DE1117781B - Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des Elektronenstrahlerzeugungssystems - Google Patents

Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des Elektronenstrahlerzeugungssystems

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DE1117781B
DE1117781B DEZ7940A DEZ0007940A DE1117781B DE 1117781 B DE1117781 B DE 1117781B DE Z7940 A DEZ7940 A DE Z7940A DE Z0007940 A DEZ0007940 A DE Z0007940A DE 1117781 B DE1117781 B DE 1117781B
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Dr Wilhelm Scheffels
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/073Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J3/00Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02Electron guns
    • H01J3/025Electron guns using a discharge in a gas or a vapour as electron source
    • HELECTRICITY
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