DE10360690A1

DE10360690A1 - Messung dünner Fasern

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Publication number: DE10360690A1
Application number: DE2003160690
Authority: DE
Inventors: Harald Prof. Dr. Giessen; Florian Warken
Original assignee: Rheinische Friedrich Wilhelms Universitaet Bonn
Current assignee: Rheinische Friedrich Wilhelms Universitaet Bonn
Priority date: 2003-12-19
Filing date: 2003-12-19
Publication date: 2005-07-28

Abstract

Verfahren zur Bestimmung einer im Mikrometerbereich liegenden Abmessung eines Gegenstandes 5, wobei der Gegenstand 5 mit einer Strahlung beaufschlagt wird, wobei die Strahlung durch den Gegenstand 5 in ihrer Intensität moduliert wird, wobei die Modulation mittels eines Aufnahmemittels 8, 9 in ihrer Charakteristik untersucht wird, wobei aus der Charakteristik auf die Abmessung des Gegenstandes 5 geschlossen wird, wobei die Charakteristik mit einem Standard verglichen wird, der als digitale Information in einer Datenbank gespeichert ist, wobei einem Standard die entsprechende Abmessung des Gegenstandes 5 zugeordnet ist und wobei im Falle der Übereinstimmung von gemessener Charakteristik und einem Standard die entsprechende Abmessung ausgegeben wird.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung einer Abmessung eines Gegenstandes, insbesondere einer dünnen Faser oder eines dünnen Drahtes, wobei die Abmessung im Mikrometerbereich liegt, wobei der Gegenstand mit einer Strahlung beaufschlagt wird, wobei die Strahlung durch den Gegenstand in ihrer Phase und ihrer Intensität moduliert wird, wobei die Modulation mittels eines Sensors auf ihre Charakteristik untersucht wird und wobei aus der Charakteristik auf die Abmessung des Gegenstandes geschlossen wird. Die Erfindung betrifft gleichfalls ein System zur Durchführung des Verfahrens.

Zur Bestimmung von Abmessungen in der Größenordnung von Mikrometern sind einige Verfahren bekannt. So können zu diesem Zweck hochauflösende Systeme, wie Raster-Elektronenmikroskope (REM) und Rasterkraftmikroskope (AFM) eingesetzt werden. Diese Systeme haben jedoch mit ihrem enormen apparativen Aufwand den Nachteil, dass sie verhältnismäßig zeit- und kostenaufwendig sind. Zudem bedürfen die AFM und REM einer Aufbereitung der Proben, die auf speziellen Probenträgern montiert werden müssen. Insbesondere ist es nachteilig, dass die Proben bei der Aufbereitung beschädigt werden und zur weiteren Verwendung nicht mehr zur Verfügung stehen. Ein weiterer Nachteil ist, dass AFM und REM wegen der kleinen Bildausschnitte, in denen die Proben vermessen werden, nicht geeignet sind, lange Profile, beispielsweise den Durchmesser von langen Fasern, aufzunehmen.

Es ist zudem bekannt, Messungen an kleinen Gegenständen, wie den dünnen Drähten, mit Interferometern und mit Beugungsapparaturen durchzuführen, die berührungslos mit vergleichsweise geringem apparativen Aufwand messen. Die bekannten Systeme bedürfen jedoch einer intensiven Justierung und zudem ist die Auflösung für manche Anwendung, speziell in dem genannten Bereich, zu gering. So sind die bekannten Beugungsapparaturen nur für Messungen von Fasern oder Drähten mit einem Durchmesser von mehr als 5 μm eingesetzt worden. Für kleinere Durchmesser sind Interferometer geeignet. Jedoch stellt die Transparenz von Glasfasern insofern ein Problem dar, als dadurch Ambiguitäten entstehen, die in den Phasenmessungen nicht oder nur schwer aufzulösen sind. Teilweise ist es auch bei Interferometern notwendig die Probe zu präparieren, was zu einer Beschädigung führen kann.

Aufgabe der Erfindung ist es nunmehr, ein Verfahren zur Bestimmung kleiner Abmessungen zu schaffen, das sich einer den Gegenstand beaufschlagenden Strahlung bedient, das sich mit einfachen und kostengünstigen Mitteln umsetzen lässt und das dem Anwender bei einem hohen Bedienungskomfort aktuell sichere und zuverlässige Messwerte liefert. Es ist gleichfalls die Aufgabe, ein System zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, das sich durch seine hohe Auflösung und seine hohe Messgeschwindigkeit auszeichnet.

Diese Aufgaben werden durch das Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruch 1 und durch das System mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruch 17 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den jeweiligen Unteransprüchen genannt.

Der Grundgedanke der Erfindung ist in der Datenbank zu sehen, die eine Anzahl von Standards enthält, mit denen das Ergebnis der tatsächlichen Messung verglichen wird. Dieser Abgleich bedarf keines besonderen Rechenaufwandes und kann durch einen Computer verhältnismäßig schnell bewerkstelligt werden. Der wesentliche Vorteil der Erfindung liegt somit in einer hohen Auflösung bei großer Messgeschwindigkeit. Erfindungsgemäß wird die Charakteristik der Modulation, insbesondere der Streuintensitäten, mit einem Standard verglichen, der als digitale Information in einer Datenbank vorliegt. Diesem Standard ist die entsprechende Abmessung des Gegenstandes zugeordnet. Sobald in einem Fit eine Übereinstimmung zwischen der gemessenen Charakteristik und einem der gespeicherten Standards festgestellt wird, kann die diesem Standard zugeordnete Abmessung dem Nutzer ausgegeben werden.

In einer wegen der hohen Auflösung besonders vorteilhaften Ausführungsform werden als Modulation Interferenzmuster der von den Gegenstand veränderten Strahlung aufgenommen. Diese können durch individuelle Intensitätsverteilungen und insbesondere durch die den Maxima und/oder Minima zuzuordnenden Streuwinkel charakterisiert werden und sind für die jeweilige Abmessung des Gegenstandes repräsentativ. Die Standards, mit denen die Modulationen respektive die Interferenzmuster verglichen werden, können entweder auf realen Messungen oder, in einer zu bevorzugenden Ausführungsform, auf Simulationen der Charakteristika beruhen, die unter der Vorgabe bestimmter Abmessung des Gegenstandes rechnerisch erstellt sind. Die Simulation der in die Bibliothek aufzunehmenden Standards bietet sich an, da die für die Rechnungen notwendigen theoretischen Grundlagen bekannt sind. So werden die Standards insbesondere mit Algorithmen der Beugungstheorie unter Vorgabe jeweils einer Abmessung des Gegenstandes und des Brechungsindex des Materials errechnet. Dabei ist es bei der Simulation der Standards vorteilhaft, neben dem Phänomen der Beugung weitere Effekte, wie Effekte von Brechungen, von Transmission und von Reflexionen, zu berücksichtigen. So können die Standards weitgehend an die „echten" Messergebnisse angeglichen und damit die Messgenauigkeit weiter erhöht werden. Durch eine solche „naturnahe" Simulation lässt sich mit geringem Aufwand eine große Bibliothek idealisierter Standards erzeugen.

Allgemein sei auf folgendes Problem hingewiesen: So erzeugen lichtdurchlässige Glasfasern nicht das klassische (sin(x)/x)² Beugungsbild, sondern aufgrund der überlagerten Transmission durch die transparente dünne Faser ein komplexes Beugungsbild, dessen Kichhoff-Integrale nur numerisch zu lösen sind. Eine schnelle analytische Zuordnung der Beugungsextrema zu bestimmten Radien ist daher unmöglich.

Um die Simulation zu vereinfachen und damit zusammenhängend verbesserte Messergebnisse erzielen zu können ist es vorteilhaft, den Gegenstand mit kohärenter elektromagnetischer Strahlung eines schmalen Frequenzbandes, insbesondere mit dem monochromatischen Licht einer Laserlichtquelle, zu beleuchten. So ist monochromatische Strahlung sowohl in der Praxis als auch in der Theorie besonders einfach zu handhaben. Im Falle der Simulation von Interferenzen von monochromatischem Licht an zylindrischen transparenten Fasern ist es vorteilhaft, den Effekt der Mie-Resonanzen, die innerhalb transparenter zylindrischer Fasern bei einem bestimmten Verhältnis vom Faserdurchmesser zu der Wellenlänge des Lichtes auftreten, zu berücksichtigen. Insbesondere im Falle eines auf der Faser liegenden Linienfokus sind die Mie-Resonanzen auch in den Beugungsbildern der Fasern als Auslöschungen deutlich sichtbar und ermöglichen bei bekannter Wellenlänge des Laserlichtes eine eindeutige Zuordnung zu einem bestimmten Faserdurchmesser.

Von besonderem Vorteil ist es, wenn die Faser über eine vergleichsweise große Länge simultan von der Strahlung beleuchtet und das gesamte Beugungsbild von dem beleuchteten Faserstück aufgenommen wird. Da Fasern und vor allem gezogene „tapered fibers" meist nicht von homogener Dicke sind, entsteht ein Beugungsbild mit einer besonderen Struktur, in der auch die genannten Mie-Resonanzen erkennbar sind. Die Auswertung des Bildes geschieht in einer vorteilhaften Weise in senkrecht zur Faser orientierten schmalen Bildabschnitten, wobei diese Bildabschnitte jeweils das Interferenzspektrum eines entsprechend kurzen Faserstückes repräsentieren. Durch die Integration der Beugungsspektren über kleine Winkelbereiche wird das Spektrum zugleich geglättet, was zu einer Vereinfachung der Auswertung führt. Die aufgenommene Intensitätsverteilung wird nachfolgend in der Bibliothek der simulierten Standards gesucht. Um die Suche und den Abgleich zu vereinfachen, ist es dabei vorteilhaft, wenn das Spektrum der gespeicherten Standards repräsentiert ist als Schar von Maxima/Minima-Kurven, die aufgetragen sind in der vom Streuwinkel und vom Durchmesser aufgespannten Fläche.

Die Erfindung bietet neben den schon genannten eine Reihe von Vorteilen: Zunächst ist die Methode einfach, schnell und kostengünstig. Es werden nur vergleichsweise einfache Bauteile benötigt, was mit einen enormen Preisvorteil einhergeht. Der Zeitaufwand resultiert lediglich aus der Probenpräparation, während die Auswertung auf dem Computer binnen Sekunden erfolgt. Darüber hinaus ist die Messung berührungslos und eine ortsaufgelöste Profilmessung kann über einige Zentimeter Strecke hinweg durchgeführt werden. Im Verhältnis zu den bekannten Messapparaturen, die sich der Beugung bedienen, ist die durch die erfindungsgemäße Methode erreichbare Auflösung signifikant erhöht.

Ein bevorzugtes Einsatzgebiet der Erfindung ist die Messung von Dickenprofilen extrem dünner Glasfasern oder Drähte. Diese können in einem Dickenbereich von 0.1 μm bis 10 μm, insbesondere in einem Bereich zwischen 0.5 μm bis 5 μm, über Längen von bis zu einigen Zentimetern berührungslos mit hoher Genauigkeit vermessen werden. Dabei sind die Fasern oder Drähte über eine große Länge simultan vermeßbar. Der Messbereich liegt in einem Intervall, dessen Größe etwa festgelegt ist durch λ < Durchmesser < ca. 10λ. Das Intervall lässt sich nach oben hin durch Anpassung der Auswertung und nach unten hin durch den Gebrauch kürzerer Wellenlängen erweitern.

Als Anwendungen bieten sich an Untersuchungen von Präzisionsdrähten für das Chip-Bonding, für die Medizintechnik, für die Herstellung von Glühlampen oder Sicherheitswesten und allgemein von dünnen Drähten im Elektronikbereich. Auch die Herstellung von Eichdrähten kann mit dem erfindungsgemäßen Verfahren überwacht werden. Eine besonders vorteilhafte Anwendung liegt jedoch in der Ausmessung des Durchmessers der erwähnten „tapered fibers", also gestreckter taillierter Glasfasern, die für Lichtleitung eingesetzt werden und die Durchmesser von wenigen Mikrometern aufweisen. Der Einsatz der Erfindung für die Vermessung der tapered fibers ist deswegen so interessant, da momentan eine Kontrolle der aktuellen Stärke beim Strecken einer aufgeschmolzenen Fasern nicht möglich ist. Da die Stärkenmessung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren nahezu „on-line" funktioniert, ist es auch denkbar, schon während des Streckens den Vorgang aktuell zu beobachten und damit zu kontrollieren. Erfindungsgemäß müssen während der Messungen auch keine aufwendigen Intensitätsverläufe angepasst werden, so dass die Dickenanalyse extrem beschleunigt werden kann.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht Messungen mit einer Genauigkeit von ±50 nm, wobei diese durch Modifikationen an der Apparatur noch verbessert werden kann. Eine absolute Kalibrierung kann anhand herkömmlicher Verfahren, wie REM oder auch AFM, geschehen. Die absolute Genauigkeit der Methode ist letztendlich nur durch eine Winkelmessung und durch die Komplexität der Beugungsstruktur eingeschränkt. Daher eignet sich die Erfindung insbesondere für präzise absolute Messungen.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der 1 bis 3 näher beschrieben. Es zeigen:
1 den Aufbau einer Messvorrichtung,
2 ein aufgenommenes Beugungsbild,
3 einen simulierter Standard und
4 ein Flussdiagramm aufzeigend die Ermittlung der Radien durch den Computer.
Der in 1 gezeigte Aufbau einer erfindungsgemäßen Messvorrichtung weist als kohärente Lichtquelle einen Laser 1 auf, dessen Strahlung der Wellenlänge λ = 532 nm und einer Leistung von 20 mW durch ein λ/2-Plättchen 25 in der Ebene linear polarisiert (Doppelpfeil) wird. Der Strahl trifft auf ein Zylinderlinsen-Teleskop, das eine vertikal aufgestellte Zylinderlinse 2 aufweist. Die Zylinderlinse 2 weitet den Strahl in einer Ebene auf, bevor er von einer dahinter angeordneten Linse 3 zu einem parallelen Strahl fokussiert, der eine Untersuchungsebene definiert. Um außerhalb der Ebene auftretendes Streulicht zu vermeiden, ist im Strahlengang hinter dem Zylinderlinsen-Teleskop ein Streulichtfilter 4 angeordnet. Dem Streulichtfilter 4 nachfolgend befindet sich der zu untersuchende Gegenstand, der in diesem Fall eine in der Untersuchungsebene waagerecht aufgespannte „tapered fiber" 5 ist. Der Laser beleuchtet somit in einem durch Zylinderlinsen hergestellten Linienfokus die zylindrische Probe.
An der Faser 5 wird der flächige Lichtstrahl gebeugt, wobei auf einem dahinter angeordneten semitransparenten Lambert'schen Streuschirm 6 ein Beugungsbild abgebildet wird. Durch Verwendung eines halbtransparenten Lambert'schen Streuschirmes 6 wird eine aufwendige Abbildeoptik unnötig. Um die überragende Intensität im Zentrum auszublenden, wird vor den Schirm 6 ein Strahlblocker 7 angeordnet. Durch den Streulichtfilter 4 und durch den Strahlblocker 7 wird der Kontrast des Beugungsbildes erhöht. Ein solches Bild ist in 2 dargestellt. Das 2-dimensionale Beugungsbild wird von einer CCD Kamera 8 digitalisiert und auf einen Rechner 9 übertragen. Auf dem Rechner 9 ist ein Programm zur automatisierten Bildverarbeitung realisiert. In 2 ist der Schatten 10 des Strahlblockers 7 als schwarzer Balken zu erkennen.
Die Auswertung des Bildes erfolgt durch bildspaltenweise Winkelanalyse der Extremwerte der gestreuten Intensität. Zu jeder Dicke gehört ein spezifischer Satz von Winkeln. Die Auswertung erfolgt anhand der Standards, die auf numerischem und insbesondere rigorosem Wege simuliert sind. Um den Abgleich der Messung mit dem Standard (Datenfit) zu bewerkstelligen, wurde einmalig eine Tabelle aller auftretenden Winkelsätze erstellt. Eine solche Tabelle ist in 3 gezeigt. Dabei ist jeweils zu einem Radius der Faser, die einen Brechungsindex von 1,46 hat, bei fester Wellenlänge von λ = 532 nm und festem Radius des Gauß'schen Strahles von 1 mm der gestreute Intensitätsverlauf als Funktion des Winkels berechnet und die dazugehörigen Winkel der Extremalwerte bestimmt. Die Richtung der Polarisation geht in die Berechnung ebenfalls ein.
Als Standards aufgetragen sind die Ergebnisse für die Fasern variierender Stärke, die in diesem Fall bis zu 1,6 Mikrometern geht. Die Maxima liegen auf Kurven, wobei mit steigendem Durchmesser die Anzahl der Maxima im untersuchten Winkelbereich und damit die Dichte der Kurven zunimmt. In der 3 liegen die Maxima bei einer Polarisation des elektrischen Feldes parallel zur Faserrichtung auf dunklen Kurven, während die Maxima bei senkrecht zur Faserrichtung polarisiertem Licht auf den punktiert gezeichneten Kurven liegen.
Die Auswertung der Streubilder ist im Flussdiagramm nach 4 gezeigt. In diesem Fall wird zunächst im Schritt 11 über mehrere Steubilder gemittelt, bevor eine Glättung 12 der Messungen durchgeführt wird. In Schritt 13 werden aus den Messungen die lokalen Extremalwerte herausgesucht, wobei aus Rauschpeaks resultierende Extremalwerte in Schritt 14 herausgefiltert werden. Danach wird zur Erhöhung der Genauigkeit eine Mittelung über positive und negative Streuung durchgeführt 15 und dann unter Berücksichtigung der geometrischen Verhältnisse die Winkel bestimmt 16. Damit liegt an der Stelle 17 ein Satz von gemessenen Extremalwerten der gestreuten Intensität als Grundlage für das weitere Verfahren fest.
Eine weitere Eingangsgröße sind die Standards, die einem Radien-Winkel-Diagramm 18, wie es in 3 gezeigt ist, entnehmbar sind. Für den letztendlichen Datenfit 19 sind drei Eingangsgrößen erforderlich. Zunächst wird auf das Diagramm 18 unmittelbar zurückgegriffen. Nach der Extremalwertdichte im Schritt 20 wird eine Auswahl günstiger Extremalwertnummern 24 für den Datenfit 19 getroffen, um die Genauigkeit zu erhöhen. Der eingegrenzte Radienbereich wird andererseits berücksichtigt bei der in Schritt 21 gebildeten Vereinigungsmenge der je experimentellem Fehler möglichen Radien je nach Extremalwert. Die Vereinigungsmenge durchläuft vor dem Datenfit 19 eine Filterung nach Mie-Resonanzen in Schritt 22. Letztendlich wird mit dem Datenfit 19 der Radius als Ergebnis 23 bestimmt.
Durch Messen zweier Profile mit je einmal senkrechter und paralleler Polarisation können Störungen durch Mie-Resonanzen gänzlich herausgefiltert werden, wenn die Probe auch nur eine leichte Inhomogenität aufweist: Dann erhält man in den bestimmten Winkeln zu den Extremalwerten eine starke Veränderung an der Stelle der Mie-Resonanz. Weil bei senkrechter Polarisation diese Resonanz jedoch bei einem anderen Radius auftritt, wird dort ein glatter Verlauf zu beobachten sein. Diesen verwendet man dann an dieser Faserstelle für die tatsächliche Messung. Somit sind alle Störungen durch Mie-Resonanzen ausgeschlossen.

Claims

Verfahren zur Bestimmung einer im Mikrometerbereich liegenden Abmessung eines Gegenstandes (5), wobei der Gegenstand (5) mit einer Strahlung beaufschlagt wird, wobei die Strahlung durch den Gegenstand (5) in ihrer Intensität moduliert wird, wobei die Modulation mittels eines Aufnahmemittels (8, 9) in ihrer Charakteristik untersucht wird und wobei aus der Charakteristik auf die Abmessung des Gegenstandes (5) geschlossen wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Charakteristik mit einem Standard verglichen wird, der als digitale Information in einer Datenbank gespeichert ist, wobei einem Standard die entsprechende Abmessung des Gegenstandes (5) zugeordnet ist und wobei im Falle der Übereinstimmung von gemessener Charakteristik und einem Standard die entsprechende Abmessung ausgegeben wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulation ein Interferenzmuster des Gegenstandes ist (5), das durch die Winkelverteilung von Maxima und/oder Minima charakterisiert wird.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein Standard eine Simulation der Charakteristik ist, die unter der Vorgabe einer bestimmten Abmessung des Gegenstandes (5) rechnerisch erstellt ist.
Verfahren nach Anspruch 3 , dadurch gekennzeichnet, dass ein Standard mit Algorithmen der Beugungstheorie, insbesondere der rigorosen Beugungstheorie und/oder der Mie-Streutheorie, unter Vorgabe jeweils einer Abmessung des Gegenstandes errechnet wird.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gegenstand (5) mit kohärenter elektromagnetischer Strahlung eines schmalen Frequenzbandes, insbesondere mit dem monochromatischen Licht eines Lasers (1), bestrahlt wird.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Simulation eines Standards neben dem Phänomen der Beugung weitere Effekte, wie Transmission, Brechungen und Reflexionen, berücksichtigt werden.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Gegenstand eine dünne Faser (5) aus insbesondere transparentem Material mit der Strahlung beaufschlagt wird, wobei der Durchmesser der Faser bestimmt wird.
Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Faser (5) eine „tapered fiber" oder ein dünner metallischer Draht mit einem Durchmesser im Bereich zwischen 0,3 Mikrometern und 5 Mikrometern ausgemessen wird.
Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Faser (5) oder der Draht in einem Bereich über eine Länge von insbesondere mehreren Zentimetern straft gespannt ist, wobei die gespannte Faser oder der Draht in einer von der Strahlung definierten Untersuchungsebene liegt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Simulation des Standards und/oder bei der Bestimmung des Radius der Effekt der Mie-Resonanzen innerhalb der transparenten zylindrischen Faser berücksichtigt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlung, insbesondere das Laserlicht, parallel und/oder senkrecht zur Untersuchungsebene polarisiert wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl in der Untersuchungsebene aufgeweitet und senkrecht zur Untersuchungsebene auf die Faser fokussiert wird.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das von der langen Faser (5) erzeugte Interferenzmuster auf einem im Strahlengang hinter der Faser aufgestellten Streuschirm (6) abgebildet wird, wobei das Bild von einer hinter dem Streuschirm befindlichen Kamera (8) aufgenommen und einem auf einem Computer (9) realisierten Programm zur Bildverarbeitung zugeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Kontrast des Bildes durch Streulichtfilter (4) und/oder eine Raumfilterung erhöht wird.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Bild in senkrecht zur Faser orientierten Streifen ausgewertet wird, wobei ein Streifen jeweils das Interferenzspektrum eines Stückes der aufgespannten Faser (5) repräsentiert, wobei eine Repräsentation der Intensitätsverteilung entlang des Streifens im Spektrum der simulierten Standards gesucht wird, wobei das Spektrum der Standards repräsentiert ist als Schar von Maxima- und/oder Minima Kurven der Streuintensitäten, die aufgetragen sind in der vom Streuwinkel und vom Durchmesser aufgespannten Fläche.
Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Stärke der „tapered fiber" während des Streckvorganges gemessen wird.
System zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorherigen Ansprüche, aufweisend eine Lichtquelle zur Beleuchtung des zu vermessenden Gegenstandes und aufweisend Aufnahmemittel, welche die durch den Gegenstand in ihrer Intensität modulierte Strahlung als Intensitätsverteilung zur weiteren Bearbeitung aufnimmt, wobei ein Auswertemittel vorhanden ist, das die Intensitätsverteilung auf ihre Charakteristik untersucht und auf die Abmessung des Gegenstandes (5) schliesst, dadurch gekennzeichnet, dass das Auswertemittel (8, 9) Zugriff auf eine Datenbank hat, die einen oder mehrere Standards von Intensitätsverteilungen enthält, wobei einem Standard die entsprechende Abmessung des Gegenstandes (5) zugeordnet ist, welche das Auswertemittel im Falle der Übereinstimmung von gemessener Charakteristik und einem Standard an den Nutzer ausgibt.