DE112013002936T5 - Thermischer Durchflussmesser - Google Patents

Thermischer Durchflussmesser Download PDF

Info

Publication number
DE112013002936T5
DE112013002936T5 DE112013002936.7T DE112013002936T DE112013002936T5 DE 112013002936 T5 DE112013002936 T5 DE 112013002936T5 DE 112013002936 T DE112013002936 T DE 112013002936T DE 112013002936 T5 DE112013002936 T5 DE 112013002936T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
housing
flow meter
injection molding
circuit
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE112013002936.7T
Other languages
English (en)
Other versions
DE112013002936B4 (de
Inventor
c/o Hitachi Car Engineering Co. Tashiro Shinobu
c/o Hitachi Automotive Systems Tokuyasu Noboru
c/o Hitachi Automotive Systems L Uenodan Akira
c/o Hitachi Automotive Systems L Hanzawa Keiji
c/o Hitachi Automotive Systems Morino Takeshi
c/o Hitachi Automotive Systems Doi Ryosuke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Astemo Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Automotive Systems Ltd filed Critical Hitachi Automotive Systems Ltd
Publication of DE112013002936T5 publication Critical patent/DE112013002936T5/de
Application granted granted Critical
Publication of DE112013002936B4 publication Critical patent/DE112013002936B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/564—Details not otherwise provided for, e.g. protection against moisture
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/02—Circuit arrangements for generating control signals
    • F02D41/18—Circuit arrangements for generating control signals by measuring intake air flow
    • F02D41/187—Circuit arrangements for generating control signals by measuring intake air flow using a hot wire flow sensor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/6965—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters comprising means to store calibration data for flow signal calculation or correction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G01F1/699—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters by control of a separate heating or cooling element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/006—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus characterised by the use of a particular material, e.g. anti-corrosive material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
    • G01F15/04—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
    • G01F15/04—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured
    • G01F15/043—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature of gases to be measured using electrical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/14—Casings, e.g. of special material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/18—Supports or connecting means for meters
    • G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M15/00—Testing of engines
    • G01M15/04—Testing internal-combustion engines
    • G01M15/10—Testing internal-combustion engines by monitoring exhaust gases or combustion flame
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02—Containers; Seals
    • H01L23/10—Containers; Seals characterised by the material or arrangement of seals between parts, e.g. between cap and base of the container or between leads and walls of the container
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001—Core members of the connector
    • H01L2224/45099—Material
    • H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805—Shape
    • H01L2224/4809—Loop shape
    • H01L2224/48091—Arched
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481—Disposition
    • H01L2224/48135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732—Location after the connecting process
    • H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265—Layer and wire connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details

Abstract

Ein thermischer Durchflussmesser wird bereitgestellt, welcher verhindern kann, dass er infolge des Anhaftens von Wasser oder dergleichen an einem abgeschnittenen Endteil der aus dem Spritzgussharz des Schaltungsgehäuses freigelegten Zuleitung zerfressen wird. Ein thermischer Durchflussmesser 300 der vorliegenden Erfindung ist ein thermischer Durchflussmesser mit einem Schaltungsgehäuse 400, welches durch Befestigen eines Erfassungselements 518 an durch einen Stützrahmen 512 gestützten Zuleitungen 544 und 545, Vergießen mit einem Spritzgussharz und Abschneiden des Stützrahmens 512 gebildet ist, wobei abgeschnittene Endteile 544a und 545a der durch Abschneiden des Stützrahmens 512 vom Spritzgussharz des Schaltungsgehäuses 400 freigelegten Zuleitungen 544 und 545 durch einen Abdeckteil 371 bedeckt sind.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen thermischen Durchflussmesser.
  • Stand der Technik
  • Ein thermischer Durchflussmesser, welcher einen Durchfluss von Gas misst, ist so konfiguriert, dass er einen Luftmengenmessteil zum Messen eines Durchflusses enthält, so dass ein Durchfluss des Gases gemessen wird, indem eine Wärmeübertragung zwischen dem Luftmengenmessteil und dem Gas als einem Messobjekt durchgeführt wird. Der durch den thermischen Durchflussmesser gemessene Durchfluss findet als ein bedeutender Steuerparameter für verschiedene Vorrichtungen breite Anwendung. Der thermische Durchflussmesser ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Durchfluss von Gas wie ein Massendurchfluss gegenüber anderen Arten von Durchflussmessern mit relativ hoher Genauigkeit gemessen werden kann.
  • Jedoch ist es wünschenswert, die Messgenauigkeit des Gasdurchflusses weiter zu verbessern. Zum Beispiel werden an ein Fahrzeug, in welches ein Verbrennungsmotor eingebaut ist, hohe Anforderungen hinsichtlich Kraftstoffverbrauch oder Abgasreinigung gestellt. Um diesen Anforderungen zu genügen, ist es wünschenswert, die Ansaugluftmenge, welche ein Hauptparameter des Verbrennungsmotors ist, mit hoher Genauigkeit zu messen. Der thermische Durchflussmesser, welcher die zum Verbrennungsmotor geleitete Ansaugluftmenge misst, weist einen Nebendurchgang, welcher einen Teil der Ansaugluftmenge aufnimmt, und einen im Nebendurchgang angeordneten Luftmengenmessteil auf. Der Luftmengenmessteil misst einen Zustand des durch den Nebendurchgang strömenden Messobjekt-Gases, indem er eine Wärmeübertragung mit dem Messobjekt-Gas durchführt, und gibt ein elektrisches Signal aus, welches der zum Verbrennungsmotor geleiteten Ansaugluftmenge entspricht. Dieses Verfahren wird zum Beispiel in JP 2011-252796 A (PTL 1) erörtert.
  • Des Weiteren offenbart JP 2010-197102 A (PTL 2) einen Aufbau einer Durchflusssensor-Vorrichtung, welche durch Befestigen eines Schaltungs-Chips und eines Sensorchips an einer Zuleitung, Vergießen mit einem Spritzgussharz und Abschneiden eines Stützrahmens gebildet ist.
  • Druckschriftenverzeichnis
  • Patentliteratur
    • PTL 1: JP 2011-252796 A
    • PTL 2: JP 2010-197102 A
  • Kurzbeschreibung der Erfindung
  • Technisches Problem
  • In der in Patentliteratur 2 offenbarten Durchflusssensor-Vorrichtung ist ein abgeschnittener Endteil der Zuleitung, von welchem der Stützrahmen abgeschnitten wurde, aus dem Spritzgussharz freigelegt. Zum Beispiel wenn die Durchflusssensor-Vorrichtung in einen Ansaugkanal eines Verbrennungsmotors eingebaut ist und zur Messung des Durchflusses eines durch den Ansaugkanal strömenden Messobjekt-Gases verwendet wird, haftet dem Messobjekt-Gas beigemischtes Wasser oder Salzwasser demgemäß am abgeschnittenen Endteil an, wodurch die Leitung zerfressen werden kann. Alternativ dringt das Wasser oder das Salzwasser durch den abgeschnittenen Endteil in die Vorrichtung ein, wodurch der Schaltungs-Chip und der Sensorchip zerfressen werden können.
  • In Anbetracht der obigen Probleme stellt die vorliegende Erfindung einen thermischen Durchflussmesser bereit, welcher das Anhaften von Wasser oder Salzwasser an einem aus einem Spritzgussharz eines Schaltungsgehäuses freigelegten, abgeschnittenen Endteil verhindern kann.
  • Problemlösung
  • Um die obigen Probleme zu lösen, ist ein thermischer Durchflussmesser der vorliegenden Erfindung ein thermischer Durchflussmesser mit einem Schaltungsgehäuse, welches durch Befestigen eines Erfassungselements an einer durch einen Stützrahmen gestützten Zuleitung, Vergießen mit einem Spritzgussharz und Abschneiden des Stützrahmens gebildet ist, wobei ein abgeschnittener Endteil der durch Abschneiden des Stützrahmens aus dem Spritzgussharz des Schaltungsgehäuses freigelegten Zuleitung durch einen Abdeckteil bedeckt ist.
  • Vorteilhafte Auswirkungen der Erfindung
  • Gemäß dem thermischen Durchflussmesser der vorliegenden Erfindung kann verhindert werden, dass Wasser oder dergleichen an einem abgeschnittenen Endteil einer Zuleitung anhaftet, und kann verhindert werden, dass die Zuleitung zerfressen wird und Wasser oder dergleichen in ein Schaltungsgehäuse eindringt. Weitere Aufgaben, Beschaffenheiten und Wirkungen der Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung der folgenden Ausführungsformen ersichtlich.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Systemzeichnung zur Veranschaulichung eines Verbrennungsmotor-Steuerungssystems, in welchem ein thermischer Durchflussmesser gemäß einer Ausführungsform der Erfindung verwendet wird.
  • Die 2(A) und 2(B) sind Zeichnungen zur Veranschaulichung eines Aussehens des thermischen Durchflussmessers, wobei 2(A) eine Ansicht der linken Seite und 2(B) eine Vorderansicht ist.
  • Die 3(A) und 3(B) sind Zeichnungen zur Veranschaulichung eines Aussehens des thermischen Durchflussmessers, wobei 3(A) eine Ansicht der rechten Seite und 3(B) eine Rückansicht ist.
  • Die 4(A) und 4(B) sind Zeichnungen zur Veranschaulichung eines Aussehens des thermischen Durchflussmessers, wobei 4(A) eine Draufsicht und 4(B) eine Unteransicht ist.
  • 5A ist eine Ansicht der linken Seite eines Gehäuses des thermischen Durchflussmessers.
  • 5B ist eine Vorderansicht des Gehäuses des thermischen Durchflussmessers.
  • 5C ist eine Ansicht der linken Seite zur Veranschaulichung eines weiteren speziellen Beispiels des Gehäuses des thermischen Durchflussmessers.
  • 5D ist eine Vorderansicht zur Veranschaulichung eines weiteren speziellen Beispiels des Gehäuses des thermischen Durchflussmessers.
  • Die 6(A) und 6(B) sind Zeichnungen zur Veranschaulichung des Gehäuses des thermischen Durchflussmessers, wobei 6(A) eine Ansicht der rechten Seite des Gehäuses und 6(B) eine Rückansicht des Gehäuses ist.
  • 7 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht zur Veranschaulichung eines Zustands einer in einem Nebendurchgang angeordneten Durchflussweg-Oberfläche.
  • 8(A) bis 8(C) sind Außenansichten zur Veranschaulichung eines Schaltungsgehäuses, wobei 8(A) eine Ansicht der linken Seite, 8(B) eine Vorderansicht und 8(C) eine Rückansicht ist.
  • 9 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Zustands, in welchem ein Schaltungsbauteil an einer Zuleitung des Schaltungsgehäuses befestigt ist.
  • 10 ist eine erläuternde Zeichnung zur Veranschaulichung einer Membran und eines Verbindungskanals, welcher eine Öffnung und einen Spalt in der Membran miteinander verbindet.
  • 11 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Zustands des Schaltungsgehäuses nach einem ersten Spritzgießprozess.
  • 12(A) und 12(B) sind vergrößerte Ansichten zur Erläuterung eines speziellen Beispiels eines Aufbaus, bei welchem ein Vorsprung des thermischen Durchflussmessers durch einen Abdeckteil bedeckt ist.
  • Die 13(A) und 13(B) sind vergrößerte Ansichten zur Erläuterung eines weiteren speziellen Beispiels des Aufbaus, bei welchem der Vorsprung des thermischen Durchflussmessers durch einen Abdeckteil bedeckt ist.
  • 14A ist eine Schnittansicht zur Veranschaulichung eines weiteren speziellen Beispiels des Vorsprungs.
  • 14B ist eine Schnittansicht zur Veranschaulichung eines weiteren speziellen Beispiels des Vorsprungs.
  • 14C ist eine Schnittansicht zur Veranschaulichung eines weiteren speziellen Beispiels des Vorsprungs.
  • 15A ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Überblicks über einen Herstellungsprozess eines thermischen Durchflussmessers und einen Produktionsprozess des Schaltungsgehäuses.
  • 15B ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Überblicks über einen Herstellungsprozess des thermischen Durchflussmessers und einen Produktionsprozess des Schaltungsgehäuses.
  • 16 ist ein Schaltbild zur Veranschaulichung einer Luftmengenmessschaltung des thermischen Durchflussmessers.
  • 17 ist eine erläuternde Zeichnung zur Veranschaulichung eines Luftmengenmessteils der Luftmengenmessschaltung.
  • Beschreibung von Ausführungsformen
  • Die nachfolgend beschriebene Erfindung verkörpernde Beispiele (im Folgenden als Ausführungsformen bezeichnet) lösen als praktisches Produkt verschiedene angestrebte Probleme. Insbesondere lösen die Ausführungsformen verschiedene Probleme bei Verwendung in einer Messvorrichtung zum Messen einer Ansaugluftmenge eines Fahrzeugs und entfalten sie verschiedene Wirkungen. Eines von verschiedenen durch die folgenden Ausführungsformen angegangenen Problemen ist oben in ”Durch die Erfindung zu lösende Probleme” beschrieben, und eine von verschiedenen durch die folgenden Ausführungsformen erzielten Wirkungen ist in ”Wirkungen der Erfindung” beschrieben. Verschiedene durch die folgenden Ausführungsformen gelöste Probleme und verschiedene durch die folgenden Ausführungsformen erzielte Wirkungen sind in der ”Beschreibung von Ausführungsformen” weiter beschrieben. Deshalb ist zu verstehen, dass die folgenden Ausführungsformen außerdem weitere durch die Ausführungsformen erzielte Wirkungen oder angegangene Probleme als die in ”Durch die Erfindung zu lösende Probleme” oder ”Wirkungen der Erfindung” beschriebenen enthalten.
  • In den folgenden Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente, auch wenn diese in verschiedenen Zeichnungen erscheinen, und haben diese die gleichen funktionalen Wirkungen. Die Komponenten, welche in vorangehenden Absätzen beschrieben wurden, werden möglicherweise nicht durch Angeben von Bezugszeichen und Zeichen in den Zeichnungen beschrieben.
  • 1. Verbrennungsmotor-Steuerungssystem mit einem thermischen Durchflussmesser gemäß einer Ausführungsform der Erfindung
  • 1 ist eine Systemzeichnung zur Veranschaulichung eines elektronischen Kraftstoffeinspritzungs-Steuerungssystems für einen Verbrennungsmotor, welches einen thermischen Durchflussmesser gemäß einer Ausführungsform der Erfindung aufweist. Auf der Grundlage des Betriebs eines Verbrennungsmotors 110 mit einem Motorzylinder 112 und einem Motorkolben 114 wird eine Ansaugluft als ein Messobjekt-Gas 30 aus einem Luftfilter 122 eingesaugt und durch einen Hauptdurchgang 124, welcher zum Beispiel ein Ansauggehäuse, ein Drosselklappengehäuse 126 und einen Ansaugkrümmer 128 umfasst, in einen Brennraum des Motorzylinders 112 geleitet. Ein Durchfluss des Messobjekt-Gases 30 wie einer in den Brennraum geleiteten Ansaugluft wird durch einen thermischen Durchflussmesser 300 gemäß der Erfindung gemessen. Ein Kraftstoff wird auf der Grundlage des gemessenen Durchflusses aus einem Kraftstoffeinspritzventil 152 zugeführt und mit dem Messobjekt-Gas 30 wie einer Ansaugluft vermischt, so dass das Mischgas in den Brennraum geleitet wird. Es ist zu beachten, dass in dieser Ausführungsform das Kraftstoffeinspritzventil 152 in einer Einlassöffnung des Verbrennungsmotors vorgesehen ist und der in die Einlassöffnung eingespritzte Kraftstoff mit dem Messobjekt-Gas 30 wie einer Ansaugluft vermischt wird, um ein Mischgas zu bilden, so dass das Mischgas durch ein Einlassventil 116 in den Brennraum geleitet wird, um durch Verbrennen mechanische Energie zu erzeugen.
  • In den letzten Jahren kommt in vielen Fahrzeugen ein Kraftstoff-Direkteinspritzverfahren mit hervorragenden Wirkungen bei Abgasreinigung oder Kraftstoffersparnissteigerung zum Einsatz, bei welchem ein Kraftstoffeinspritzventil 152 in einen Zylinderkopf des Verbrennungsmotors eingebaut ist, und wird Kraftstoff aus dem Kraftstoffeinspritzventil 152 direkt in jeden Brennraum eingespritzt. Der thermische Durchflussmesser 300 kann gleichermaßen in einem Typ, in welchem Kraftstoff direkt in jeden Brennraum eingespritzt wird, sowie in einem Typ, in welchem Kraftstoff in die Einlassöffnung des Verbrennungsmotors in 1 eingespritzt wird, verwendet werden. Ein Verfahren zum Messen von Steuerparametern, welches ein Verfahren zur Verwendung des thermischen Durchflussmessers 300 umfasst, und ein Verfahren zum Steuern des Verbrennungsmotors, welches eine Kraftstoffzufuhrmenge oder einen Zündzeitpunkt umfasst, gleichen sich zwischen den beiden Typen im Grundkonzept. Ein typisches Beispiel beider Typen, ein Typ, bei welchem Kraftstoff in die Einlassöffnung eingespritzt wird, ist in 1 dargestellt.
  • Der Kraftstoff und die Luft, welche in den Brennraum geleitet werden, befinden sich in einem Kraftstoff/Luft-Mischzustand und werden durch Funkenzündung der Zündkerze 154 explosionsartig verbrannt, um mechanische Energie zu erzeugen. Das Gas nach Verbrennung wird aus dem Auslassventil 118 in eine Abgasleitung geleitet und als ein Abgas 24 aus der Abgasleitung nach außerhalb des Fahrzeugs abgegeben. Der Durchfluss des Messobjekt-Gases 30 wie einer in den Brennraum geleiteten Ansaugluft wird durch die Drosselklappe 132 gesteuert, deren Öffnungsgrad sich in Reaktion auf eine Betätigung eines Gaspedals ändert. Die Kraftstoffzufuhrmenge wird auf der Grundlage des Durchflusses der in den Brennraum geleiteten Ansaugluft gesteuert, und ein Fahrer steuert einen Öffnungsgrad der Drosselklappe 132, wodurch der Durchfluss der in den Brennraum geleiteten Ansaugluft gesteuert wird. Infolgedessen ist es möglich, die durch den Verbrennungsmotor erzeugte mechanische Energie zu steuern.
  • 1.1 Überblick über die Steuerung des Verbrennungsmotor-Steuerungssystems
  • Der Durchfluss und die Temperatur des Messobjekt-Gases 30 wie einer Ansaugluft, welche vom Luftfilter 122 kommt und durch den Hauptdurchgang 124 strömt, werden durch den thermischen Durchflussmesser 300 gemessen, und ein elektrisches Signal, welches dem Durchfluss und der Temperatur der Ansaugluft entspricht, wird aus dem thermischen Durchflussmesser 300 in die Steuereinrichtung 200 eingegeben. Darüber hinaus wird eine Ausgabe des Drosselklappenwinkel-Sensors 144, welcher einen Öffnungsgrad der Drosselklappe 132 misst, in die Steuereinrichtung 200 eingegeben und wird eine Ausgabe eines Drehwinkelsensors 146 in die Steuereinrichtung 200 eingegeben, um eine Position oder einen Zustand des Motorkolbens 114, des Einlassventils 116 oder des Auslassventils 118 des Verbrennungsmotors und eine Drehzahl des Verbrennungsmotors zu messen. Um einen Mischverhältnis-Zustand zwischen der Kraftstoffmenge und der Luftmenge aus dem Zustand des Abgases 24 zu messen, wird eine Ausgabe eines Sauerstoffsensors 148 in die Steuereinrichtung 200 eingegeben.
  • Die Steuereinrichtung 200 berechnet eine Kraftstoffeinspritzmenge oder einen Zündzeitpunkt auf der Grundlage eines Durchflusses der Ansaugluft wie einer Ausgabe des thermischen Durchflussmessers 300 und einer mittels einer Ausgabe des Drehwinkelsensors 146 gemessenen Drehzahl des Verbrennungsmotors. Auf der Grundlage des Berechnungsergebnisses derselben werden eine aus dem Kraftstoffeinspritzventil 152 zugeführte Kraftstoffmenge und ein Zündzeitpunkt zum Zünden der Zündkerze 154 gesteuert. In der Praxis werden die Kraftstoffzufuhrmenge oder der Zündzeitpunkt ferner auf der Grundlage einer Änderung der Ansauglufttemperatur oder des durch den thermischen Durchflussmesser 300 gemessenen Drosselklappenwinkels, einer Änderung der Motordrehzahl und eines durch den Sauerstoffsensor 148 gemessenen Kraftstoff/Luft-Verhältnisses genau gesteuert. Im Leerlaufantriebszustand des Verbrennungsmotors steuert die Steuereinrichtung 200 ferner die die Drosselklappe 132 mittels eines Leerlaufluft-Steuerventils 156 umgehende Luftmenge und steuert sie eine Drehzahl des Verbrennungsmotors im Leerlaufantriebszustand.
  • 1.2 Bedeutung einer Verbesserung der Messgenauigkeit des thermischen Durchflussmessers und Einbauumgebung des thermischen Durchflussmessers
  • Sowohl die Kraftstoffzufuhrmenge als auch der Zündzeitpunkt als eine Haupt-Steuergröße des Verbrennungsmotors werden unter Verwendung einer Ausgabe des thermischen Durchflussmessers 300 als ein Hauptparameter berechnet. Deshalb sind eine Verbesserung der Messgenauigkeit, eine Unterdrückung der Alterung und eine Verbesserung der Zuverlässigkeit des thermischen Durchflussmessers 300 bedeutend für die Verbesserung der Regelgenauigkeit eines Fahrzeugs oder die Erzielung von Zuverlässigkeit. Insbesondere in den letzten Jahren nehmen die Anforderungen an Kraftstoffersparnis von Fahrzeugen und Abgasreinigung stark zu. Um solche Anforderungen zu erfüllen, ist es von großer Bedeutung, die Messgenauigkeit des durch den thermischen Durchflussmesser 300 gemessenen Durchflusses des Messobjekt-Gases 30 wie einer Ansaugluft zu verbessern. Darüber hinaus ist es auch wichtig, eine hohe Zuverlässigkeit des thermischen Durchflussmessers 300 aufrechtzuerhalten.
  • Ein Fahrzeug mit dem thermischen Durchflussmesser 300 wird in einer Umgebung eingesetzt, wo eine Temperaturänderung erheblich ist oder ein widriges Wetter wie Sturm oder Schneefall herrscht. Wenn ein Fahrzeug eine verschneite Straße befährt, fährt es auf einer Straße, auf welcher ein Gefrierschutzmittel versprüht wurde. Es ist vorzuziehen, dass der thermische Durchflussmesser 300 in einer solchen Einsatzumgebung unter Berücksichtigung einer Gegenmaßnahme gegen die Temperaturänderung oder einer Gegenmaßnahme gegen Staub oder Verunreinigungen ausgelegt ist. Außerdem ist der thermische Durchflussmesser 300 in einer Umgebung installiert, wo der Verbrennungsmotor Schwingungen unterliegt. Außerdem ist es erwünscht, eine hohe Zuverlässigkeit bei Schwingungen aufrechtzuerhalten.
  • Der thermische Durchflussmesser 300 ist im Ansaugrohr installiert, welches durch Wärme vom Verbrennungsmotor beeinflusst wird. Aus diesem Grund wird die vom Verbrennungsmotor erzeugte Wärme über das Ansaugrohr, welches ein Hauptdurchgang 124 ist, zum thermischen Durchflussmesser 300 übertragen. Da der thermische Durchflussmesser 300 den Durchfluss des Messobjekt-Gases durch Wärmeübertragung mit dem Messobjekt-Gas misst, ist es wichtig, den Einfluss der Wärme von außen so weit wie möglich zu unterbinden.
  • Der in ein Fahrzeug eingebaute thermische Durchflussmesser 300 löst die in ”Durch die Erfindung zu lösende Probleme” beschriebenen Probleme und schafft die in ”Wirkungen der Erfindung” beschriebenen Wirkungen wie unten beschrieben. Darüber hinaus löst er als ein Produkt, wie unten beschrieben, verschiedene angestrebte Probleme und schafft er unter Berücksichtigung verschiedener oben beschriebener Probleme verschiedene Wirkungen. Spezielle durch den thermischen Durchflussmesser 300 gelöste Probleme oder geschaffene Wirkungen werden in der folgenden Beschreibung von Ausführungsformen beschrieben.
  • 2. Konfiguration des thermischen Durchflussmessers 300
  • 2.1 Äußerer Aufbau des thermischen Durchflussmessers 300
  • Die 2(A), 2(B), 3(A), 3(B), 4(A) und 4(B) sind Zeichnungen zur Veranschaulichung des Äußeren des thermischen Durchflussmessers 300, wobei 2(A) eine Ansicht der linken Seite des thermischen Durchflussmessers 300, 2(B) eine Vorderansicht, 3(A) eine Ansicht der rechten Seite, 3(B) eine Rückansicht, 4(A) eine Draufsicht und 4(B) eine Unteransicht ist. Der thermische Durchflussmesser 300 umfasst ein Gehäuse 302, eine Vorderseiten-Abdeckung 303 und eine Rückseiten-Abdeckung 304. Das Gehäuse 302 enthält einen Flansch 312 zum Befestigen des thermischen Durchflussmessers 300 an einem Ansauggehäuse wie einem Hauptdurchgang 124, einen Außenverbinder 305 mit einer Außenklemme 306 zur elektrischen Verbindung mit externen Vorrichtungen und einen Messteil 310 zum Messen eines Durchflusses und dergleichen. Der Messteil 310 ist im Innern mit einem Nebendurchgangsgraben zum Herstellen eines Nebendurchgangs versehen. Darüber hinaus weist der Messteil 310 im Innern ein Schaltungsgehäuse 400 auf, welches einen Luftmengenmessteil 602 (siehe 16) zum Messen eines Durchflusses des durch den Hauptdurchgang 124 strömenden Messobjekt-Gases 30 oder einen Temperaturerfassungsteil 452 zum Messen einer Temperatur des durch den Hauptdurchgang 124 strömenden Messobjekt-Gases 30 enthält.
  • 2.2 Auf dem äußeren Aufbau des thermischen Durchflussmesser 300 beruhende Wirkungen
  • Da die Einlassöffnung 350 des thermischen Durchflussmessers 300 auf der Seite des vorderen Endes des Messteils 310, welcher sich vom Flansch 312 zur Mitte des Hauptdurchgangs 124 hin erstreckt, vorgesehen ist, kann das Gas in der Nähe des von der Innenwandoberfläche fernen Mittelteils statt in der näheren Umgebung der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 in den Nebendurchgang geleitet werden. Aus diesem Grund kann der thermische Durchflussmesser 300 einen Durchfluss oder eine Temperatur der von der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 des thermischen Durchflussmessers 300 fernen Luft messen, so dass es möglich ist, einen durch den Einfluss von Wärme und dergleichen verursachten Rückgang der Messgenauigkeit zu unterbinden. In der Nähe der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 wird der thermische Durchflussmesser 300 leicht durch die Temperatur des Hauptdurchgangs 124 beeinflusst, so dass die Temperatur des Messobjekt-Gases 30 einen anderen Wert als eine ursprüngliche Temperatur des Gases hat und einen anderen Zustand als einen durchschnittlichen Zustand des Hauptgases im Hauptdurchgang 124 aufweist. Insbesondere wenn der Hauptdurchgang 124 als ein Ansauggehäuse des Motors dient, kann er durch die Wärme vom Motor beeinflusst werden und bleibt er auf einer hohen Temperatur. Aus diesem Grund hat das Gas in der Nähe der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 in vielen Fällen eine Temperatur, die höher als die ursprüngliche Temperatur des Hauptdurchgangs 124 ist, so dass dies die Messgenauigkeit verschlechtert.
  • In der Nähe der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 nimmt ein Fluidwiderstand zu und nimmt eine Strömungsgeschwindigkeit gegenüber einer durchschnittlichen Strömungsgeschwindigkeit im Hauptdurchgang 124 ab. Aus diesem Grund kann ein Rückgang der Strömungsgeschwindigkeit gegenüber der durchschnittlichen Strömungsgeschwindigkeit im Hauptdurchgang 124, wenn das Gas in der Nähe der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 als das Messobjekt-Gas 30 in den Nebendurchgang geleitet wird, einen Messfehler erzeugen. Im in den 2(A) bis 4(B) veranschaulichten thermischen Durchflussmesser 300 ist es, da die Einlassöffnung 350 im vorderen Ende des dünnen, langen Messteils 310, welcher sich vom Flansch 312 zur Mitte des Hauptdurchgangs 124 erstreckt, vorgesehen ist, möglich, einen mit einem Rückgang der Strömungsgeschwindigkeit in der Nähe der Innenwandoberfläche zusammenhängenden Messfehler zu verringern. Im in den 2(A) bis 4(B) veranschaulichten thermischen Durchflussmesser 300 ist zusätzlich zur im vorderen Ende des Messteils 310, welcher sich vom Flansch 312 zur Mitte des Hauptdurchgangs 124 erstreckt, vorgesehenen Einlassöffnung 350 außerdem eine Auslassöffnung des Nebendurchgangs im vorderen Ende des Messteils 310 vorgesehen. Deshalb ist es möglich, den Messfehler weiter zu verringern.
  • Der Messteil 310 des thermischen Durchflussmessers 300 hat eine Form, welche sich vom Flansch 312 zur Mitte des Hauptdurchgangs 124 erstreckt, und sein vorderes Ende ist mit der Einlassöffnung 350 zum Einleiten eines Teils des Messobjekt-Gases 30 wie einer Ansaugluft in den Nebendurchgang und der Auslassöffnung 352 zum Zurückleiten des Messobjekt-Gases 30 aus dem Nebendurchgang in den Hauptdurchgang 124 versehen. Während der Messteil 310 eine Form hat, welche sich entlang einer von der Außenwand des Hauptdurchgangs 124 zur Mitte gerichteten Achse erstreckt, hat seine Breite eine schmale Form wie in den 2(A) und 3(A) gezeigt. Das heißt, der Messteil 310 des thermischen Durchflussmessers 300 hat eine vorderseitige Oberfläche mit einer annähernd rechteckigen Form und eine Seitenfläche mit einer schmalen Breite. Infolgedessen kann der thermische Durchflussmesser 300 einen Nebendurchgang mit einer ausreichenden Länge aufweisen und ist es möglich, einen Fluidwiderstand für das Messobjekt-Gas 30 auf einen kleinen Wert zu unterdrücken. Aus diesem Grund ist es unter Verwendung des thermischen Durchflussmessers 300 möglich, den Fluidwiderstand auf einen kleinen Wert zu unterdrücken und den Durchfluss des Messobjekt-Gases 30 mit hoher Genauigkeit zu messen.
  • 2.3 Aufbau des Temperaturerfassungsteils 452
  • Die Einlassöffnung 343 ist auf der Seite des Flanschs 312 vom auf der Seite des vorderen Endes des Messteils 310 vorgesehenen Nebendurchgang angeordnet und ist zu einer stromaufwärts liegenden Seite der Strömung des Messobjekt-Gases 30 hin geöffnet, wie in den 2(A) bis 3(B) gezeigt. In der Einlassöffnung 343 ist ein Temperaturerfassungsteil 452 angeordnet, um eine Temperatur des Messobjekt-Gases 30 zu messen. In der Mitte des Messteils 310, wo die Einlassöffnung 343 vorgesehen ist, wobei eine stromaufwärts liegende Außenwand in dem im Gehäuse 302 enthaltenen Messteil 310 zur stromabwärts liegenden Seite hin vertieft ist, ist der Temperaturerfassungsteil 452 so gebildet, dass er von der stromaufwärts liegenden Außenwand mit der vertieften Form zur stromaufwärts liegenden Seite hin vorspringt. Darüber hinaus sind eine Vorder- und eine Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 auf beiden Seiten der Außenwand mit einer vertieften Form vorgesehen, und die stromaufwärts liegenden Enden der Vorderseiten- und der Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 sind so gebildet, dass sie aus der Außenwand mit der vertieften Form zur stromaufwärts liegenden Seite hin vorspringen. Aus diesem Grund bilden die Außenwand mit der vertieften Form und die Vorderseiten- und die Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 in ihren beiden Seiten die Einlassöffnung 343 zum Aufnehmen des Messobjekt-Gases 30. Das von der Einlassöffnung 343 kommende Messobjekt-Gas 30 kommt mit dem in der Einlassöffnung 343 vorgesehenen Temperaturerfassungsteil 452 in Kontakt, um die Temperatur des Temperaturerfassungsteils 452 zu messen. Außerdem strömt das Messobjekt-Gas 30 entlang eines Teils, welcher den aus der Außenwand des Gehäuses 302 mit einer vertieften Form zur stromaufwärts liegenden Seite vorspringenden Temperaturerfassungsteil 452 trägt, und wird es aus einer vorderseitigen Auslassöffnung 344 und einer rückseitigen Auslassöffnung 345, welche in der Vorderseiten- und in die Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 vorgesehen sind, in den Hauptdurchgang 124 abgegeben.
  • 2.4 Mit dem Temperaturerfassungsteil 452 zusammenhängende Wirkungen
  • Eine Temperatur des von der stromaufwärts liegenden Seite der Richtung entlang der Strömung des Messobjekt-Gases 30 in die Einlassöffnung 343 strömenden Gases wird durch den Temperaturerfassungsteil 452 gemessen. Außerdem strömt das Gas auf einen Halsteil des Temperaturerfassungsteils 452 zum Stützen des Temperaturerfassungsteils 452 zu, so dass es die Temperatur des Teils zum Stützen des Temperaturerfassungsteils 452 in die Nähe der Temperatur des Messobjekt-Gases 30 senkt. Die Temperatur des als ein Hauptdurchgang 124 dienenden Ansaugrohrs steigt üblicherweise, und die Wärme wird vom Flansch 312 oder von der Wärmeisolierung 315 durch die stromaufwärts liegende Außenwand im Messteil 310 zu dem Teil zum Stützen des Temperaturerfassungsteils 452 übertragen, so dass die Temperaturmessgenauigkeit beeinflusst werden kann. Der obengenannte Stützteil wird gekühlt, wenn das Messobjekt-Gas 30 durch den Temperaturerfassungsteil 452 gemessen wird und dann entlang des Stützteils des Temperaturerfassungsteils 452 strömt. Deshalb ist es möglich, zu verhindern, dass die Wärme vom Flansch 312 oder von der Wärmeisolierung 315 durch die stromaufwärts liegende Außenwand im Messteil 310 zu dem Teil zum Stützen des Temperaturerfassungsteils 452 übertragen wird.
  • Insbesondere im Stützteil des Temperaturerfassungsteils 452 hat die stromaufwärts liegende Außenwand im Messteil 310 eine zur stromabwärts liegenden Seite konkave Form (wie unten anhand der 5(A) bis 6(B) beschrieben). Deshalb ist es möglich, eine Länge zwischen der stromaufwärts liegenden Außenwand im Messteil 310 und dem Temperaturerfassungsteil 452 zu vergrößern. Mit zunehmender Wärmeleitungslänge nimmt eine Länge des Kühlteils unter Nutzung des Messobjekt-Gases 30 zu. Deshalb ist es möglich, auch den Einfluss der Wärme vom Flansch 312 oder von der Wärmeisolierung 315 zu verringern. Demgemäß wird die Messgenauigkeit verbessert. Da die stromaufwärts liegende Außenwand eine zur stromabwärts liegenden Seite konkave Form hat (wie unten anhand der 5(A) bis 6(B) beschrieben), ist es möglich, das Schaltungsgehäuse 400 mühelos zu befestigen (siehe unten beschriebene 5(A) bis 6(B)).
  • 2.5 Aufbauformen und Wirkungen der stromaufwärts liegenden Seitenfläche und der stromabwärts liegenden Seitenfläche des Messteils 310
  • Ein stromaufwärts liegender Vorsprung 317 und ein stromabwärts liegender Vorsprung 318 sind an der stromaufwärts liegenden Seitenfläche beziehungsweise an der stromabwärts liegenden Seitenfläche des im thermischen Durchflussmesser 300 enthaltenen Messteils 310 vorgesehen. Der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 und der stromabwärts liegende Vorsprung 318 haben eine entlang des vorderen Endes zur Basis verengte Form, so dass es möglich ist, einen Fluidwiderstand des durch den Hauptdurchgang 124 strömenden Messobjekt-Gases 30 wie einer Ansaugluft zu verringern. Der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 ist zwischen der Wärmeisolierung 315 und der Einlassöffnung 343 vorgesehen. Der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 hat einen großen Querschnitt und nimmt eine große Wärmeleitung vom Flansch 312 oder von der Wärmeisolierung 315 auf. Jedoch ist der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 nahe der Einlassöffnung 343 abgeschnitten und nimmt eine Länge des Temperaturerfassungsteils 452 vom Temperaturerfassungsteil 452 des stromaufwärts liegenden Vorsprungs 317 infolge der Vertiefung der stromaufwärts liegenden Außenwand des Gehäuses 302 zu wie unten beschrieben. Aus diesem Grund wird die Wärmeleitung von der Wärmeisolierung 315 zum Stützteil des Temperaturerfassungsteils 452 unterbunden.
  • Ein den Klemmenverbinder 320 und den Klemmenverbinder 320, welche unten beschrieben sind, enthaltender Spalt ist zwischen dem Flansch 312 oder der Wärmeisolierung 315 und dem Temperaturerfassungsteil 452 gebildet. Aus diesem Grund nimmt ein Abstand zwischen dem Flansch 312 oder der Wärmeisolierung 315 und dem Temperaturerfassungsteil 452 zu und ist die Vorderseiten-Abdeckung 303 oder die Rückseiten-Abdeckung 304 in diesem langen Teil vorgesehen, so dass dieser Teil als eine Kühlfläche dient. Deshalb ist es möglich, den Einfluss der Temperatur der Wandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 auf den Temperaturerfassungsteil 452 zu verringern. Darüber hinaus ist es mit zunehmendem Abstand zwischen dem Flansch 312 oder der Wärmeisolierung 315 und dem Temperaturerfassungsteil 452 möglich, einen Teil des in den Nebendurchgang geleiteten Messobjekt-Gases 30 in die nähere Umgebung der Mitte des Hauptdurchgangs 124 zu leiten. Es ist möglich, einen durch Wärmeübertragung von der Wandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 verursachten Rückgang der Messgenauigkeit zu unterdrücken.
  • Wie in 2(B) oder 3(B) gezeigt, haben beide Seitenflächen des in den Hauptdurchgang 124 eingefügten Messteils 310 eine sehr schmale Form und hat ein vorderes Ende des stromabwärts liegenden Vorsprungs 318 oder des stromaufwärts liegenden Vorsprungs 317 eine bezüglich der Basis, wo der Luftwiderstand verringert ist, schmale Form. Aus diesem Grund ist es möglich, eine durch Einsetzen des thermischen Durchflussmessers 300 in den Hauptdurchgang 124 verursachte Zunahme des Fluidwiderstands zu unterbinden. Außerdem springt der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 oder der stromabwärts liegende Vorsprung 318 in dem Teil, in welchem der stromabwärts liegende Vorsprung 318 oder der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 vorgesehen ist, bezüglich beider Seitenteile der Vorderseiten-Abdeckung 303 oder der Rückseiten-Abdeckung 304 zu beiden Seiten hin vor. Da der stromaufwärts liegende Vorsprung 317 oder der stromabwärts liegende Vorsprung 318 aus einem Harz-Spritzgussteil gebildet ist, werden diese mühelos in einer Form mit einem unbedeutenden Luftwiderstand gebildet. Indessen ist die Vorderseiten-Abdeckung 303 oder die Rückseiten-Abdeckung 304 so geformt, dass sie eine breite Kühlfläche aufweist. Aus diesem Grund hat der thermische Durchflussmesser 300 einen verringerten Luftwiderstand und lässt er sich durch das durch den Hauptdurchgang 124 strömende Messobjekt-Gas leicht kühlen.
  • 2.6 Aufbauformen und Wirkungen des Außenverbinders 305 und des Flanschs 312
  • 4(A) ist eine Draufsicht zur Veranschaulichung des thermischen Durchflussmessers 300. Im Außenverbinder 305 sind vier Außenklemmen 306 und eine Kalibrierklemme 307 vorgesehen. Die Außenklemmen 306 umfassen Klemmen zur Ausgabe des Durchflusses und der Temperatur als ein Messergebnis des thermischen Durchflussmessers 300 und eine Stromversorgungsklemme zum Zuführen von Gleichstrom zum Betreiben des thermischen Durchflussmessers 300. Die Kalibrierklemme 307 wird verwendet, um den hergestellten thermischen Durchflussmesser 300 auszumessen, um einen Kalibrierwert jedes thermischen Durchflussmessers 300 zu erhalten und den Kalibrierwert in einem internen Speicher des thermischen Durchflussmessers 300 zu speichern. Im anschließenden Messbetrieb des thermischen Durchflussmessers 300 werden die dem im Speicher gespeicherten Kalibrierwert darstellenden Kalibrierdaten verwendet und wird die Kalibrierklemme 307 nicht benutzt. Um zu vermeiden, dass die Kalibrierklemme 307 die Verbindung zwischen den Außenklemmen 306 und weiteren externen Vorrichtungen behindert, hat die Kalibrierklemme 307 deshalb eine andere Form als diejenige der Außenklemme 306. Da die Kalibrierklemme 307 kürzer als die Außenklemme 306 ist, behindert die Kalibrierklemme 307 in dieser Ausführungsform auch dann nicht die Verbindung, wenn die zur Verbindung mit externen Vorrichtungen mit der Außenklemme 306 verbundene Anschlussklemme in den Außenverbinder 305 eingesteckt wird. Da eine Vielzahl von Vertiefungen 308 entlang der Außenklemme 306 im Außenverbinder 305 vorgesehen sind, verringern darüber hinaus die Vertiefungen 308 eine durch Schwund von Harz beim Abkühlen und Erstarren des Harzes als Werkstoff des Flanschs 312 verursachte Spannungskonzentration.
  • Da die Kalibrierklemme 307 zusätzlich zur während des Messbetriebs des thermischen Durchflussmessers 300 verwendeten Außenklemme 306 vorgesehen ist, ist es möglich, Kennlinien jedes thermischen Durchflussmessers 300 vor der Auslieferung auszumessen, um eine Abweichung des Produkts zu ermitteln und einen Kalibrierwert zum Verringern der Abweichung im internen Speicher des thermischen Durchflussmessers 300 zu speichern. Die Kalibrierklemme 307 ist in einer von der Form der Außenklemme 306 verschiedenen Form gebildet, um zu vermeiden, dass die Kalibrierklemme 307 nach dem Kalibrierwert-Einstellvorgang die Verbindung zwischen der Außenklemme 306 und externen Vorrichtungen behindert. Auf diese Weise ist es mittels des thermischen Durchflussmessers 300 möglich, eine Abweichung jedes thermischen Durchflussmessers 300 vor der Auslieferung zu verringern und die Messgenauigkeit zu verbessern.
  • 3. Gesamtaufbau des Gehäuses 302 und dessen Wirkungen
  • 3.1 Aufbauformen und Wirkungen des Nebendurchgangs und des Luftmengenmessteils
  • Die 5(A) bis 6(B) veranschaulichen einen Zustand des Gehäuses 302, in welchem die Vorderseiten- und die Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 vom thermischen Durchflussmesser 300 abgenommen sind. 5(A) ist eine Ansicht der linken Seite zur Veranschaulichung des Gehäuses 302, 5(B) ist eine Vorderansicht zur Veranschaulichung des Gehäuses 302, 6(A) ist eine Ansicht der rechten Seite zur Veranschaulichung des Gehäuses 302, und 6(B) ist eine Rückansicht zur Veranschaulichung des Gehäuses 302. Im Gehäuse 302 erstreckt sich der Messteil 310 vom Flansch 312 zur Mitte des Hauptdurchgangs 124 und ist auf der Seite seines vorderen Endes ein Nebendurchgangsgraben zum Bilden des Nebendurchgangs vorgesehen. In dieser Ausführungsform ist der Nebendurchgangsgraben sowohl auf einer Vorderseite als auch auf einer Rückseite des Gehäuses 302 vorgesehen. 5(B) veranschaulicht einen Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332, und 6(B) veranschaulicht einen Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334. Da im vorderen Ende des Gehäuses 302 ein Einlassgraben 351 zum Bilden der Einlassöffnung 350 des Nebendurchgangs und ein Auslassgraben 353 zum Bilden der Auslassöffnung 352 vorgesehen sind, kann das von der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 ferne Gas, das heißt, die Gasströmung durch die nähere Umgebung der Mitte des Hauptdurchgangs 124 als das Messobjekt-Gas 30 aus der Einlassöffnung 350 abgenommen werden. Das durch die nähere Umgebung der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 strömende Gas wird durch die Temperatur der Wandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 beeinflusst und hat in vielen Fällen eine von der durchschnittlichen Temperatur des durch den Hauptdurchgang 124 strömenden Gases wie der Ansaugluft abweichende Temperatur. Darüber hinaus hat das durch die nähere Umgebung der Innenwandoberfläche des Hauptdurchgangs 124 strömende Gas in vielen Fallen eine niedrigere Strömungsgeschwindigkeit als die durchschnittliche Strömungsgeschwindigkeit des durch den Hauptdurchgang 124 strömenden Gases. Da der thermische Durchflussmesser 300 gemäß der Ausführungsform einem solchen Einfluss widersteht, ist es möglich, einen Rückgang der Messgenauigkeit zu unterbinden.
  • Der durch den oben beschriebenen Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 oder den oben beschriebenen Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 gebildete Nebendurchgang ist durch den Außenwand-Vertiefungsteil 366, die stromaufwärts liegende Außenwand 335 oder die stromabwärts liegende Außenwand 336 mit der Wärmeisolierung 315 verbunden. Darüber hinaus ist die stromaufwärts liegende Außenwand 335 mit dem stromaufwärts liegenden Vorsprung 317 versehen und ist die stromabwärts liegende Außenwand 336 mit dem stromabwärts liegenden Vorsprung 318 versehen. Bei diesem Aufbau ist, da der thermische Durchflussmesser 300 mittels des Flanschs 312 am Hauptdurchgang 124 befestigt ist, der das Schaltungsgehäuse 400 enthaltende Messteil 310 mit hoher Zuverlässigkeit am Hauptdurchgang 124 befestigt.
  • In dieser Ausführungsform ist das Gehäuse 302 mit dem Nebendurchgangsgraben zum Bilden des Nebendurchgangs versehen und sind die Abdeckungen auf der Vorderseite und der Rückseite des Gehäuses 302 so angebracht, dass der Nebendurchgang durch den Nebendurchgangsgraben und die Abdeckungen gebildet wird. Bei diesem Aufbau ist es möglich, im Spritzgießprozess des Gehäuses 302 Gesamt-Nebendurchgangsgräben als einen Teil des Gehäuses 302 zu bilden. Darüber hinaus ist es, da die Spritzgussformen bei der Bildung des Gehäuses 302 auf beiden Oberflächen des Gehäuses 302 bereitgestellt sind, möglich, durch Verwenden der Spritzgussformen für beide Oberflächen sowohl den Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 als auch den Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 als einen Teil des Gehäuses 302 zu bilden. Da die Vorderseiten- und die Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 auf beiden Oberflächen des Gehäuses 302 vorgesehen sind, ist es möglich, die Nebendurchgänge in beiden Oberflächen des Gehäuses 302 zu erzielen. Da der Vorderseiten- und Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 und die Nebendurchgangsgräben auf der Rückseite 334 unter Verwendung der Spritzgussformen auf beiden Oberflächen des Gehäuses 302 gebildet werden, ist es möglich, den Nebendurchgang mit hoher Genauigkeit zu bilden und eine hohe Produktivität zu erzielen.
  • Wie in 6(B) gezeigt, gelangt ein Teil des durch den Hauptdurchgang 124 strömenden Messobjekt-Gases 30 aus dem Einlassgraben 351, welcher die Einlassöffnung 350 bildet, ins Innere des Nebendurchgangsgrabens auf der Rückseite 334 und strömt er durch das Innere des Nebendurchgangsgrabens auf der Rückseite 334. Der Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 wird allmählich tiefer, während das Gas strömt, und das Messobjekt-Gas 30 bewegt sich langsam zur Vorderseite, während es entlang des Grabens strömt. Insbesondere ist der Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 mit einem Steilschrägen-Teil 347 versehen, welcher zum stromaufwärts liegenden Teil 342 des Schaltungsgehäuses 400 jäh tiefer wird, so dass ein Teil der Luft, welche eine leichte Masse hat, sich entlang des Steilschrägen-Teils 347 bewegt und dann durch die Seite der in 5(B) gezeigten Messfläche 430 im stromaufwärts liegenden Teil 342 des Schaltungsgehäuses 400 strömt. Indessen bewegt sich ein Fremdkörper mit einer schweren Masse, da es ihm infolge einer Fliehkraft schwerfällt, seinen Weg jäh zu ändern, zur Seite der Rückseite einer in 6(B) dargestellten Messfläche 431. Dann fliegt der Fremdkörper durch den stromabwärts liegenden Teil 341 des Schaltungsgehäuses 400 zur in 5(B) dargestellten Messfläche 430.
  • Anhand von 7 wird eine Strömung des Messobjekt-Gases 30 in der Nähe des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 beschrieben. Im Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 in 5(B) strömt die sich vom stromaufwärts liegenden Teil 342 des Schaltungsgehäuses 400 zum Nebendurchgangsgraben auf der Seite der Vorderseite 332 bewegende Luft als ein Messobjekt-Gas 30 entlang der Messfläche 430 und wird mit dem Luftmengenmessteil 602 zum Messen eines Durchflusses unter Verwendung des in der Messfläche 430 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 eine Wärmeübertragung durchgeführt, um einen Durchfluss zu messen. Sowohl das durch die Messfläche 430 strömende Messobjekt-Gas 30 als auch die vom stromabwärts liegenden Teil 341 des Schaltungsgehäuses 400 zum Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 strömende Luft strömt entlang des Nebendurchgangsgrabens auf der Vorderseite 332 und wird aus dem Auslassgraben 353 zum Bilden der Auslassöffnung 352 in den Hauptdurchgang 124 abgegeben.
  • Ein Stoff mit einer schweren Masse wie ein dem Messobjekt-Gas 30 beigemischter Verunreinigungsstoff unterliegt einer hohen Trägheitskraft, und es fällt ihm schwer, seinen Weg zur tiefen Seite des Grabens entlang der Oberfläche des Steilschrägen-Teils 347 in 6(B), wo eine Tiefe des Grabens jäh tiefer wird, jäh zu ändern. Da ein Fremdkörper mit einer schweren Masse sich durch die Seite der Rückseite der Messfläche 431 bewegt, ist es aus diesem Grund möglich, den Fremdkörper daran zu hindern, durch die nähere Umgebung des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 zu fliegen. In dieser Ausführungsform ist es, da die meisten Fremdkörper mit einer schweren, vom Gas verschiedenen Masse durch die Rückseite der Messfläche 431, welche eine rückseitige Oberfläche der Messfläche 430 ist, fliegen, möglich, den Einfluss einer durch einen Fremdkörper wie einen Ölbestandteil, Kohlenstoff oder einen Verunreinigungsstoff verursachten Verunreinigung zu verringern und eine Verschlechterung der Messgenauigkeit zu verhindern. Das heißt, da sich der Weg des Messobjekt-Gases 30 entlang einer Achse quer durch die Strömungsachse des Hauptdurchgangs 124 jäh ändert, ist es möglich, den Einfluss eines dem Messobjekt-Gas 30 beigemischten Fremdkörpers zu verringern.
  • In dieser Ausführungsform ist der den Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 enthaltende Durchflussweg vom vorderen Ende des Gehäuses 302 entlang einer gekrümmten Linie zum Flansch gerichtet und strömt das durch den Nebendurchgang in der dem Flansch nächstgelegenen Seite strömende Gas entgegengesetzt zur Strömung des Hauptdurchgangs 124, so dass der Nebendurchgang in der Seite der rückseitigen Oberfläche als der einen Seite dieser Rückströmung mit dem in der Seite der vorderseitigen Oberfläche als der anderen Seite gebildeten Nebendurchgang verbunden ist. Infolgedessen ist es möglich, den Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 des Schaltungsgehäuses 400 mühelos am Nebendurchgang zu befestigen und das Messobjekt-Gas 30 mühelos an der Position nahe der Mitte des Hauptdurchgangs 124 abzunehmen.
  • In dieser Ausführungsform ist eine Konfiguration vorgesehen, bei welcher der Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 und der Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 auf der Vorder- und der Rückseite der Strömungsrichtung der Messfläche 430 zum Messen des Durchflusses durchdrungen werden. Indessen wird die Seite des vorderen Endes des Schaltungsgehäuses 400 nicht durch das Gehäuse 302 gehalten, sondern weist sie einen Hohlraum-Teil 382 auf, so dass der Raum des stromaufwärts liegenden Teils 342 des Schaltungsgehäuses 400 mit dem Raum des stromabwärts liegenden Teils 341 des Schaltungsgehäuses 400 verbunden ist. Bei Verwendung der den stromaufwärts liegenden Teil 342 des Schaltungsgehäuses 400 und den stromabwärts liegenden Teil 341 des Schaltungsgehäuses 400 durchdringenden Konfiguration ist der Nebendurchgang so gebildet, dass das Messobjekt-Gas 30 sich vom in der einen Oberfläche des Gehäuses 302 gebildeten Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 zum in der anderen Oberfläche des Gehäuses 302 gebildeten Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 bewegt. Bei dieser Konfiguration ist es möglich, den Nebendurchgangsgraben mittels eines einzigen Spritzgießprozesses an beiden Oberflächen des Gehäuses 302 zu bilden und das Spritzgießen mit einer Struktur zum Zusammenpassen der Nebendurchgangsgraben an beiden Oberflächen durchzuführen.
  • Durch Einspannen beider Seiten der im Schaltungsgehäuse 400 gebildeten Messfläche 430 mittels einer Spritzgussform, um das Gehäuse 302 zu bilden, ist es möglich, die den stromaufwärts liegenden Teil 342 des Schaltungsgehäuses 400 und den stromabwärts liegenden Teil 341 des Schaltungsgehäuses 400 durchdringende Konfiguration zu bilden, das Spritzgießen für das Gehäuse 302 durchzuführen und das Schaltungsgehäuse 400 in das Gehäuse 302 einzubetten. Da das Gehäuse 302 auf diese Weise durch Einsetzen des Schaltungsgehäuses 400 in die Spritzgussform gebildet wird, ist es möglich, das Schaltungsgehäuse 400 und den Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 mit hoher Genauigkeit in den Nebendurchgang einzubetten.
  • In dieser Ausführungsform ist eine den stromaufwärts liegenden Teil 342 des Schaltungsgehäuses 400 und den stromabwärts liegenden Teil 341 des Schaltungsgehäuses 400 durchdringende Konfiguration vorgesehen. Jedoch kann auch eine entweder den stromaufwärts liegenden Teil 342 oder den stromabwärts liegenden Teil 341 des Schaltungsgehäuses 400 durchdringende Konfiguration vorgesehen sein und kann die Nebendurchgangs-Form, welche den Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 und den Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 miteinander verbindet, mittels eines einzigen Spritzgießprozesses gebildet sein.
  • Eine Innenwand eines Nebendurchgangs auf einer Rückseite 391 und eine Außenwand eines Nebendurchgang auf einer Rückseite 392 sind auf beiden Seiten des Nebendurchgangsgrabens auf der Rückseite 334 vorgesehen, und die innenseitige Oberfläche der Rückseiten-Abdeckung 304 stößt an die vorderen Endteile der Höhenrichtung sowohl der Innenwand des Nebendurchgangs auf der Rückseite 391 als auch der Außenwand des Nebendurchgangs auf der Rückseite 392, so dass der Nebendurchgang auf der Rückseite im Gehäuse 302 gebildet wird. Darüber hinaus sind eine Innenwand eines Nebendurchgangs auf einer Vorderseite 393 und eine Außenwand eines Nebendurchgangs auf einer Vorderseite 394 auf beiden Seiten des Nebendurchgangsgrabens auf der Vorderseite 332 vorgesehen und stößt die innenseitige Oberfläche der Vorderseiten-Abdeckung 303 an die vorderen Endteile der Höhenrichtung der Innenwand des Nebendurchgangs auf der Vorderseite 393 und der Außenwand des Nebendurchgangs auf der Vorderseite 394, so dass der Nebendurchgang auf der Vorderseite im Gehäuse 302 gebildet wird.
  • Wie in den 5(A) bis 6(B) gezeigt, ist ein Außenwand-Vertiefungsteil 366 vorgesehen, wo die stromaufwärts liegende Außenwand 335 eine in einem Halsteil des Temperaturerfassungsteils 452 zur stromabwärts liegenden Seite vertiefte Vertiefungsform aufweist. Wegen dieses Außenwand-Vertiefungsteils 366 nimmt ein Abstand zwischen dem Temperaturerfassungsteil 452 und dem Außenwand-Vertiefungsteil 366 zu, so dass es möglich ist, den Einfluss der über die stromaufwärts liegende Außenwand 335 übertragenen Wärme zu verringern.
  • Obwohl das Schaltungsgehäuse 400 durch den Befestigungsteil 372 zur Befestigung des Schaltungsgehäuses 400 umhüllt ist, ist es möglich, eine Befestigungskraft des Schaltungsgehäuses 400 durch weiteres Befestigen des Schaltungsgehäuses 400 unter Verwendung des Außenwand-Vertiefungsteils 366 zu erhöhen. Der Befestigungsteil 372 umhüllt das Schaltungsgehäuse 400 entlang einer Strömungsachse des Messobjekt-Gases 30. Indessen umhüllt der Außenwand-Vertiefungsteil 366 das Schaltungsgehäuse 400 quer zur Strömungsachse des Messobjekt-Gases 30. Das heißt, das Schaltungsgehäuse 400 ist so umhüllt, dass die Umhüllungsrichtung bezüglich des Befestigungsteils 372 verschieden ist. Da das Schaltungsgehäuse 400 entlang der beiden verschiedenen Richtungen umhüllt ist, erhöht sich die Befestigungskraft. Obwohl der Außenwand-Vertiefungsteil 366 ein Teil der stromaufwärts liegenden Außenwand 335 ist, kann das Schaltungsgehäuse 400 unter Verwendung der stromabwärts liegenden Außenwand 336 anstelle der stromaufwärts liegenden Außenwand 335 in einer anderen Richtung als derjenigen des Befestigungsteils 372 umhüllt sein, um die Befestigungskraft zu erhöhen. Zum Beispiel kann ein Plattenteil des Schaltungsgehäuses 400 durch die stromabwärts liegende Außenwand 336 umhüllt sein oder kann das Schaltungsgehäuse 400 mittels einer in der Stromaufwärts-Richtung vertieften Vertiefung oder eines in der stromabwärts liegenden Außenwand 336 vorgesehenen, in die Stromaufwärts-Richtung vorspringenden Vorsprungs umhüllt sein. Da der Außenwand-Vertiefungsteil 366 in der stromaufwärts liegenden Außenwand 335 vorgesehen ist, um das Schaltungsgehäuse 400 zu umhüllen, ist es möglich, zusätzlich zur Befestigung des Schaltungsgehäuses 400 eine Wirkung des Erhöhens eines Wärmewiderstands zwischen dem Temperaturerfassungsteil 452 und der stromaufwärts liegenden Außenwand 335 zu schaffen.
  • Da der Außenwand-Vertiefungsteil 366 in einem Halsteil des Temperaturerfassungsteils 452 vorgesehen ist, ist es möglich, den Einfluss der vom Flansch 312 oder von der Wärmeisolierung 315 durch die stromaufwärts liegende Außenwand 335 übertragenen Wärme zu verringern. Außerdem ist eine durch eine Kerbe zwischen dem stromaufwärts liegenden Vorsprung 317 und dem Temperaturerfassungsteil 452 gebildete Temperaturmessvertiefung 368 vorgesehen. Mittels der Temperaturmessvertiefung 368 ist es möglich, die Wärmeübertragung durch den stromaufwärts liegenden Vorsprung 317 zum Temperaturerfassungsteil 452 zu verringern. Infolgedessen ist es möglich, die Erfassungsgenauigkeit des Temperaturerfassungsteils 452 zu verbessern. Insbesondere überträgt der stromaufwärts liegende Vorsprung 317, da er einen großen Querschnitt hat, leicht Wärme, und wird eine Funktionalität der Temperaturmessvertiefung 368, welche die Wärmeübertragung unterdrückt, wichtig.
  • 3.2 Aufbau und Wirkungen des Luftmengenmessteils des Nebendurchgangs
  • 7 ist eine teilweise vergrößerte Ansicht zur Veranschaulichung eines Zustands, in welchem die Messfläche 430 des Schaltungsgehäuses 400 im Nebendurchgangsgraben angeordnet ist, als eine Schnittansicht entlang der Linie A-A in den 6(A) und 6(B). Es ist zu beachten, dass 7 eine Prinzipzeichnung ist, welche gegenüber der spezifischen Konfiguration der 5(A) bis 5(D) oder der 6(A) und 6(B) Auslassungen und Vereinfachungen aufweist und in welcher Einzelheiten geringfügig verändert sein können. Die linke Seite von 7 ist ein Abschlussendteil des Nebendurchgangsgrabens auf der Rückseite 334, und die rechte Seite ist ein Anfangsendteil des Nebendurchgangsgrabens auf der Vorderseite 332. Obwohl in 7 nicht deutlich gezeigt, sind durchdringende Teile sowohl auf der linken als auch auf der rechten Seite des die Messfläche 430 enthaltenden Schaltungsgehäuses 400 vorgesehen und sind der Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 und der Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 mit der linken und der rechten Seite des die Messfläche 430 enthaltenden Schaltungsgehäuses 400 verbunden.
  • Das Messobjekt-Gas 30, welches von der Einlassöffnung 350 kommt und durch den Nebendurchgang auf der Rückseite, welcher den Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 enthält, strömt, wird von der linken Seite von 7 geleitet. Ein Teil des Messobjekt-Gases 30 strömt durch den durchdringenden Teil des stromaufwärts liegenden Teils 342 des Schaltungsgehäuses 400 in einen Durchflussweg 386, welcher die Vorderseite der Messfläche 430 des Schaltungsgehäuses 400 und den an der Vorderseiten-Abdeckung 303 vorgesehenen Vorsprung 356 enthält. Das andere Messobjekt-Gas 30 strömt in einen durch die Rückseite der Messfläche 431 und die Rückseiten-Abdeckung 304 gebildeten Durchflussweg 387. Dann bewegt sich das durch den Durchflussweg 387 strömende Messobjekt-Gas 30 durch den durchdringenden Teil des stromabwärts liegenden Teils 341 des Schaltungsgehäuses 400 in den Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 und wird es mit dem durch den Durchflussweg 386 strömenden Messobjekt-Gas 30 zusammengeführt, so dass es durch den Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 strömt und aus der Auslassöffnung 352 in den Hauptdurchgang 124 abgegeben wird.
  • Da der Nebendurchgangsgraben so gebildet ist, dass der vom Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 durch den durchdringenden Teil des stromaufwärts liegenden Teils 342 des Schaltungsgehäuses 400 zum Durchflussweg 386 geführte Durchflussweg des Messobjekt-Gases 30 weiter gekrümmt ist als der zum Durchflussweg 387 geführte Durchflussweg, sammelt sich ein Stoff mit einer schweren Masse wie ein im Messobjekt-Gas 30 enthaltener Verunreinigungsstoff im weniger gekrümmten Durchflussweg 387. Aus diesem Grund gibt es fast keine Strömung eines Fremdkörpers in den Durchflussweg 386.
  • Der Durchflussweg 386 ist so aufgebaut, dass er eine Blende so bildet, dass die Vorderseiten-Abdeckung 303 an den vorderen Endteil des Nebendurchgangsgrabens auf der Vorderseite 332 anschließend bereitgestellt ist und der Vorsprung 356 glatt zur Seite der Messfläche 430 vorspringt. Die Messfläche 430 ist auf einer Seite des Blendenteils des Durchflusswegs 386 angeordnet und ist mit dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 zum Durchführen einer Wärmeübertragung zwischen dem Luftmengenmessteil 602 und dem Messobjekt-Gas 30 versehen. Um eine Messung des Luftmengenmessteils 602 mit hoher Genauigkeit durchzuführen, bildet das Messobjekt-Gas 30 im Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 vorzugsweise eine laminare Strömung mit einem geringen Wirbel. Darüber hinaus verbessert sich die Messgenauigkeit mit steigender Strömungsgeschwindigkeit weiter. Aus diesem Grund ist die Blende so gebildet, dass der Vorsprung 356, welcher an der Vorderseiten-Abdeckung 303 so vorgesehen ist, dass er der Messfläche 430 gegenüberliegt, glatt zur Messfläche 430 vorspringt. Diese Blende vermindert einen Wirbel im Messobjekt-Gas 30, um die Strömung an eine laminare Strömung anzunähern. Außerdem wird die Messgenauigkeit des Durchflusses verbessert, da die Strömungsgeschwindigkeit im Blendenteil zunimmt und der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 zum Messen des Durchflusses im Blendenteil angeordnet ist.
  • Da die Blende so gebildet ist, dass der Vorsprung 356 ins Innere des Nebendurchgangsgrabens vorspringt, so dass er dem auf der Messfläche 430 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gegenüberliegt, ist es möglich, die Messgenauigkeit zu verbessern. Der Vorsprung 356 zum Bilden der Blende ist an der dem auf der Messfläche 430 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gegenüberliegenden Abdeckung vorgesehen. In 7 ist der Vorsprung 356, da die dem auf der Messfläche 430 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gegenüberliegende Abdeckung die Vorderseiten-Abdeckung 303 ist, an der Vorderseiten-Abdeckung 303 vorgesehen. Alternativ kann der Vorsprung 356 auch an der dem auf der Messfläche 430 der Vorderseiten- oder Rückseiten-Abdeckung 303 oder 304 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gegenüberliegenden Abdeckung vorgesehen sein. Je nachdem, welche der Oberflächen der Messfläche 430 und des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 im Schaltungsgehäuse 400 vorgesehen sind, wird die Abdeckung, welche dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gegenüberliegt, gewechselt.
  • Wie in den 5(A) bis 6(B) gezeigt, bleibt ein Pressabdruck 442 der im Spritzgießprozess für das Schaltungsgehäuse 400 verwendeten Spritzgussform auf der Rückseite der Messfläche 431 als einer Rückfläche des auf der Messfläche 430 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 bestehen. Der Pressabdruck 442 behindert die Messung des Durchflusses nicht sonderlich und verursacht keine Probleme, selbst wenn der Pressabdruck 442 bestehenbleibt. Darüber hinaus ist es, wie unten beschrieben, wichtig, eine Halbleitermembran des Luftmengenmessteils 602 zu schützen, wenn das Schaltungsgehäuse 400 mittels Spritzgießen gebildet wird. Aus diesem Grund ist das Pressen der rückseitigen Oberfläche des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 wichtig. Außerdem ist es wichtig, Harz, welches das Schaltungsgehäuse 400 bedeckt, daran zu hindern, zum Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 zu fließen. Diesbezüglich wird der Zufluss des Harzes durch Umhüllen der den Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 enthaltenden Messfläche 430 mittels einer Spritzgussform und Pressen der rückseitigen Oberfläche des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 mittels einer anderen Spritzgussform unterbunden. Da das Schaltungsgehäuse 400 durch Spritzpressen hergestellt wird, ist ein Druck des Harzes hoch und ist das Pressen von der rückseitigen Oberfläche des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 wichtig. Da eine Halbleitermembran im Luftmengenmessteil 602 verwendet wird, ist darüber hinaus vorzugsweise ein Entlüftungskanal für einen durch die Halbleitermembran erzeugten Spalt gebildet. Um eine Platte und dergleichen zum Bilden des Entlüftungskanals zu halten und zu befestigen, ist das Pressen von der rückseitigen Oberfläche des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 wichtig.
  • 3.3 Aufbau zum Befestigen des Schaltungsgehäuses 400 unter Verwendung des Gehäuses 302 und Wirkungen desselben
  • Nun wird die Befestigung des Schaltungsgehäuses 400 am Gehäuse 302 mittels eines Spritzgießprozesses erneut anhand der 5(A) bis 6(B) beschrieben. Das Schaltungsgehäuse 400 ist so im Gehäuse 302 angeordnet und daran befestigt, dass die auf der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 gebildete Messfläche 430 in einer vordefinierten Position des Nebendurchgangsgrabens zum Bilden des Nebendurchgangs angeordnet ist, zum Beispiel einem Verbindungsteil zwischen dem Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 und dem Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 in der Ausführungsform der 5(A) bis 6(B). Ein Teil zum Einbetten und Befestigen des Schaltungsgehäuses 400 im Gehäuse 302 mittels Spritzgießen ist als ein Befestigungsteil 372 zum Einbetten und Befestigen des Schaltungsgehäuses 400 im Gehäuse 302 auf der von der Seite des Nebendurchgangsgrabens geringfügig näher am Flansch 312 liegenden Seite vorgesehen. Der Befestigungsteil 372 ist so eingebettet, dass er den Außenumfang des durch den ersten Spritzgießprozess gebildeten Schaltungsgehäuses 400 bedeckt.
  • Wie in 5(B) gezeigt, ist das Schaltungsgehäuse 400 durch den Befestigungsteil 372 befestigt. Der Befestigungsteil 372 enthält ein Schaltungsgehäuse 400, welches eine Ebene mit einer an die Vorderseiten-Abdeckung 303 angrenzenden Höhe und einen dünnen Teil 376 verwendet. Indem ein Harz, welches einen dem Teil 376 entsprechenden Teil bedeckt, dünn hergestellt wird, ist es möglich, ein beim Zurückgehen einer Temperatur des Harzes während der Bildung des Befestigungsteils 372 verursachtes Zusammenziehen zu mindern und eine dem Schaltungsgehäuse 400 auferlegte Spannungskonzentration zu verringern. Es ist möglich, bessere Wirkungen zu erzielen, wenn die Rückseite des Schaltungsgehäuses 400 in der oben beschriebenen Form wie in 6(B) dargestellt gebildet ist.
  • Die Gesamtoberfläche des Schaltungsgehäuses 400 ist nicht durch ein zum Bilden des Gehäuses 302 verwendetes Harz bedeckt, sondern ein Teil, wo die Außenwand des Schaltungsgehäuses 400 freigelegt ist, ist auf der Seite des Flanschs 312 des Befestigungsteils 372 vorgesehen. In der Ausführungsform der 5(A) bis 6(B) ist der Flächeninhalt eines aus dem Harz des Gehäuses 302 freigelegten, aber nicht durch das Gehäuse 302 umhüllten Teils größer als der Flächeninhalt eines durch das Harz des Gehäuses 302 umhüllten Teils aus der Außenumfangsfläche des Schaltungsgehäuses 400. Außerdem ist auch ein Teil der Messfläche 430 des Schaltungsgehäuses 400 aus dem Harz des Gehäuses 302 freigelegt.
  • Da der Umfang des Schaltungsgehäuses 400 im zweiten Spritzgießprozess zum Bilden des Gehäuses 302 durch Bilden eines Teils des Befestigungsteils 372, welcher die Außenwand des Schaltungsgehäuses 400 über den gesamten Umfang in der Form eines dünnen Bandes bedeckt, umhüllt wird, ist es möglich, eine durch Volumenschwund im Verlauf der Erstarrung des Befestigungsteils 372 verursachte übermäßige Spannungskonzentration abzuschwächen. Die übermäßige Spannungskonzentration kann sich nachteilig auf das Schaltungsgehäuse 400 auswirken.
  • Um das Schaltungsgehäuse 400 mit einem kleinen Flächeninhalt durch Verringern des Flächeninhalts eines durch das Harz des Gehäuses 302 der Außenumfangsfläche des Schaltungsgehäuses 400 umhüllten Teils robuster zu befestigen, ist es vorzuziehen, das Haftvermögen des Schaltungsgehäuses 400 an der Außenwand im Befestigungsteil 372 zu erhöhen. Bei Verwendung eines thermoplastischen Harzes zum Bilden des Gehäuses 302 ist es vorzuziehen, dass das thermoplastische Harz in feine Unebenheiten an der Außenwand des Schaltungsgehäuses 400 eindringt, während es eine niedrige Viskosität hat, und das thermoplastische Harz erstarrt, während es in die feinen Unebenheiten der Außenwand eingedrungen ist. Im Spritzgießprozess zum Bilden des Gehäuses 302 ist es vorzuziehen, dass die Einlassöffnung des thermoplastischen Harzes im Befestigungsteil 372 und in der Nähe desselben vorgesehen ist. Mit sinkender Temperatur nimmt die Viskosität des thermoplastischen Harzes zu, so dass es erstarrt. Deshalb ist es durch Einleiten des thermoplastischen Harzes mit einer hohen Temperatur in den Befestigungsteil 372 oder aus der näheren Umgebung desselben möglich, das thermoplastische Harz einer niedrigen Viskosität erstarren zu lassen, während es an die Außenwand des Schaltungsgehäuses 400 stößt. Infolgedessen wird ein Temperaturrückgang des thermoplastischen Harzes unterbunden und wird ein Zustand niedriger Viskosität aufrechterhalten, so dass das Haftvermögen zwischen dem Schaltungsgehäuse 400 und dem Befestigungsteil 372 verbessert wird.
  • Durch Aufrauhen der Außenwandoberfläche des Schaltungsgehäuses 400 ist es möglich, das Haftvermögen zwischen dem Schaltungsgehäuse 400 und dem Befestigungsteil 372 zu verbessern. Als ein Verfahren zum Aufrauhen der Außenwandoberfläche des Schaltungsgehäuses 400 ist ein Aufrauhverfahren zum Bilden feiner Unebenheiten auf der Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 wie eine Mattierung nach Bilden des Schaltungsgehäuses 400 durch den ersten Spritzgießprozess bekannt. Als das Aufrauhverfahren zum Bilden feiner Unebenheiten auf der Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 kann das Aufrauhen zum Beispiel durch Sandstrahlen erreicht werden. Außerdem kann das Aufrauhen mittels einer Laserbearbeitung erzielt werden.
  • Ein Wärmeausdehnungskoeffizient ist zwischen dem zum Bilden des Schaltungsgehäuses 400 verwendeten aushärtenden Harz und dem zum Bilden des Gehäuses 302 mit dem Befestigungsteil 372 verwendeten thermoplastischen Harz verschieden. Es ist vorzuziehen, zu verhindern, dass dem Schaltungsgehäuse 400 eine infolge dieses Unterschieds im Wärmeausdehnungskoeffizient erzeugte übermäßige mechanische Spannung auferlegt wird.
  • Indem der Befestigungsteil 372, welcher den Außenumfang des Schaltungsgehäuses 400 umhüllt, bandförmig gebildet wird und die Breite des Bandes verengt wird, ist es möglich, eine dem Schaltungsgehäuse 400 auferlegte, durch einen Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizient verursachte mechanische Spannung abzuschwächen. Eine Breite des Bandes des Befestigungsteils 372 ist auf 10 mm oder kleiner und vorzugsweise 8 mm oder kleiner festgelegt. Da der Außenwand-Vertiefungsteil 366 als ein Teil der stromaufwärts liegenden Außenwand 335 des Gehäuses 302 sowie der Befestigungsteil 372 das Schaltungsgehäuse 400 umhüllt, um das Schaltungsgehäuse 400 zu befestigen, ist es in dieser Ausführungsform möglich, die Breite des Bandes des Befestigungsteils 372 weiter zu verringern. Das Schaltungsgehäuse 400 kann zum Beispiel befestigt werden, wenn die Breite auf 3 mm oder größer festgelegt ist.
  • Um eine durch den Unterschied des Wärmeausdehnungskoeffizienten verursachte mechanische Spannung zu verringern, sind ein durch das zum Bilden des Gehäuses 302 verwendete Harz bedeckter Teil und ein unbedeckter, freigelegter Teil an der Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 vorgesehen. Eine Vielzahl von Teilen, wo die Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 aus dem Harz des Gehäuses 302 freigelegt ist, ist vorgesehen, und einer davon ist die Messfläche 430, welche den oben beschriebenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 enthält. Darüber hinaus ist ein zu einem Teil der Seite des Flanschs 312 bezüglich des Befestigungsteils 372 freigelegter Teil vorgesehen. Außerdem ist der Außenwand-Vertiefungsteil 366 so gebildet, dass er einen Teil der stromaufwärts liegenden Seite bezüglich des Außenwand-Vertiefungsteils 366 freilegt, und dieser freigelegte Teil dient als ein Stützteil, welcher den Temperaturerfassungsteil 452 trägt. Ein Spalt ist so gebildet, dass ein Teil der Außenfläche des Schaltungsgehäuses 400 auf der Seite des Flanschs 312 bezüglich des Befestigungsteils 372 das Schaltungsgehäuse 400 über seinen Außenumfang, insbesondere die dem Flansch 312 von der stromabwärts liegenden Seite des Schaltungsgehäuses 400 gegenüberliegende Seite, und weiter über die stromaufwärts liegende Seite des Teils nahe der Klemme des Schaltungsgehäuses 400 umgibt. Da der Spalt um den Teil, in welchem die Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 freigelegt ist, herum gebildet ist, ist es möglich, die vom Hauptdurchgang 124 durch den Flansch 312 zum Schaltungsgehäuse 400 übertragene Wärmemenge zu verringern und eine durch die Wärme verursachte Verschlechterung der Messgenauigkeit zu unterbinden.
  • Ein Spalt ist zwischen dem Schaltungsgehäuse 400 und dem Flansch 312 gebildet, und dieser Spalt dient als ein Klemmenverbinder 320. Die Anschlussklemme 412 des Schaltungsgehäuses 400 und die auf der Seite des Gehäuses 302 der Außenklemme 306 angeordnete Innenbuchse der Außenklemme 361 sind unter Verwendung dieses Klemmenverbinders 320 durch Punktschweißen, Laserschweißen und dergleichen elektrisch miteinander verbunden. Der Spalt des Klemmenverbinders 320 kann eine Wärmeübertragung vom Gehäuse 302 zum Schaltungsgehäuse 400 unterbinden wie oben beschrieben und ist als ein Raum vorgesehen, welcher verwendet werden kann, um eine Verbindung zwischen der Anschlussklemme 412 des Schaltungsgehäuses 400 und der Innenbuchse der Außenklemme 361 der Außenklemme 306 herzustellen.
  • 3.4. Prüfung des Endprodukts des ersten Spritzgießprozesses
  • In der Ausführungsform in den 5(B) und 6(B) ist die Anzahl im Schaltungsgehäuse 400 vorgesehener Klemmen größer als die Anzahl von Innenbuchsen der Außenklemmen 361. Von den Klemmen des Schaltungsgehäuses 400 ist jede der Anschlussklemmen 412 mit jeder der Innenbuchsen der Außenklemmen 361 verbunden und sind die Klemmen 414 nicht mit den Innenbuchsen der Außenklemmen 361 verbunden. Das heißt, obwohl die Klemmen 414 im Schaltungsgehäuse 400 vorgesehen sind, sind sie nicht mit den Innenbuchsen der Außenklemmen 361 verbunden.
  • In den 5(B) und 6(B) ist zusätzlich zur mit der Innenbuchse der Außenklemme 361 verbundenen Anschlussklemme 412 die nicht mit der Innenbuchse der Außenklemme 361 verbundene Klemme 414 vorgesehen. Nachdem das Schaltungsgehäuse 400 mittels des ersten Spritzgießprozesses hergestellt wurde, wird geprüft, ob das Schaltungsgehäuse 400 richtig funktioniert und ob im ersten Spritzgießprozess eine Anomalie einer elektrischen Verbindung verursacht wurde. Infolgedessen ist es möglich, bei jedem Schaltungsgehäuse 400 eine hohe Zuverlässigkeit aufrechtzuerhalten. Die nicht mit der Innenbuchse der Außenklemme 361 verbundene Klemme 414 wird bei einer solchen Prüfung des Schaltungsgehäuses 400 benutzt. Da die Klemme 414 nach der Prüfung nicht mehr benötigt wird, kann diese unbenutzte Klemme 414 nach der Prüfung an der Basis des Schaltungsgehäuses 400 herausgeschnitten werden oder kann sie im als der klemmenseitige Befestigungsteil 362 dienenden Harz versenkt werden, wie in den 5(B) und 6(B) gezeigt. Durch Bereitstellen der nicht mit der Innenbuchse der Außenklemme 361 verbundenen Klemme 414 auf diese Weise ist es möglich, zu prüfen, ob eine Anomalie im mittels des ersten Spritzgießprozesses hergestellten Schaltungsgehäuse 400 verursacht wird, und eine hohe Zuverlässigkeit aufrechtzuerhalten.
  • 3.5 Bildung des Gehäuses 302 mittels des zweiten Spritzgießprozesses und Wirkungen desselben
  • Im oben beschriebenen, in den 5(A) bis 6(B) dargestellten Gehäuse 302 wird das den Luftmengenmessteil 602 oder die Verarbeitungseinheit 604 enthaltende Schaltungsgehäuse 400 mittels des ersten Spritzgießprozesses hergestellt. Dann wird das zum Beispiel den Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 oder den Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 zum Bilden des Nebendurchgangs, in welchem das Messobjekt-Gas 30 strömt, enthaltende Gehäuse 302 mittels des zweiten Spritzgießprozesses hergestellt. Mittels dieses zweiten Spritzgießprozesses wird das Schaltungsgehäuse 400 in das Harz des Gehäuses 302 eingebettet und durch Spritzgießen an der Innenseite des Gehäuses 302 befestigt. Infolgedessen führt der Luftmengenmessteil 602 eine Wärmeübertragung mit dem Messobjekt-Gas 30 durch, so dass eine Konfigurationsbeziehung wie eine Positionsbeziehung oder eine Richtungsbeziehung zwischen dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 zum Messen des Durchflusses und dem zum Beispiel den Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 oder den Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 enthaltenden Nebendurchgang mit beachtlich hoher Genauigkeit aufrechterhalten werden kann. Darüber hinaus ist es möglich, einen Fehler oder eine Abweichung, welcher bzw. welche in jedem Schaltungsgehäuse 400 erzeugt wird, auf einen sehr kleinen Wert zu unterdrücken. Infolgedessen ist es möglich, die Messgenauigkeit des Schaltungsgehäuses 400 beachtlich zu verbessern. Zum Beispiel ist es gegenüber einem herkömmlichen Verfahren, bei welchem die Befestigung mittels eines Klebstoffs erfolgt, möglich, die Messgenauigkeit zu verdoppeln oder noch weiter zu steigern. Da der thermische Durchflussmesser 300 üblicherweise in großen Mengen hergestellt wird, unterliegt das Verfahren des Verwendens eines Klebstoffs zusammen mit strenger Messung einer Beschränkung bei der Verbesserung der Messgenauigkeit. Jedoch ist es, wenn das Schaltungsgehäuse 400 wie in dieser Ausführungsform mittels des ersten Spritzgießprozesses hergestellt wird und dann im zweiten Spritzgießprozess zum Bilden des Nebendurchgangs, in welchem das Messobjekt-Gas 30 strömt, der Nebendurchgang gebildet wird, während das Schaltungsgehäuse 400 und der Nebendurchgang befestigt werden, möglich, eine Schwankung der Messgenauigkeit beachtlich zu verringern und die Messgenauigkeit jedes thermischen Durchflussmessers 300 beachtlich zu verbessern. Dies gilt entsprechend für die Ausführungsform in 7 sowie die Ausführungsform in den 5(A) bis 5(D) oder 6(A) und 6(B).
  • In der Ausführungsform beispielsweise der 5(A) bis 6(B) ist es ferner möglich, das Schaltungsgehäuse 400 so am Gehäuse 302 zu befestigen, dass eine Beziehung zwischen dem Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332, dem Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334 und dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 auf eine bestimmte Beziehung festgelegt ist. Infolgedessen kann in jedem der in großen Mengen produzierten thermischen Durchflussmesser 300 eine Positionsbeziehung oder eine Konfigurationsbeziehung zwischen dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 jedes Schaltungsgehäuses 400 und dem Nebendurchgang regelmäßig mit beachtlich hoher Genauigkeit erzielt werden. Da der Nebendurchgangsgraben, wo der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 des Schaltungsgehäuses 400 befestigt ist, zum Beispiel der Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite 332 und der Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite 334, mit beachtlich hoher Genauigkeit gebildet werden kann, ist ein Bilden des Nebendurchgangs in diesem Nebendurchgangsgraben ein Bedecken beider Seiten des Gehäuses 302 unter Verwendung der Vorderseiten-Abdeckung 303 oder der Rückseiten-Abdeckung 304. Dieser Vorgang ist ein sehr einfacher Arbeitsvorgang mit wenig Potential, die Messgenauigkeit zu verschlechtern. Darüber hinaus wird die Vorderseiten- oder die Rückseiten-Abdeckung 303 oder 304 mittels eines Spritzgießprozesses mit hoher Formgenauigkeit hergestellt. Deshalb ist es möglich, den in einer bestimmten Beziehung zum Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 des Schaltungsgehäuses 400 vorgesehenen Nebendurchgang mit hoher Genauigkeit zu bilden. Auf diese Weise ist es möglich, zusätzlich zur Verbesserung der Messgenauigkeit eine hohe Produktivität zu erzielen.
  • Demgegenüber wurde der thermische Durchflussmesser nach Stand der Technik durch Herstellen des Nebendurchgangs und anschließendes Kleben des Messteils in den Nebendurchgang mittels eines Klebstoffs produziert. Ein solches Verfahren des Verwendens eines Klebstoffs ist nachteilig, weil eine Dicke des Klebstoffs unregelmäßig ist und eine Position oder ein Winkel des Klebstoffs in jedem Produkt anders ist. Aus diesem Grund unterlag die Verbesserung der Messgenauigkeit einer Beschränkung. Wenn dieser Vorgang in einer Massenfertigung durchgeführt wird, ist es weiter schwierig, die Messgenauigkeit zu verbessern.
  • In der Ausführungsform gemäß der Erfindung wird zuerst das den Luftmengenmessteil 602 enthaltende Schaltungsgehäuse 400 mittels eines ersten Spritzgießprozesses hergestellt und wird das Schaltungsgehäuse 400 dann mittels Spritzgießen befestigt, während der Nebendurchgangsgraben zum Bilden des Nebendurchgangs mittels eines zweiten Spritzgießprozesses mittels Spritzgießen gebildet wird. Infolgedessen ist es möglich, die Form des Nebendurchgangsgrabens zu bilden und den Luftmengenmessteil 602 mit beträchtlich hoher Genauigkeit am Nebendurchgangsgraben zu befestigen.
  • Ein mit der Messung des Durchflusses zusammenhängender Teil wie der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 des Luftmengenmessteils 602 oder die im Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 installierte Messfläche 430 wird auf der Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 gebildet. Dann werden die Messfläche 430 und der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 aus dem zum Bilden des Gehäuses 302 verwendeten Harz freigelegt. Das heißt, der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 und die Messfläche 430 um den Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 herum sind nicht durch das zum Bilden des Gehäuses 302 verwendete Harz bedeckt. Die durch das Spritzgießen des Schaltungsgehäuses 400 gebildete Messfläche 430, der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 oder der Temperaturerfassungsteil 452 wird auch nach dem Spritzgießen des Gehäuses 302 direkt verwendet, um einen Durchfluss des thermischen Durchflussmessers 300 oder eine Temperatur zu messen. Infolgedessen wird die Messgenauigkeit verbessert.
  • In der Ausführungsform gemäß der Erfindung wird das Schaltungsgehäuse 400 mit dem Gehäuse 302 integriert gebildet, um das Schaltungsgehäuse 400 am den Nebendurchgang enthaltenden Gehäuse 302 zu befestigen. Deshalb ist es möglich, das Schaltungsgehäuse 400 mit einer kleinen Befestigungsfläche am Gehäuse 302 zu befestigen. Das heißt, es ist möglich, die Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400, welche nicht mit dem Gehäuse 302 in Kontakt kommt, zu vergrößern.
  • Die Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400, welche nicht mit dem Gehäuse 302 in Kontakt kommt, liegt zum Beispiel in einem Spalt frei. Die Wärme des Ansaugrohrs wird zum Gehäuse 302 übertragen und wird dann vom Gehäuse 302 zum Schaltungsgehäuse 400 übertragen. Selbst wenn die Kontaktfläche zwischen dem Gehäuse 302 und dem Schaltungsgehäuse 400 verkleinert wird, statt die gesamte Oberfläche oder den größten Teil der Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 mit dem Gehäuse 302 zu umhüllen, ist es möglich, eine hohe Zuverlässigkeit mit einer hohen Genauigkeit aufrechtzuerhalten und das Schaltungsgehäuse 400 am Gehäuse 302 zu befestigen. Aus diesem Grund ist es möglich, eine Wärmeübertragung vom Gehäuse 302 zum Schaltungsgehäuse 400 zu verhindern und einen Rückgang der Messgenauigkeit zu verhindern.
  • In der in den 5(A) bis 5(D) oder 6(A) und 6(B) veranschaulichten Ausführungsform kann die Fläche A der freigelegten Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 größer als die oder gleich der durch ein zum Bilden des Gehäuses 302 verwendetes Spritzgussmaterial bedeckten Fläche B festgelegt sein. In der Ausführungsform ist die Fläche A größer als die Fläche B. Infolgedessen ist es möglich, eine Wärmeübertragung vom Gehäuse 302 zum Schaltungsgehäuse 400 zu unterbinden. Darüber hinaus ist es möglich, eine durch einen Unterschied zwischen einem Wärmeausdehnungskoeffizient des zum Bilden des Schaltungsgehäuses 400 verwendeten aushärtenden Harzes und einem Wärmeausdehnungskoeffizient des zum Bilden des Gehäuses 302 verwendeten thermoplastischen Harzes erzeugte mechanische Spannung zu verringern.
  • 4. Erscheinungsbild des Schaltungsgehäuses 400
  • 4.1 Bildung der Messfläche 430 mit dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436
  • Die 8(A) bis 8(C) veranschaulichen ein Erscheinungsbild des mittels des ersten Spritzgießprozesses gebildeten Schaltungsgehäuses 400. Es ist zu beachten, dass der schraffierte Teil im Erscheinungsbild des Schaltungsgehäuses 400 eine Fläche angibt, wo das Schaltungsgehäuse 400 durch das im zweiten Spritzgießprozess verwendete Harz bedeckt wird, wenn das Gehäuse 302 mittels des zweiten Spritzgießprozesses gebildet wird, nachdem das Schaltungsgehäuse 400 mittels des ersten Spritzgießprozesses hergestellt wurde. 8(A) ist eine Ansicht der linken Seite zur Veranschaulichung des Schaltungsgehäuses 400, 8(B) ist eine Vorderansicht zur Veranschaulichung des Schaltungsgehäuses 400, und 8(C) ist eine Rückansicht zur Veranschaulichung des Schaltungsgehäuses 400. Das Schaltungsgehäuse 400 ist mit dem Luftmengenmessteil 602 oder der Verarbeitungseinheit 604, welche unten beschrieben sind, eingebettet, und sie sind unter Verwendung eines aushärtenden Harzes integriert vergossen.
  • Das Schaltungsgehäuse 400 weist einen Gehäusekörper 426 (siehe 5(A) bis 6(B)), welcher an einem Gehäuse 302 befestigt ist, und einen Vorsprung 424 auf, welcher aus dem Gehäusekörper 426 vorspringt und aus dem Gehäuse 302 freiliegt. Der Gehäusekörper 426 hat eine ebene Plattenform, welche in der Draufsicht rechteckig ist, und der Vorsprung 424 ist an einem mittleren Teil eines stromaufwärts liegenden Endteils vorgesehen.
  • Auf der Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 in 8(B) ist die als eine Ebene zum Durchleiten des Messobjekt-Gases 30 dienende Messfläche 430 in einer Form, welche sich in einer Strömungsrichtung des Messobjekt-Gases 30 erstreckt, gebildet. In dieser Ausführungsform hat die Messfläche 430 eine rechteckige Form, welche sich in der Strömungsrichtung des Messobjekt-Gases 30 erstreckt. Die Messfläche 430 ist so gebildet, dass sie dünner als andere Teile ist wie in 8(A) dargestellt, und ein Teil derselben ist mit dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 versehen. Der eingebettete Luftmengenmessteil 602 führt über den Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 eine Wärmeübertragung zum Messobjekt-Gas 30 durch, um einen Zustand des Messobjekt-Gases 30 wie eine Strömungsgeschwindigkeit des Messobjekt-Gases 30 zu messen und ein elektrisches Signal auszugeben, welches dem Durchfluss des Hauptdurchgangs 124 entspricht.
  • Um einen Zustand des Messobjekt-Gases 30 mittels des eingebetteten Luftmengenmessteils 602 (siehe 16) mit hoher Genauigkeit zu messen, bildet das durch die nähere Umgebung des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 strömende Gas vorzugsweise eine laminare Strömung mit einem geringen Wirbel. Aus diesem Grund ist es vorzuziehen, dass kein Höhenunterschied zwischen der durchflusswegseitigen Oberfläche des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 und der Ebene der Messfläche 430, welche das Gas leitet, vorliegt. Bei dieser Konfiguration ist es möglich, zu verhindern, dass der Luftmengenmessteil 602 einer irregulären mechanischen Spannung oder einer Verwindung unterzogen wird, während eine hohe Durchfluss-Messgenauigkeit aufrechterhalten wird. Es ist zu beachten, dass der obengenannte Höhenunterschied vorgesehen sein kann, wenn er die Durchfluss-Messgenauigkeit nicht beeinträchtigt.
  • Auf der rückseitigen Oberfläche der Messfläche 430 des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 verbleibt ein Pressabdruck 442 der Spritzgussform, welche während des Spritzgießens des Schaltungsgehäuses 400 ein internes Substrat oder eine interne Platte stützt, wie in 8(C) gezeigt. Der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 wird verwendet, um einen Wärmeaustausch mit dem Messobjekt-Gas 30 durchzuführen. Um einen Zustand des Messobjekt-Gases 30 genau zu messen, ist es vorzuziehen, eine Wärmeübertragung zwischen dem Luftmengenmessteil 602 und dem Messobjekt-Gas 30 in geeigneter Weise durchzuführen. Aus diesem Grund ist es erforderlich, zu verhindern, dass ein Teil des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 im ersten Spritzgießprozess durch das Harz bedeckt wird. Spritzgussformen werden sowohl am Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 als auch an der Rückseite der Messfläche 431 als einer rückseitigen Oberfläche derselben angebracht, und ein Zufluss des Harzes in den Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 wird mittels dieser Spritzgussform verhindert. Ein Pressabdruck 442 mit einer konkaven Form ist auf der rückseitigen Oberfläche des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 gebildet. In diesem Teil ist es vorzuziehen, eine als der Luftmengenmessteil 602 oder dergleichen dienende Vorrichtung in der Nähe anzuordnen, um die von der Vorrichtung erzeugte Wärme so weit wie möglich nach außen abzugeben. Der gebildete konkave Teil wird durch das Harz weniger beeinflusst und gibt leicht Wärme ab.
  • Eine dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 entsprechende Halbleitermembran ist in einem eine Halbleitervorrichtung enthaltenden Luftmengenmessteil (Luftmengenmesselement) 602 gebildet. Die Halbleitermembran lässt sich durch Bilden eines Spalts an der rückseitigen Oberfläche des Durchflussmesselements 602 erzielen. Wenn der Spalt bedeckt ist, wird die Halbleitermembran verformt und verschlechtert sich die Messgenauigkeit infolge einer durch eine Temperaturänderung verursachten Druckänderung im Spalt. Aus diesem Grund ist in dieser Ausführungsform eine mit dem Spalt der rückseitigen Oberfläche der Halbleitermembran in Verbindung stehende Öffnung 438 in der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 vorgesehen und ist ein Verbindungskanal zum Verbinden des Spalts der rückseitigen Oberfläche der Halbleitermembran mit der Öffnung 438 im Schaltungsgehäuse 400 vorgesehen. Es ist zu beachten, dass die Öffnung 438 im nicht schraffierten Teil in den 8(A) bis 8(C) vorgesehen ist, um zu verhindern, dass die Öffnung 438 im zweiten Spritzgießprozess durch das Harz bedeckt wird.
  • Es ist erforderlich, die Öffnung 438 mittels des ersten Spritzgießprozesses zu bilden, während ein Zufluss des Harzes in den Teil der Öffnung 438 unterbunden wird, indem Spritzgussformen sowohl einem Teil der Öffnung 438 als auch einer rückseitigen Oberfläche derselben angeglichen werden und die Spritzgussformen zusammengepresst werden. Nachfolgend wird die Bildung der Öffnung 438 und des Verbindungskanals, welcher den Spalt an der rückseitigen Oberfläche der Halbleitermembran mit der Öffnung 438 verbindet, beschrieben.
  • 4.2 Bildung des Temperaturerfassungsteils 452 und des Vorsprungs 424 und Wirkungen derselben
  • Der im Schaltungsgehäuse 400 vorgesehene Temperaturerfassungsteil 452 ist im vorderen Ende des Vorsprungs 424, welcher sich in der Stromaufwärts-Richtung des Messobjekt-Gases 30 erstreckt, vorgesehen, um den Temperaturerfassungsteil 452 zu stützen, und hat außerdem eine Funktion des Erfassens einer Temperatur des Messobjekt-Gases 30. Um eine Temperatur des Messobjekt-Gases 30 mit hoher Genauigkeit zu erfassen, ist es vorzuziehen, die Wärmeübertragung zu anderen Teilen als dem Messobjekt-Gas 30 so weit wie möglich zu verringern. Der Vorsprung 424, welcher den Temperaturerfassungsteil 452 trägt, hat eine Form, deren vorderes Ende dünner als ihre Basis ist, und enthält in seinem vorderen Endteil den Temperaturerfassungsteil 452. Wegen einer solchen Form ist es möglich, den Einfluss der Wärme vom Halsteil des Vorsprungs 424 auf den Temperaturerfassungsteil 452 zu verringern.
  • Nachdem die Temperatur des Messobjekt-Gases 30 mittels des Temperaturerfassungsteils 452 erfasst wurde, strömt das Messobjekt-Gas 30 entlang des Vorsprungs 424, um die Temperatur des Vorsprungs 424 an die Temperatur des Messobjekt-Gases 30 anzunähern. Infolgedessen ist es möglich, den Einfluss der Temperatur des Halsteils des Vorsprungs 424 auf den Temperaturerfassungsteil 452 zu unterdrücken. Insbesondere ist in dieser Ausführungsform der Temperaturerfassungsteil 452 in der Nähe des Vorsprungs 424 mit dem Temperaturerfassungsteil 452 dünner und wird er zum Hals des Vorsprungs hin dicker. Aus diesem Grund strömt das Messobjekt-Gas 30 entlang der Form des Vorsprungs 424, um den Vorsprung 424 wirkungsvoll zu kühlen.
  • Der in den 8(A) bis 8(C) durch diagonale Linien gekennzeichnete, schraffierte Teil des Halsteils des Vorsprungs 424 ist eine durch das zum Bilden des Gehäuses 302 im zweiten Spritzgießprozess verwendete Harz bedeckte Befestigungsfläche 432. Eine Vertiefung ist im schraffierten Teil des Halsteils des Vorsprungs 424 vorgesehen. Dies zeigt, dass ein nicht durch das Harz des Gehäuses 302 bedeckter Teil der vertieften Form vorgesehen ist. Wenn ein solcher nicht durch das Harz des Gehäuses 302 bedeckter Teil mit einer vertieften Form auf diese Weise im Halsteil des Vorsprungs 424 vorgesehen ist, ist es möglich, den Vorsprung 424 mittels des Messobjekt-Gases 30 weiter leicht zu kühlen.
  • 4.3 Klemme des Schaltungsgehäuses 400
  • Das Schaltungsgehäuse 400 ist mit der Anschlussklemme 412 versehen, um elektrische Energie zum Betreiben des eingebetteten Luftmengenmessteils 602 oder der Verarbeitungseinheit 604 zuzuführen und den Durchfluss-Messwert oder den Temperatur-Messwert auszugeben. Darüber hinaus ist eine Klemme 414 vorgesehen, um zu prüfen, ob das Schaltungsgehäuse 400 zweckgemäß funktioniert oder ob eine Anomalie in einem Schaltungsbauteil oder einer Verbindung desselben erzeugt wird. In dieser Ausführungsform wird das Schaltungsgehäuse 400 gebildet, indem Spritzpressen für den Luftmengenmessteil 602 oder die Verarbeitungseinheit 604 unter Verwendung eines aushärtenden Harzes mittels des ersten Spritzgießprozesses durchgeführt wird. Durch Durchführen des Spritzpressens ist es möglich, die Maßgenauigkeit des Schaltungsgehäuses 400 zu verbessern. Da jedoch ein Hochdruck-Harz in das Innere der verschlossenen Spritzgussform, in welches der Luftmengenmessteil 602 oder die Verarbeitungseinheit 604 eingebettet ist, gepresst wird, ist es im Spritzpressprozess vorzuziehen zu prüfen, ob ein Defekt im Luftmengenmessteil 602 oder in der Verarbeitungseinheit 604 und in einer entsprechenden Verdrahtungsbeziehung für das erzielte Schaltungsgehäuse 400 vorliegt. In dieser Ausführungsform ist eine Prüfklemme 414 vorgesehen und wird eine Prüfung für jedes der hergestellten Schaltungsgehäuse 400 durchgeführt. Da die Prüfklemme 414 nicht zur Messung verwendet wird, ist die Klemme 414 nicht mit der Innenbuchse der Außenklemme 361 verbunden wie oben beschrieben. Darüber hinaus ist jede Anschlussklemme 412 mit einem gekrümmten Teil 416 versehen, um eine mechanische Federkraft zu erhöhen. Wenn eine mechanische Federkraft in jeder Anschlussklemme 412 vorgesehen ist, ist es möglich, eine durch einen Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizient zwischen dem Harz des ersten Spritzgießprozesses und dem Harz des zweiten Spritzgießprozesses verursachte mechanische Spannung zu aufzunehmen. Das heißt, jede Anschlussklemme 412 wird durch eine durch den ersten Spritzgießprozess verursachte Wärmeausdehnung beeinflusst, und die mit jeder Anschlussklemme 412 verbundene Innenbuchse der Außenklemme 361 wird durch das Harz des zweiten Spritzgießprozesses beeinflusst. Deshalb ist es möglich, die Erzeugung einer durch den Unterschied im Harz verursachten mechanischen Spannung zu aufzunehmen.
  • 4.4 Befestigung des Schaltungsgehäuses 400 mittels des zweiten Spritzgießprozesses und Wirkungen derselben
  • In den 8(A) bis 8(C) gibt der schraffierte Teil eine Befestigungsfläche 432 zum Bedecken des Schaltungsgehäuses 400 mit dem im zweiten Spritzgießprozess verwendeten thermoplastischen Harz, um das Schaltungsgehäuse 400 im zweiten Spritzgießprozess am Gehäuse 302 zu befestigen, an. Wie oben in Bezug auf die 5(A) bis 5(D) oder die 6(A) und 6(B) beschrieben, ist es wichtig, eine hohe Genauigkeit aufrechtzuerhalten, um eine bestimmte Beziehung zwischen der Messfläche 430, dem in der Messfläche 430 vorgesehenen Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 und der Form des Nebendurchgangs zu schaffen. Im zweiten Spritzgießprozess wird der Nebendurchgang gebildet und wird das Schaltungsgehäuse 400 an dem Gehäuse 302 befestigt, welches den Nebendurchgang bildet. Deshalb ist es möglich, eine Beziehung zwischen dem Nebendurchgang, der Messfläche 430 und dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 mit beträchtlich hoher Genauigkeit aufrechtzuerhalten. Das heißt, da das Schaltungsgehäuse 400 im zweiten Spritzgießprozess am Gehäuse 302 befestigt wird, ist es möglich, das Schaltungsgehäuse 400 mit hoher Genauigkeit in der zum Bilden des Gehäuses 302 mit dem Nebendurchgang verwendeten Spritzgussform zu positionieren und zu befestigen. Durch Einspritzen eines thermoplastischen Harzes mit einer hohen Temperatur in diese Spritzgussform wird der Nebendurchgang mit hoher Genauigkeit gebildet und wird das Schaltungsgehäuse 400 mit hoher Genauigkeit befestigt.
  • In dieser Ausführungsform ist die gesamte Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 keine durch das zum Bilden des Gehäuses 302 verwendete Harz bedeckte Befestigungsfläche 432, sondern ist die vorderseitige Oberfläche zur Seite der Anschlussklemme 412 des Schaltungsgehäuses 400 freigelegt. Das heißt, ein nicht durch das zum Bilden des Gehäuses 302 verwendete Harz bedeckter Teil ist vorgesehen. In der in den 8(A) bis 8(C) gezeigten Ausführungsform ist die Fläche aus der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400, welche nicht durch das zum Bilden des Gehäuses 302 verwendete Harz umhüllt ist, sondern aus dem zum Bilden des Gehäuses 302 verwendeten Harz freigelegt ist, größer als die Fläche der durch das zum Bilden des Gehäuses 302 verwendete Harz umhüllten Befestigungsfläche 432.
  • Ein Wärmeausdehnungskoeffizient ist zwischen dem zum Bilden des Schaltungsgehäuses 400 verwendeten aushärtenden Harz und dem zum Bilden des Gehäuses 302 mit dem Befestigungsteil 372 verwendeten thermoplastischen Harz verschieden. Es ist vorzuziehen, so lang wie möglich zu verhindern, dass dem Schaltungsgehäuse 400 eine durch diesen Unterschied im Wärmeausdehnungskoeffizient verursachte mechanische Spannung auferlegt wird. Durch Verkleinern der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 und der Befestigungsfläche 432 ist es möglich, den Einfluss des Unterschieds der Wärmeausdehnungskoeffizienten zu verringern. Zum Beispiel ist es möglich, durch Schaffen einer Bandform einer Breite L die Befestigungsfläche 432 in der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 zu verkleinern.
  • Durch Bereitstellen der Befestigungsfläche 432 in der Basis des Vorsprungs 424 ist es möglich, eine mechanische Festigkeit des Vorsprungs 424 zu erhöhen. Durch Bereitstellen einer bandförmigen Befestigungsfläche entlang einer Strömungsachse des Messobjekt-Gases 30 und einer Befestigungsfläche quer zur Strömungsachse des Messobjekt-Gases 30 in der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 ist es möglich, das Schaltungsgehäuse 400 und das Gehäuse 302 robuster aneinander zu befestigen. In der Befestigungsfläche 432 ist ein das Schaltungsgehäuse 400 umgebender Teil in einer Bandform mit einer Breite L entlang der Messfläche 430 die oben beschriebene Befestigungsfläche entlang der Strömungsachse des Messobjekt-Gases 30 und ist ein Teil, welcher die Basis des Vorsprungs 424 bedeckt, die Befestigungsfläche quer zur Strömungsachse des Messobjekt-Gases 30.
  • 5. Einbau der Schaltungsbauteile in das Schaltungsgehäuse
  • 5.1 Systemträger des Schaltungsgehäuses
  • 9 veranschaulicht einen Systemträger 510 des Schaltungsgehäuses 400 und einen Befestigungszustand eines Schaltungs-Chips und eines Sensorchips, welche auf dem Systemträger 510 befestigt sind. Es ist zu beachten, dass eine gestrichelte Linie 508 einen durch die zum Spritzgießen des Schaltungsgehäuses 400 verwendete Spritzgussform bedeckten Teil andeutet.
  • Der Systemträger 510 ist so konfiguriert, dass eine Zuleitung mit einem Stützrahmen 512 mechanisch verbunden ist und durch diesen gehalten wird und dass eine Platte 532 in der Mitte der Zuleitung angebracht ist. Ein chipartiger Luftmengenmessteil (Sensorchip) 602 und eine als LSI gebildete Verarbeitungseinheit 604 sind auf der Platte 532 befestigt. Eine Membran 672 ist im Luftmengenmessteil 602 vorgesehen, und diese entspricht dem oben beschriebenen, mittels Spritzgießen wie oben beschrieben gebildeten Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436. Jede Klemme des Luftmengenmessteils 602 wie unten beschrieben und die Verarbeitungseinheit 604 sind mittels eines Drahts 542 elektrisch verbunden. Überdies sind jede Klemme der Verarbeitungseinheit 604 und eine entsprechende Zuleitung 514 mittels eines Drahts 543 verbunden. Darüber hinaus ist die zwischen einem der Anschlussklemme des Schaltungsgehäuses 400 entsprechenden Teil und der Platte 532 angeordnete Zuleitung 514 mit dem chipartigen Schaltungsbauteil (Schaltungs-Chip) 516 dazwischen verbunden.
  • Der die Membran 672 enthaltende Luftmengenmessteil 602 ist auf der Seite des vordersten Endes angeordnet, wenn das Schaltungsgehäuse 400 auf diese Weise erzielt wird. Die Verarbeitungseinheit 604 ist auf der der Anschlussklemme für den Luftmengenmessteil 602 in einer LSI-Ausführung entsprechenden Seite angeordnet. Darüber hinaus ist ein Verbindungsdraht 543 auf der Klemmenseite der Verarbeitungseinheit 604 angeordnet. Durch aufeinanderfolgendes Anordnen des Luftmengenmessteils 602, der Verarbeitungseinheit 604, des Drahts 543, des Schaltungsbauteils 516 und der Verbindungsleitung 514 in dieser Reihenfolge von der Seite des vorderen Endes des Schaltungsgehäuses 400 zur Anschlussklemme wird das gesamte Schaltungsgehäuse 400 einfach und kompakt.
  • Eine Zuleitung zum Stützen der Platte 532 ist vorgesehen, und diese Zuleitung ist mittels der Zuleitung 556 oder 558 am Stützrahmen 512 befestigt. Es ist zu beachten, dass eine Zuleitungsfläche (nicht gezeigt) mit einem Flächeninhalt ähnlich demjenigen der mit der Zuleitung verbundenen Platte 532 an der Unterseite der Platte 532 vorgesehen ist und die Platte 532 auf der Zuleitungsfläche befestigt ist. Diese Zuleitungsfläche liegt an Masse. Infolgedessen ist es möglich, Rauschen zu unterdrücken, indem man die Schaltung des Luftmengenmessteils 602 oder der Verarbeitungseinheit 604 unter Verwendung der Zuleitungsfläche an eine gemeinsame Masse legt, so dass sich die Messgenauigkeit des Messobjekt-Gases 30 verbessert. Darüber hinaus sind Zuleitungen 544 und 545 auf der von der Platte 532 stromaufwärts liegenden Seite des Durchflusswegs vorgesehen, das heißt, so dass sie entlang einer quer zur Achse des Luftmengenmessteils 602, der Verarbeitungseinheit 604 oder des Schaltungsbauteils 516 wie oben beschrieben gerichteten Achse vorspringen. Ein Temperaturerfassungselement 518, zum Beispiel ein chipartiger Thermistor, ist an die Zuleitungen 544 und 545 angeschlossen. Darüber hinaus sind Zuleitungen 548 und 549 in der Nähe der Verarbeitungseinheit 604, welche eine Basis des Vorsprungs 424 (nämlich auf der Seite des Basisendes des Vorsprungs 424) ist, vorgesehen und sind die Zuleitungen 544 und 545 und die Zuleitungen 548 und 549 unter Verwendung einer dünnen Leitung 546 wie eines Au-Drahts elektrisch angeschlossen. Da die Zuleitungen 548 und 549 und die Zuleitungen 544 und 545 direkt angeschlossen sind, wird die Wärme durch die Zuleitungen 548 und 549 und die Zuleitungen 544 und 545 zum Temperaturerfassungselement 518 übertragen, so dass es schwierig sein kann, eine Temperatur des Messobjekt-Gases 30 genau zu messen. Aus diesem Grund ist es durch Verwenden eines Drahts mit einer kleinen Querschnittsfläche und einem hohen Wärmewiderstand möglich, einen Wärmewiderstand zwischen den Zuleitungen 548 und 549 und den Zuleitungen 544 und 545 zu erhöhen. Infolgedessen ist es möglich, die Temperaturmessgenauigkeit des Messobjekt-Gases 30 zu verbessern, um zu verhindern, dass der Einfluss der Wärme das Temperaturerfassungselement 518 erreicht.
  • Die Zuleitungen 548 und 549 sind über die Zuleitung 552 beziehungsweise 554 am Stützrahmen 512 befestigt. Ein Verbindungsteil zwischen der Zuleitung 552 oder 554 und dem Stützrahmen 512 ist am Stützrahmen 512 befestigt, wobei er gegen die Vorspringrichtung des vorspringenden Temperaturerfassungselements 518 geneigt ist, und die Spritzgussform ist ebenfalls in diesem Bereich geneigt. Da das Spritzgussharz im ersten Spritzgießprozess entlang dieser Neigung strömt, strömt das Spritzgussharz des ersten Spritzgießprozesses glatt zum vorderen Endteil, wo das Temperaturerfassungselement 518 vorgesehen ist, so dass die Zuverlässigkeit verbessert wird.
  • In 9 gibt ein Pfeil 592 eine Harzeinspritzrichtung an. Der Systemträger 510, wo ein Schaltungsbauteil befestigt ist, wird durch die Spritzgussform bedeckt, und ein Einpressloch 590 zur Harzeinspritzung in die Spritzgussform ist an einer eingekreisten Position vorgesehen, so dass ein aushärtendes Harz entlang der Richtung des Pfeils 592 in die Spritzgussform eingespritzt wird. Das Schaltungsbauteil 516 oder das Temperaturerfassungselement 518 und die Zuleitungen 544 und 545 zum Halten des Temperaturerfassungselements 518 sind vom Einpressloch 590 entlang der Richtung des Pfeils 592 vorgesehen. Darüber hinaus sind die Platte 532, die Verarbeitungseinheit 604 und der Luftmengenmessteil 602 in einer dem Pfeil 592 nahen Richtung angeordnet. Bei dieser Anordnung strömt das Harz im ersten Spritzgießprozess glatt. Im ersten Spritzgießprozess wird ein aushärtendes Harz verwendet, so dass es wichtig ist, das Harz vor dem Erstarren auszubreiten. Aus diesem Grund werden eine Anordnung eines Schaltungsbauteils der Zuleitung 514 oder eines Drahts und eine Beziehung zwischen dem Einpressloch 590 und der Einspritzrichtung sehr wichtig.
  • 5.2 Aufbau zum Verbinden des Spalts an der rückseitigen Oberfläche der Membran mit der Öffnung
  • 10 ist eine Zeichnung zur Veranschaulichung eines Teils des Querschnitts entlang einer Linie C-C in 9 zum Beschreiben eines Verbindungslochs 676, welches einen in der Membran 672 vorgesehenen Spalt 674 und den Luftmengenmessteil (das Durchflusserfassungselement) 602 und das Loch 520 miteinander verbindet.
  • Der Luftmengenmessteil 602 zum Messen des Durchflusses des Messobjekt-Gases 30 ist mit einer Membran 672 versehen, und ein Spalt 674 ist an der rückseitigen Oberfläche der Membran 672 vorgesehen. Obwohl nicht gezeigt, ist die Membran 672 mit einem Element zum Austauschen von Wärme mit dem Messobjekt-Gas 30 und zum Messen des Durchflusses dadurch ausgestattet. Wenn die Wärme getrennt vom Wärmeaustausch mit dem Messobjekt-Gas 30 durch die Membran 672 zu den in der Membran 672 gebildeten Elementen übertragen wird, ist es schwierig, den Durchfluss genau zu messen. Aus diesem Grund ist es erforderlich, einen Wärmewiderstand der Membran 672 zu erhöhen und die Membran 672 so dünn wie möglich zu bilden.
  • Der Luftmengenmessteil (das Luftmengenmesselement) 602 ist so im ersten Harz des mittels des ersten Spritzgießprozesses gebildeten Schaltungsgehäuses 400 eingebettet und befestigt, dass die Wärmeübertragungsfläche 437 der Membran 672 freiliegt. Die Oberfläche der Membran 672 ist mit den oben beschriebenen (nicht gezeigten) Elementen (wie einem Wärmeerzeuger 608, Widerständen 652 und 654 als einem stromaufwärts liegenden Widerstands-Temperaturfühler und Widerständen 656 und 658 als einem stromabwärts liegenden Widerstands-Temperaturfühler wie in 17 gezeigt) versehen. Die Elemente führen durch die Wärmeübertragungsfläche 437 an der Oberfläche der Elemente im der Membran 672 entsprechenden Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 eine Wärmeübertragung mit dem Messobjekt-Gas 30 (nicht gezeigt) durch. Die Wärmeübertragungsfläche 437 kann an der Oberfläche jedes Elements vorgesehen sein oder kann mit einem dünnen Schutzfilm darauf versehen sein. Es ist vorzuziehen, dass die Wärmeübertragung zwischen den Elementen und dem Messobjekt-Gas 30 gleichmäßig durchgeführt wird, und direkte Wärmeübertragungen zwischen den Elementen sollten so weit wie möglich verringert werden.
  • Ein Teil des Luftmengenmessteils (Luftmengenmesselements) 602, wo die Elemente vorgesehen sind, ist im Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 der Messfläche 430 angeordnet, und die Wärmeübertragungsfläche 437 ist aus dem zum Bilden der Messfläche 430 verwendeten Harz freigelegt. Der Außenumfang des Luftmengenmessteils 602 ist durch das im ersten Spritzgießprozess zum Bilden der Messfläche 430 verwendete aushärtende Harz bedeckt. Wenn nur die Seitenwand des Luftmengenmessteils 602 durch das aushärtende Harz abgedeckt ist und die Oberflächenseite des Außenumfangs des Luftmengenmessteils 602 (das heißt, die Fläche um die Membran 672) nicht durch das aushärtende Harz abgedeckt ist, wird eine im zum Bilden der Messfläche 430 verwendeten Harz erzeugte mechanische Spannung nur durch die Seitenwand des Luftmengenmessteils 602 aufgenommen, so dass es zu einer Verwindung in der Membran 672 kommen kann und Kennlinien sich verschlechtern können. Die Verwindung der Membran 672 wird durch Bedecken des Außenumfangsteils des Luftmengenmessteils 602 mit dem aushärtenden Harz, wie in 10 gezeigt, verringert. Wenn ein Höhenunterschied zwischen der Wärmeübertragungsfläche 437 und der Messfläche 430, wo das Messobjekt-Gas 30 strömt, groß ist, wird indessen die Strömung des Messobjekt-Gases 30 gestört, so dass die Messgenauigkeit sich verschlechtert. Deshalb ist es vorzuziehen, dass ein Höhenunterschied W zwischen der Wärmeübertragungsfläche 437 und der Messfläche 430, wo das Messobjekt-Gas 30 strömt, klein ist.
  • Die Membran 672 ist dünn gebildet, um eine Wärmeübertragung zwischen den einzelnen Elementen zu verhindern, und die dünne Membran wird durch Bilden eines Spalts 674 in der rückseitigen Oberfläche des Luftmengenmessteils 602 erzielt. Wenn dieser Spalt 674 verschlossen ist, ändert sich ein auf der rückseitigen Oberfläche der Membran 672 gebildeter Druck des Spalts 674 je nach einer Temperaturänderung. Wenn ein Druckunterschied zwischen dem Spalt 674 und der Oberfläche der Membran 672 zunimmt, nimmt die Membran 672 den Druck auf und wird eine Verwindung erzeugt, so dass eine hochgenaue Messung schwierig wird. Aus diesem Grund ist ein mit der nach außen geöffneten Öffnung 438 verbundenes Loch 520 in der Platte 532 vorgesehen und ist ein Verbindungsloch 676, welches dieses Loch 520 mit dem Spalt 674 verbindet, vorgesehen. Dieses Verbindungsloch 676 besteht zum Beispiel aus einem Paar von Platten, welches aus der ersten und der zweiten Platte 532 und 536 besteht. Eine erste Platte 532 ist mit Löchern 520 und 521 und einem Graben zum Bilden des Verbindungslochs 676 versehen. Das Verbindungsloch 676 ist durch Bedecken des Grabens und der Löcher 520 und 521 mit der zweiten Platte 536 gebildet. Durch das Verbindungsloch 676 und das Loch 520 werden die an die vorderseitige und die rückseitige Oberfläche der Membran 672 angelegten Drücke annähernd gleich, so dass die Messgenauigkeit verbessert wird.
  • Wie oben beschrieben, kann das Verbindungsloch 676 durch Bedecken des Grabens und der Löcher 520 und 521 mit der zweiten Platte 536 gebildet sein. Alternativ kann der Systemträger als zweite Platte 536 verwendet werden. Wie in Bezug auf 9 beschrieben, sind die Membran 672 und die als die Verarbeitungseinheit 604 dienende LSI-Schaltung auf der Platte 532 vorgesehen. Ein Systemträger zum Stützen der Platte 532, wo die Membran 672 und die Verarbeitungseinheit 604 angebracht sind, ist darunter vorgesehen. Deshalb wird der Aufbau bei Verwendung des Systemträgers einfacher. Darüber hinaus kann der Systemträger als eine Masseelektrode verwendet werden. Wenn der Systemträger als die zweite Platte 536 dient und das Verbindungsloch 676 durch Bedecken der in der ersten Platte 532 gebildeten Löcher 520 und 521 mittels des Systemträgers und Bedecken des in der ersten Platte 532 gebildeten Grabens mittels des Systemträgers auf diese Weise gebildet ist, ist es möglich, den gesamten Aufbau zu vereinfachen. Darüber hinaus ist es möglich, den Einfluss von Rauschen von außerhalb der Membran 672 und der Verarbeitungseinheit 604 zu verringern, weil der Systemträger als eine Masseelektrode dient.
  • Im Schaltungsgehäuse 400 verbleibt der Pressabdruck 442 an der rückseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400, wo der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gebildet ist. Um einen Zufluss des Harzes zum Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 zu verhindern, wird im ersten Spritzgießprozess eine Spritzgussform wie eine Einlegeform in einem Teil des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 angebracht und wird eine Spritzgussform in einem diesem entgegengesetzten Teil des Pressabdrucks 442 angebracht, so dass ein Zufluss des Harzes zum Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 unterbunden wird. Indem ein Teil des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 auf diese Weise gebildet wird, ist es möglich, den Durchfluss des Messobjekt-Gases 30 mit beträchtlich hoher Genauigkeit zu messen.
  • 11 veranschaulicht einen Zustand, in welchem der Systemträger 510 in 9 mit einem aushärtenden Harz mittels des ersten Spritzgießprozesses spritzgegossen ist und durch das aushärtende Harz bedeckt ist. Durch dieses Spritzgießen ist die Messfläche 430 in der vorderseitigen Oberfläche des Schaltungsgehäuses 400 gebildet und ist der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 in der Messfläche 430 vorgesehen. Darüber hinaus ist der Spalt 674 in der rückseitigen Oberfläche der dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 entsprechenden Membran 672 mit der Öffnung 438 verbunden. Der Temperaturerfassungsteil 452 zum Messen einer Temperatur des Messobjekt-Gases 30 ist im vorderen Ende des Vorsprungs 424 vorgesehen, und der Temperaturerfassungselement 518 (siehe 9) ist darin eingebettet. Innerhalb des Vorsprungs 424 ist eine Zuleitung zum Wegführen des elektrischen Signals des Temperaturerfassungselements 518 segmentiert, um eine Wärmeübertragung zu unterdrücken, und ist eine Verbindungsleitung 546 mit einem hohen Wärmewiderstand angeordnet. Infolgedessen ist es möglich, eine Wärmeübertragung von der Basis des Vorsprungs 424 zum Temperaturerfassungsteil 452 und den Einfluss der Wärme zu unterdrücken.
  • Ein Schrägteil 594 oder 596 ist an der Basis des Vorsprungs 424 gebildet. Ein Zufluss des Harzes im ersten Spritzgießprozess wird glatt. Darüber hinaus strömt das durch den Temperaturerfassungsteil 452 ausgemessene Messobjekt-Gas 30 dank dem Schrägteil 594 oder 596 glatt vom Vorsprung 424 zu seiner Basis, während der Temperaturerfassungsteil 452 in ein Fahrzeug eingebaut ist und darin betrieben wird, so dass die Basis des Vorsprungs 424 gekühlt wird. Deshalb ist es möglich, den Einfluss der Wärme auf den Temperaturerfassungsteil 452 zu verringern. Nach dem Zustand in 11 wird die Zuleitung 514 von jeder Klemme getrennt, so dass sie die Anschlussklemme 412 oder die Klemme 414 ist.
  • Im ersten Spritzgießprozess ist es erforderlich, einen Zufluss des Harzes zum Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 oder zur Öffnung 438 zu unterbinden. Aus diesem Grund wird im ersten Spritzgießprozess ein Zufluss des Harzes zu einer Position des Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteils 436 oder der Öffnung 438 unterbunden. Zum Beispiel wird eine Einlegeform, welche größer als die Membran 672 ist, angebracht und eine Presse an der rückseitigen Oberfläche derselben installiert, so dass sie von beiden Seiten gepresst wird. In 8(C) verbleibt der Pressabdruck 442 oder 441 an der rückseitigen Oberfläche, welche dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 oder der Öffnung 438 in 11 oder dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 oder der Öffnung 438 in 8(B) entspricht.
  • Wenn ein abgeschnittener Endteil einer Zuleitung durch Abschneiden des Stützrahmens 512 in 11 aus einer Harzoberfläche des Schaltungsgehäuses 400 freigelegt ist, kann, wenn Wasser oder Salzwasser (im Folgenden als Wasser oder dergleichen bezeichnet) am abgeschnittenen Endteil der Zuleitung anhaftet, Korrosion auftreten. Wasser oder dergleichen dringt darüber hinaus während des Betriebs vom abgeschnittenen Endteil der Zuleitung her in das Schaltungsgehäuse 400 ein und kann einen Schaltungs-Chip und einen Sensorchip zerfressen. Vom Standpunkt der Langlebigkeit oder Zuverlässigkeit her gesehen, ist es wichtig, ein solches Problem zu vermeiden. Zum Beispiel werden die Schrägteile 594 und 596 in einem zweiten Spritzgießprozess mit einem Spritzgussharz (zweiten Spritzgussharz) bedeckt und wird ein durch Schneiden zwischen den Zuleitungen 552 und 554 und dem Stützrahmen 512 wie in 9 gezeigt gebildeter abgeschnittener Endteil mit dem Spritzgussharz bedeckt (siehe 8(B) und 8(C)). Gemäß diesem Aufbau ist es möglich, ein Zerfressen des abgeschnittenen Endteils der Zuleitung 552 oder 554 oder ein Eindringen von Wasser oder dergleichen vom abgeschnittenen Endteil her in das Schaltungsgehäuse 400 zu verhindern. Der abgeschnittene Endteil der Zuleitung 552 oder 554 grenzt an einen bedeutenden Zuleitungsteil, welcher das elektrische Signal des Temperaturerfassungsteils 452 überträgt. Demgemäß ist es vorzuziehen, dass der abgeschnittene Endteil der Zuleitung im zweiten Spritzgießprozess bedeckt wird.
  • Die Zuleitungen 544 und 545, auf welchen das Temperaturerfassungselement 518 montiert ist, sind paarig angeordnet und weisen einen großen Potentialunterschied auf, ein abgeschnittener Endteil (erster abgeschnittener Endteil) 544a ist so angeordnet, dass er an einer Seitenfläche auf der einen Seite in einer Breitenrichtung senkrecht zur Vorspringrichtung des Vorsprungs 424 freigelegt ist, und ein abgeschnittener Endteil (zweiter abgeschnittener Endteil) 545a ist so angeordnet, dass er an einer Seitenfläche auf der anderen Seite in der Breitenrichtung des dem abgeschnittenen Endteil 544a gegenüberliegenden Vorsprungs 424 freigelegt ist. Die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a sind an einer Position auf der Seite des Basisendes des Vorsprungs 424 bezüglich des Temperaturerfassungselements 518 des Temperaturerfassungsteils 452 und einer extrem aneinander angrenzenden Position freigelegt. Zum Beispiel wenn einem Messobjekt-Gas beigemischtes, in einen Hauptdurchgang strömendes Wasser oder dergleichen zwischen den abgeschnittenen Endteilen 544a und 545a des Vorsprungs 424 anhaftet, verursacht dies infolgedessen Kurzschlüsse, so dass die Zuleitungen 544 und 545 zerfressen werden können. Demgemäß ist es vorzuziehen, die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a mit Harz oder dergleichen zu überziehen.
  • Wie in den 5(B) und 6(B) gezeigt, ist der Vorsprung 424 des Schaltungsgehäuses 400 mit einem im zweiten Spritzgießprozess mit dem Spritzgussharz (zweiten Spritzgussharz) bedeckten Abdeckteil 371 versehen. Die 12(A) und 12(B) sind Zeichnungen zur Erläuterung eines speziellen Beispiels eines Aufbaus, bei welchem der Vorsprung 424 durch den Abdeckteil 371 bedeckt ist, wobei 12(A) eine vergrößerte Ansicht des entsprechenden Teils in 5(A) ist und 12(B) eine vergrößerte Ansicht des entsprechenden Teils in 5(B) ist.
  • Wie in den 12(A) und 12(B) gezeigt, hat der Abdeckteil 371 eine an das Äußere des Vorsprungs 424 angepasste und am Vorsprung 424 anhaftende Ringform. In den 8(B) und 8(C) ist eine bedeckte Oberfläche, welche durch den Abdeckteil 371 bedeckt ist, durch eine schraffierte Fläche 433 dargestellt. Wie in den 8(B) und 8(C) gezeigt, bedeckt der Abdeckteil 371 die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a der Zuleitung 544. Demgemäß ist es möglich, ein Anhaften von Wasser oder dergleichen an den abgeschnittenen Endteilen 544a und 545a, ein Zerfressen infolge von Kurzschlüssen und ein Eindringen von Wasser oder dergleichen in das Schaltungsgehäuse 400 zu verhindern.
  • Obwohl der Fall, in welchem der Abdeckteil 371 eine Ringform hat, als ein Beispiel beschrieben wurde, kann im obigen speziellen Beispiel ein beliebiger Abdeckteil verwendet werden, solange er die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a der Zuleitungen 544 und 545 bedecken kann. Zum Beispiel können die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a durch Überziehen mit einem Klebstoff wie Epoxid oder Silikon bedeckt werden. Alternativ können die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a, wie in den 13(A) und 13(B) gezeigt, zum Beispiel durch Bereitstellen eines C-förmigen Abdeckteils 375 bedeckt sein. Der Abdeckteil 375 wird im zweiten Spritzgießprozess zusammen mit dem Gehäuse 302 aus einem Spritzgussharz gebildet und durch einen Kupplungsteil 374 mit dem Gehäuse 302 integriert gekuppelt. Gegenüber dem ringförmigen Abdeckteil 371 kann der C-förmige Abdeckteil 375 die Wärmekapazität verringern und kann die Empfindlichkeit des Temperaturerfassungselements 518 verbessert werden.
  • Der Vorsprung 424 und der Abdeckteil 371 sind durch Befestigungsmittel aneinander befestigt. Zum Beispiel sind, wie in 12(B) gezeigt, in einem durch den Abdeckteil 371 des Vorsprungs 424 bedeckten Teil zwei eingelassene Nuten (konkave Teile) 424a entlang der Breitenrichtung des Vorsprungs 424 eingelassen. Dann wird im zweiten Spritzgießprozess ein Spritzgussharz in den Teil gespritzt, um den Abdeckteil 371 zu bedecken, wodurch im Abdeckteil 371 ein in die eingelassene Nut 424a eingepasster vorspringender Streifen (konvexer Teil) gebildet wird. Demgemäß kann die Position des Abdeckteils 371 bezüglich des Vorsprungs 424 fixiert werden, so dass es möglich ist, ein Abweichen der Position des Abdeckteils 371 durch eine Bewegung des Abdeckteils 371 in der Axialrichtung des Vorsprungs 424 zu verhindern und ein Abfallen des Abdeckteils 371 vom Vorsprung 424 zu verhindern.
  • Das Befestigungsmittel ist nicht auf den obigen Aufbau beschränkt, und ein beliebiges Mittel kann verwendet werden, solange die Position des Abdeckteils 371 bezüglich des Vorsprungs 424 fixiert werden kann. Demgemäß kann die Anzahl der im Vorsprung 424 gebildeten eingelassenen Nuten 424a verringert werden, kann der vorspringende Streifen anstelle der eingelassenen Nut 424a vorgesehen werden, kann ein vorspringender Schaft vorspringend vorgesehen werden oder kann ein eingelassenes Loch gebildet werden. Wie in den 5(C) und 5(D) gezeigt, kann ein Kupplungsteil 374, welcher den Abdeckteil 371 mit dem Gehäuse 302 kuppelt, vorgesehen sein. Das eine Ende des Kupplungsteils 374 ist am Gehäuse 302 befestigt, und das andere Ende ist am Abdeckteil 371 befestigt. Der Kupplungsteil 374 kann im zweiten Spritzgießprozess mit dem zweiten Spritzgussharz gebildet werden.
  • Der Vorsprung 424 hat die gleiche Dicke wie diejenige des Gehäusekörpers 426 des Schaltungsgehäuses 400; jedoch ist der Vorsprung 424, wie in den 14A bis 14C gezeigt, so konfiguriert, dass die Harzdicke des Spritzgussharzes auf der Seite des äußeren Endes kleiner als diejenige auf der Seite des Basisendes ist, und kann die Dicke des Temperaturerfassungsteils 452 des Vorsprungs 424 kleiner als die Dicke des Gehäusekörpers 426 sein. Die 14A bis 14C sind Schnittansichten, welche weitere spezielle Beispiele des Vorsprungs 424 zeigen, und entsprechen alle der Zeichnung, welche einen „D-D”-Querschnitt aus 11 aus der Richtung des Pfeils zeigt.
  • 14A zeigt einen Aufbau, bei welchem der Vorsprung 424 in einer dünnen Plattenform so gebildet ist, dass vorderseitige und rückseitige Oberflächen des äußeren Endteils des Vorsprungs 424 jeweils eine Stufe haben und die Harzdicke eines dem Temperaturerfassungselement 518 des Temperaturerfassungsteils 452 entsprechenden Teils kleiner als die Dicke des Basis-Endteils des Vorsprungs 424 mit der gleichen Harzdicke wie derjenigen des Gehäusekörpers 426 ist.
  • 14B zeigt einen Aufbau, bei welchem der Vorsprung 424 in einer konischen Form gebildet ist, so dass die Dicke des Vorsprungs 424 zum äußeren Endteil des Vorsprungs 424 hin allmählich abnimmt. 14C zeigt einen Aufbau, bei welchem der Vorsprung 424 in einer Stufenform gebildet ist, so dass nur die vorderseitige Oberfläche des äußeren Endteils des Vorsprungs 424 eine Stufe hat und die Höhe eines Teils auf der Seite des Temperaturerfassungselements 518 des Temperaturerfassungsteils 452 gering ist.
  • In den jeweiligen in den 14A bis 14C gezeigten Aufbauformen kann die Wärmekapazität um das Temperaturerfassungselement 518 herum verringert sein, da der Vorsprung 424 so gebildet ist, dass die Dicke des Temperaturerfassungsteils 452 und insbesondere die Harzdicke eines dem Temperaturerfassungselement 518 gegenüberliegenden Teils gering ist, und kann eine hohe Empfindlichkeit erzielt werden. Darüber hinaus kann eine Wärmeübertragung von der Seite des Basisendes des Vorsprungs 424 unterdrückt werden und kann eine hohe Temperaturerfassungsgenauigkeit erzielt werden.
  • Insbesondere kann die Wärmekapazität um das Temperaturerfassungselement 518 herum, gegenüber den Aufbauformen in den 14B und 14C, im in 14A gezeigten dünnen, plattenförmigen Aufbau am meisten verringert werden und kann eine hohe Empfindlichkeit erzielt werden. Da der in 14B gezeigte, im Querschnitt konische Aufbau keine Stufe aufweist, kann die Wärmekapazität verringert werden, ohne lokal die Festigkeit des Vorsprungs 424 zu verringern. Demgemäß ist es zum Beispiel möglich, ein Brechen des Vorsprungs 424 infolge einer Spannungskonzentration an einem Punkt des Vorsprungs 424 zu verhindern. Indessen kann im in 14C gezeigten, im Querschnitt stufenförmigen Aufbau, da die rückseitige Oberfläche des äußeren Endteils des Vorsprungs 424 sich in derselben Ebene wie die rückseitige Oberfläche des Gehäusekörpers 426 erstreckt, eine höhere Festigkeit als im Fall des Aufbaus in 14A erzielt werden.
  • Da der Vorsprung 424 einen Aufbau hat, bei welchem die auf der Seite des äußeren Endes des Vorsprungs 424 angeordnete und mit dem Temperaturerfassungselement 518 verbundene Zuleitung 544 und die auf der Seite des Basisendes des Vorsprungs 424 angeordnete Zuleitung 548 durch die Verbindungsleitung 546, welche einen kleineren Durchmesser als denjenigen der Zuleitung 544 oder 548 hat, miteinander verbunden und abgedichtet sind, ist die von der Seite des Gehäusekörpers 426 durch die Zuleitung übertragene Wärme thermisch isoliert, so dass eine Übertragung der Wärme zum Temperaturerfassungselement 518 verhindert werden kann, wodurch eine hohe Temperaturerfassungsgenauigkeit erzielt werden kann.
  • 6. Herstellungsprozess des thermischen Durchflussmessers 300
  • 6.1 Herstellungsprozess des Schaltungsgehäuses 400
  • Die 15A und 15B veranschaulichen einen Herstellungsprozess des thermischen Durchflussmessers 300, wobei 15A einen Herstellungsprozess des Schaltungsgehäuses 400 veranschaulicht und 15B einen Herstellungsprozess eines thermischen Durchflussmessers veranschaulicht. In 15A zeigt Schritt 1 einen Herstellungsprozess eines Rahmens aus 9. Dieser Rahmen wird zum Beispiel durch Pressbearbeitung gebildet.
  • In Schritt 2 wird die Platte 532 zuerst auf dem durch Schritt 1 erzielten Systemträger 510 montiert und wird ferner der Luftmengenmessteil 602 oder die Verarbeitungseinheit 604 auf der Platte 532 montiert. Dann werden das Temperaturerfassungselement und das Schaltungsbauteil wie ein Chip-Kondensator montiert. In Schritt 2 wird die elektrische Verdrahtung zwischen Schaltungsbauteilen, zwischen dem Schaltungsbauteil und den Zuleitungen sowie zwischen den Zuleitungen ausgeführt. In Schritt 2 werden die Zuleitungen 544 und 545 und die Zuleitungen 548 und 549 unter Verwendung der Verbindungsleitung 546 zum Erhöhen eines Wärmewiderstands angeschlossen. In Schritt 2 wird das in 9 gezeigte Schaltungsbauteil 516 auf der Zuleitung montiert und wird die elektrische Verdrahtung weiter ausgeführt, so dass eine elektrische Schaltung gebildet wird.
  • Dann wird in Schritt 3 mittels des ersten Spritzgießprozesses Spritzgießen unter Verwendung eines aushärtenden Harzes (des ersten Spritzgussharzes) durchgeführt. Dieser Zustand ist in 11 dargestellt. Darüber hinaus wird in Schritt 3 der Stützrahmen 512 vom Systemträger 510 abgeschnitten und werden die Zuleitungen voneinander getrennt, so dass das Schaltungsgehäuse 400 in den 8(A) bis 8(C) erzielt wird. In diesem Schaltungsgehäuse 400 wird, wie in den 8(A) bis 8(C) gezeigt, die Messfläche 430 oder der Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 gebildet.
  • In Schritt 4 erfolgt eine Sichtprüfung oder eine Funktionsprüfung des erzielten Schaltungsgehäuses 400. Im ersten Spritzgießprozess in Schritt 3 wird die in Schritt 2 erzielte elektrische Schaltung an der Innenseite der Spritzgussform befestigt und wird ein Hochtemperaturharz unter hohem Druck in die Spritzgussform eingespritzt. Deshalb ist es vorzuziehen, zu prüfen, ob eine Anomalie im elektrischen Bauteil oder in der elektrischen Verdrahtung vorliegt. Für diese Prüfung wird die Klemme 414 zusätzlich zur Anschlussklemme 412 in den 8(A) bis 8(C) verwendet. Es ist zu beachten, dass die Klemme 414, da sie danach nicht mehr benutzt wird, nach dieser Prüfung aus der Basis herausgeschnitten werden kann. Die Klemmen 412 und 414 werden in einer durch das Gehäuse 302, die Vorderseiten-Abdeckung 303 und die Rückseiten-Abdeckung 304 dicht verschlossenen Schaltungskammer untergebracht, und da es keine Möglichkeit gibt, dass die Klemmen mit dem Messobjekt-Gas in Kontakt kommen, braucht der abgeschnittene Endteil nicht abgedeckt zu werden.
  • 6.2 Herstellungsprozess des thermischen Durchflussmessers 300 und Kalibrierung von Kennlinien
  • Im Prozess in 15B werden das wie in 15A gezeigt hergestellte Schaltungsgehäuse 400 und die Außenklemme 306 verwendet. In Schritt 5 wird das Gehäuse 302 mittels des zweiten Spritzgießprozesses gebildet. In diesem Gehäuse 302 werden ein aus Harz gebildeter Nebendurchgangsgraben, der Flansch 312 und der Außenverbinder 305 gebildet und werden in den 8(A) bis 8(C) gezeigte schraffierte Teile 432 und 433 des Schaltungsgehäuses 400 im zweiten Spritzgießprozess mit dem Spritzgussharz bedeckt, so dass das Schaltungsgehäuse 400 am Gehäuse 302 befestigt wird. Durch Kombinieren der Herstellung (Schritt 3) des Schaltungsgehäuses 400 mittels des ersten Spritzgießprozesses und der Bildung des Gehäuses 302 des thermischen Durchflussmessers 300 mittels des zweiten Spritzgießprozesses wird die Luftmengenmessgenauigkeit beträchtlich verbessert. Insbesondere, da die abgeschnittenen Endteile 544a und 545a eines Paars der Zuleitungen 544 und 545, welche an einer Position freiliegen, wo ein Potentialunterschied hoch ist und die Zuleitungen nah beieinander liegen, durch den Abdeckteil 371 bedeckt sein können, kann verhindert werden, dass diese abgeschnittenen Endteile 544a und 545a infolge eines Anhaftens von Wasser oder dergleichen zerfressen werden, und kann verhindert werden, dass Wasser oder dergleichen von den abgeschnittenen Endteilen aus in das Schaltungsgehäuse 400 eindringt. In Schritt 6 wird jede Innenbuchse der Außenklemme 361 in den 13(A) und 13(B) getrennt. In Schritt 7 werden die Anschlussklemme 412 und die Innenbuchse der Außenklemme 361 miteinander verbunden.
  • Das Gehäuse 302 erhält man in Schritt 7. Dann, in Schritt 8, werden die Vorderseiten- und die Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 so am Gehäuse 302 angebracht, dass das Innere des Gehäuses 302 mit der Vorderseiten- und der Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 abgedichtet wird, und erhält man den Nebendurchgang zum Durchleiten des Messobjekt-Gases 30. Darüber hinaus wird eine anhand von 7 beschriebene Öffnungsstruktur durch den an der Vorderseiten- oder Rückseiten-Abdeckung 303 oder 304 vorgesehenen Vorsprung 356 gebildet. Es ist zu beachten, dass die Vorderseiten-Abdeckung 303 mittels des Spritzgießens in Schritt 10 gebildet wird und die Rückseiten-Abdeckung 304 mittels des Spritzgießens in Schritt 11 gebildet wird. Darüber hinaus werden die Vorderseiten- und die Rückseiten-Abdeckung 303 und 304 mittels getrennter, verschiedene Spritzgussformen verwendender Prozesse gebildet.
  • In Schritt 9 wird eine Kennlinienprüfung durchgeführt, indem in der Praxis die Luft in den Nebendurchgang geleitet wird. Da eine Beziehung zwischen dem Nebendurchgang und dem Luftmengenmessteil mit hoher Genauigkeit aufrechterhalten wird wie oben beschrieben, wird eine beträchtlich hohe Messgenauigkeit erzielt, indem mittels einer Kennlinienprüfung eine Kennlinienkalibrierung durchgeführt wird. Darüber hinaus verändert sich die Kennlinie selbst bei einer Verwendung über eine lange Zeit nicht wesentlich und wird zusätzlich zur hohen Genauigkeit eine hohe Zuverlässigkeit erzielt, da das Spritzgießen mit einer Positionierungs- oder Konfigurationsbeziehung zwischen dem Nebendurchgang und dem Luftmengenmessteil durchgeführt wird, die mittels des ersten Spritzgießprozesses und des zweiten Spritzgießprozesses festgelegt wird.
  • 7. Schaltungskonfiguration des thermischen Durchflussmessers 300
  • 7.1 Gesamtschaltungskonfiguration des thermischen Durchflussmessers 300
  • 16 ist ein Schaltbild zur Veranschaulichung der Luftmengenmessschaltung 601 des thermischen Durchflussmessers 300. Es ist zu beachten, dass die Messschaltung bezüglich des in der obengenannten Ausführungsform beschriebenen Temperaturerfassungsteils 452 auch im thermischen Durchflussmesser 300 vorgesehen, aber in 16 absichtlich nicht dargestellt ist. Die Luftmengenmessschaltung 601 des thermischen Durchflussmessers 300 enthält den Luftmengenmessteil 602, welcher den Wärmeerzeuger 608 und die Verarbeitungseinheit 604 enthält. Die Verarbeitungseinheit 604 steuert eine Wärmemenge des Wärmeerzeugers 608 des Luftmengenmessteils 602 und gibt, auf der Grundlage der Ausgabe des Luftmengenmessteils 602, über die Klemme 662 ein dem Durchfluss entsprechendes Signal aus. Für diese Verarbeitung enthält die Verarbeitungseinheit 604 eine Zentraleinheit (im folgenden als ”CPU” bezeichnet) 612, eine Eingangsschaltung 614, eine Ausgangsschaltung 616, einen Speicher 618 zum Speichern von Daten, welche eine Beziehung zwischen dem Kalibrierwert oder dem Messwert und dem Durchfluss darstellen, und eine Stromversorgungsschaltung 622 zum Versorgen jeder erforderlichen Schaltung mit einer bestimmten elektrischen Spannung. Die Stromversorgungsschaltung 622 wird über eine Klemme 664 und eine Masseklemme (nicht gezeigt) mit Gleichstrom aus einer externen Stromversorgung wie einer Bordbatterie versorgt.
  • Der Luftmengenmessteil 602 ist mit einem Wärmeerzeuger 608 zum Erwärmen des Messobjekt-Gases 30 ausgestattet. Eine elektrische Spannung V1 wird aus der Stromversorgungsschaltung 622 einem Kollektor eines in einer Stromversorgungsschaltung des Wärmeerzeugers 608 enthaltenen Transistors 606 zugeführt, und ein Steuersignal aus der CPU 612 wird über die Ausgangsschaltung 616 an eine Basis des Transistors 606 angelegt. Auf der Grundlage dieses Steuersignals wird dem Wärmeerzeuger 608 aus dem Transistor 606 über die Klemme 624 ein Strom zugeführt. Die dem Wärmeerzeuger 608 zugeführte Stromstärke wird durch ein aus der CPU 612 über die Ausgangsschaltung 616 an den Transistor 606 der Stromversorgungsschaltung des Wärmeerzeugers 608 angelegtes Steuersignal gesteuert. Die Verarbeitungseinheit 604 steuert die Wärmemenge des Wärmeerzeugers 608 so, dass eine Temperatur des Messobjekt-Gases 30 durch Erwärmen mittels des Wärmeerzeugers 608 von einer Anfangstemperatur um eine vordefinierte Temperatur, zum Beispiel 100°C, steigt.
  • Der Luftmengenmessteil 602 enthält eine Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 zum Steuern einer Wärmemenge des Wärmeerzeugers 608 und eine Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 zum Messen eines Durchflusses. Eine vordefinierte elektrische Spannung V3 wird aus der Stromversorgungsschaltung 622 über die Klemme 626 dem einen Ende der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 zugeführt, und das andere Ende der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 ist mit der Masseklemme 630 verbunden. Darüber hinaus wird eine vordefinierte elektrische Spannung V2 aus der Stromversorgungsschaltung 622 über die Klemme 625 an das eine Ende der Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 angelegt und ist das andere Ende der Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 mit der Masseklemme 630 verbunden.
  • Die Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 enthält einen Widerstand 642, welcher ein Widerstands-Temperaturfühler ist, dessen Widerstandswert sich in Abhängigkeit von der Temperatur des erwärmten Messobjekt-Gases 30 ändert, und die Widerstände 642, 644, 646, und 648 bilden eine Brückenschaltung. Ein Potentialunterschied zwischen einem Knoten A zwischen den Widerständen 642 und 646 und einem Knoten B zwischen den Widerständen 644 und 648 wird über die Klemmen 627 und 628 in die Eingangsschaltung 614 eingegeben, und die CPU 612 steuert den aus dem Transistor 606 zugeführten Strom, um die Wärmemenge des Wärmeerzeugers 608 so zu steuern, dass der Potentialunterschied zwischen den Knoten A und B auf einen vordefinierten Wert, zum Beispiel in dieser Ausführungsform null Volt, eingestellt wird. Die in 16 gezeigte Luftmengenmessschaltung 601 erwärmt das Messobjekt-Gas 30 mittels des Wärmeerzeugers 608 so, dass eine Temperatur zu jeder Zeit von einer Anfangstemperatur des Messobjekt-Gases 30 um eine vordefinierte Temperatur, zum Beispiel 100°C, steigt. Um diese Erwärmungssteuerung mit hoher Genauigkeit durchzuführen, sind Widerstandswerte jedes Widerstands der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 so eingestellt, dass der Potentialunterschied zwischen den Knoten A und B null wird, wenn die Temperatur des durch den Wärmeerzeuger 608 erwärmten Messobjekt-Gases 30 zu jeder Zeit von einer Anfangstemperatur um eine vordefinierte Temperatur, zum Beispiel 100°C, steigt. Deshalb steuert in der Luftmengenmessschaltung 601 in 16 die CPU 612 den dem Wärmeerzeuger 608 zugeführten elektrischen Strom so, dass der Potentialunterschied zwischen den Knoten A und B null wird.
  • Die Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 enthält vier Widerstands-Temperaturfühler aus Widerständen 652, 654, 656 und 658. Die vier Widerstands-Temperaturfühler sind entlang der Strömung des Messobjekt-Gases 30 so angeordnet, dass die Widerstände 652 und 654 bezüglich des Wärmeerzeugers 608 auf der stromaufwärts liegenden Seite im Durchflussweg des Messobjekt-Gases 30 angeordnet sind und die Widerstände 656 und 658 bezüglich des Wärmeerzeugers 608 auf der stromabwärts liegenden Seite im Durchflussweg des Messobjekt-Gases 30 angeordnet sind. Um die Messgenauigkeit zu erhöhen, sind darüber hinaus die Widerstände 652 und 654 so angeordnet, dass Abstände zum Wärmeerzeuger 608 annähernd gleich sind, und sind die Widerstände 656 und 658 so angeordnet, dass Abstände zum Wärmeerzeuger 608 annähernd gleich sind.
  • Ein Potentialunterschied zwischen einem Knoten C zwischen den Widerständen 652 und 656 und einem Knoten D zwischen den Widerständen 654 und 658 wird über die Klemmen 631 und 632 in die Eingangsschaltung 614 eingegeben. Um die Messgenauigkeit zu erhöhen, ist jeder Widerstandswert der Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 zum Beispiel so eingestellt, dass ein Positionsunterschied zwischen den Knoten C und D auf null eingestellt ist, während die Strömung des Messobjekt-Gases 30 auf null eingestellt ist. Deshalb gibt die CPU 612, während der Potentialunterschied zwischen den Knoten C und D zum Beispiel auf null eingestellt ist, auf der Grundlage des Messergebnisses, dass der Durchfluss des Messobjekt-Gases 30 null ist, ein elektrisches Signal aus der Klemme 662 aus, welches angibt, dass der Durchfluss des Hauptdurchgangs 124 null ist.
  • Wenn das Messobjekt-Gas 30 in 16 entlang der Pfeilrichtung strömt, wird der auf der stromaufwärts liegenden Seite angeordnete Widerstand 652 oder 654 durch das Messobjekt-Gas 30 gekühlt und werden die auf der stromabwärts liegenden Seite des Messobjekt-Gases 30 angeordneten Widerstände 656 und 658 durch das durch den Wärmeerzeuger 608 erwärmte Messobjekt-Gas 30 erwärmt, so dass die Temperatur der Widerstände 656 und 658 steigt. Aus diesem Grund wird zwischen den Knoten C und D der Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 ein Potentialunterschied erzeugt, und dieser Potentialunterschied wird über die Klemmen 631 und 632 in die Eingangsschaltung 614 eingegeben. Auf der Grundlage des Potentialunterschieds zwischen den Knoten C und D der Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 durchsucht die CPU 612 im Speicher 618 gespeicherte Daten, welche eine Beziehung zwischen dem Durchfluss des Hauptdurchgangs 124 und dem obengenannten Potentialunterschied angeben, um den Durchfluss des Hauptdurchgangs 124 zu ermitteln. Ein den auf diese Weise ermittelten Durchfluss des Hauptdurchgangs 124 angebendes elektrisches Signal wird über die Klemme 662 ausgegeben. Es ist zu beachten, dass die in 16 gezeigten Klemmen 664 und 662, obwohl sie mit neuen Bezugszeichen bezeichnet sind, in der oben beschriebenen Anschlussklemme 412 in den 5(A) bis 5(D) oder 6(A) und 6(B) enthalten sind.
  • Der Speicher 618 speichert die eine Beziehung zwischen dem Potentialunterschied zwischen den Knoten C und D und dem Durchfluss des Hauptdurchgangs 124 angebenden Daten und Kalibrierdaten zum Verringern eines Messfehlers wie einer Abweichung, welche auf der Grundlage des tatsächlichen Messwerts des Gases nach Herstellung des Schaltungsgehäuses 400 ermittelt wurden. Es ist zu beachten, dass der tatsächliche Messwert des Gases nach Herstellung des Schaltungsgehäuses 400 und der darauf beruhende Kalibrierwert über die Außenklemme 306 oder die Kalibrierklemme 307, welche in den 4(A) und 4(B) gezeigt sind, im Speicher 618 gespeichert werden. In dieser Ausführungsform wird das Schaltungsgehäuse 400 hergestellt, während eine Anordnungsbeziehung zwischen dem Nebendurchgang zum Durchleiten des Messobjekt-Gases 30 und der Messfläche 430 oder eine Anordnungsbeziehung zwischen dem Nebendurchgang zum Durchleiten des Messobjekt-Gases 30 und dem Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil 436 mit hoher Genauigkeit und geringer Schwankung aufrechterhalten wird. Deshalb ist es möglich, durch Kalibrierung unter Verwendung des Kalibrierwerts ein Messergebnis mit beträchtlich hoher Genauigkeit zu erzielen.
  • 7.2 Konfiguration der Luftmengenmessschaltung 601
  • 17 ist eine Schaltungskonfigurationszeichnung zur Veranschaulichung einer Schaltungsanordnung der oben beschriebenen Luftmengenmessschaltung 601 in 16. Die Luftmengenmessschaltung 601 ist aus einem Halbleiterchip mit einer rechteckigen Form hergestellt. Das Messobjekt-Gas 30 strömt entlang der Pfeilrichtung von der linken Seite zur rechten Seite der in 17 dargestellten Luftmengenmessschaltung 601.
  • Eine Membran 672, welche mit dem dünnen Halbleiterchip eine rechteckige Form hat, ist aus einem Halbleiterchip hergestellten Luftmengenmessteil (Luftmengenmesselement) 602 gebildet. Die Membran 672 ist mit einem dünnen Bereich (das heißt, der obengenannten Wärmeübertragungsfläche) 603, welcher durch die gestrichelte Linie angedeutet ist, versehen. Der obengenannte Spalt ist auf der Seite der rückseitigen Oberfläche des dünnen Gebiets 603 gebildet und steht mit der in den 8(A) bis 8(C) oder in den 5(A) bis 5(D) gezeigten Öffnung 438 in Verbindung, so dass der Gasdruck im Spalt vom Druck des aus der Öffnung 438 geleiteten Gases abhängt.
  • Durch Verringern der Dicke der Membran 672 wird die Wärmeleitfähigkeit gesenkt und wird eine Wärmeübertragung durch die Membran 672 zu den im dünnen Bereich (in der Wärmeübertragungsfläche) 603 der Membran 672 vorgesehenen Widerständen 652, 654, 658, und 656 unterbunden, so dass die Temperaturen der Widerstände durch Wärmeübertragung mit dem Messobjekt-Gas 30 ungefähr festgelegt werden.
  • Der Wärmeerzeuger 608 ist in der Mitte des dünnen Bereichs 603 der Membran 672 vorgesehen, und der Widerstand 642 der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 ist um den Wärmeerzeuger 608 herum vorgesehen. Darüber hinaus sind die Widerstände 644, 646 und 648 der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 auf der Außenseite des dünnen Bereichs 603 vorgesehen. Die auf diese Weise gebildeten Widerstände 642, 644, 646 und 648 bilden die Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640.
  • Darüber hinaus sind die Widerstände 652 und 654 als stromaufwärts liegende Widerstands-Temperaturfühler und die Widerstände 656 und 658 als stromabwärts liegende Widerstands-Temperaturfühler so angeordnet, dass der Wärmeerzeuger 608 zwischen ihnen liegt. Die Widerstände 652 und 654 als stromaufwärts liegende Widerstands-Temperaturfühler sind auf der stromaufwärts liegenden Seite in der Pfeilrichtung angeordnet, in welcher das Messobjekt-Gas 30 bezüglich des Wärmeerzeugers 608 strömt. Die Widerstände 656 und 658 als stromabwärts liegende Widerstands-Temperaturfühler sind auf der stromabwärts liegenden Seite in der Pfeilrichtung angeordnet, in welcher das Messobjekt-Gas 30 bezüglich des Wärmeerzeugers 608 strömt. Auf diese Weise ist die Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 durch die im dünnen Bereich 603 angeordneten Widerstände 652, 654, 656 und 658 gebildet.
  • Beide Enden des Wärmeerzeugers 608 sind mit jeder der in der unteren Hälfte von 17 dargestellten Klemmen 624 und 629 verbunden. Hier ist, wie in 16 gezeigt, der dem Wärmeerzeuger 608 aus dem Transistor 606 zugeführte Strom an die Klemme 624 angelegt und liegt die Klemme 629 an Masse.
  • Die Widerstände 642, 644, 646 und 648 der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 sind miteinander verbunden und sind mit den Klemmen 626 und 630 verbunden. Wie in 16 gezeigt, wird die Klemme 626 mit einer vordefinierten elektrischen Spannung V3 aus der Stromversorgungsschaltung 622 versorgt und liegt die Klemme 630 an Masse. Darüber hinaus sind der Knoten zwischen den Widerständen 642 und 646 und der Knoten zwischen den Widerständen 646 und 648 mit den Klemmen 627 beziehungsweise 628 verbunden. Wie in 17 gezeigt, gibt die Klemme 627 ein elektrisches Potential des Knotens A zwischen den Widerständen 642 und 646 aus und gibt die Klemme 628 ein elektrisches Potential des Knotens B zwischen den Widerständen 644 und 648 aus. Wie in 16 gezeigt, wird die Klemme 625 mit einer vordefinierten elektrischen Spannung V2 aus der Stromversorgungsschaltung 622 versorgt und liegt die Klemme 630 als eine Masseklemme an Masse. Darüber hinaus ist ein Knoten zwischen den Widerständen 654 und 658 mit der Klemme 631 verbunden und gibt die Klemme 631 ein elektrisches Potential des Knotens B in 16 aus. Der Knoten zwischen den Widerständen 652 und 656 ist mit der Klemme 632 verbunden, und die Klemme 632 gibt ein elektrisches Potential des in 16 gezeigten Knotens C aus.
  • Wie in 17 gezeigt, ist es, da der Widerstand 642 der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 in der Nähe des Wärmeerzeugers 608 gebildet ist, möglich, die Temperatur des durch die Wärme aus dem Wärmeerzeuger 608 erwärmten Gases mit hoher Genauigkeit zu messen. Indessen werden die Widerstände 644, 646 und 648 der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640, da sie fern vom Wärmeerzeuger 608 angeordnet sind, durch die vom Wärmeerzeuger 608 erzeugte Wärme nicht leicht beeinflusst. Der Widerstand 642 ist so konfiguriert, dass er empfindlich auf die Temperatur des durch den Wärmeerzeuger 608 erwärmten Gases reagiert, und die Widerstände 644, 646 und 648 sind so konfiguriert, dass sie durch den Wärmeerzeuger 608 nicht beeinflusst werden. Aus diesem Grund ist die Erfassungsgenauigkeit des Messobjekt-Gases 30 bei Verwendung der Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 hoch und kann die Steuerung der Erwärmung des Messobjekt-Gases 30 von ihrer Anfangstemperatur nur um eine vordefinierte Temperatur mit hoher Genauigkeit durchgeführt werden.
  • In dieser Ausführungsform ist ein Spalt auf der Seite der rückseitigen Oberfläche der Membran 672 gebildet und steht dieser mit der in den 8(A) bis 8(C) oder in den 5(A) bis 5(D) gezeigten Öffnung 438 in Verbindung, so dass ein Unterschied zwischen dem Druck des Spalts auf der Rückseite der Membran 672 und dem Druck auf der Vorderseite der Membran 672 nicht zunimmt. Es ist möglich, eine durch diesen Druckunterschied verursachte Verzerrung der Membran 672 zu unterdrücken. Dies trägt zur Verbesserung der Durchfluss-Messgenauigkeit bei.
  • Wie oben beschrieben, wird die Wärmeleitung durch die Membran 672 durch Bilden des dünnen Bereichs 603 und Verringern der Dicke eines den dünnen Bereich 603 enthaltenden Teils in der Membran so weit wie möglich unterbunden. Solange der Einfluss der Wärmeleitung durch die Membran 672 unterbunden ist, neigt die Brückenschaltung zur Luftmengenmessung 650 oder die Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung 640 deshalb stärker dazu, in Abhängigkeit von der Temperatur des Messobjekt-Gases 30 zu arbeiten, so dass der Messbetrieb verbessert wird. Aus diesem Grund wird eine hohe Messgenauigkeit erzielt.
  • Obwohl oben die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ausführlich beschrieben wurden, ist die Erfindung nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt und können verschiedenartige Konstruktionsänderungen vorgenommen werden, ohne vom im Schutzumfang der Ansprüche beschriebenen Grundgedanken der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Zum Beispiel wurden die obigen Ausführungsformen ausführlich beschrieben, um die vorliegende Erfindung leichter verständlich zu machen, sind aber nicht unbedingt auf die Ausführungsformen beschränkt, welche die vollständige oben beschriebene Konfiguration umfassen. Darüber hinaus kann die Konfiguration einer Ausführungsform teilweise durch die Konfiguration einer anderen Ausführungsform ersetzt werden und kann die Konfiguration einer anderen Ausführungsform zur Konfiguration der einen Ausführungsform hinzugefügt werden. Außerdem kann die Konfiguration jeder Ausführungsform teilweise entfernt werden und kann die Konfiguration einer anderen Ausführungsform teilweise zur Konfiguration jeder Ausführungsform hinzugefügt werden oder durch die Konfiguration jeder Ausführungsform ersetzt werden.
  • Industrielle Verfügbarkeit
  • Die vorliegende Erfindung ist auf eine Messvorrichtung zum Messen eines Gasdurchflusses wie oben beschrieben anwendbar.
  • Bezugszeichenliste
    • 300
    thermischer Durchflussmesser
    302
    Gehäuse
    303
    Vorderseiten-Abdeckung
    304
    Rückseiten-Abdeckung
    305
    Außenverbinder
    306
    Außenklemme
    307
    Kalibrierklemme
    310
    Messteil
    320
    Klemmenverbinder
    332
    Nebendurchgangsgraben auf der Vorderseite
    334
    Nebendurchgangsgraben auf der Rückseite
    356
    Vorsprung
    359
    Harzteil
    361
    Innenbuchse der Außenklemme
    371
    Abdeckteil
    372
    Befestigungsteil
    374
    Kupplungsteil (Befestigungsmittel)
    400
    Schaltungsgehäuse
    412
    Anschlussklemme
    414
    Klemme
    424
    Vorsprung
    424a
    eingelassene Nut (konkaver Teil)
    430
    Messfläche
    432
    Befestigungsfläche
    433
    schraffierter Bereich (bedeckte Oberfläche)
    436
    Wärmeübertragungsflächen-Freilegungsteil
    438
    Öffnung
    452
    Temperaturerfassungsteil
    544
    Zuleitung
    544a
    abgeschnittener Endteil (erster abgeschnittener Endteil)
    545
    Zuleitung
    545a
    abgeschnittener Endteil (zweiter abgeschnittener Endteil)
    590
    Einpressloch
    594
    Schrägteil
    596
    Schrägteil
    601
    Luftmengenmessschaltung
    602
    Luftmengenmessteil
    604
    Verarbeitungseinheit
    608
    Wärmeerzeuger
    640
    Erwärmungssteuerungs-Brückenschaltung
    650
    Brückenschaltung zur Luftmengenmessung
    672
    Membran

Claims (11)

  1. Thermischer Durchflussmesser, enthaltend ein durch Befestigen eines Erfassungselements an einer durch einen Stützrahmen gestützten Zuleitung, Vergießen mit einem Spritzgussharz und Abschneiden des Stützrahmens gebildetes Schaltungsgehäuse, wobei ein abgeschnittener Endteil der durch Abschneiden des Stützrahmens aus dem Spritzgussharz des Schaltungsgehäuses freigelegten Zuleitung durch einen Abdeckteil bedeckt ist.
  2. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 1, wobei der Abdeckteil so gebildet ist, dass er zwischen den abgeschnittenen Endteilen mindestens eines Paars der einen Potentialunterschied aufweisenden Zuleitungen abdeckt.
  3. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 1 oder 2, ferner enthaltend ein Gehäuse, an welchem das Schaltungsgehäuse befestigt ist, wobei das Schaltungsgehäuse mittels eines ersten Spritzgießprozesses mit einem ersten Spritzgussharz abgedichtet wird, das Gehäuse mittels eines zweiten Spritzgießprozesses aus einem zweiten Spritzgussharz gebildet wird, und der Abdeckteil im zweiten Spritzgießprozess aus dem zweiten Spritzgussharz gebildet wird.
  4. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 3, wobei das Schaltungsgehäuse einen Gehäusekörper, welcher am Gehäuse befestigt ist, und einen Vorsprung, welcher aus dem Gehäusekörper vorspringt und aus dem Gehäuse freigelegt ist und in welchem das Erfassungselement angeordnet ist, aufweist, ein abgeschnittener Endteil der Zuleitung einen ersten abgeschnittenen Endteil, welcher so angeordnet ist, dass er an einer Seitenfläche auf der einen Seite in einer Breitenrichtung senkrecht zu einer Vorspringrichtung des Vorsprungs freigelegt ist, und einen zweiten abgeschnittenen Endteil aufweist, welcher dem ersten abgeschnittenen Endteil gegenüberliegt und so angeordnet ist, dass er an einer Seitenfläche auf der anderen Seite in der Breitenrichtung freigelegt ist, und der Abdeckteil eine Ringform oder eine C-Form hat, welche an einer Position, wo der Abdeckteil dem ersten abgeschnittenen Endteil und dem zweiten abgeschnittenen Endteil gegenüberliegt, an das Äußere des Vorsprungs angepasst ist und am Vorsprung anhaftet.
  5. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 4, wobei der erste abgeschnittene Endteil und der zweite abgeschnittene Endteil so angeordnet sind, dass sie auf der Seite des Basisendes des Vorsprungs bezüglich des Erfassungselements freigelegt sind.
  6. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 4, außerdem enthaltend ein Befestigungsmittel, welches den Abdeckteil am Vorsprung befestigt.
  7. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 6, wobei das Befestigungsmittel einen im Vorsprung oder im Abdeckteil enthaltenen konkaven Teil und einen im jeweils anderen Teil enthaltenen und in den konkaven Teil eingepassten konvexen Teil aufweist.
  8. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 6, wobei das Befestigungsmittel einen Kupplungsteil enthält, dessen eines Ende am Gehäuse und dessen anderes Ende am Abdeckteil befestigt ist.
  9. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 8, wobei der Kupplungsteil aus dem zweiten Spritzgussharz im zweiten Spritzgießprozess gebildet wird.
  10. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 4, wobei im Vorsprung eine Harzdicke des Spritzgussharzes auf der Seite des äußeren Endes kleiner als diejenige auf der Seite des Basisendes ist.
  11. Thermischer Durchflussmesser nach Anspruch 1, wobei der Abdeckteil durch Überziehen des abgeschnittenen Endteils der Zuleitung mit einem Klebstoff gebildet ist.
DE112013002936.7T 2012-06-15 2013-05-31 Thermischer Durchflussmesser Active DE112013002936B4 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012136347A JP5632881B2 (ja) 2012-06-15 2012-06-15 熱式流量計
JPJP2012136347 2012-06-15
JP2012136347 2012-06-15
PCT/JP2013/065132 WO2013187248A1 (ja) 2012-06-15 2013-05-31 熱式流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE112013002936T5 true DE112013002936T5 (de) 2015-03-12
DE112013002936B4 DE112013002936B4 (de) 2021-08-12

Family

ID=49758077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112013002936.7T Active DE112013002936B4 (de) 2012-06-15 2013-05-31 Thermischer Durchflussmesser

Country Status (5)

Country Link
US (2) US9721908B2 (de)
JP (1) JP5632881B2 (de)
CN (2) CN104412073B (de)
DE (1) DE112013002936B4 (de)
WO (1) WO2013187248A1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5645880B2 (ja) * 2012-06-15 2014-12-24 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
EP3232167B1 (de) * 2014-12-08 2020-08-19 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Vorrichtung zur detektion einer physikalischen grösse
JP6419845B2 (ja) * 2014-12-09 2018-11-07 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体装置
CN104964721B (zh) * 2015-06-30 2017-12-05 蔡丰勇 空气流量计的气体流道结构
JP6421092B2 (ja) * 2015-07-31 2018-11-07 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置
US10775215B2 (en) * 2015-10-28 2020-09-15 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Flow meter
JP6474342B2 (ja) * 2015-10-28 2019-02-27 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置
JP6973268B2 (ja) 2018-04-24 2021-11-24 株式会社デンソー 物理量計測装置
WO2019225073A1 (ja) * 2018-05-22 2019-11-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3892139B2 (ja) * 1998-03-27 2007-03-14 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置
CN1515878A (zh) * 1998-08-18 2004-07-28 ͬ�Ϳ�ҵ��ʽ���� 流量传感器及过滤器一体型流量计
JP3587734B2 (ja) * 1999-06-30 2004-11-10 株式会社日立製作所 熱式空気流量センサ
KR100511049B1 (ko) * 2000-07-27 2005-08-31 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 열식 공기유량계
JP3785338B2 (ja) * 2001-07-25 2006-06-14 株式会社日立製作所 熱式流量計測装置
JP2003139593A (ja) * 2001-11-07 2003-05-14 Hitachi Ltd 車載電子機器および熱式流量計
GB0307616D0 (en) * 2003-04-02 2003-05-07 Melexis Nv Calorimetric flow meter
JP4020208B2 (ja) * 2004-11-30 2007-12-12 三菱電機株式会社 流量測定装置
JP4830391B2 (ja) * 2005-07-29 2011-12-07 株式会社デンソー センサ装置の製造方法及びセンサ装置
JP4888040B2 (ja) * 2006-10-18 2012-02-29 株式会社島津製作所 熱式質量流量計
JP4847355B2 (ja) * 2007-01-25 2011-12-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 電子制御装置
US8028584B2 (en) * 2007-08-20 2011-10-04 Denso Corporation Pressure sensor and method for manufacturing the same
JP4576444B2 (ja) * 2008-03-31 2010-11-10 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
JP5212159B2 (ja) * 2009-02-16 2013-06-19 株式会社デンソー センサ装置
JP5168184B2 (ja) * 2009-02-23 2013-03-21 株式会社デンソー センサ装置およびその製造方法
JP5208099B2 (ja) * 2009-12-11 2013-06-12 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量センサとその製造方法、及び流量センサモジュール
JP5147888B2 (ja) * 2010-04-05 2013-02-20 三菱電機株式会社 熱式センサ素子
JP5195819B2 (ja) * 2010-06-02 2013-05-15 株式会社デンソー 空気流量測定装置
JP5455848B2 (ja) * 2010-08-30 2014-03-26 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量センサ
JP5496027B2 (ja) * 2010-09-09 2014-05-21 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式空気流量計
JP5743922B2 (ja) 2012-02-21 2015-07-01 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式空気流量測定装置
JP5662381B2 (ja) * 2012-06-15 2015-01-28 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計

Also Published As

Publication number Publication date
CN107607164A (zh) 2018-01-19
JP5632881B2 (ja) 2014-11-26
CN104412073B (zh) 2017-08-25
US20150187708A1 (en) 2015-07-02
JP2014001988A (ja) 2014-01-09
US9721908B2 (en) 2017-08-01
US20170345776A1 (en) 2017-11-30
WO2013187248A1 (ja) 2013-12-19
DE112013002936B4 (de) 2021-08-12
CN107607164B (zh) 2022-06-24
US9887168B2 (en) 2018-02-06
CN104412073A (zh) 2015-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112013002936T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002999B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112012006520T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002993B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE102005039353B4 (de) Flussratenmessvorrichtung
DE112013002961B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002981T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002972B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE102006035000B4 (de) Sensorvorrichtung und Verfahren zu deren Fertigung
DE112013002986B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002940T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002939B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002992B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002976T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002996T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE60030333T2 (de) Einrichtung zur messung einer physikalischen grösse, verfahren zu ihrer herstellung und fahrzeugsteuersystem mit der einrichtung zur messung einer physikalischen grösse
DE102007007079B4 (de) Detektionsvorrichtung und Motorsteuereinheit
DE112013002966T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002958B4 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002949T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112013002965T5 (de) Thermischer Durchflussmesser
DE112016004983B4 (de) Messvorrichtung für physikalische Größen
DE112019002312T5 (de) Vorrichtung zur detektion einer physikalischen grösse
DE112019004495T5 (de) Physikalische Größenmessvorrichtung
DE112019000135T5 (de) Vorrichtung zur messung einer physikalischen grösse

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: HITACHI ASTEMO, LTD., HITACHINAKA-SHI, JP

Free format text: FORMER OWNER: HITACHI AUTOMOTIVE SYSTEMS, LTD., HITACHINAKA-SHI, IBARAKI, JP

R020 Patent grant now final