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Hintergrund der Erfindung
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1. Technisches Gebiet
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Diese
Erfindung betrifft im Allgemeinen integrierte Schaltungen und betrifft
insbesondere Temperatursteuersysteme für integrierte Schaltungen.
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2. Hintergrund
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Viele
Arten von gegenwärtig
verfügbaren
integrierten Schaltungen werden auf einem Substrat montiert, das
wiederum auf einer Platine oder einer anderen Art an Trägerstruktur
befestigt ist. Nach dem Anbringen an der Platine wird die integrierte
Schaltung mit einer Abdeckung versehen, die nicht nur eine schützende Abdeckung
für die
integrierte Schaltung bereitstellt, sondern auch den Wärmeaustausch
von der integrierten Schaltung zu der einen oder anderen Art an
Kühlstruktur
ermöglicht.
Im Rahmen des Prüfens
wird ein Temperatursteuersystem oder „eine Heizung" für gewöhnlich auf
der Abdeckung angeordnet. Die Heizung funktioniert so, dass die
Temperatur der integrierten Schaltung innerhalb eines ausgewählten Bereiches
gehalten wird, während
die integrierte Schaltung elektrischen Prüfungen oder anderen Arten von
Leistungsprüfungen
unterzogen wird. Bei einer derartigen Prüfung wird die integrierte Schaltung
häufig
anspruchsvolleren Bedingungen unterworfen, als sie beim eigentlichen
Betrieb der Schaltung auftreten würden. Folglich wird das Temperatursteuersystem
verwendet, um zu verhindern, dass die Temperatur der integrierten
Schaltung sich hochschaukelt und damit einen Ausfall des Chips hervorrufen
kann.
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Eine
genaue Kenntnis der thermischen Umgebung in einer integrierten Schaltung
und deren entsprechenden Abdeckung ist sowohl für das Prüfen und im Hinblick auf das
Herstellen wichtig. In dieser Hinsicht enthalten die meisten aktuellen
integrierten Schaltungen eine chipinterne Diode, die als eine Temperaturmesseinrichtung
dient. Viele konventionelle Heizeinrichtungen enthalten ebenfalls
eine integrierte thermische Diode, die auf der oberen Fläche der
Heizung angeordnet ist. Natürlich
besteht die Schwierigkeit bei der konventionellen Anordnung darin,
dass obwohl die chipinterne Diode in der integrierten Schaltung
ein relativ gutes Messergebnis der Temperatur der integrierten Schaltung
liefert und obwohl die eingebaute thermische Diode in dem Wärmesteuerungssystem
ein ähnlich
akzeptables Ergebnis der Temperatur des Steuersystems liefert, dennoch
keine der beiden eine akzeptable genaue Messung der Temperatur der
Abdeckung liefert. Es ist jedoch interessant, dass die Temperatur
der Abdeckung häufig
von Herstellern von Elektronikbauelemente als Spezifikation für das gewünschte Temperaturverhalten
des in Frage stehenden elektronischen Systems verwendet wird. In
einer konventionellen Technik zur Messung der Temperatur der Abdeckung
wird eine Fühlersonde,
etwa ein Thermoelement des Typs T in Verbindung mit einer Kryothek-Heizung
verwendet. Das Thermoelement wird mit der Abdeckung in Kontakt gebracht.
Diese Technik weist den Nachteil auf, dass ein guter Zugang zu der
Abdeckung erforderlich ist, was für gewöhnlich nicht möglich ist,
wenn ein Heizelement mit einem Oberflächenkontakt mit vollständiger Abdeckung
vorhanden ist. Versuche, den Zugang für die Sonde zu verbessern,
erhöhen
andererseits den thermischen Widerstand des Wärmeübertragungsweges zwischen der integrierten
Schaltung und der Heizung.
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Weitere
Fernfühlertechniken,
etwa die Infraroterfassung, beruhen wieder auf einem genau definierten Weg
zwischen der Abdeckung und dem entfernten Sensor. Versuche, den
Zugriff auf die Abdeckung für
eine Kontaktsonde oder einen Ferntemperatursensor zu ermöglichen,
beinhalten das Risiko des Erhöhens
des thermischen Widerstands und reduzieren damit deutlich die Fähigkeit,
die Heizpegel der integrierten Schaltung zu steuern.
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Die
vorliegende Erfindung richtet sich darauf, die Auswirkungen eines
oder mehrerer der vorgenannten Nachteile zu beheben oder zu reduzieren.
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Überblick über die Erfindung
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung bereitgestellt,
die ein elektronisches Bauelement, eine Abdeckung zum Anbringen
auf dem elektronischen Bauelement und einen Übergangsbereich zweier unähnlicher
Metalle, die mit der Abdeckung in Verbindung stehen, aufweist. Der Übergangsbereich
stellt ein Thermoelement bereit, um ein Ausgangssignal zu liefern,
das für
eine Temperatur der Abdeckung repräsentativ ist.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung
bereitgestellt, die eine integrierte Schaltung, eine Abdeckung zum
Anbringen auf der integrierten Schaltung und einen Übergangsbereich
zweier unähnlicher
Metalle, die mit der Abdeckung in Verbindung stehen, aufweist. Der Übergangsbereich
stellt ein Thermoelement bereit, das ein für eine Temperatur der Abdeckung
repräsentatives Ausgangssignal
liefert.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung
bereitgestellt, die eine Abdeckung für eine integrierte Schaltung
und einen Übergangsbereich
zweier unähnlicher
Metalle, die mit der Abdeckung in Verbindung stehen, aufweist. Der Übergangsbereich
stellt ein Thermoelement bereit, um ein für eine Temperatur der Abdeckung
repräsentatives
Ausgangssignal zu liefern.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung
bereitgestellt, die ein elektronisches Bauelement, eine Abdeckung
zum Anbringen auf dem elektronischen Bauelement und einen Übergangsbereich
zweier unähnlicher
Metalle, die mit der Abdeckung in Verbindung stehen, aufweist. Der Übergangsbereich
stellt ein Thermoelement bereit, um ein für eine Temperatur der Abdeckung
repräsentatives Ausgangssignal
zu liefern. Es ist eine Wärmesenke
mit der Abdeckung verbunden.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum
Erfassen einer Temperatur einer Abdeckung einer integrierten Schaltung
bereitgestellt. Ein Übergangsbereich
zweier unähnlicher
Metalle wird gebildet, so dass dieser mit der Abdeckung in Verbindung
steht, um ein Thermoelement bereitzustellen, das zum Erzeugen eines
für die
Temperatur der Abdeckung kennzeichnenden ersten Ausgangssignals
geeignet ist. Der Übergangsbereich
ist mit einer Erfassungsanordnung verbunden, um das erste Ausgangssignal
zu empfangen und ein für
die Temperatur der Abdeckung kennzeichnendes zweites Ausgangssignal
zu erzeugen.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die
vorhergehenden und weitere Vorteile der Erfindung gehen aus dem
Studium der folgenden detaillierten Beschreibung und durch Bezugnahme
auf die Zeichnungen hervor, in denen:
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1 eine
schematische Aufrissansicht einer beispielhaften konventionellen
direkt montierten integrierten Schaltung und einer Heizung ist;
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2 eine
schematische Aufrissansicht einer beispielhaften Ausführungsform
einer Vorrichtung oder eines Abdeckungssystems ist, das in der Lage
ist, ein elektronisches Bauelement abzudecken und ein Messergebnis
der Temperatur der Abdeckung gemäß der vorliegenden
Erfindung bereitzustellen;
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3 eine
Querschnittsansicht der in 2 gezeigten
Abdeckung entlang des Schnittes 3-3 gemäß der vorliegenden Erfindung
ist;
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4 eine
Querschnittsansicht einer alternativen beispielhaften Ausführungsform
der in 2 dargestellten Abdeckung gemäß der vorliegenden Erfindung
ist; und
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5 eine
schematische Aufrissansicht einer alternativen anschaulichen Ausführungsform
einer Vorrichtung oder eines Abdeckungssystems ist, das ein elektronisches
Bauelement abdecken und ein Messergebnis der Temperatur der Abdeckung
gemäß der vorliegenden
Erfindung bereitstellen kann.
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Arten zum Ausführen der
Erfindung
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In
den nachfolgend beschriebenen Zeichnungen werden im Allgemeinen
Bezugszahlen wiederholt, wenn identische Elemente in mehr als einer
Figur auftreten. Es sei nun auf die Figuren verwiesen und insbesondere
auf 1, worin eine schematische Aufrissansicht eines
anschaulichen konventionellen integrierten Schaltungschips 10 gezeigt
ist, der auf einem Substrat 12 direkt montiert ist. Das
Substrat 12 enthält
mehrere Stifte 14, die so gestaltet sind, dass sie in entsprechende
Sockel auf einer Leiterplatte oder einer anderen Struktur (nicht
gezeigt) eingeführt
werden können.
Eine Abdeckung 16 ist so gestaltet, dass sie über der
integrierten Schaltung 10 sitzt und diese abdeckt. Ein
thermisches Zwischenschichtmaterial 18 ist normalerweise zwischen
der Abdeckung 16 und der integrierten Schaltung 10 angeordnet,
um den Austausch von Wärme
zwischen der integrierten Schaltung 10 und der Abdeckung 16 zu
verbessern. Eine thermische Steuereinrichtung 20 ist auf
der Abdeckung 16 angeordnet. Das thermische Steuersystem
bzw. Wärmesteuersystem 20 ist
so gestaltet, dass die integrierte Schaltung bei einer ausgewählten Temperatur
gehalten wird, während
die integrierte Schaltung 10 diversen Arten von elektrischen
Prüfungen
und Leistungsprüfungen
unterzogen wird. In dieser Hinsicht ist das thermische Steuersystem 20 ausgebildet,
die Temperatur der integrierten Schaltung 10 in der notwendigen
Weise zu erhöhen
oder abzusenken. Obwohl das thermische Steuersystem 20 gestaltet ist, sowohl
eine Kühl-
als auch eine Heizfunktion auszuüben,
werden derartige Einrichtungen in der Industrie häufig als „Heizungen" oder „thermische
Steuereinheiten" bezeichnet.
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Die
integrierte Schaltung 10 enthält normalerweise eine chipinterne
Diode für
Temperaturmessungen, die in 1 schematisch
durch das Oval 22 angezeigt ist. Das thermische Steuersystem 20 ist
in ähnlicher Weise
mit einer Temperaturerfassungsdiode 24 versehen, die auf
der oberen Seite 26 des thermischen Steuersystems 20 angeordnet
ist. Wie zuvor im Abschnitt „Hintergrund" dargestellt ist,
besteht die Schwierigkeit mit der konventionellen Gestaltung, die
in 1 dargestellt ist, darin, dass die thermische
Erfassungsdiode 24 des thermischen Steuersystems 20 beim
Betrieb zur Bereitstellung eines Messergebnisses der Temperatur
an der oberen Fläche 26 des
thermischen Steuersystems 20 keine genaue Messung der Temperatur
der Abdeckung 16 liefert. Das gleiche gilt für die thermische
Erfassungsdiode 22, die in der integrierten Schaltung 10 enthalten ist.
Die Diode 22 ist einfach nicht in der Lage, eine genaue
Messung der Temperatur der Abdeckung 16 zu liefern.
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2 ist
eine schematische Aufrissansicht einer beispielhaften Ausführungsform
einer Vorrichtung oder eines Abdeckungssystems 28, das
eine Abdeckung 30 enthält,
die ausgebildet ist, ein elektronisches Bauelement 32 abzudecken
und ein genaues Messergebnis der Temperatur der Abdeckung 30 zu
liefern. Die Abdeckung 30 kann das elektronische Bauelement 32 nach
Bedarf teilweise oder vollständig
abdecken. Das elektronische Bauelement 32 kann nahezu ein
beliebiges elektronisches Bauelement sein, das mit einer Abdeckung
versehen wird. Es sollte beachtet werden, dass die Abdeckung eine
diskrete Komponente oder ein Teil einer Umhüllung sein kann. In dieser
anschaulichen Ausführungsform
ist das elektronische Bauelement 32 ein integrierter Schaltungschip.
Die integrierte Schaltung 32 ist auf einem Substrat 34 durch
direktes Aufbringen oder durch andere gut bekannte Techniken zum
Positionieren einer integrierten Schaltung auf einem Substrat befestigt.
Das Substrat 34 kann aus gut bekannten Kunststoffmaterialien,
Keramiken oder anderen Materialien, die für Schaltungssubstrate geeignet
sind, aufgebaut sein. Das Substrat 34 ist mit mehreren
Anschlussstiften 36 versehen, die so gestaltet sind, dass
sie in entsprechende Sockel auf einer Leiterplatte oder einer anderen
Art an Montageeinrichtung eingeführt
werden können.
Ein thermisches Zwischenschichtmaterial 38 ist optional
auf der integrierten Schaltung 32 unter der Abdeckung 30 vorgesehen.
Das thermische Zwischenschichtmaterial 38 kann aus einem
Metall oder Metallen oder Indium oder gut bekannten wärmeleitfähigen Pasten
oder Kunststoffmaterialien nach Bedarf zusammengesetzt sein. Ein
thermisches Steuersystem oder Temperatursteuersystem 40 ist
auf der Abdeckung 30 angeordnet und funktioniert in gleicher
Weise wie das Steuersystem 20, das im Zusammenhang mit
der 1 beschrieben ist.
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Elektrische
Anschlüsse 42 und 44 sind
mit der Abdeckung 30 verbunden. Der Punkt der Verbindung zwischen
einem der Anschlüsse,
in diesem Beispiel der Anschluss 44, und der Abdeckung 30 erzeugt
einen unähnlichen
Metallübergangsbereich 46,
der als Thermoelement dient. Die anderen Enden der Anschlüsse 42 und 44 sind
mit einem Fühlerinstrument 48 verbunden.
Das Fühlerinstrument 48 ist
ausgebildet, das Spannungsausgangssignal von dem Übergangsbereich 46 zu
empfangen und ein weiteres Ausgangssignal bereitzustellen, etwa
ein visuelles Ausgangssignal, das die Temperatur der Abdeckung angibt.
Das Fühlerinstrument 48 kann
ein Spannungsmesser, ein Fühlerinstrument
speziell für
das Auslesen des Thermoelements, ein Computer oder dergleichen sein.
In einer anschaulichen Ausführungsform
ist das Fühlerinstrument
ein Wavetek-Modell 23XT Multimeter. Das Fühlerinstrument 48 enthält vorteilhafterweise
einen Referenzübergangsbereich 50 und
eine Kompensationsschaltung 52. Der Referenzübergangsbereich 50 ist
vorteilhafterweise ein unähnlicher
Metallübergangsbereich
einer Art, ähnlich
zu dem Fühlerübergangsbereich 46.
Der Referenzübergangsbereich 50 kann
auf einer bekannten Temperatur gehalten werden. Die Kompensationsschaltung 52 liefert
vorteilhafterweise eine Kompensation für Unterschiede in Messergebnissen,
die dadurch hervorgerufen werden, dass der Referenzübergangsbereich 50 auf
einer anderen Temperatur als beispielsweise auf 0 Grad C gehalten
wird. Optional kann der Referenzübergangsbereich 50 auf
einer gewissen festgelegten Temperatur, etwa 0 Grad C gehalten werden.
Die Kompensationsschaltung 52 kann eine Kompensation ohne
Notwendigkeit für
einen Referenzübergangsbereich
liefern. In jedem Falle wird das Fühlerinstrument 48 so
betrieben, dass der Potentialunterschied an den Anschlüssen 42 und 44 erfasst
wird, der ein Maß der
Temperatur des Fühlerübergangsbereichs 46 der
Abdeckung 30 bereitstellt.
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Es
sei nun auf die 3 verwiesen, die eine Querschnittsansicht
der in 2 gezeigten Abdeckung 30 entlang des
Schnitts 3-3 ist. In dieser anschaulichen Ausführungsform enthält die Abdeckung 30 einen
zentralen metallischen Kern 54, der von einem metallischen
Mantel 50 umgeben ist. Der Kern 54 kann aus einer Vielzahl
unterschiedlicher metallischer Materialien aufgebaut sein, etwa
beispielsweise Kupfer, Silber, Gold, Chrom, Rhodium, Aluminium,
Nickel, Eisen, Platin, Legierungen dieser Metalle oder dergleichen.
Der Mantel 56 kann aus den gleichen Arten von Materialien
aufgebaut sein. In dieser anschaulichen Ausführungsform ist der Kern 54 aus
Kupfer und der Mantel 56 ist aus Nickel aufgebaut. Der
Anschluss 44 ist aus einem anderem Metall als der Mantel 56 aufgebaut,
so dass der unähnliche
Metallfühlerübergangsbereich 46 an
der Grenzfläche
zwischen dem Anschluss 44 und dem Mantel 56 ausgebildet
wird. Die für
den Anschluss 44 ausgewählten Materialien
werden so festgelegt, dass eine elektrische Leitfähigkeit
entsteht und so dass eine unähnliche
Metallgrenzfläche
mit dem Mantel 56 gebildet wird. Wiederum können eine
Vielzahl von Materialien verwendet werden, etwa beispielsweise Kupfer,
Silber, Gold, Chrom, Rhodium, Aluminium, Nickel, Eisen, Platin,
Legierungen dieser Metalle oder dergleichen. In dieser anschaulichen
Ausführungsform
ist der Anschluss 44 aus einer Kupfernickellegierung aufgebaut.
Das für
den Anschluss 42 ausgewählte
Material ist zu dem Material des Mantels 56 ähnlich oder
auch nicht. Wenn das Material für
den Anschluss 42 als unähnlich
zu dem Material des Mantels 56 ausgewählt wird, kann die Grenzfläche zwischen
dem Anschluss 42 und dem Mantel ebenfalls als ein Fühlerübergangsbereich
verwendet werden. In dieser anschaulichen Ausführungsform ist das für den Anschluss 42 festgelegte
Material Kupfer. Die Anschlüsse 42 und 44 sind
vorteilhafterweise mit der Abdeckung 30 durch Verschweißen oder
durch gut bekannte Einrichtungen verbunden, die die Anschlüsse 42 und 44 mit der
Abdeckung 30 in Kontakt halten.
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Selbstverständlich können einige
Standardmaterialkombinationen verwendet werden, um den unähnlichen
Metallfühlerübergangsbereich
46 zu
erzeugen. Die folgende Tabelle listet zwei unähnliche Metallkombinationen,
die Art des Thermoelements, die ungefähren maximalen Temperaturbereiche
und den Temperaturkoeffizienten auf.
| Typ
des Thermoelements | unähnliche
Metallkombination | Temperatur | Temperaturkoeffizient bei
20 Grad C |
| J | Eisen
Konstantan (55%Cu-45%Ni) | 760 | 51.45 |
| K | Chromel (90%Ni-10%Cr)
Alumel (96%Ni-2%Mn-2%Al) | 1370 | 40.28 |
| T | Kupfer
Konstantan | 400 | 40.28 |
| E | Chromel
Konstantan (55%Cu-45%Ni) | 1000 | 60.48 |
| S | Platin
90%Pt-10%Rhodium | 1750 | 5.88 |
| R | Platin
87%Pt-13%Rhodium | 1750 | 5.8 |
| B | 94%Pt-6%Rhodium
70%Pt-30%Rhodium | 1800 | 0 |
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Eine
alternative beispielhafte Ausführungsform
der Abdeckung 30' ist
in 4 gezeigt. In dieser anschaulichen Ausführungsform
sind der Kern 54 und der Mantel 56 so ausgebildet,
wie das im Allgemeinen in Verbindung mit der 3 beschrieben
ist. Jedoch wird in dieser anschaulichen Ausführungsform der Fühlerübergangsbereich 46 dadurch
erzeugt, dass eine physikalische Verbindung zwischen dem Anschluss 44 und einem
Teil des Kerns 54' gebildet
wird. Dies kann erreicht werden, indem Bereiche des Mantels 56' in den Bereichen 58 und 60 entfernt
werden, um damit Bereiche des Kerns 54' freizulegen. Wiederum kann der
Anschluss 42 aus Kupfer und der Anschluss 44 aus
einer Kupfernickellegierung aufgebaut sein. Auf diese Weise besteht
der Fühlerübergangsbereich 46 aus
einer Grenzfläche
zwischen dem Kupferkern 54' und
dem unähnlichen
Kupfernickel-Anschluss 44. Die Anschlussbereiche 58 und 60 des
Mantels 56 können
durch eine beliebige Art von Techniken entfernt werden, etwa durch
Schleifen, elektrochemisches Bearbeiten, chemisches Ätzen oder
andere bekannte Techniken. Optional können die Bereiche 58 und 60 gebildet
werden, ohne dass ein Materialabtrag erforderlich ist.
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Die
anschaulichen Ausführungsformen
der 3 und 4 sollen zeigen, dass das Ziel
des Bereitstellens eines Thermoelements mit der Abdeckung 30 oder 30' erreicht wird,
indem ein unähnlicher
Metallübergangsbereich,
der mit der Abdeckung 30 oder 30' in Verbindung steht, vorgesehen
wird. Wie dieser spezielle unähnliche
Metallübergangsbereich
erreicht werden kann, kann sehr unterschiedlich sein.
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Es
sei wieder auf 2 verwiesen. Im vollständig zusammengefügten Zustand
bilden das thermische Zwischenschichtmaterial 38, die Abdeckung 30 und
das thermische Steuersystem 40 einen Stapel auf der integrierten
Schaltung 32. Wenn das System zusammengefügt ist,
wird die integrierte Schaltung 32 elektrischen Prüfungen und/oder
anderen Leistungsprüfungen
unterzogen und die Temperatur der Abdeckung 30 wird während des
Prüfens
unter Anwendung des Fühlerübergangsbereichs 36 und
des Fühlerinstruments 38 überwacht.
Es sollte beachtet werden, dass das thermische Steuersystem 40 und
die integrierte Schaltung mit integrierten thermischen Fühlerdioden
derart, wie sie in 1 gezeigt sind, ausgestattet
sind, so dass die Temperaturen des thermischen Steuersystems 40 und
der integrierten Schaltung 32 in Verbindung mit der Überwachung
der Temperatur der Abdeckung 30 überwacht werden können.
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In
der vorhergehenden anschaulichen Ausführungsform wird der Einbau
eines Thermoelements in die Abdeckung 30 im Zusammenhang
des Prüfens
angewendet, wobei das thermische Steuersystem 40 auf der Abdeckung 30 positioniert
und verwendet wird, die Temperatur der integrierten Schaltung 32 innerhalb
eines gewissen ausgewählten
Bereichs zu halten. Jedoch kann die Abdeckung 30 mit einem
integrierten Thermoelement auch in einen anderen Zusammenhang als
dem Prüfen
eingesetzt werden.
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Es
sei nun auf die 5 verwiesen, die eine schematisch
Aufrissansicht in ähnlicher
Weise wie 2 repräsentiert, wobei in dieser Ausführungsform
eine Wärmesenke 62 anstelle
des thermischen Steuersystems 40 in der in 2 gezeigten
Ausführungsform
vorgesehen ist. Wie die Ausführungsform
aus 2 wird die integrierte Schaltung 32 auf
dem Substrat 34 befestigt und das thermische Zwischenschichtmaterial 38 ist
zwischen der Abdeckung 30 und der integrierten Schaltung 32 angeordnet.
Wie bei der anderen Ausführungsform sind
die Anschlüsse 42 und 44 mit
der Abdeckung und dem Fühlerinstrument 48 verbunden.
Der unähnliche Metallfühlerübergangsbereich 46 ist
vorgesehen, um ein Spannungssignal zu erzeugen, das von dem Fühlerinstrument 48 aufgenommen
wird. Im vollständig
zusammengefügten
Zustand sitzt die Abdeckung 30 auf dem thermischen Zwischenschichtmaterial 38 und
die Wärmesenke 62 sitzt
auf der Abdeckung 30. Diese Art der Anordnung kann beispielsweise
in einem Computer oder einem anderen elektronischen System verwendet werden,
in welchem eine Wärmesenke
vorteilhaft auf einer integrierten Schaltung für die Temperatursteuerung verwendet
wird. Die Wärmesenke 62 kann
aus einer Vielzahl von Materialien aufgebaut sein, beispielsweise Aluminium,
Kupfer, Silber, Gold, Chrom, Rhodium, Nickel, Eisen, Platin, Legierungen
dieser Metalle oder dergleichen. Das Fühlerinstrument 48 ist
mit einem Referenzübergangsbereich 50 und
einer Kompensationsschaltung 52 versehen, wie dies hierin
bereits beschrieben ist.
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Ein
optionaler Lüfter 64 kann
verwendet werden, um eine Gasströmung,
etwa eine Luftströmung, über die
Wärmesenke 62 hinweg
zu erzwingen. Der Lüfter 64 wird
mittels einer optionalen Lüftersteuerung 66 gesteuert.
Die Lüftersteuerung 66 empfängt ein
Ausgangssignal von dem Fühlerinstrument 48,
das die Temperatur der Abdeckung 30 angibt. Die Lüftersteuerung 66 kann
wiederum die Geschwindigkeit des Lüfters 64 in der notwendigen
Weise in Abhängigkeit
vom Wert des Ausgangssignals des Fühlerinstruments variieren.
Das Fühlerinstrument 48,
der Referenzübergangsbereich 50,
die Kompensationsschaltung 52 und die Lüftersteuerung 66 können jeweils
diskrete Komponenten sein oder können
in ein einzelnes Bauelement oder in eine integrierte Schaltung nach
Bedarf integriert sein.
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Obwohl
die Erfindung diversen Modifizierungen und alternativen Formen unterliegen
kann, sind dennoch spezielle Ausführungsformen beispielhaft in
den Zeichnungen dargestellt und hierin detailliert beschrieben.
Es sollte jedoch beachtet werden, dass die Erfindung nicht auf die
speziellen offenbarten Formen eingeschränkt werden soll. Vielmehr soll
die Erfindung alle Modifizierungen, Äquivalente und Alternativen
abdecken, die innerhalb des Grundgedankens und des Schutzbereichs
der Erfindung, wie sie durch die folgenden angehängten Patentansprüche definiert
ist, liegen.
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Zusammenfassung
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Es
werden diverse Bauelemente zum Messen einer Abdeckung (30)
eines elektronischen Bauelements bereitgestellt. In einem Aspekt
wird eine Vorrichtung vorgesehen, die eine integrierte Schaltung
(32), eine Abdeckung (30) zur Anordnung auf der
integrierten Schaltung (32) und einen Übergangsbereich (46)
aus zwei unähnlichen
Metallen, die mit der Abdeckung (30) verbunden sind, enthält. Der Übergangsbereich
(46) stellt ein Thermoelement bereit, um ein für eine Temperatur
der Abdeckung (30) repräsentatives
Ausgangssignal zu liefern.
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