DE1071840B - Verfahren zur Herstellung von Elektroden an Halbleiterkörpern von Halbleiteranordnungen - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Elektroden an Halbleiterkörpern von HalbleiteranordnungenInfo
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Claims (7)
1. Verfahren zur Herstellung von Elektroden an Halbleiterkörpern von Halbleiteranordnungen, bei
dem die zur Kontaktierung vorgesehene Halbleiteroberfläche mit einem metallischen Überzug
versehen wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper vor dem Aufbringen des metallischen
Überzuges der Elektrode in der Lösung
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eines anorganischen Salzes in einem nicht wäßrigen organischen Lösungsmittel elektrochemisch
geätzt und daß in dieser elektrolytischen Lösung beim Ätzen kein Sauerstoff abgespalten wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem elejctrochemi sehen Ätzen
die Elektrode in der gleichen Lösung elektrolytisch aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Halbleiterkörper
als auch die aus den Elektrodenmetall bestehende elektrolytische Elektrode in die elektrolytische
Lösung getaucht werden und daß ein elektrischer Strom geeigneter Stärke in solcher Richtung durch
die elektrolytische Elektrode, die elektrolytische Lösung und den Halbleiterkörper geleitet wird,
daß die Halbleiteroberfläche zunächst geätzt und danach der Strom umgepolt wird, so daß die geätzte
Halbleiteroberfläche mit einer Elektrodenschicht überzogen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Lösungsmittel mit hoher
Dielektrizitätskonstante Formamid verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine gesättigte Lösung von
Kupferchlorid in Formamid verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß dieses in der Atmosphäre
eines trockenen und inerten Gases, z. BT "Argon, ausgeführt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine Stromdichte von 40 bis
80 mA/cm2 auf der Halbleiteroberfläche verwendet wird.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 000 533;
Zeitschrift für Elektrochemie, Bd. 58, 1954, S. 283 bis 321, Abb. 4, 17.
Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 000 533;
Zeitschrift für Elektrochemie, Bd. 58, 1954, S. 283 bis 321, Abb. 4, 17.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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