DE1105014B - Verfahren zur Herstellung eines nach Art einer Streifenleitung ausgebildeten Mikrowellenbauelementes - Google Patents

Description

• Verfahren zur Herstellung eines nach Art einer Streifenleitung ausgebildeten Mikrowellenbauelementes Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines nach Art einer Streifenleitung ausgebildeten Mikrowellenbauelementes, das aus einem schmalen Streifenleiter und einem breiten Flächenleiter besteht, die auf zwei gegenüberliegenden Seiten eines Trägers aus einem Kunststoff, wie z. B. Polystyrol oder Polytetrafluoräthylen, aufgebracht sind, wobei - wie an sich bekannt - auf den Träger, vorzugsweise nach einer Oberflächenreinigung, wie Abglimmen, erst eine äußerst dünne Schicht eines unedlen und dann eine dünne Schicht eines edlen Metalls -beispielsweise Silber - aufgedampft wird.
• Verfahren dieser Art sind bekannt. Insbesondere ist es auch bekannt, zum Aufdampfen von Metallen auf ein Trägermaterial zunächst eine äußerst dünne Schicht eines unedleren Metalls (z. B. Kupfer) und auf diese eine Schicht eines Edalmetalls (z. B. Silber) aufzudampfen.
• Erfindungsgemäß werden bei dem eingangs genannten Verfahren als unedles Metall Blei, Zinn, Cadmium, Indium oder Legierungen dieser Metalle verwendet. Diese Metalle haben eine viel höhere Legierungsfähigkeit mit Edelmetallen als das vorbekannte Kupfer. Außerdem haften sie fester auf Kunststoffen als Kupfer. In bezug auf die speziellen Trägerstoffe haben die angeführten Zwischenschichten also besondere Eigenschaften. So ist es dem Fachmann aus dem Stand der Technik nicht erkennbar, daß er beim Übergang von Glas- oder Glimmerträgern zu Kunststoffträgern das bekannte Kupfer als Zwischenschicht zweckmäßigerweise nicht verwendet, sondern günstiger Blei, Zinn, Cadmium, Indium oder deren Legierungen.
• Es ist also durch die besonderen Zwischenschichten ein Kombinationseffekt gegeben, der sich sowohl auf die Trägerunterlage als auch auf das aufzubringende Edelmetall bezieht. Hinsichtlich des Edelmetalls ist es die besonders hohe Legierungsfähigkeit, hinsichtlich der Trägerunterlagen ist es die Höhe der Haftfestigkeit, die die beanspruchten Zwischenschichten auszeichnet. Die elektrische Beständigkeit auf Mikrowellenbauelementen war bisher deshalb nicht befriedigend, weil sich die aufgedampfte Schicht, wenn auch nur geringfügig, von der Oberfläche des Trägers aus dielektrischem Material abheben kann, wodurch Außenluft zwischen die Trägeroberfläche und die Schicht eindringt, die einerseits die Dielektrizitätskonstante des Trägers scheinbar verändert und die andererseits eine Oxydation des elektrisch wichtigen Teiles der Schicht verursacht. Die Änderungen der elektrischen Eigenschaften machen sich deshalb vor allem bei stärkeren Temperaturschwankungen bemerkbar, weil bei diesen der Träger aus dielektrischem Material nennenswert stärkeren Verformungen unterworfen ist, als die Materialien üblicher Hohlleiter u. dgl., die bisher in dem Gebiet der Mikrowellen für Bauelemente verwendet wurden.
• Durch die noch gut durchsichtige Zwischenschicht auf den vorstehend angegebenen Stoffen wird demgegenüber eine extrem gute Haftung der eigentlichen Leiterschicht erzwungen. Dabei ist von besonderer Wichtigkeit, daß diese Zwischenschicht sehr dünn, also optisch noch gut durchsichtig ist, weil sonst - wie Untersuchungen gezeigt haben - das eigentliche Leitermaterial durch nachträgliche, sich gegebenenfalls über mehrere Monate erstreckende Legierungsbildung mit der Zwischenschicht, seine hochfrequenzmäßig guten Eigenschaften nach und nach verliert. Es empfiehlt sich also, den eigentlichen Leiter relativ stark zu machen, d. h. mit Sicherheit undurchsichtig und die Zwischenschicht so dünn wie noch gerade möglich.
• Ein Leitungsresonator, bestehend aus einer relativ großen metallischen Grundfläche, die auf der einen Seite eines plattenförmigen Trägers aus dielektrischem Material, wie Polystyrol, aufgebracht ist, und einem eine halbe Betriebswellenlänge langen Streifenleiter, der auf der gegenüberliegenden Seite der Platte aus dielektrischem Material vorgesehen ist, wird demnach zweckmäßig in folgender Weise hergestellt. Nach einer vorausgehenden Oberflächenreinigung, beispielsweise mittels eines Entfettungsmittels und mittels des an sich bekannten Abglimmens, derart, daß der Träger aus dielektrischem Material, beispielsweise Polystyrol, eine leicht bräunliche Färbung annimmt, wird zunächst an den Stellen der Oberfläche des Trägers aus dielektrischem Material ein optisch durchsichtiger Belag aus den vorerwähnten Stoffen aufgebracht, auf denen später ein Leiter liegen soll. Das Aufbringen erfolgt durch Aufdampfen, beispielsweise im Vakuum bei einem Druck von 10-5 Torr. Anschließend wird etwa beim gleichen Druck das eigentlicheLeitermaterial aufgedampft, beispielsweise Silber. Mittels der an sich bekannten Vorkehrungen, wie Schablonen und dergleichen, wird sichergestellt, daß sich das Material nur auf den niit einer Zwischenschicht versehenen Stellen niederschlägt. Es wird zweckmäßig auch die Zwischenschicht bereits mittels Schablonen auf die Oberflächenbereiche begrenzt, die später mit einer Leiterschicht bedeckt werden sollen.

Claims (1)

1. PATFNTANSPRUCII: Verfahren zur Herstellung eines nach Art einer Streifenleitung ausgebildeten Mikrowellenbauelementes, das aus einem schmalen Streifenleiter und einem breiten Flächenleiter besteht, die auf zwei gegenüberliegenden Seiten eines Trägers aus einem Kunststoff, wie z. B. Polystyrol oder Polytetrafluoräthylen aufgebracht sind, wobei - wie an sich bekannt - auf den Träger, vorzugsweise nach einer Oberflächenreinigung, wie Abglimmen, erst eine äußerst dünne Schicht eines unedlen und dann eine dünne Schicht eines edlen Metalls - beispielsweise Silber - aufgedampft wird, dadurch gekennzeichnet, daß als unedles Metall Blei, Zinn, Cadmium, Indium oderLegierungen dieser Metalle verwendet werden. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 812 379; deutsche Auslegeschrift Nr. 1006 692; Zeitschrift »Umschau«, 1953, Heft 13, S. 403 und 405.