des Linsentubus. Insbesondere ist ein Einfluss des Abstands zwischen den Mittelachsen relativ groß, wenn der Durchmesser der Linse relativ klein ist. Wenn der Durchmesser der Linse beispielsweise 1 mm beträgt, erreicht der Abstand zwischen den Mittelachsen von 10 µm 1 % des Durchmessers. Dementsprechend sollte eine Genauigkeit der Ausrichtung der Linse an dem Linsentubus, die von der Haltevorrichtung eingestellt wird, vorzugsweise erhöht werden, um den oben beschriebenen Abstand zwischen den Mittelachsen zu minimieren.
Patentdokument 1 offenbart ein Verfahren zum Ausrichten eines Roboterarms unter Verwendung einer Kamera. Patentdokument 1 sagt jedoch nichts darüber aus, wie bei dem Ausrichtungsverfahren unter Verwendung einer Kamera ein hohes Maß an Genauigkeit erreicht wird.
Eine Montagevorrichtung, die mit Transfermechanismen in drei zueinander orthogonalen Richtungen ausgestattet ist und die einen Zusammenbau mehrerer Teile unter Verwendung einer an einem der Transfermechanismen angebrachten Haltevorrichtung mit hoher Genauigkeit durchführen kann, sowie ein Verfahren zur Einstellung einer solchen Montagevorrichtung wurden daher noch nicht entwickelt.
Stand-der-Technik-Dokument
Patentdokument
Patentdokument 1: JP 2015 530 276 A
Überblick über die Erfindung
Von der Erfindung zu lösende Aufgabe
Dementsprechend besteht ein Bedarf an einer Montagevorrichtung, die mit Transfermechanismen in drei zueinander orthogonalen Richtungen versehen ist und eine die Montage mehrerer Teile unter Verwendung einer Haltevorrichtung, die an einem der Transfermechanismen angebracht ist, mit einem hohen Grad an Genauigkeit durchführen kann, sowie an einem Verfahren zum Einstellen einer solchen Montagevorrichtung. Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Montagevorrichtung bereitzustellen, die mit Transfermechanismen in drei zueinander orthogonalen Richtungen versehen ist und die eine Montage mehrerer Teile unter Verwendung einer Haltevorrichtung, die an einem der Transfermechanismen angebracht ist, mit einem hohen Grad an Genauigkeit durchführen kann, sowie ein Verfahren zum Einstellen einer solchen Montagevorrichtung.
Mittel zur Lösung der Aufgabe
Eine Montagevorrichtung gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung weist auf: einen x-Achsen-Transfermechanismus, einen y-Achsen-Transfermechanismus, einen z-Achsen-Transfermechanismus, eine Haltevorrichtung zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, eine Basis, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, eine erste Kamera, die an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und eine zweite Kamera, die an der Basis derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft.
Mit der Montagevorrichtung gemäß dem vorliegenden Aspekt können Koordinaten einer Position der Haltevorrichtung unter Verwendung der ersten Kamera und der zweiten Kamera mit einem hohen Grad an Genauigkeit ermittelt werden, sodass die Montage mehrerer Teile mit einem hohen Grad an Genauigkeit durchgeführt werden kann.
In der Montagevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform des ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung sind sowohl die erste Kamera als auch die zweite Kamera derart konfiguriert, dass sie um ihre jeweiligen optischen Achsen rotieren.
In der vorliegenden Ausführungsform sind sowohl die erste Kamera als auch die zweite Kamera derart konfiguriert, dass sie um ihre jeweiligen optischen Achsen rotieren, sodass die Kamerapositionen leicht eingestellt werden können.
Ein Verfahren zum Einstellen einer Montagevorrichtung gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird für eine Montagevorrichtung verwendet, die versehen ist mit einem x-Achsen-Transfermechanismus, einem y-Achsen-Transfermechanismus, einem z-Achsen-Transfermechanismus, einer Haltevorrichtung zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, einer Basis, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, einer ersten Kamera, die an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und einer zweiten Kamera, die an der Basis derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft. Das Verfahren weist die folgenden Schritte auf: Einstellen einer Position der zweiten Kamera unter Verwendung eines Bildes der zweiten Kamera, sodass der Transfer des x-Achsen-Transfermechanismus in der x-Achsen-Richtung des Bildes der zweiten Kamera erfolgt, und der Transfer des y-Achsen-Transfermechanismus in der y-Achsen-Richtung des Bildes der zweiten Kamera erfolgt, Anordnen einer Ausrichtungsmarkierung, die durch eine erste Linie und eine zweite Linie gebildet ist, die orthogonal zueinander sind, zwischen der ersten Kamera und der zweiten Kamera, sodass die erste und die zweite Linie orthogonal zu der z-Achse der Montagevorrichtung sind und eine von der ersten und der zweiten Linie in einer von der x-Achsen-Richtung und der y-Achsen-Richtung des Bildes der zweiten Kamera verläuft, Einstellen einer Position der ersten Kamera unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera, sodass eine von der ersten und zweiten Linie in einer von der x-Achsen-Richtung und der y-Achsen-Richtung des Bildes der ersten Kamera verläuft, Ermitteln eines ersten Satzes von Koordinaten des Schnittpunktes der ersten Linie und der zweiten Linie in Bezug auf den Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes der ersten Kamera unter Verwendung des Bildes der ersten Kamera, Ermitteln eines zweiten Satzes von Koordinaten eines Referenzpunktes der Haltevorrichtung in Bezug auf den Schnittpunkt der ersten Linie und der zweiten Linie unter Verwendung des Bildes der zweiten Kamera, und Ermitteln eines dritten Satzes von Koordinaten des Referenzpunktes der Haltevorrichtung in Bezug auf den Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes der ersten Kamera aus dem ersten und zweiten Satz von Koordinaten.
Durch das Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß dem vorliegenden Aspekt können Koordinaten einer Position der Haltevorrichtung unter Verwendung von Bildern der ersten Kamera und der zweiten Kamera mit einem hohen Grad an Genauigkeit ermittelt werden, und somit kann die Montage mehrerer Teile mit einem hohen Grad an Genauigkeit durchgeführt werden.
Bei dem Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung wird in dem Schritt des Einstellens einer Position der zweiten Kamera auch eine Positionsbeziehung zwischen der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung eingestellt.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird geprüft, ob der x-Achsen-Transfermechanismus und der y-Achsen-Transfermechanismus orthogonal zueinander sind, und ein Winkel zwischen beiden wird eingestellt, wenn beide nicht orthogonal zueinander sind. Dementsprechend können Fehler in den Koordinaten einer Position des Referenzpunktes der Haltevorrichtung, die dadurch verursacht werden, dass der x-Achsen-Transfermechanismus und der y-Achsen-Transfermechanismus nicht orthogonal zueinander sind, reduziert werden.
Bei dem Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung weist der Schritt des Einstellens einer Position der zweiten Kamera und einer Positionsbeziehung zwischen der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung die folgenden Teilschritte auf: Einstellen einer Position der zweiten Kamera unter Verwendung eines Bildes der zweiten Kamera, sodass einer von dem x-Achsen-Transfermechanismus und dem y-Achsen-Transfermechanismus dazu veranlasst wird, in Richtung der korrespondierenden Achse der zweiten Kamera zu transferieren, und Einstellen einer Positionsbeziehung zwischen der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung unter Verwendung des Bildes der zweiten Kamera, sodass der andere von dem x-Achsen-Transfermechanismus und dem y-Achsen-Transfermechanismus dazu veranlasst wird, in Richtung der korrespondierenden Achse der zweiten Kamera zu transferieren.
Bei dem Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung wird im Schritt des Anordnens der Ausrichtungsmarkierung die Ausrichtungsmarkierung derart angeordnet, dass der Schnittpunkt der ersten und zweiten Linie mit dem Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes der zweiten Kamera übereinstimmt.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann das Bild der zweiten Kamera leichter verarbeitet werden.
Bei dem Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform des zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung schneiden sich die x-Achse und die y-Achse des Bildes der ersten Kamera in der Mitte des Bildes der ersten Kamera, und die x-Achse und die y-Achse des Bildes der zweiten Kamera schneiden sich in der Mitte des Bildes der zweiten Kamera.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden Koordinaten in Bildern der Kameras leichter zu erfassen sein.
Ein Verfahren zum Einstellen einer Montagevorrichtung gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird für eine Montagevorrichtung verwendet, die versehen ist mit einem x-Achsen-Transfermechanismus, einem y-Achsen-Transfermechanismus, einem z-Achsen-Transfermechanismus, einer Haltevorrichtung zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, einer Basis, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, einer ersten Kamera, die an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und einer zweiten Kamera, die an der Basis derart angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft. Das Verfahren weist die folgenden Schritte auf: Transferieren der Haltevorrichtung durch den x-Achsen-Transfermechanismus und den y-Achsen-Transfermechanismus, sodass in einem Bild der zweiten Kamera der Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse und ein Referenzpunkt der Haltevorrichtung miteinander übereinstimmen, und Speichern der Koordinaten der Position nach dem Transfer als (Xc, Yc), Transferieren der Haltevorrichtung, die ein Werkstück hält, durch den x-Achsen-Transfermechanismus und den y-Achsen-Transfermechanismus zu den Koordinaten der Position (Xc, Yc), und Erhalten von Koordinaten eines Referenzpunktes des Werkstücks in Bezug auf den Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse im Bild der zweiten Kamera, um Differenzen zwischen den Koordinaten des Referenzpunktes der Haltevorrichtung und Koordinaten des Referenzpunktes des Werkstücks zu erhalten.
Durch das Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß dem vorliegenden Aspekt können Differenzen zwischen den Koordinaten des Referenzpunkts der Haltevorrichtung und Koordinaten des Referenzpunkts des Werkstücks erhalten werden, während die Haltevorrichtung das Werkstück hält, und somit kann die Montage des Werkstücks und eines anderen Teils mit einem hohen Grad an Genauigkeit durchgeführt werden.
Figurenliste

1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Montagevorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
2 zeigt eine Seitenansicht der Montagevorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
3 zeigt einen Querschnitt, der die Mittelachse der Unterdruckspannvorrichtung enthält,
4 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung eines Verfahrens, durch welches eine auf dem Tisch angeordnete Linse durch die Montagevorrichtung an einen Linsentubus angebracht wird,
5 zeigt einen Querschnitt, der die Mittelachsen der Linse und des Linsentubus enthält, in dem Zustand, in dem die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 übereinstimmen,
6 zeigt einen Querschnitt, der die Mittelachse der Linse und des Linsentubus enthält, in dem Zustand, in dem die Linse in den Linsentubus eingesetzt worden ist,
7 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung eines Verfahrens zum Einstellen der erfindungsgemäßen Montagevorrichtung, durch welches (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung in einem Bild der ersten Kamera ermittelt werden,
8 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung des Schritts S2010 von 7,
9 zeigt ein Beispiel für eine Ausrichtungsmarkierung,
10 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung des Schritts S2040 von 7,
11 ist ein Flussdiagramm, das beschreibt, wie die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung in einem Bild der ersten Kamera in der herkömmlichen Montagevorrichtung ermittelt werden, und
12 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung eines weiteren Verfahrens zum Einstellen der Montagevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.

Beschreibung von Ausführungsformen
1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Montagevorrichtung 100 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt eine Seitenansicht der Montagevorrichtung 100 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Die Montagevorrichtung 100 ist mit einem x-Achsen-Transfermechanismus 101, der ein Mechanismus für einen Transfer in einer x-Achsen-Richtung ist, einem y-Achsen-Transfermechanismus 103, der ein Mechanismus für einen Transfer in einer y-Achsen-Richtung ist, und einem z-Achsen-Transfermechanismus 105, der ein Mechanismus für einen Transfer in einer z-Achsen-Richtung ist, ausgestattet. Eine Haltevorrichtung 107 zum Halten eines Werkstücks ist an dem z-Achsen-Transfermechanismus 105 derart angebracht, dass die Vorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist. Der Transfer in der z-Achsen-Richtung kann durch einen Zylinder erfolgen. Der z-Achsen-Transfermechanismus 105 ist derart an dem y-Achsen-Transfermechanismus 103 befestigt, dass der z-Achsen-Transfermechanismus in der y-Achsen-Richtung transferieren kann. Der y-Achsen-Transfermechanismus 103 ist derart an dem x-Achsen-Transfermechanismus 101 befestigt, dass der y-Achsen-Transfermechanismus in der x-Achsen-Richtung transferieren kann. Der x-Achsen-Transfermechanismus 101 ist über Abstandshalter 109 an einer Basis 1000 angebracht. An der Basis 1000 befindet sich ein Tisch 300, an dem ein zu transferierendes Objekt angeordnet ist. Auf diese Weise kann die Haltevorrichtung 107 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101, den y-Achsen-Transfermechanismus 103 und den z-Achsen-Transfermechanismus 105 in der x-Achsen-Richtung, in der y-Achsen-Richtung und in der z-Achsen-Richtung in Bezug auf die Basis 1000 transferiert werden. In der Beschreibung der vorliegenden Ausführungsform wird davon ausgegangen, dass es sich bei der Haltevorrichtung 107 um eine Unterdruckspannvorrichtung handelt.
3 zeigt einen Querschnitt, der die Mittelachse der Spannvorrichtung 107 enthält. Die Spannvorrichtung 107 ist mit einem Saugabschnitt 109 versehen. In einem Raum zwischen dem Saugabschnitt 109 und einem Werkstück 500 wird ein Vakuum erzeugt, indem Luft durch eine Luftleitung 111 dazwischen abgesaugt wird, um das Werkstück 500 an dem Saugabschnitt 109 zu fixieren. Als Haltevorrichtung kann ein anderer Mechanismus als eine Unterdruckspannvorrichtung verwendet werden, z. B. eine mechanische Vorrichtung.
Eine erste Kamera 201 ist derart an einem Körper des z-Achsen-Transfermechanismus 105 angebracht, dass die optische Achse der ersten Kamera 201 in die z-Achsen-Richtung verläuft. Der Körper des z-Achsen-Transfermechanismus 105 bezieht sich auf einen Abschnitt, der einen sich in der z-Achsen-Richtung bewegenden Abschnitt trägt. Eine zweite Kamera 203 ist an der Basis 1000 derart angebracht, dass die optische Achse der zweiten Kamera 203 in der z-Achsen-Richtung verläuft und die zweite Kamera 203 der ersten Kamera 201 im Wesentlichen gegenüberliegt. Vorzugsweise ist die Befestigung der ersten Kamera 201 und der zweiten Kamera 203 derart ausgeführt, dass jede Kamera um ihre jeweilige optische Achse gedreht werden kann. Zum Beispiel kann jede Kamera an einem Drehtisch befestigt sein, der zur Einstellung drehbar ist. Ferner kann in Kombination mit dem Drehtisch ein Kipptisch verwendet werden, mit dem die Neigung einer Fläche, an der jede Kamera angebracht ist, eingestellt werden kann.
Nachfolgend wird beispielhaft ein Verfahren beschrieben, durch welches eine auf dem Tisch 300 angeordnete Linse 500 durch die Montagevorrichtung 100 an einen Linsentubus 600 angebracht wird.
4 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung eines Verfahrens, durch welches eine auf dem Tisch 300 angeordnete Linse 500 durch die Montagevorrichtung 100 an einen Linsentubus 600 angebracht wird.
In Schritt S1010 von 4 wird die Spannvorrichtung 107 unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera 201 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101 und den y-Achsen-Transfermechanismus 103 derart transferiert, dass (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 in Übereinstimmung mit (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 gebracht werden.
In Schritt S1020 von 4 wird die Spannvorrichtung 107 durch den z-Achsen-Transfermechanismus 105 derart transferiert, dass die Spannvorrichtung 107 mit einer Fläche der Linse 500 in Kontakt gebracht wird.
In Schritt S1030 von 4 wird in einem Raum zwischen dem Saugabschnitt 109 der Spannvorrichtung 107 und der Linse 500 ein Vakuum erzeugt, um die Linse 500 an der Spannvorrichtung 107 zu fixieren.
In Schritt S1040 von 4 wird die Spannvorrichtung 107 durch den z-Achsen-Transfermechanismus 105 zu einer Position in einer vorbestimmten Höhe transferiert.
In Schritt S1050 von 4 wird die Spannvorrichtung 107 unter Verwendung des Bildes der ersten Kamera 201 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101 und den y-Achsen-Transfermechanismus 103 derart transferiert, dass die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 in Übereinstimmung gebracht werden.
5 zeigt einen Querschnitt, der die Mittelachsen der Linse 500 und des Linsentubus 600 enthält, in dem Zustand, in dem die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 übereinstimmen. In 5 ist die Mittelachse der Linse 500 und des Linsentubus 600 als abwechselnd lange und kurze gestrichelte Linie dargestellt.
In Schritt S1060 von 4 wird die Linse 500 von der Spannvorrichtung 107 gelöst, indem die Aufrechterhaltung eines Vakuums zwischen der Spannvorrichtung 107 und der Linse 500 unterbrochen wird, und die Linse 500 wird in den Linsentubus 600 eingesetzt. Anschließend wird die Linse 500 mit einem Haftmittel, einer Schraubhalterung oder ähnlichem an dem Linsentubus 600 befestigt.
6 zeigt einen Querschnitt, der die Mittelachse der Linse 500 und des Linsentubus 600 enthält, in dem Zustand, in dem die Linse 500 in den Linsentubus 600 eingesetzt worden ist.
In 5 sollten die Mittelachse der Linse 500 und die Mittelachse des Linsentubus 600 vorzugsweise miteinander übereinstimmen. Tatsächlich besteht jedoch in einigen Fällen ein vorgegebener Abstand zwischen der Mittelachse der Linse 500 und der Mittelachse des Linsentubus 600. Der Abstand zwischen der Mittelachse der Linse 500 und der Mittelachse des Linsentubus 600 wird im Text der Beschreibung als Mittelachsenfehler bezeichnet. Der Linsentubus 600 weist eine sich verjüngende Außenwand auf, um die Linse 500 auch bei einem Mittelachsenfehler aufzunehmen. Der minimale Innendurchmesser eines verjüngten Abschnitts 601 des Linsentubus 600 ist gleich dem Außendurchmesser der Linse 500. Der maximale Innendurchmesser des verjüngten Abschnitts 601 des Linsentubus 600 ist der Wert, den man erhält, wenn man zu dem oben beschriebenen minimalen Innendurchmesser einen Wert addiert, der doppelt so groß ist wie ein maximal möglicher Wert T des Mittelachsenfehlers. Andererseits sollte der Mindestwert der Außenwanddicke des Linsentubus 600 gleich oder größer als ein vorbestimmter Wert Wmin sein. Ein Wert Db des Außendurchmessers in einem Querschnitt orthogonal zur Mittelachse des Linsentubus 600 ist eine Summe aus dem Wert DI des Außendurchmessers der Linse 500, dem Wert, der doppelt so groß ist wie der maximal mögliche Wert T des Mittelachsenfehlers, und dem Wert, der doppelt so groß ist wie der minimal mögliche Wert Wmin der Außenwanddicke, und kann durch den folgenden Ausdruck ausgedrückt werden. $Db = Dl + 2 \cdot T + 2 \cdot Wmin$
Dementsprechend steigt der Wert Db des Außendurchmessers in einem Querschnitt orthogonal zur Mittelachse des Linsentubus 600 mit dem maximal möglichen Wert T des Mittelachsenfehlers, was nachteiligerweise zu einer Vergrößerung des Linsentubus führt.
Die Ursachen für den Mittelachsenfehler werden weiter unten erörtert. In Schritt S1010 von 4 wird die Spannvorrichtung 107 unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera 201 derart transferiert, dass die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 in Übereinstimmung gebracht werden. Wenn die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 übereinstimmen, sollten die Mittelachse der Spannvorrichtung 107 und die Mittelachse der Linse 500 miteinander übereinstimmen. Ferner wird in Schritt S1050 von 4 unter Verwendung des Bildes der ersten Kamera 201 die Spannvorrichtung 107 derart transferiert, dass die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 in Übereinstimmung gebracht werden. Wenn die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 übereinstimmen, sollten die Mittelachse der Spannvorrichtung 107 und die Mittelachse des Linsentubus 600 miteinander übereinstimmen. Mit anderen Worten, wenn die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 übereinstimmen und die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 übereinstimmen, sollten die Mittelachse der Linse 500 und die Mittelachse des Linsentubus 600 miteinander übereinstimmen, und es sollte kein Mittelachsenfehler entstehen. Dementsprechend wird als Hauptursache für den Mittelachsenfehler ein Fehler in den (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 im Bild der ersten Kamera 201 angesehen.
Nachfolgend wird ein Verfahren beschrieben, durch welches die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 in einem Bild einer ersten Kamera in einer herkömmlichen Montagevorrichtung ermittelt werden. Die herkömmliche Montagevorrichtung ist identisch mit der oben beschriebenen Montagevorrichtung, mit der Ausnahme, dass letztere die zweite Kamera 203 aufweist, und dass bei letzterer die Befestigung der ersten Kamera 201 derart ausgeführt ist, dass die Kamera um die optische Achse gedreht werden kann.
11 ist ein Flussdiagramm, das beschreibt, wie die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 in einem Bild der ersten Kamera in der herkömmlichen Montagevorrichtung ermittelt werden.
In Schritt S5010 von 11 werden unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera die Koordinaten der Mitte einer Linse in Bezug auf die Mitte des Bildes der ersten Kamera ermittelt, wenn eine Spannvorrichtung an einer Referenzposition angeordnet ist.
In Schritt S5020 von 11 wird die Spannvorrichtung derart in die Mitte der Linse transferiert, dass die Mittelachse der Spannvorrichtung und die Mittelachse der Linse miteinander übereinstimmen, und es werden Koordinatendifferenzen erhalten, die mit dem Transfer der Spannvorrichtung korrespondieren. Die Übereinstimmung zwischen der Mittelachse der Spannvorrichtung und der Mittelachse der Linse wird z. B. visuell überprüft.
In Schritt S5030 von 11 werden die Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung in Bezug auf die Mitte des Bildes der ersten Kamera aus den Koordinaten der Mitte der Linse und den Koordinatendifferenzen, die mit dem Transfer der Spannvorrichtung korrespondieren, ermittelt.
Nachfolgend wird ein Verfahren beschrieben, durch welches in der erfindungsgemäßen Montagevorrichtung 100 die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 109 in einem Bild der ersten Kamera 201 ermittelt werden. Die Mitte der Spannvorrichtung 109 korrespondiert mit dem Referenzpunkt der in den Ansprüchen beschriebenen Haltevorrichtung.
7 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung eines Verfahrens zur Einstellung der Montagevorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung, durch welches die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 in einem Bild der ersten Kamera 201 ermittelt werden.
In Schritt S2010 von 7 werden unter Verwendung eines Bildes der zweiten Kamera 203 eine Position der zweiten Kamera 203 und eine Position des x-Achsen-Transfermechanismus oder des y-Achsen-Transfermechanismus eingestellt.
Wie oben beschrieben, ist die erste Kamera 201 an dem z-Achsen-Transfermechanismus 105 derart angebracht, dass die Richtung der optischen Achse mit der Richtung der z-Achse in Übereinstimmung gebracht wird. Die zweite Kamera 203 ist derart an der Basis 1000 befestigt, dass die Richtung der optischen Achse mit der Richtung der z-Achse übereinstimmt, und die zweite Kamera 203 ist im Wesentlichen der ersten Kamera 201 gegenüberliegend, wenn die Spannvorrichtung 107 in der Referenzposition gehalten wird. Die Anzahl der Pixel der ersten Kamera 201 und der zweiten Kamera 203 beträgt beispielsweise 4000 x 3000 (= 12 Millionen). Unter der Annahme, dass die Pixelauflösung 5 µm beträgt, beträgt ein Sichtfeld jeder Kamera 20,0 mm x 15,0 mm.
8 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung des Schritts S2010 von 7.
In Schritt S3010 von 8 wird eine Position der zweiten Kamera 203 derart eingestellt, dass in einem Bild der zweiten Kamera 203 die Richtung von einer von der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung 100 mit der Richtung der korrespondierenden einen von der x-Achse und der y-Achse des Bildes der zweiten Kamera 203 in Übereinstimmung gebracht wird. Genauer gesagt kann eine Position der zweiten Kamera 203 durch Drehen um die Mittelachse unter Verwendung des Drehtisches derart eingestellt werden, dass, wenn die Spannvorrichtung 107 durch einen von dem x-Achsen-Transfermechanismus und dem y-Achsen-Transfermechanismus transferiert wird, die Richtung des Transfers der Spannvorrichtung 107 mit der Richtung der korrespondierenden einen von der x-Achse und y-Achse im Bild der zweiten Kamera 203 in Übereinstimmung gebracht wird.
Die x-Achse und die y-Achse eines Kamerabildes sind in zwei Richtungen definiert, die orthogonal zur optischen Achse der Kamera und orthogonal zueinander verlaufen. Die x-Achse und die y-Achse werden derart festgelegt, dass sich die Achsen auf der optischen Achse der Kamera schneiden. Dementsprechend liegt der Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse in der Mitte des Bildes. Die (x, y)-Koordinaten eines Kamerabildes werden entsprechend der x-Achse und der y-Achse des Kamerabildes ermittelt.
In Schritt S3020 von 8 wird eine Position des Transfermechanismus, die mit der anderen von der x-Achse und der y-Achse korrespondiert, derart eingestellt, dass die Richtung der anderen von der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung 100 mit der Richtung der entsprechenden einen von der x-Achse und der y-Achse in dem Bild der zweiten Kamera 203 in Übereinstimmung gebracht wird. In diesem Schritt wird überprüft, ob der x-Achsen-Transfermechanismus 101 und der y-Achsen-Transfermechanismus 103 orthogonal zueinander sind. Wenn sie nicht orthogonal zueinander sind, wird ein Winkel zwischen beiden derart eingestellt, dass sie orthogonal zueinander sind. Eine Schraube oder eine Unterlegscheibe für die Winkeleinstellung kann im Voraus bereitgestellt werden.
In Schritt S2020 von 7 wird eine Ausrichtungsmarkierung 400 zwischen der ersten Kamera 201 und der zweiten Kamera 203 angeordnet.
9 zeigt ein Beispiel für die Ausrichtungsmarkierung 400. Die Ausrichtungsmarkierung 400 des vorliegenden Beispiels ist durch zwei orthogonal zueinander stehende Linien gebildet, die auf einer transparenten Platte markiert sind. Die Platte mit der Ausrichtungsmarkierung 400 kann, wie in 1 gezeigt, am Tisch 300 befestigt werden. Die Platte mit der Ausrichtungsmarkierung 400 ist derart angeordnet, dass die Platte parallel zur x-Achse und zur y-Achse der Montagevorrichtung 100 verläuft, und die Ausrichtungsmarkierung 400 befindet sich im Sichtfeld der ersten Kamera 201, die am z-Achsen-Transfermechanismus 105 befestigt ist, und im Sichtfeld der zweiten Kamera 203, die an der Basis 1000 befestigt ist. Ferner ist die Platte mit der Ausrichtungsmarkierung 400 derart angeordnet, dass in einem Bild der zweiten Kamera 203 der Schnittpunkt der beiden Linien, die orthogonal zueinander sind, der Ausrichtungsmarkierung 400 mit der Mitte des Bildes in Übereinstimmung gebracht wird und eine der beiden oben beschriebenen Linien mit der x-Achse oder der y-Achse des Bildes der zweiten Kamera 203 in Übereinstimmung gebracht wird.
Die erste Kamera 201 und die zweite Kamera 203 werden derart eingestellt, dass sie auf die Position der Ausrichtungsmarkierung 400 fokussieren.
In Schritt S2030 von 7 wird unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera 201 eine Position der ersten Kamera 201 eingestellt. Genauer gesagt wird die erste Kamera 201 um die optische Achse gedreht, indem der Drehtisch oder ähnliches verwendet wird, sodass in einem Bild der ersten Kamera 201 eine von der x-Achse und der y-Achse des Bildes mit der korrespondierenden Linie der Ausrichtungsmarkierung 400 in Übereinstimmung gebracht wird.
In Schritt S2040 von 7 werden unter Verwendung der Bilder der ersten Kamera 201 und der zweiten Kamera 203 die Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung in Bezug auf die Mitte des Bildes der ersten Kamera 201 erhalten.
10 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung von Schritt S2040 in 7.
In Schritt S4010 von 10 wird unter Verwendung des Bildes der ersten Kamera 201 ein erster Satz von Koordinaten des Schnittpunkts der Ausrichtungsmarkierung 400 in Bezug auf die Mitte des Bildes der ersten Kamera 201 ermittelt.
In Schritt S4020 von 10 wird unter Verwendung des Bildes der zweiten Kamera 203 ein zweiter Satz von Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 in Bezug auf die Mitte des Bildes der zweiten Kamera 203 ermittelt.
In Schritt S4030 von 10 werden aus dem ersten Satz von Koordinaten und dem zweiten Satz von Koordinaten die Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 in Bezug auf die Mitte des Bildes der ersten Kamera 201 ermittelt.
Wenn die Linse 500 am Linsentubus 600 angebracht wird, nachdem die Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 durch das in 7 gezeigte Einstellverfahren ermittelt wurden, kann die Montage mit einem hohen Grad an Genauigkeit durchgeführt werden.
12 ist ein Flussdiagramm zur Beschreibung eines weiteren Verfahrens zum Einstellen der Montagevorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung. In dem vorliegenden Einstellverfahren werden die Koordinaten der Mitte der Linse 500, die das Werkstück ist, in dem im Flussdiagramm von 4 dargestellten Verfahren ermittelt. Die Schritte S6020-S6050 im Flussdiagramm von 12 korrespondieren mit den Schritten S1010-S1040 im Flussdiagramm von 4, und der Schritt S6090 im Flussdiagramm von 12 korrespondiert mit dem Schritt S1060 im Flussdiagramm von 4.
In Schritt S6010 von 12 wird die Spannvorrichtung 107 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101 und den y-Achsen-Transfermechanismus 103 derart transferiert, dass in einem Bild der zweiten Kamera 203 die Mitte des Bildes und die Mitte der Spannvorrichtung miteinander in Übereinstimmung gebracht werden. Die Koordinaten der Position nach dem Transfer werden als (Xc, Yc) gespeichert. Die Koordinaten der Position sind die, die die Position des x-Achsen-Transfermechanismus 101 und die Position des y-Achsen-Transfermechanismus 103 angeben. Die Mitte des Bildes ist der Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes.
In Schritt S6020 von 12 wird die Spannvorrichtung 107 unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera 201 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101 und den y-Achsen-Transfermechanismus 103 derart transferiert, dass die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 in Übereinstimmung gebracht werden.
In Schritt S6030 von 12 wird die Spannvorrichtung 107 durch den z-Achsen-Transfermechanismus 105 derart transferiert, dass die Spannvorrichtung 107 mit einer Fläche der Linse 500 in Kontakt gebracht wird.
In Schritt S6040 von 12 wird in einem Raum zwischen dem Saugabschnitt 109 der Spannvorrichtung 107 und der Linse 500 ein Vakuum erzeugt, um die Linse 500 an der Spannvorrichtung 107 zu fixieren.
In Schritt S6050 von 12 wird die Spannvorrichtung 107 durch den z-Achsen-Transfermechanismus 105 in eine Position in einer vorbestimmten Höhe transferiert.
In Schritt S6060 von 12 wird die Spannvorrichtung 107 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101 und den y-Achsen-Transfermechanismus 103 zu den Koordinaten der Position (Xc, Yc) transferiert.
In Schritt S6070 von 12 werden im Bild der zweiten Kamera 203 die Koordinaten der Mitte der Linse 500 erhalten. Da an den Koordinaten der Position (Xc, Yc) die Mitte der Spannvorrichtung 107 mit der Mitte des Bildes der zweiten Kamera 203 übereinstimmt, korrespondieren die oben beschriebenen Koordinaten der Mitte der Linse 500 in Bezug auf die Mitte des Bildes der zweiten Kamera 203 mit den Differenzen zwischen den Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung 107 und den Koordinaten der Mitte der Linse 500.
In Schritt S6080 von 12 wird die Spannvorrichtung 107 durch den x-Achsen-Transfermechanismus 101 und den y-Achsen-Transfermechanismus 103 derart transferiert, dass unter Verwendung des Bildes der ersten Kamera 201 die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 mit den (x, y)-Koordinaten der Mitte des Linsentubus 600 in Übereinstimmung gebracht werden. Für den Transfer können die (x, y)-Koordinaten der Mitte der Linse 500 mit einem hohen Grad an Genauigkeit unter Verwendung der oben beschriebenen Differenzen zwischen den Koordinaten ermittelt werden.
In Schritt S6090 von 12 wird die Linse 500 von der Spannvorrichtung 107 gelöst, indem das Aufrechterhalten eines Vakuums zwischen der Spannvorrichtung 107 und der Linse 500 beendet wird, und die Linse 500 wird in den Linsentubus 600 eingesetzt. Anschließend wird die Linse 500 mit einem Haftmittel, einer Schraubhalterung oder ähnlichem an dem Linsentubus 600 befestigt.
Da die Differenzen zwischen den Koordinaten der Mitte der Spannvorrichtung und den Koordinaten der Mitte der Linse durch das in 12 gezeigte Einstellverfahren erhalten werden können, lassen sich die Mittelachse der Linse und die Mittelachse des Linsentubus mit einem hohen Grad an Genauigkeit ausrichten, selbst wenn die Mittelachse der Linse und die Mittelachse des Linsentubus nicht miteinander übereinstimmen, wenn die Spannvorrichtung die Linse hält.
Gemäß einem Verfahren der vorliegenden Erfindung kann ein maximal möglicher Wert T des Mittelachsenfehlers um mehrere zehn µm gegenüber einem herkömmlichen Verfahren verringert werden. Wenn der Durchmesser der Linse 500 1-2 mm beträgt, kann der Durchmesser des Linsentubus 600 um mehrere Prozent reduziert werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2015530276 A [0005]

Claims

Montagevorrichtung, aufweisend: einen x-Achsen-Transfermechanismus, einen y-Achsen-Transfermechanismus, einen z-Achsen-Transfermechanismus, eine Haltevorrichtung zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, eine Basis, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, eine erste Kamera, die derart an dem z-Achsen-Transfermechanismus angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und eine zweite Kamera, die derart an der Basis angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft.
Montagevorrichtung nach Anspruch 1, wobei sowohl die erste Kamera als auch die zweite Kamera derart konfiguriert sind, dass sie sich um ihre jeweiligen optischen Achsen drehen.
Verfahren zum Einstellen einer Montagevorrichtung, aufweisend: einen x-Achsen-Transfermechanismus, einen y-Achsen-Transfermechanismus, einen z-Achsen-Transfermechanismus, eine Haltevorrichtung zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, eine Basis, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, eine erste Kamera, die derart an dem z-Achsen-Transfermechanismus angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und eine zweite Kamera, die derart an der Basis angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Einstellen einer Position der zweiten Kamera unter Verwendung eines Bildes der zweiten Kamera, sodass der Transfer des x-Achsen-Transfermechanismus in der x-Achsen-Richtung des Bildes der zweiten Kamera erfolgt, und der Transfer des y-Achsen-Transfermechanismus in der y-Achsen-Richtung des Bildes der zweiten Kamera erfolgt, Anordnen einer Ausrichtungsmarkierung, die durch eine erste Linie und eine zweite Linie gebildet ist, die orthogonal zueinander sind, zwischen der ersten Kamera und der zweiten Kamera, sodass die erste und die zweite Linie orthogonal zur z-Achse der Montagevorrichtung verlaufen und eine von der ersten und der zweiten Linie in einer von der x-Achsen-Richtung und der y-Achsen-Richtung des Bildes der zweiten Kamera verläuft, Einstellen einer Position der ersten Kamera unter Verwendung eines Bildes der ersten Kamera, sodass eine von der ersten und zweiten Linie in einer von der x-Achsen-Richtung und der y-Achsen-Richtung des Bildes der ersten Kamera verläuft, Ermitteln eines ersten Satzes von Koordinaten des Schnittpunktes der ersten Linie und der zweiten Linie in Bezug auf den Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes der ersten Kamera, unter Verwendung des Bildes der ersten Kamera, Ermitteln eines zweiten Satzes von Koordinaten eines Referenzpunktes der Haltevorrichtung in Bezug auf den Schnittpunkt der ersten Linie und der zweiten Linie unter Verwendung des Bildes der zweiten Kamera, und Ermitteln eines dritten Satzes von Koordinaten des Referenzpunktes der Haltevorrichtung in Bezug auf den Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes der ersten Kamera aus dem ersten und zweiten Satz von Koordinaten.
Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung nach Anspruch 3, wobei in dem Schritt des Einstellens einer Position der zweiten Kamera auch eine Positionsbeziehung zwischen der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung eingestellt wird.
Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung nach Anspruch 4, wobei der Schritt des Einstellens einer Position der zweiten Kamera und einer Positionsbeziehung zwischen der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung die folgenden Teilschritte aufweist: Einstellen einer Position der zweiten Kamera unter Verwendung eines Bildes der zweiten Kamera, sodass einer von dem x-Achsen-Transfermechanismus und dem y-Achsen-Transfermechanismus dazu veranlasst wird, in die Richtung der korrespondierenden Achse der zweiten Kamera zu transferieren, und Einstellen einer Positionsbeziehung zwischen der x-Achse und der y-Achse der Montagevorrichtung unter Verwendung des Bildes der zweiten Kamera, sodass der andere von dem x-Achsen-Transfermechanismus und dem y-Achsen-Transfermechanismus dazu veranlasst wird, in die Richtung der korrespondierenden Achse der zweiten Kamera zu transferieren.
Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei in dem Schritt des Anordnens der Ausrichtungsmarkierung die Ausrichtungsmarkierung derart angeordnet wird, dass der Schnittpunkt der ersten und der zweiten Linie mit dem Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse des Bildes der zweiten Kamera in Übereinstimmung gebracht wird.
Verfahren zum Einstellen der Montagevorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei sich die x-Achse und die y-Achse des Bildes der ersten Kamera in der Mitte des Bildes der ersten Kamera schneiden und die x-Achse und die y-Achse des Bildes der zweiten Kamera sich in der Mitte des Bildes der zweiten Kamera schneiden.
Verfahren zum Einstellen einer Montagevorrichtung, aufweisend: einen x-Achsen-Transfermechanismus, einen y-Achsen-Transfermechanismus, einen z-Achsen-Transfermechanismus, eine Haltevorrichtung zum Halten eines Werkstücks, wobei die Haltevorrichtung an dem z-Achsen-Transfermechanismus derart angebracht ist, dass die Haltevorrichtung in der z-Achsen-Richtung beweglich ist, eine Basis, die eine zur x-Achse und zur y-Achse parallele Fläche aufweist, eine erste Kamera, die derart an dem z-Achsen-Transfermechanismus angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, und eine zweite Kamera, die derart an der Basis angebracht ist, dass die optische Achse in der z-Achsen-Richtung verläuft, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Transferieren der Haltevorrichtung durch den x-Achsen-Transfermechanismus und den y-Achsen-Transfermechanismus, sodass in einem Bild der zweiten Kamera der Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse und ein Referenzpunkt der Haltevorrichtung miteinander in Übereinstimmung gebracht werden, und Speichern der Koordinaten der Position nach dem Transfer als (Xc, Yc), Transferieren der Haltevorrichtung, die ein Werkstück hält, durch den x-Achsen-Transfermechanismus und den y-Achsen-Transfermechanismus zu den Koordinaten der Position (Xc, Yc), und Erhalten von Koordinaten eines Referenzpunktes des Werkstücks in Bezug auf den Schnittpunkt der x-Achse und der y-Achse im Bild der zweiten Kamera, um Differenzen zwischen den Koordinaten des Referenzpunktes der Haltevorrichtung und den Koordinaten des Referenzpunktes des Werkstücks zu erhalten.