DE1088778B

DE1088778B - Vorrichtung zur Vakuumverdampfung

Info

Publication number: DE1088778B
Application number: DEH27788A
Authority: DE
Inventors: Johann Schwindt
Original assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Current assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date: 1956-08-07
Filing date: 1956-08-07
Publication date: 1960-09-08

Description

DEUTSCHES

Es wurde vorgeschlagen, einen direkt durch elektrischen Strom erwärmten Heizleiter für elektrische Öfen mit ineinander angeordneten Rohren von zwei verschiedenen Durchmessern dadurch zu verbessern, daß das äußere Rohr oder seine Endabschnitte das innere Rohr an den Stellen umschließen, wo der größte Wärmebedarf herrscht. Dadurch wird beispielsweise erreicht, daß die Endzonen des Ofens sich ebenfalls auf der Arbeitstemperatur befinden. In bestimmten Ausführungsformen hat ein solcher Heizleiter sogar den Vorteil, daß die heißeste Zone am Ofenende liegt. Es hat sich nun gezeigt, daß diese Ofenform in überraschender Weise für bestimmte Vakuumzwecke besondere Fortschritte ergibt.

Die Erfindung besteht darin, einen solchen Heizleiter, dessen heißeste Zone an der stirnseitigen Verbindungsstelle der beiden Rohre liegt, für die Nachführung von Verdampfungsmaterial bei Vakuumaufdampfverfahren in der Form nutzbar zu machen, daß diese heißeste Zone über einem Verdampferschiffchen angeordnet ist, wobei diese Zone die Abschmelzstelle des durch das innere Rohr in Drahtform zugeführten zu verdampfenden Metalls ist.

Die üblicherweise benutzte direkte Nachlieferung von festem Verdampfungsmaterial in den Verdamp- 25· fer hat den Nachteil, daß sich an der Zuführungsstelle eine geringere Temperatur einstellt und damit die gleichmäßige Verdampfung über die ganze Länge des Verdampfers nicht gewährleistet ist. Demgegenüber ist die tropfenweise Zuführung insofern vorteilhaft, als an der Zuführungsstelle keine besonders starke Abkühlung erfolgt. Zur Durchführung dieser tropfenweisen Zuführung wurden verschiedene Verfahren vorgeschlagen. Beispielsweise wurde mit Hilfe eines dünnen hochtemperaturfesten stromgeheizten Metallbandes das Verdampfungsmaterial vorgeschmolzen. Trotz der guten Erfolge, die diese Methode lieferte, hat sie bei legierenden Metallen eine nicht genügende Betriebsdauer.

Alle diese Nachteile werden durch den hier gemachten Vorschlag vermieden. Die relativ geringe Heizspannung und das Fehlen eines magnetischen Feldes bei der hier vorgeschlagenen Vorrichtung geben zu keiner Störung Anlaß. Ebenso ergibt die Form und Ausführung des Heizleiters selbst bei geringer Legierungsfähigkeit der beteiligten Metalle eine große Lebensdauer. Auch ist die vorgeschlagene Einrichtung insofern besonders vorteilhaft, als sie den Nachführdraht zunächst anwärmt und dann im heißesten Teil, wo die Wärmeabstrahlung durch die manschettenartige Ausbildung des Ofens· stark herabgesetzt ist, abschmilzt.

Die Abbildung zeigt beispielsweise eine solche Einrichtung.

Der Ofen besteht aus einem inneren Rohr 1 und Vorrichtung zur Vakuumverdampfung

Anmelder:

W. C. Heraeus G. m. b. H._r
Hanau/M., Heraeusstr. 12-14

Johann Sctrwindt, Langendiebach über Hanau,
ist als Erfinder genannt worden

einem äußeren Rohr 2, das das Rohr 1 teilweise überdeckt. Die beiden Rohre sind entweder aus einem Rohrstück angefertigt oder an dem einen Ende 3 verschweißt oder anderweitig ringförmig verbunden. Die Stromzuführung Ba und 5 b wird an den beiden Enden der Rohrteile 1 und 2 an gut leitende Kontaktringe 4 α und 4& angeschlossen. Der Ofen dient zum fortlaufenden Schmelzen eines in Drahtform zugeführten Metalls 6. Dieses Metall 6 schmilzt im vorderen Teile des Ofens und bildet dort flüssiges Metall 7. Bei der gewählten Anordnung tropft dieses Metall aus der vorderen Ofenöffnung herab, 8, und wird so einem Verdampfer zugeführt. Die Nachlieferung des bei 7 abschmelzenden drahtförmigen Materials 6 geschieht durch die Transportrollen 9 von einer Vorratsrolle 10. Der in der Abbildung gezeigte Ofen kann beispielsweise aus einem dünnwandigen, umgestülpten Tantalrohr gefertigt werden. Dann wird man zweckmäßigerweise die ganze Oberfläche abstoßend für das zu schmelzende Metall machen außer der Stelle 7, wo das Metall vom Draht 6 abschmilzt.

Die Einrichtung hat den Vorteil, daß zum Heizen des Ofens eine nur sehr geringe Spannung gebraucht wird, so daß auch bei plötzlichen Gasausbrüchen im Vakuum, die mit dem Schmelzen oft verbunden sind, keine Gasentladungen entstehen können.

Die Oberfläche des Verdampfers wird zweckmäßigerweise so behandelt, daß sie vor allem an der Stelle 7, wo das Metall schmilzt, von ihm benetzt werden kann. Beim Nachführen des Drahtes 6 wird dieser beim Eintritt in das innere Ofenrohr aufgeheizt. Wenn er in den doppelwandigen Teil, dessen inneres Rohr gegen Abstrahlung geschützt ist und darum eine höhere Temperatur besitzt, eindringt, wird er bei 7 nur dann abgeschmolzen, wenn dort ein guter Wärmeübergang vom Ofen auf den Draht stattfindet. Dazu ist aber erforderlich, daß das zu schmelzende Metall den¹ Heizkörper 1 benetzt,

009 590/350

Die Vorteile einer solchen Einrichtung sind außer der obenerwähnten geringen Betriebsspannung eine lange Lebensdauer und eine große Gleichmäßigkeit in der an den Verdampfer nachgelieferten Metallmenge.

Claims

PatENTANSPKUCH:

Vorrichtung zur Vakuumbedampfung, die aus einem Heizleiter besteht, der aus zwei konzentrisch ineinander angeordneten, stirnseitig miteinander verbundenen Rohren besteht, dessen heißeste Zone in dieser stirnseitigen Verbindungsstelle liegt, dadurch gekennzeichnet, daß diese Zone über einem Verdämpferschiffchen angeordnet ist, wobei, diese Zone die Abschmelzstelle des durch das innere Rohr (1) in Drahtform zugeführten zu verdampfenden Metalls (6) ist.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Britische Patentschrift Nr. 688 998.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

ι© 009 590/350 8.60