DE1074287B - Interferometer - Google Patents

Interferometer

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Publication number
DE1074287B
DE1074287B DENDAT1074287D DE1074287DA DE1074287B DE 1074287 B DE1074287 B DE 1074287B DE NDAT1074287 D DENDAT1074287 D DE NDAT1074287D DE 1074287D A DE1074287D A DE 1074287DA DE 1074287 B DE1074287 B DE 1074287B
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DE
Germany
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partial
interferometer
light
mirror
transmitted light
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Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DENDAT1074287D
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English (en)
Inventor
Wetzlar Dr Willi Horn
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Publication date
Publication of DE1074287B publication Critical patent/DE1074287B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02Interferometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

  • Interferometer Das Interferometer nach MichelsonoderLinnik ist zur Beobachtung von reflektierenden Objekten im Auflicht, das Interferometer nach Mach-Zehnder von durchsichtigen Objekten im Durchlicht geeignet.
  • Es ist bereits vorgeschlagen worden, auf der Objektseite eines Mikroskopobj ektivs eine Mach-Zehnder-Einrichtung anzuordnen, wobei das Objektiv einen großen Arbeitsabstand und daher schwache Vergrößerung haben muß. Um dieses Mikroskop auch für Auflichtbeobachtung zu benutzen, ist vorgesehen, daß der eine Teilerspiegel der .Mach-Zehnder-Einrichtung um 90" gedreht wird und daß ein Referenzspiegel und ein Kondensator eingefügt wir. Es ist ferner bekannt, daß für ein Interferenzmikroskop mit einer Mach-Zehnder-Einrichtung vier genau gleiche Objektive erforderlich sind, die nur mit Schwieriglteit zu finden sind. Die Erfindung betrifft ein Intetferometer, das sowohl für die Durchlichtbeobachtung als auch für Auflicht-- beobachtung dienen kann. Insbesondere kann es als Mikroskop mit starker Vergrößerung und großer Apertur eingerichtet sein. Das Interferometer nach der Erfindung unterscheidet sich ferner von den bekannten Instrumenten vorteilhaft dadurch, daß es nur drei Objektive zu enthalten braucht und ohne Veränderung für beide Beobachtungsarten dient.
  • Die Erfindung besteht darin, daß in dem einen Teilstrahl des durch einen Strahlenteiler geteilten Lichtbündels eine Einrichtung für Durchlicht und in dem anderen Teilstrahl eine Einrichtung für Auflicht angeordnet ist, in die wahlweise ein Objekt gestellt werden kann. Die kohärenten Teilstrahlen werden nach Durchlaufen der Einrichtungen einem Strahlenvereiniger zugeführt. Insbesondere sind in der Durchlicht-Einrichtung zwei gegeneinander gerichtete Ob-Objektive vorgesehen, welche die Objektebene einschließen, während in der Auflicht-Einrichtung nur ein Objektiv steht, welches infolge der Reflexion an der Objektebene der Auflicht Einrichtung zweimal durchlaufen wird.
  • Wird das Interferometer für ein in der Objektebene der Durchlicht-Einrichtung stehendes Objekt benutzt, so wird in die Objektebene der Auflicht-Einrichtung ein Referenzspiegel gestellt.
  • Wird das Interferometer für ein in der Objektebene der Auflicht-Einrichtung stehendes reflektierendes Objekt benutzt, so bleibt die Objektebene der Durchlicht-Einrichtung frei, so daß der diese Einrichtung durchlaufende Teilstrahl als Referenzstrahl dient.
  • Zur Einstellung der Breite und Neigung der Interferenzstreifen dienen die hierfür üblichen Mittel, nämlich der Aragokompensator und die bekannte schwenkbare planparallele Glasplatte. Man kann aber auch verstellbare Spiegel benutzen.
  • Mit diesen Mitteln kann man für beide Teilstrahlen genau gleiche optische Wege erreichen. Man erhält dann einen unendlich breiten Interferenzstreifen. Das Objekt erscheint dann als Phasenkontrastbild.
  • In der Zeichnung sind - Ausführungsbeispiele des Interferometers nach der Erfindung dargestellt. Es zeigt Fig. 1 ein Interferometer mit einander parallelen Obj ektebenen, Fig. 2 ein Interferometer mit senkrecht zueinander stehenden Objektebenen.
  • Das von der Lichtquelle 1 kommende, durch Aperturblende und Sehfeldblende gehende und durch die Linse 2 parallel gemachte einfallende Lichtbündel trifft auf den Strahlenteiler 3 und wird in die Teilstrahlen 4 und 5 zerlegt. Der Teilstrahl 5 wird nach Durchlaufen der Kompensationsplatte 6 durch den Umlenkspiegel 7 den beiden gegeneinandergerichteten Objektiven 8 und 9 zugeführt, zwischen denen ein Objekttisch 10 angeordnet ist. Nach Fig. 1 sind weitere Umlenkspiegelflächen 11 und 12 vorgesehen, welche den Teilstrahl 5 der Vereinigungsfläche 13 zuführen. Der Teilstrahl 4 geht durch das Objektiv 14 zur Objektebene 15 der Auflicht-Einrichtung. Hier kann entweder das spiegelnde Objekt oder der gestrichelt gezeichnete Referenzspiegel 16 angeordnet werden. Der zurückkehrende Teilstrahl 4 durchsetzt den Strahlenteiler 3 und die Vereinigungsspiegelfläche 13. Beide Teilstrahlen werden dem Fernrohr 17 in sonst bekannter Weise zugeführt. Der Teilstrahl 4 wird einmal an einer halbdurchlässigen Teilerfläche reflektiert und geht zweimal durch eine solche hindurch, so daß seine Intensität auf ein Achtel herabgesetzt wird. Dagegen wird der Teilstrahl5 einmal von einer Teilerfläche durchgelassen und einmal reflektiert. Daher ist es zweckmäßig, die Spiegelfläche 7 halbreflektierend auszubilden. Die Spiegel 11 und 12 sind als Dachkantspiegel oder -prismen ausgebi Idet, derart, daß der Lichtstrahl zuerst auf die eine Dachfläche fällt und von dieser auf die zweite reflektiert wird. Verschiebt man beide Dachkantspiegel gemeinsam in Richtung des Pfeiles, so ändert man die Weglänge des Strahls 5. Bei Verschiebung in Richtung des zweifachen Pfeiles erhält man in dem Okular die zur Erzeugung der Interferenzstreifen erforderliche Pupillenversetzung derart, daß die Pupillen der Strahlen 4 und 5 nebeneinanderliegen.
  • Verschiebt man senkrecht zur Zeichenebene einen Dachspiegel oder beide in entgegengesetzten Richtungen, so liegen die Pupillen nebeneinander in Richtung senkrecht zur Zeichenebene. Daher kann man durch eine Kombination der Verschiebungen die Interferenzstreifen in beliebiger Richtung einstellen. Man kann zur Pupillenversetzung auch die Dachkantprismen durch die bekannten Planplatten 19, 20 (Fig. 2) ersetzen.
  • Nach Fig. 2 sind die mit denselben Ziffern wie in Fig. 1 bezeichneten Teile so angeordnet, daß die Objektebenen 10 und 15 senkrecht zueinander stehen.
  • Die beiden Teilstrahlen 4 und 5 werden durch die Spiegelprismen 22 und 23 dem Vereinigungsspiegel 13 zugeführt. Durch eine geringe Verschiebung der Prismen 22, 23 kann man die zur Erzeugung der Interferenzstreifen nötige Pupillenversetzung bewirken. Mit 19 und 20 sind drehbare und kippbare Planplatten bezeichnet.
  • Man erkennt, daß die Objektive 8 und 9 eine Durchlicht-Einrichtung bilden, für welche der Teilstrahl 4 den Referenzstrahl bildet, falls der Referenzspiegel 16 eingeschaltet ist. Falls man aber ein Auflichtobjelçt in die Objektebene 15 bringt, so bildet der Teilstrahl 5 den Referenzstrahl.
  • PATENTANSPROCHE: 1. Interferometer, dadurch gekennzeichnet, daß in dem einen Teilstrahl des durch einen Strahlen- teiler geteilten Lichtbündels eine Einrichtung für Durchlicht und in dem anderen Teilstrahl eine Einrichtung für Auflicht angeordnet ist, in die wahlweise ein Objekt gestellt werden kann, und daß die Teilstrahlen nach Durchlaufen der Einrichtungen einem Strahlenvereiniger zugeführt sind.

Claims (1)

  1. 2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem einen Teilstrahl des durch einen Strahlenteiler geteilten Lichtbündels eine aus einem Beleuchtungsobiektiv (8) und einem Abbildungsobjektiv (9), die eine Objektebene einschließen, bestehende Einrichtung für Durchlicht und in dem anderen Teilstrahl eine aus einem doppelt durchlaufenen Objekt (14) mit einer Objektebene (15) bestehende Einrichtung für Auflicht angeordnet ist und daß die beiden je nach Lage des Objekts wechselweise als Beobachtungs- und Referenzstrahl dienenden Teilstrahlen durch einen Strahlenvereiniger (13) zur Interferenz gebracht werden.
    3. Interferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Benutzung als Durchlicht-Interferometer in den Brennpunkt des Objektivs der Auflicht-Einrichtung ein Referenzspiegel gestellt ist.
    4. Interferometer nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Benutzung als Auflicht-Interferometer der die Durchlicht-Einrichtung durchlaufende Teilstrahl als Referenzstrahl dient.
    5. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Pupillenversetzung der Teilstrahlen ein Spiegelsystem zwischen dem Vereinigungsspiegel und dem Objektiv eines der Teilstrahlen angeordnet ist.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Annalen der Physik, Bd. 8. 1951, S. 329 bis 340,
DENDAT1074287D Interferometer Pending DE1074287B (de)

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DE1074287B true DE1074287B (de) 1960-01-28

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Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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