DE1063748B - Kreiselpumpe zur Evakuierung von gasgefuellten Behaeltern - Google Patents

Kreiselpumpe zur Evakuierung von gasgefuellten Behaeltern

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DE1063748B
DE1063748B DEL21861A DEL0021861A DE1063748B DE 1063748 B DE1063748 B DE 1063748B DE L21861 A DEL21861 A DE L21861A DE L0021861 A DEL0021861 A DE L0021861A DE 1063748 B DE1063748 B DE 1063748B
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Germany
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centrifugal pump
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centrifugal
filled containers
axial
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Application number
DEL21861A
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English (en)
Inventor
Dr-Ing C Pfleiderer
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
E Leybolds Nachfolger AG
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Description

  • Kreiselpumpe zur Evakuierung von gasgefüllten Behältern Die Erfindung bezieht sich auf Kreiselpumpen zur Evakuierung von gasgefüllten Behältern.
  • Wenn eine Kreiselpumpe mit axial beaufschlagtem Laufrad zur Förderung von Mitteln mit geringer kinematischer Zähigkeit (z. B. Wasser oder atmosphärischer Luft) benutzt wird, so bleibt die Förderhöhe von etwa 1 Torr Ansaugd-ruck ab konstant, oder sie nimmt ah.
  • Es wurde nun gefunden, däß bei Förderung von Gasen schwindenden Druckes, ebenso wie es bei der Förderung einer Flüssigkeit von hoher kinematischer Zähigkeit der Fall ist - wobei also die axiale Pumpe als Vakuumpumpe arbeitet -, beim Anwachsen der kinematischen Zähigkeit des Fördermittels, was beispielsweise durch immer weitere Abnahme des Ansaugdruckes der Vakuumpumpe erreicht werden kann, sich folgendes erreignet: Mit Unterschreitung von etwa 1 Terr Ansaugdruck steigt die Förderhöhe der Pumpe - ausgedrückt in Meter Flüssigkeitssäule des Fördermittels - um so mehr an, je tiefer der Ansaugdruck sinkt, sofern das in der Zeiteinheit geförderte Volumen unverändert bleibt, also beispielsweise gleich Null gemacht wird, dadurch, daß das druckseitige Abschlußorgan der Pumpe ganz geschlossen wird.
  • Der Erfinder kam also zu dem überraschenden Ergebnis, daß bei Förderung von Gasen schwindenden Druckes die Förderhöhe im Gegensatz zur Förderung von Mitteln mit geringer kinematischer Zähigkeit wächst.
  • Diese überraschende Wirkung ist so zu erklären, daß die Massenkräfte, die bei gewöhnlichen Pumpen allein die Förderung bewirken, bei Fördermitteln mit hoher kinematischer Zähigkeit gegenüber den Zähigkeitskräften mehr und mehr verschwinden und deshalb das Axia.Irad nicht mehr wie in einer Strömungsmaschine, sondern wie in einer Förderschnecke arbeitet.
  • Es wurde gefunden, daß diese Erscheinung nur beim axialen Laufrad undnicht bei anderen Laufradformen auftritt. Auch die Kühlverhältnisse sind für hohe Luftleeren günstig, weil die Leitschaufeln unmittelbar im Gehäusemantel sitzen.
  • Der Erfinder kam so zu der Erkenntnis, daß bei der Verwendung von Ansaugdrücken unterhalb von 1 Torr die Schaufelräder der Kreiselpumpen als Axialräder ausgebildet sein können.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung werden nur die Niederdruckstufen als Axialstufen und die folgenden oberen Stufen in an sich bekannter Weise als Radialstufen ausgebildet. Die oberen Stufen, also die Radialstufen, können nach einer besonderen AusführungsfGrm der Erfindüng auch vorteilhaft durch ein Kapselgebläse nach Art des Rootsgebläses oder durch eine Pumpe sonst übli#cher Art ersetzt werden. Maßgebend dabei ist, daß das Ansaugen durch ein oder mehrere Axialräder geschieht.

Claims (3)

  1. PATENTANSPROCHE-1. Kreiselpumpe zur Evakuierung von gasgefüllten Behältern, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Verwendung von Ansaugdrücken unterhalb von 1 Torr die Schaufelräder der Kreiselpumpe als Axialräder ausgebildet sind.
  2. 2. Kreiselpumpe nach Anspruch 1, dadurch ge- kennzeichnet, daß die Niederdruckstufen als Axialstufen und die folgenden in an sich bekannter Weise als Radialstufen ausgebildet sind. 3. Kreiselpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Niederdruckstufen als Axialstufen ausgebildet sind, an die sich ein Kapselgebläse, insbesondere Rootsgebläse, anschließt.
  3. In Betracht gezogene Druckschriften: Eckert: »Axialkompressoren und Radialkompressoren«, Springer-Verlag, 1953, S. 169 und 170; Kluge: »Kreiselgebläse und Kreiselverdichter radialer Bauart«, Springer-Verlag, 1953, S. 188 bis 195,
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0691476A1 (de) * 1994-06-24 1996-01-10 Varian Associates, Inc. Tangentialströmungs-Pumpkanal für Turbomolekularpumpen

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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None *

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EP0691476A1 (de) * 1994-06-24 1996-01-10 Varian Associates, Inc. Tangentialströmungs-Pumpkanal für Turbomolekularpumpen

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