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Die
Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zur Bestimmung von Partikelgrößenverteilungen
und auf Adaptionen des Geräts,
um Partikelformen zu analysieren.
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Korngrößen von
Partikeln werden gewöhnlich
mit einem Geräteaufbau
bestimmt, bei dem monochromatisches Licht zu einem Parallel-Strahlenbündel geformt
wird, das eine Meßzelle
mit den zu untersuchenden Partikeln durchdringt, wobei Beugungserscheinungen
des Lichtes mittels einer Fourier-Transformlinse auf eine Detektorebene
abgebildet werden. Ein solcher Geräteaufbau ist aus der
US 4 953 978 A bekannt.
Der Detektor enthält
eine Mehrzahl von Aufnahmeelementen, mit denen der jeweilige Ringradius
des Beugungsspektrums festgestellt und in einer Analyseeinrichtung
der Korngrößenverteilung
zugeordnet werden kann. Wenn sehr kleine Korngrößen zu messen sind, gibt es
sehr große Streuwinkel
des parallelen Untersuchungsstrahlenbündels und es bestehen Schwierigkeiten,
solche großen
Streuwinkel mit einer Fourier-Transformlinse zu erfassen. Deshalb
werden für
unterschiedliche Bereiche des Streulichts unterschiedliche Fourier-Linsen
und dazu angepasste Detektoren verwendet, die eine Hauptaufnahmevorrichtung
und eine Nebenaufnahmevorrichtung darstellen. Dabei werden auch
Streuwinkel um 90° zu
dem Untersuchungsstrahlenbündel
benutzt, während
die Polarisation dieses Untersuchungsstrahlenbündels variiert wird. Hierzu
wird eine Wolfram-Halogen-Lampe mit nachgeschalteter Kondensorlinse,
Lochblende, Bandpassfilter, Polarisator und Filterrad verwendet. Darüber hinaus
gehende Mittel zur Beseitigung von Störungen der Lichtintensitätsverteilung
innerhalb des Strahlenbündels
sind nicht offenbart.
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EP 0 064 110 A1 zeigt
ein weiteres Partikeluntersuchungsgerät mit parallelem Untersuchungsstrahlenbündel innerhalb
der Messzelle. Das monochromatische Lichtbündel wird von einem Laser erzeugt
und von einem Raumfilter, bestehend aus einer Kondensorlinse und
einer Lochblende, gereinigt. Ferner werden Randstrahlen durch weitere
Blenden abgeschnitten. Weitere Maßnahmen zur Erzielung eines
Strahlenbündelprofils
mit optimaler Gauß-Verteilung
und minimalem Rauschen sind nicht offenbart.
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EP-B-0 207 176 zeigt
einen Aufbau eines Partikelanalysegeräts, das mit sogenannter „umgekehrter
Fourier-Optik" arbeitet.
Die Probe wird in einem konvergenten Strahlengang untersucht, wobei der
Abstand zwischen Meßzelle
und Detektor die Brennweite der Fourier-Transformlinse des zuvor beschriebenen
konventionellen Aufbaus ersetzt.
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Bei
dieser Gerätekonfiguration
läßt sich
der Abstand zwischen Meßzelle
und Detektor leicht variieren und damit die Größenklasse des eingestellten Meßbereichs
festlegen, für
welche die Korngrößen optimal
bestimmt werden. Durch Annäherung
der Meßzelle
sehr nahe an den Detektor lassen sich auch sehr kleine Korngrößen bis
ca. 0,1 μm
erfassen.
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Wenn
es um die Bestimmung sehr kleiner Korngrößen geht, müssen große Streuwinkel des Beugungsspektrums
erfasst werden. Die Lichtintensität bei großen Streuwinkeln ist jedoch
sehr klein, weswegen Störungen
in der Lichtintensitätsverteilung
des Untersuchungsstrahlenbündels sich
bei der Untersuchung kleiner Korngrößen besonders stark auswirken.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Partikelanalysegerät mit umgekehrter
Fourier-Optik in den Anwendungsmöglichkeiten
weiter zu entwickeln.
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Die
gestellte Aufgabe wird aufgrund der Maßnahmen gelöst, die in den Ansprüchen umrissen sind.
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Das
Partikeluntersuchungsgerät
umfaßt
Mittel zur Erzeugung eines monochromatischen, linear polarisierten
Lichtbündels
mit konvergentem Strahlengang als erstem Untersuchungsstrahlenbündel. Eine
Messzelle ist zur Aufnahme von Probenmaterial vorgesehen und in
dem konvergenten Strahlengang angeordnet. Eine Hauptaufnahmevorrichtung
ist zur feinen Auflösung
der Lichtenergieverteilung des Beugungsspektrums vorgesehen, das
von dem ersten Untersuchungsstrahlenbündel nach Durchdringen der
Meßzelle
erzeugt wird, wobei der Abstand zwischen der Meßzelle und der Hauptaufnahmevorrichtung
den optimalen Meßbereich
der Größenklasse der
Partikel festlegt. Eine Analyseeinrichtung ist zur Errechnung der
Korngrößenverteilung
aufgrund der Energieverteilung des Beugungsspektrums unter Berücksichtigung
des eingestellten Abstandes zwischen Meßzelle und Hauptaufnahmevorrichtung
vorgesehen. Diese Grundausstattung des Gerätes wird durch Mittel zur Formung
des Strahlenbündelprofils mit
optimaler Gauß-Verteilung
und minimiertem Rauschen ergänzt.
Dadurch kann die Genauigkeit der Bestimmung der Partikelgrößenverteilung
einer Probe erhöht
werden.
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Hierzu
wird das monochromatische Lichtbündel
mit einem Gas-Laser
oder einer Laserdiode erzeugt und das monochromatische Lichtbündel einer
Fokussieroptik zugeführt.
Dem Laser wird ein Raumfilter nachgeschaltet, um dem Lichtbündel die optimale
Gaußverteilung
der Lichtintensität
zu erteilen. Alternativ kann der Laser fasergekoppelt sein. Auch
eine fasergekoppelte Laserdiode bei nachgeschalteter Fokussieroptik
ist als Mittel zur Formung des Strahlenbündelprofils mit minimalem Rauschen brauchbar.
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Bei
einem derart verbesserten Gerät
kann man auch zur Bestimmung der Partikelform im sogenannten Fraunhofer-Bereich (Partikelgröße im μ-Bereich
und darüber)
gelangen, wenn der Durchmesser des ersten Untersuchungsstrahlenbündels sehr
klein gemacht wird, so dass sich nur noch wenige Partikel im Strahl
befinden und wenn die Hauptaufnahmevorrichtung mit azimutaler Winkelauflösung ausgebildet wird.
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Zur
Partikelgrößenbestimmung
im Sub-Mikron-Bereich weist die Aufnahmevorrichtung Nachweismittel
für das
Streulicht unter zwei verschiedenen Azimut-Winkeln auf. Die Aufnahmevorrichtung kann
zu diesem Zweck zwei Nebenaufnahmevorrichtungen aufweisen, wobei
die Achsrichtungen der Nebenaufnahmevorrichtungen quer zur Achse
des Untersuchungsstrahlenbündels
verlaufen und die Achsen der Nebenaufnahmevorrichtungen senkrecht aufeinander
stehen. Mit diesen Nebenaufnahmevorrichtungen läßt sich Streulicht auch unter
großen
Zenit-Winkeln, bezogen auf die Achse des ersten Untersuchungsstrahlenbündels, nachweisen.
Statt der Verwendung zweier Nebenaufnahmevorrichtungen quer zur
Achse des konvergenten Strahlenbündels kommt
man auch mit einer Nebenaufnahmevorrichtung aus, wenn man die Polarisationsrichtung
des zugeführten
monochromatischen, linear polarisierten Lichtes variiert.
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Ein
derartiger Aufbau mit Nebenaufnahmevorrichtungen läßt sich
noch dahingehend erweitern, dass diesen Nebenaufnahmevorrichtungen
jeweils Polarisationsfilter vorgesetzt werden. Die Intensität des Streulichtes
sowie der Polarisationszustand werden der Analyseeinrichtung zugeführt, die
daraus Angaben auf Partikelgröße und -form
errechnet.
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Zur
verbesserten Messung im Sub-Mikron-Bereich (bis ungefähr 40 nm)
wird ein zweites, im Durchmesser ausreichend kleines Untersuchungsstrahlenbündel mit
parallelem monochromatischem, linear polarisiertem Licht verwendet,
das auf die Rückseite
der Meßzelle
gerichtet wird. Es wird ein fester Einstrahlungswinkel zwischen
0° und 45° auf die
Rückseite
der Meßzelle
bevorzugt, wodurch sich ein Winkel von etwa 135°–180° zum ersten konvergenten Untersuchungsstrahlenbündel ergibt.
Das eingestrahlte Licht des zweiten Untersuchungsstrahlenbündels kann
variabel linear polarisiert werden, um zwei zueinander senkrechte
Richtungen einzunehmen. Das gestreute Licht wird von der Aufnahmevorrichtung
nach der Grundausstattung des Gerätes aufgenommen; sie enthält zusätzliche
Elemente, um die Polarisation des aufgefangenen Streulichtes untersuchen
zu können.
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Die
Erfindung wird anhand der Zeichnung beschrieben.
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Dabei
zeigt:
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1 einen
schematisierten Geräteaufbau,
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2 eine
vergrößerte perspektivische
Darstellung der Aufnahmevorrichtung,
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3 ein
Schema der Messung der Partikelgrößenverteilung im konvergenten
Strahl für
Partikel im Millimeter- und Mikron-Bereich,
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4 ein
Schema der Messung von Partikelformen im Millimeter- und Mikron-Bereich,
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5 ein
erstes Schema der Messung der Partikelgrößenverteilung im Sub-Mikron-Bereich,
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6 ein
zweites Schema der Messung der Partikelgrößenverteilung im Sub-Mikron-Bereich.
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1 zeigt
das Geräteschema.
Eine monochromatische Lichtquelle 1 erzeugt ein monochromatisches
Lichtbündel 2,
das mittels einer Optik in eine Lichtleitfaser 10 eingekoppelt
wird. Die Optik kann ein Mikroskopobjektiv 3 mit einer
Brennweite von 8 bis 16 mm umfassen, die das monochromatische Licht
auf eine Lochblende 4 mit 6 bis 30 μm Bohrungsdurchmesser fokussiert,
um jenseits der Lochblende 4 nur noch den zentralen Mode
TEM 00 in dem Strahlenbündel 5 vorzufinden.
Das divergente Strahlenbündel 5 kann
durch eine weitere Linse 6 der Optik in die Faser 10 eingeleitet
werden, um sich in dieser im wesentlichen als Parallelstrahlenbündel auszubreiten,
das hinsichtlich seines Profils ein optimale Gaußverteilung mit minimiertem
Rauschen aufweist.
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Als
Mittel zur Erzeugung des monochromatischen Lichtbündels kann
man auch fasergekoppelte Laserdioden verwenden. Durch die Faserkopplung wird
der ursprüngliche
elliptische Strahl der Laserdiode zu einem runden Strahlprofil umgewandelt
und wenn der Durchmesser des Einkopplungspunktes sehr klein und
die Faser sehr dünn
ist, hat die Faser gleichzeitig die Funktion eines Raumfilters zur
Minimierung des Rauschens. Die Erzeugung des monochromatischen Lichtbündels mit
fasergekoppelten Laserdioden ermöglicht
eine vereinfachte Justierung des gesamten Systems.
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Es
gibt auch handelsübliche
Bauteile zur Faserkopplung von Lasern, die ohne Raumfilter auskommen
und deshalb einfacher zu justieren sind. Auch derartige monochromatische
Lichtquellen können
verwendet werden.
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Die
Lichtleitfaser 10 wird mit einem öffenbaren Verschluß 11 abgeschlossen,
um das über
die Faser 10 geleitete monochromatische Licht ein- und auszuschalten.
Hinter dem Verschluß 11 ist
eine Aufweitungsoptik 12 angeordnet, die das monochromatische
Lichtbündel
auf einen größeren Strahldurchmesser
bringt, wie bei 13 angedeutet. Ausgehend von diesem Strahldurchmesser
wird mittels eines optischen Systems 14 ein monochromatisches
Lichtbündel 15 mit
konvergentem Strahlengang erzeugt, wobei man den Durchmesser des
Strahlenbündels 15 durch
eine Lochblende 16 weiter verkleinern kann, wenn dies für bestimmte
Messungen, z. B. für
die Formerkennung, zweckmäßig ist.
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Das
Licht des konvergierenden Strahlenbündels 15 kann auch
polarisiert sein. Hierzu kann ein Polarisationsfilter 17 eingeschaltet
werden, oder das Licht kann bei seiner Erzeugung bereits linear
polarisiert sein, was mit linear polarisierenden Lasern oder Laserdioden
gelingt. Die Lichtleitfaser 10 ist dann von einer Art ausgewählt, welche
die Polarisationsrichtung aufrechterhält.
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Eine
Meßzelle 20 ist
im konvergenten Strahlengang 15 angeordnet und enthält die zu
untersuchende Probe. Gewöhnlich
wird Probenmaterial zu- und abgeführt, was nicht näher dargestellt
ist. Die Wände
der Meßzelle
bestehen gewöhnlich
aus Glas, das mit einer Antireflexbeschichtung versehen ist. Das
konvergente Strahlenbündel 15 durchdringt
die Meßzellen-Vorderwand 21,
durchsetzt die Probe und erzeugt dabei ein Beugungsspektrum bzw.
Streulichtspektrum, das durch die Rückwand 22 sowie gegebenenfalls
durch die Seitenwände 23, 24 (2) der
Meßzelle 20 austritt.
Bei dieser Streuung kann man unterschiedliche Bereiche feststellen.
Bei der sogenannten Kleinwinkelstreuung oder Fraunhofer-Beugung wird
ein wesentlicher Teil des Lichtes im Raumwinkel sehr nahe zur Ausbreitungsrichtung
des einfallenden Lichtes gestreut, was bei Partikeln, die deutlich
größer als
die Wellenlänge
des einfallenden Lichtes sind, zutrifft. Dieses gestreute Licht
wird von einem Detektor 30 aufgefangen und einer nicht
dargestellten Analyseeinrichtung zugeführt, welche die Partikelgrößenverteilungen
aufgrund der Energieverteilung des Beugungsspektrums unter Berücksichtigung
des eingestellten Abstandes zwischen der Meßzelle 20 und dem
Detektor 30 errechnet.
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Der
Detektor 30 kann viele lichtempfindliche Elemente enthalten
und muß dann
auf das Zentrum des konvergenten Strahlenbündels 15 eingestellt werden.
Als Detektor kann auch eine CCD-Kamera verwendet werden, bei der
die lichtempfindlichen Elemente an sich rasterartig angeordnet sind.
Man ordnet die lichtempfindlichen Elemente zu Sensorelementen um
den Auftreffpunkt des Strahlenbündels 15 herum
an, was mit Hilfe eines Rechners mit entsprechender Software geschieht.
Bei Verwendung von CMOS Detektoren ist dies ähnlich.
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Da
der Detektor 30 sehr nahe an die Meßzelle 20 herangefahren
werden kann, erfaßt
er einen sehr großen
Raumwinkel des Streulichts, und zwar auch solches, welches von Partikeln
im Sub-Mikron-Bereich ausgeht. Für
Streulicht, das die Meßzelle 20 nahezu
senkrecht zur Strahlrichtung des Untersuchungsstrahlungsbündels 15 verläßt, können in einer
Geräteausstattung,
wie in 2 dargestellt, zwei weitere Aufnahmevorrichtungen 31 und 32 vorgesehen
sein. Diese können
beispielsweise PIN-Fotodioden enthalten. Um einen größeren Raumwinkel für die seitliche
Streustrahlung zu erfassen, sind Sammellinsen 33 und 34 vorgesehen.
Zu gewissen Messungen können
ferner Polarisationsfilter 35 und 36 zugeschaltet
werden. Die Elemente 31, 33, 35 liegen
auf einer Achse, die senkrecht zur Achse der Elemente 32, 34, 36 steht.
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Die
Polarisationsrichtungen der Polfilter 35 und 36 stehen
senkrecht aufeinander.
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In
einer Ausführungsform
zur Bestimmung von Partikelformen können einzelne Elemente des Detektors 30 mit
linearen Polarisationsfiltern versehen sein, was schematisch durch
die Polarisationseinrichtung 37 angedeutet wird.
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In
der Schemazeichnung ist noch eine Fotodiode 38 angedeutet,
die zur Bestimmung der Strahlabschwächung dient, verursacht durch
die Meßzelle 20,
welche gewöhnliche
eine Suspension enthält.
Die Fotodiode 38 kann Teil des Detektors 30 sein.
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Sie
kann zur Bestimmung der absoluten Konzentration verwendet werden.
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Das
monochromatische Lichtbündel 15 mit konvergentem
Strahlengang bildet das erste Untersuchungsstrahlenbündel. Zur
Komplettierung der Messung im Sub-Mikron-Bereich (bis ungefähr 40 nm)
wird ein zweites monochromatisches Beleuchtungssystem 40 zur
Bildung eines zweiten Untersuchungsstrahlenbündels bereitgestellt, welches
ein selbständiges
Lichterzeugungssystem sein kann, oder aber vom ersten Lichterzeugungssystem 1 bis 6 abgeleitet
ist.
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Für diesen
Fall (1a) ist eine Y-förmige Aufsplittstelle 18 für das Lichtbündel 5 vorgesehen, so
dass ein Teil dieses Lichtbündels
in einem Faserzweig 19 bis zu einem Verschluß 41 am
Ende der Faser 19 gelangen kann. Eine Auskopplungsoptik 42 ist
zur Erzeugung eines parallelen Strahlenganges des zweiten Untersuchungsstrahlenbündels 45 ausgebildet.
Ein variabler Polarisationsfilter 43 ermöglicht das
zweite Untersuchungsstrahlenbündel 45 in eine
bestimmte Polarisationsrichtung und in die dazu senkrecht stehende
Polarisationsrichtung zu polarisieren. Das zweite Untersuchungsstrahlenbündel 45 ist
in einem fest eingestellten Winkel ∝ auf die entspiegelte Rückseite 22 der
Meßzelle 20 gerichtet, wobei ∝ mehr als
90° beträgt und vorzugsweise
im Bereich zwischen 135° und
180° liegt.
Es ist auch möglich,
die Messzelle 20 mit einer Eintrittsfläche für den Untersuchungsstrahl 45 zu
gestalten, die von dem Detektor 30 abgewandt ist, um diesen
nicht durch Spiegelungen des Untersuchungsstrahles 45 zu
stören.
Eine solche Eintrittsfläche
könnte
als Schrägfläche im Bereich
der Kante zwischen den Seitenflächen 22 und 24 angeordnet
sein, wobei der Winkel ∝ zwischen
90° und
135° liegen
könnte.
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Es
ist auch möglich,
das Strahlenbündel 45 in
einen Lichtleiter bis zur Rückseite 22 der
Messzelle 20 zu führen
und den Brennpunkt mit Immersionsflüssigkeit auszufüllen, um
Lichtspiegelungen an der Rückseite
herabzusetzen. Der Winkel kann dann in einem Bereich bei 180° liegen.
In jedem Fall empfängt
der Detektor 30 deshalb Streustrahlung unter einem sehr
großen
Winkel. Um die Polarisation dieser Streustrahlung untersuchen zu
können,
ist die Polarisationseinrichtung 37 vorgesehen, bei der
einzelne Elemente des Detektors 30 mit linearen Polarisationsfiltern
versehen sind, um die aufgefangenen Polarisationsrichtungen analysieren
zu können.
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Um
die Intensität
des Strahlenbündels 45 bestimmen
zu können,
ist ein Strahlteiler 46 vorgesehen, der einen Teil des
die Auskoppeloptik 42 verlassenden Strahles abzweigt. Dieser
abgezweigte Teil wird durch eine Sammellinse 47 auf eine
Fotodiode 48 konzentriert und gemessen. Damit kann die Intensität des Untersuchungsstrahlenbündels 45 bestimmt werden.
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Zumindest
bei der Aufnahmevorrichtung 30 handelt es sich um einen
Detektor mit vielen Sensorelementen, um die Winkelverteilung des
eintreffenden Streulichtes auflösen
zu können.
Es können CCD-Kameras
und CMOS-Detektoren verwendet werden. Die CMOS-Detektoren eignen
sich für
den hier vorgesehenen Anwendungszweck besonders gut, weil sie eine
logarithmische Empfindlichkeit aufweisen. Dadurch kann ein Empfangsbereich
von bis zu 120 dB (d. h. sechs Dekaden) abgedeckt werden, und zwar
von einer minimal detektierbaren Strahlung von 1e–4W/m2 an. Die optische Einstrahlung wird logarithmisch
komprimiert, d. h. eine Ausgangsspannung erzeugt, die linear zum
Logarithmus der Energie der Empfangsstrahlung ist. Bei Verwendung
von CCD-Kameras muss mehrfach mit verschiedenen Belichtungszeiten
belichtet werden.
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Zur
Bestimmung von Partikelgrößenverteilungen
im Mikron- und Millimeterbereich
wird das Gerät
so benutzt, wie in 3 skizziert. Das im Lichtleiter 10 ankommende „gereinigte" Lichtbündel wird
mit der Auskoppeloptik 12 zu einem breiteren Lichtbündel 13 aufgeweitet
und mittels der Optik 14 auf die Aufnahmevorrichtung 30 fokussiert,
wie durch das Meßstrahlenbündel 15 dargestellt.
Die Meßzelle 20 ist
in diesem konvergenten Strahlenbündel 15 angeordnet,
wobei die Meßzelle 20 zur
Messung kleiner Partikelgrößen ganz
nahe an die Aufnahmevorrichtung 30 gerückt wird, während bei der Messung größerer Partikel
die Meßzelle
mehr zur Optik 14 hin verschoben wird. Der Abstand zwischen
Meßzelle 20 und
der Aufnahmevorrichtung 30 legt die Größenklasse des eingestellten
Meßbereichs
fest, für
welche die Partikelgrößen optimal
bestimmt werden. Dieser Abstand wird in die Analyseeinrichtung eingegeben
und bei der Berechnung der Partikelgrößenverteilung entsprechend
berücksichtigt.
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Der
Aufbau nach
3 ist konventionell, d. h. entspricht
der
EP 0 207 176 B1 ,
bis auf die Art der Erzeugung des monochromatischen Lichts, welches hinsichtlich
seiner Moden gereinigt ist und eine Gaußverteilung aufweist.
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In
der Konfiguration der 4 ermöglicht das Gerät die Bestimmung
von Partikelformen im Millimeter- und Mikronbereich. Durch Einschalten
der Blende 16 wird das konvergierende Lichtbündel 15 auf
einen ganz kleinen Durchmesser gebracht, wie bei 15' angedeutet,
um nur einzelne oder wenige Partikel in der Meßzelle 20 anzuleuchten.
Wenn die Partikel nicht kugelförmig
sind, ist die Lichtintensität
entlang des Kegelmantels des Streukegels Theta θ azimuthal ungleichmäßig verteilt,
und diese Ungleichverteilung kann durch die Aufnahmevorrichtung 30 nachgewiesen
werden.
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Wie
angedeutet, gibt es verschiedene Streuwinkel, bei denen die Lichtintensität ungleich
azimuthal verteilt sein kann. Der Analyseeinrichtung werden die
Intensitätsmuster
der aufgefangenen Strahlung übermittelt,
woraus dann Partikelformen errechnet werden.
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In
der Konfiguration der 5 ermöglicht das Gerät die Bestimmung
von Partikelgrößenverteilungen
im Sub-Mikronbereich.
Hier ist der Streukegel von auftreffendem Licht sehr groß und teilweise
sogar nach rückwärts gerichtet.
Für Streustrahlung,
die senkrecht zum Untersuchungsstrahl 15 verläuft, sind die
Detektoren 31 und 32 vorgesehen, deren Empfangsflächen selbst
unter 90° aufeinander
stehen. Die Polarisationseinrichtung 17 ist hinsichtlich
der Polarisationsrichtung drehbar, um den Untersuchungsstrahl je
nach Einstellung in zueinander senkrecht stehenden Richtungen zu
polarisieren. Je nach der Stellung des Polfilters 17 werden
unterschiedliche Intensitäten
bei den Detektoren 31 und 32 gemessen, was in
der Analyseeinrichtung zur Partikelgrößenverteilung und teilweise
auch zur Formbestimmung auswertbar ist.
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Die
Einrichtung 31 bis 36 ist fakultativ und kann
bei einem abgemagerten Gerät
fortgelassen werden.
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Zur
Partikelgrößenbestimmung
im Sub-Mikronbereich wird die Gerätekonfiguration nach 6 benutzt.
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Nachdem
die Untersuchung der Probe nach dem Schema der 4 vorgenommen
worden ist, wird der Untersuchungsstrahl 15 mit dem Verschluß 11 abgeschaltet
und der Untersuchungsstrahl 45 mit Öffnen des Verschlusses 41 eingeschaltet
(6). Die Proben im Sub-Mikronbereich streuen das
auftreffende Licht auch in Rückwärtsrichtung,
so dass der Detektor 30 Streulicht an unterschiedlichen
Stellen empfängt.
Das empfangene Muster, das für
zwei zueinander senkrechten Stellungen des Polarisators 43 gemessen
wird, ermöglicht
Rückschlüsse auf
die Partikelgröße, die
in der Analyseeinrichtung gezogen werden.
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In
der Konfiguration der 6 können Partikelformen für den Sub-Mikronbereich
ermittelt werden. Ausgewertet wird die Kreuzpolarisation, die bei entsprechender
Drehung des Polarisators 43 und der Polarisationseinrichtung 37 entsteht,
d. h. unter Benutzung bestimmter Elemente der Aufnahmevorrichtung 30,
die mit Polarisationsfilter versehen sind.
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Die
aufgefangenen Beleuchtungsmuster werden der Analyseeinrichtung zur
Auswertung übermittelt.