DE1104111B - Verfahren zur Verbesserung der Leistung einer Kaltkathoden-Entladungs-Ionenpumpe undzur Durchfuehrung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Verbesserung der Leistung einer Kaltkathoden-Entladungs-Ionenpumpe undzur Durchfuehrung dieses Verfahrens

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DE1104111B
DE1104111B DEC21391A DEC0021391A DE1104111B DE 1104111 B DE1104111 B DE 1104111B DE C21391 A DEC21391 A DE C21391A DE C0021391 A DEC0021391 A DE C0021391A DE 1104111 B DE1104111 B DE 1104111B
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DE
Germany
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anode
cathode
ions
replacement material
cathodes
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Application number
DEC21391A
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German (de)
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Inventor
Los Angeles
Clifford Edwar Berry
Wilson Marcus Brubaker
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Consolidated Vacuum Corp
Original Assignee
Consolidated Vacuum Corp
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
    • H01J41/18—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes
    • H01J41/20—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps with ionisation by means of cold cathodes using gettering substances

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