DE1117781B - Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des Elektronenstrahlerzeugungssystems - Google Patents
Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des ElektronenstrahlerzeugungssystemsInfo
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- HZFDKBPTVOENNB-GAFUQQFSSA-N N-[(2S)-1-[2-[(2R)-2-chloro-2-fluoroacetyl]-2-[[(3S)-2-oxopyrrolidin-3-yl]methyl]hydrazinyl]-3-(1-methylcyclopropyl)-1-oxopropan-2-yl]-5-(difluoromethyl)-1,2-oxazole-3-carboxamide Chemical compound CC1(C[C@@H](C(NN(C[C@H](CCN2)C2=O)C([C@H](F)Cl)=O)=O)NC(C2=NOC(C(F)F)=C2)=O)CC1 HZFDKBPTVOENNB-GAFUQQFSSA-N 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/025—Electron guns using a discharge in a gas or a vapour as electron source
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2893/00—Discharge tubes and lamps
- H01J2893/0061—Tubes with discharge used as electron source
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL263646D NL263646A (enrdf_load_stackoverflow) | 1960-04-16 | ||
DEZ7940A DE1117781B (de) | 1960-04-16 | 1960-04-16 | Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des Elektronenstrahlerzeugungssystems |
CH325461A CH400384A (de) | 1960-04-16 | 1961-03-17 | Elektronenstrahlerzeugungssystem |
US96935A US3138736A (en) | 1960-04-16 | 1961-03-20 | Electron beam generator system |
GB10002/61A GB979622A (en) | 1960-04-16 | 1961-03-20 | Improvements in or relating to electron beam generating systems |
FR858075A FR1285823A (fr) | 1960-04-16 | 1961-04-07 | Installation génératrice de rayons électroniques |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEZ7940A DE1117781B (de) | 1960-04-16 | 1960-04-16 | Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des Elektronenstrahlerzeugungssystems |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1117781B true DE1117781B (de) | 1961-11-23 |
Family
ID=7620324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEZ7940A Pending DE1117781B (de) | 1960-04-16 | 1960-04-16 | Elektronenstrahlerzeugungssystem und Verfahren zur Herstellung der Blendenoeffnung des Elektronenstrahlerzeugungssystems |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3138736A (enrdf_load_stackoverflow) |
CH (1) | CH400384A (enrdf_load_stackoverflow) |
DE (1) | DE1117781B (enrdf_load_stackoverflow) |
GB (1) | GB979622A (enrdf_load_stackoverflow) |
NL (1) | NL263646A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1565089B1 (de) * | 1964-09-25 | 1971-12-23 | David Sciaky | Elektronenstrahlschweissvorrichtung |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE438468A (enrdf_load_stackoverflow) * | 1939-05-08 | |||
US2721972A (en) * | 1952-08-04 | 1955-10-25 | Rothstein Jerome | High sensitivity ionization gauge |
US2847597A (en) * | 1955-11-25 | 1958-08-12 | Sylvania Electric Prod | Electron discharge device |
US2887599A (en) * | 1957-06-17 | 1959-05-19 | High Voltage Engineering Corp | Electron acceleration tube |
NL242517A (enrdf_load_stackoverflow) * | 1958-08-26 |
-
0
- NL NL263646D patent/NL263646A/xx unknown
-
1960
- 1960-04-16 DE DEZ7940A patent/DE1117781B/de active Pending
-
1961
- 1961-03-17 CH CH325461A patent/CH400384A/de unknown
- 1961-03-20 GB GB10002/61A patent/GB979622A/en not_active Expired
- 1961-03-20 US US96935A patent/US3138736A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1565089B1 (de) * | 1964-09-25 | 1971-12-23 | David Sciaky | Elektronenstrahlschweissvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3138736A (en) | 1964-06-23 |
NL263646A (enrdf_load_stackoverflow) | |
CH400384A (de) | 1965-10-15 |
GB979622A (en) | 1965-01-06 |
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