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Die
Erfindung betrifft eine Leiterplatte und Verfahren zum Herstellen
der Leiterplatte, in der sich Bauelemente an einer bestimmten Position
befinden.
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Hochwertige,
insbesondere tragbare, Kommunikationsgeräte, wie etwa Mobiltelefone
oder tragbare Computer, sind heute bereits in hohem Maße miniaturisiert.
Für die
interne Elektronik bedeutet das, dass die Leiterplatte zu einem
multifunktionalen elektromechanischen Bauelement wird. Einerseits hat
sie mechanische Funktionen in der Gerätekonstruktion, andererseits
wird die Leiterplatte zu einem, auch beidseitig, benutzten Schaltungsträger, um
einen erhöhten
Funktionsumfang bei reduziertem Platzbedarf zu erzielen.
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Um
den vorhandenen Platz optimal auszunutzen, ist es wichtig, dass
Bauelemente exakt positioniert werden. Eine exakte Positionierung
ist weiterhin auch für
eine Kontaktierung der Bauelemente in oder auf der Leiterplatte
erforderlich, da diese Kontaktierung oft über feste Leitungsstrukturen
erfolgt, die sich eben an einer bestimmten Position befinden.
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Eine
weitere Verkleinerung im Bereich der Leiterplatte ist durch die
sogenannte "Chip-in-Board"-Technologie möglich, bei
der aktives Silizium in Form von elektronischen Bauelementen, also
beispielsweise ein Controller oder ein Speicher in Siliziumtechnologie,
in die Leiterplatte eingebettet sind. Durch die hohe Integrationsdichte
derartiger Anordnungen stellt hier die Positionierung, insbesondere
von Bauelementen, die kontaktiert werden müssen, ein besonderes Problem
dar.
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Ausgehend
von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, eine
Möglichkeit
zu schaffen, eine einfache und sichere Positionierung von elektronischen
Bauelementen, insbesondere bei einem hohen Miniaturisierungsgrad
des Schaltkreises, anzugeben.
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Diese
Aufgabe wird durch die unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte
Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
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Die
Erfindung beinhaltet den Gedanken, ein Bauelement auf oder in einer
Leiterplatte bzw. Leiterplattenanordnung mittels Positionierelementen
auf einer bestimmten Stelle zu platzieren und sicherzustellen, dass
das elektronische Bauelement auch an dieser Stelle verbleibt. Dazu
wird auf der im Wesentlichen flachen Leiterplatte zumindest ein
Positionierelement herausgebildet, welches das Bauelement, insbesondere
einen Chip, teilweise umschließt
bzw. einschließt.
Um einen guten Halt zu gewährleisten, erfolgt
das Umgreifen insbesondere formschlüssig.
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Die
Leiterplattenanordnung weist zumindest eine Leiterplattenlage auf,
beispielsweise eine Trägerschicht,
die der Leiterplattenanordnung Stabilität verleiht.
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Das
Bauelement kann direkt auf diese Leiterplattenlage aufgebracht werden.
Das Ausbilden des Positionierelementes kann durch Strukturierung
einer auf der Leiterplattenlage aufgebrachten Schicht realisiert
werden. Bei der Schicht handelt es sich insbesondere um eine Metallschicht,
da Metall eine hohe Formstabilität
aufweist, auch wenn es verschiedenen Prozessen z.B. bei der Leiterplattenherstellung
ausgesetzt ist.
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Bei
dem Bauelement kann es sich beispielsweise um einen Chip handeln.
Es ist vorgesehen, dass der Chip oder das Bauelement an der Trägerschichtbefestigt
wird.
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Weitere
Vorteile der Erfindung werden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen
erläutert,
die auch in Figuren gezeigt sind. Es zeigen
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1: Eine Querschnittsdarstellung
eines beispielhaften Aufbaus einer Leiterplatte mit einem integrierten
Chip, der zur Fixierung Positionierungselemente aufweist;
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2: Einen beispielhaften
Auflauf der Wafer bzw. Siliziumträger-Bearbeitung;
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3: Einen beispielhaften
Ablauf der Leiterplattenverarbeitung und
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4: Eine Draufsicht einer
beispielhafte Leiterplattenanordnung, bei der Positionselemente ein
Bauelement umgeben bzw. dieses eingeschlossen wird, um eine örtliche
Fixierung zu gewährleisten.
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In 1 ist ein beispielhafter
Aufbau einer Leiterplattenanordnung LA zu sehen, welche einen Chip
C als Bauelement mit einer Verteilungsfläche V zur Kontaktierung aufweist.
Auf einer ersten Leiterplattenschicht bzw. Trägerschicht PCB ist ein Chip
C aufgebracht. Die Trägerschicht
PCB, die der Leiterplattenanordnung LA Stabilität verleiht, besteht beispielsweise
aus einer Glasfaserverbindung, beispielsweise die Glasfaserverbindung
FR4 (FR: Fiber Resist) oder auch kerami schen Stoffen. Eine typische
Dicke der Trägerschicht
PCB beträgt
etwa 300 bis 700 μm.
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Der
Schaltungsabschnitt CK des Chips C, in dem sich beispielsweise die
integrierten elektronischen Schaltungen befinden, ist, um die Einbettung von
Bauelementen wie Chips in die Leiterplatte bei der Chip-in-Board-Technologie
zu ermöglichen,
flach geschliffen. Dazu wird Material von der Rückseite des Schaltungsabschnitts
CK abgetragen. Die typische Dicke des Schaltungsabschnitts CK beträgt etwa
50 μm.
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Der
Chip C ist mittels einer Klebeschicht A auf der Trägerschicht
PCB befestigt.
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Zur
Fixierung oder/und Positionierung des Chips C auf der Trägerlage
PCB sind an den Ecken des Chips Positionierelemente vorgesehen.
Dies hat den Vorteil, dass der Chip C, nachdem er auf die Klebeschicht
A aufgebracht ist, nur begrenzt verrutschen kann und so eine genauere
Positionierung möglich
ist. Dies ist ohne die Positionierelemente P schwierig, da der für die Klebeschicht
A verwendete Kleber gute Fließeigenschaften,
d.h. eine niedrige Viskosität
aufweisen muss, damit er sich gut auf dem Bereich, auf den der Chip
C aufgeklebt werden soll, verteilen lässt. Mit Verwendung der Positionierelemente
P kann trotz dieser Klebereigenschaften eine genaue Positionierung,
d.h. ein Versatz bei einer typischen Größe eines Chips von ca. 7 × 8 mm2, von maximal +/–25 μm möglich.
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Die
Herstellung dieser Positionierelemente P kann beispielsweise folgendermaßen erfolgen:
Die Trägerschicht
PCB wird mit einer Schicht überzogen. Bei
der Schicht handelt es sich insbesondere um eine Metallschicht,
wie beispielsweise eine Kupferschicht. Diese Metallschicht kann
durch galvanische Ab scheidung, Aufdampfen oder "Sputtern" (Beschießen des aufzubringenden Materials
(Target) mit Ionen derart, dass sich Atome oder Ionen oder Gruppen
von Atomen bzw. Ionen aus dem Material herauslösen und sich auf der zu bedeckenden
Fläche
anlegen) realisiert werden. Aus dieser Metallschicht werden photolithografisch
die Positionierelemente P strukturiert. Die Strukturierung kann
beispielsweise folgendermaßen
ablaufen: Die Kupferschicht wird vollständig mit einer in einem bestimmten
Wellenbereich empfindlichen Photolackschicht überzogen. Anschließend werden
mittels einer Maske, die beispielsweise die Fläche der Positionierelemente
P ausspart nur die Bestandteile des Photolacks belichtet, bei denen
sich später
die Positionierelemente P befinden sollen. In einem nächsten Schritt
wird der an den unbelichteten Stellen nicht ausgehärtete Fotolack
durch eine Entwicklerflüssigkeit
entfernt. Nun kann durch beispielsweise Ionenstrahlätzen oder
chemisches Ätzen
die Kupferschicht an den Teilen entfernt werden, bei denen keine
Maske vorhanden ist.
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Dieser
photolithografischeProzess ist nur beispielhaft geschildert. Es
können
auch andere Fotolacke verwendet werden, die beispielsweise an den belichteten
Stellen durch die Entwicklerflüssigkeit entfernt
werden. Ebenso sind andere Maskentechnologien dem Fachmann hinreichend
bekannt, weshalb auf die gesamt photolithografische Strukturierung hier
nicht näher
eingegangen wird.
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Zur
Kontaktierung der elektronischen Schaltungen im Schaltungsabschnitt
CK ist eine Kontaktierungsfläche
K bzw. ein "Frontend-Pad" vorgesehen. Eine
typische Dicke dieser Kontaktierungfläche beträgt etwa 1 μm, die Fläche selbst beträgt typischer Weise
nur 70 × 70 μm2. In elektrischem Kontakt mit dieser Kontaktierungsfläche K steht
eine Verteilungsfläche
V, über
welche die Kontaktierung der im Schaltungsabschnitt CK befindlichen
elektronischen Schaltungen realisiert wird. Diese Verteilungsfläche V kann
beispielsweise aus Kupfer realisiert werden, eine typische Dicke
beträgt
etwa 4 μm.
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Zur
Vereinfachung der Kontaktierung wird eine Verteilungsfläche verwendet,
mit Hilfe von der die Kontaktierungsfläche dicker gemacht oder/und vergrößert oder/und
der Ort des Kontaktes an eine andere Position gebracht werden kann
oder/und eine Materialanpassung zwischen dem für den Chip C verwendeten Materialien
und den für
Trägerschicht PCB
und weiteren Leiterplattenschichten verwendeten Materialien, insbesondere
für bei
der elektrischen Kontaktierung verwendeten Materialien. Die Kontaktierung
der auf der Leiterplatte befindlichen Schaltungen wird allerdings
mit zunehmendem Miniaturisierungsgrad immer schwieriger. Zur Kontaktierung
werden heute Bonden (Wedge/Ball Bonding), Presskontakte, Leitkleben
oder Löten
angewandt. Für
die Kontaktierung eines in die Leiterplatte integrierten Dies bzw.
Chips C, also bei der "Chip
in Board" Technologie
wird der Bondprozess nicht verwendet, da die Bonddrähte beim
verpressen der RCC Lagen mit dem Kern zusammengedrückt würden.
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Der
Vorteil bei der Verwendung von Positionierelementen P liegt nun
auch darin, dass die Verteilungsfläche V kleiner gewählt werden
kann, da die insgesamte Toleranz bzw. Ungenauigkeit bei der Positionierung
des Chips C geringer wird.
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Um
einen ausreichenden Halt des Chips innerhalb der Positionierelementen
P zu erzielen, ist es vorteilhaft, wenn diese den Chip zumindest
teilweise umfassen. Eine mögliche
Anordnung ist in 4 gezeigt,
in der die Positionierelemente P als Positionsecken, welche vier
Ecken eines Chips C bzw. ei nes Die's umfassen. Das Umfassen erfolgt hier
formschlüssig,
d.h. die Form der Positionierelemente P ist der Form des Chips C
angepasst. Durch diese vier Positionswinkel bzw. – ecken
als Positionierelemente P wird der maximale Versatz des Chips C
durch einen mechanischen Anschlag begrenzt. Ein Versatz des Chips
C ist beispielsweise durch die Ungenauigkeiten beim Schneiden des
Wafers in einzelne Dies bzw. Chips bedingt, sowie, wie bereits dargelegt,
Toleranzen aufgrund einer Bewegung des Chips C auf der Klebeschicht
A, solange diese nicht ausgehärtet ist.
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Weiterhin
ist eine Mindesthöhe
für die
Positionierelemente P erforderlich, so dass sie den Chip C auch
noch nach Aufbringen der Klebeschicht A halten können und der Chip nicht zusammen
mit dem noch nicht ausgehärteten
Kleber aus dem Zielbereich "hinausschwimmt". Eine typische Höhe der Positionierelemente
beträgt
daher 10–36 μm. Diese Höhe der Positionierelemente
hängt jedoch
auch stark von der gewählten
Form für
die Positionierelemente ab, beispielsweise deshalb, weil sich der
Kleber an unterschiedlichen Positionierelementen P unterschiedlich
ansammelt und somit lokal die Klebeschicht dicker ist. Abhängig von
der lokalen Dicke der Kleberschicht wird auch die Höhe der Positionierelemente
P gewählt.
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Es
sei nun wieder auf 1 verwiesen,
anhand der Aufbau und Verwendung der Verteilungsfläche erläutert wird:
Um eine Ausdehnung der Verteilungsfläche V über die Kontaktierungsfläche K hinaus
zu ermöglichen,
ist auf dem Schaltungsabschnitt CK eine Isolierungsfläche I aufgebracht,
welche den elektrischen Kontakt zwischen der Verteilungsfläche V und
dem Schaltungsabschnitt CK an anderen Stellen als der Kontaktfläche K verhindert.
Diese Isolationsschicht I kann beispielsweise durch organische Passivierung,
d.h. Auftragung einer organischen, isolierenden Substanz wie Polymid,
hergestellt werden, eine typische Dicke beträgt etwa 5 μm. Diese Isolationsschicht I
spart zumindest Teile der Kontaktierungsfläche K aus. Ein gewisser Überlapp
mit der Kontaktierungsfläche
K kann vorgesehen sein, um z.B. auch eine Alterung des Schaltungsabschnitts
CK durch den Kontakt mit beispielsweise Luft zu unterbinden. Insbesondere
soll auch der Kontakt der Kontaktierungsfläche K, die insbesondere aus
Aluminium besteht mit Raumatmosphäre vermieden werden. Vorzugsweise
findet das Aufbringen der Verteilungsfläche V auf die Kontaktfläche K, sowie
das Aufbringen der Isolationsschicht I in einem Vakuumzyklus statt,
um beispielsweise ein Oxidieren der Kontaktfläche K zu verhindern, insbesondere
wenn diese aus Aluminium besteht. Dies hat den Grund, dass Aluminiumoxid
bereits bei Raumatmosphäre
auf Dicken von etwa 1 μm
anwächst
und als elektrischer Isolator eine gute elektrische Leitung zwischen
der Kontaktfläche
K und der Verteilungsfläche
V unterbindet.
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Im
Zusammenhang mit der in 1 beschriebenen
Verteilungsschicht V führen
die Positionierelemente P noch zu einem weiteren Vorteil. Aufgrund
des geringeren Versatzes des Chips C weist der Gesamtaufbau aus
Trägerschicht
PCB, Chip C sowie weiteren Leiterplattenschichten RCC eine geringere
Gesamttoleranz bzgl. Lagenversatz auf. Dies bedeutet beispielsweise,
dass die Lage einer Durchkontaktierung DK bezüglich des Chips C auf der Trägerschicht
PCB genauer bekannt ist. Infolge dessen kann auch die Verteilungsfläche V bei
der Verwendung von Positionierelementen kleiner dimensioniert werden.
Andererseits kommt es durch die Verwendung von Positionierelementen
P auf diese Weise weniger zu Fehlkontakten, d.h. dass die Verteilungsfläche V nicht
in elektrischem Kontakt mit einer Durchkontaktierung auf einer weiteren
Leiterplattenfläche
RCC steht. Damit steigt die insgesamte Fertigungsausbeute für eine Leiterplattenanordnung
LA, was zu einer Kostensenkung führt.
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Auf
den Chip C, welcher sich auf der Trägerschicht PCB befindet, wird
eine weitere Leiterplattenschicht RCC aufgebracht.
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Die
weitere Leiterplattenschicht besteht beispielsweise aus einer flexiblen
Folie, insbesondere eine sogenannte "Resin Coated Copper"-Folie (RCC), eine mit Harz beschichtete
Kupferfolie. Eine elektrische Verbindung durch diese weitere Leiterplattenschicht
RCC wird über
Durchkontaktierungen DK ermöglicht.
Durchkontaktierungen DK können auch
durch die Trägerschicht
PCB vorgesehen sein.
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Diese
Durchkontaktierung DK kann beispielsweise durch mechanisch gebohrte,
plasmageätzte
oder mittels Laserbohrung gebohrte "Vias" gebildet
werden. Eine Via ist eine Bohrung, welche mit einem leitenden Material
zumindest ausgekleidet ist, so dass eine elektrische Verbindung
von einer Seite der weiteren Leiterplattenschicht RCC zur anderen Seite
besteht. Insbesondere werden bei miniaturisierten Leiterplattenanordnungen
Laserbohrungen herangezogen, da sie schneller durchgeführt werden können, verfahrens-
und vorrichtungstechnisch weniger aufwändig sind als mechanische Bohrverfahren und
zudem die Bohrungen kleiner gestaltet werden können, so dass weniger Fläche benötigt wird.
Die für eine
Laserbohrung typische sich nach unten verjüngende Form ist in der Figur
zu erkennen. Durchkontaktierungen DK, die mittels einer Laserbohrung
hergestellt wurden, werden im Unterschied zu herkömmlichen,
mechanisch erstellten Vias, oft auch als Microvias bezeichnet. Aufgrund
der kleineren Fläche sind
Laserbohrungen auch gegenüber
Fehlpositionierungen empfindlicher. Durch die Verwendung von Positionierelementen
P wird die Größe und Wahrscheinlichkeit
einer Fehlpositionierung geringer, so dass insgesamt die Wahrscheinlichkeit
eines Fehlkontakts sinkt.
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Die
weitere Leiterplattenlage RCC wird über Lamination mit der Trägerlage
PCB verbunden. Unter Lamination versteht man die Verklebung verschiedener
Schichten.
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Es
können
auch mehrere weitere Leiterplattenlagen RCC oder FR4 vorgesehen
sein, abhängig von
der Funktionalität
der gesamten Leiterplattenanordnung LA. Um diese weiteren Leiterplatten
RCC oder FR4 durchgängig
zu kontaktieren, sind die Durchkontaktierungen DK derart geometrisch
angeordnet, dass die jeweiligen metallischen Auskleidungen der Durchkontaktierungen
DK miteinander in elektrischem Kontakt stehen. Dazu weisen die Auskleidungen
AK und Durchkontaktierungen DK beispielsweise Ausbuchtungen oder
Zungen auf eine Oberseite der weiteren Leiterplattenlage RCC auf,
so dass beispielsweise am Punkt 1 nach dem Verbinden der
einzelnen Leiterplattenlagen elektrischer Kontakt zwischen den jeweiligen
Auskleidungen möglich
ist.
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Eine
oder mehrere weitere Leiterplattenlagen RCC können auf einer oder beiden
Seiten der Trägerschicht
PCB der Leiterplattenanordnung LA vorgesehen sein. Dies hängt von
der jeweils angestrebten Funktionalität der Leiterplattenanordnung LA
ab.
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In 2 ist nun ein beispielhafter
Ablauf der Waferverarbeitung bzw. des "Wafer Processings" zu sehen. In einem ersten Schritt SWP
erfolgt standardmäßig die
Herstellung des Schaltungsabschnitts CK, die sich auf einem Wafer
befinden. In einem zweiten Schritt ARL wird, wie im Zusammenhang
mit
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1 beschrieben, die Verteilungsfläche V hinzugefügt. Dies
ermöglicht
nun, dass ein vollständiger
Test der Chips bereits durchgeführt
wird, wenn der Wafer noch nicht in einzelne Chips bzw. Dices zerschnitten
ist. Dieser vollständige
Test wird in einem dritten Schritt FCHTWL durchgeführt. Anschließend erfolgt
in einem vierten Schritt die TLAS die Laminierung des Wafers auf
der aktiven Siliziumseite. Damit wird die Rückseite des Wafers für den nun
folgenden Schleifvorgang zugänglich.
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In
einem fünften
Schritt GE erfolgt ein Abschleifen und Abätzen des Wafers von der Rückseite her,
um ihn auf eine für
die Chip-in-Board-Technologie geeignete Dicke zu bringen, die typischerweise etwa
50 μm beträgt. In einem
sechsten Schritt TLBS erfolgt die Lamination auf der Rückseite
des Silizium. In einem siebten Schritt PD wird nun das im Schritt TLBS
laminierte Band auf der aktiven Seite des Siliziums abgezogen und
der Wafer in einzelne Chips bzw. Dices zerschnitten. In einem achten
Schritt SPCBM erfolgt die Separation der einzelnen Chips bzw. Dices,
um sie auf eine Trägerschicht
PCB für eine
Leiterplattenanordnung LA aufzubringen.
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In 3 ist nun eine Verarbeitung
der Leiterplattenanordnung LA dargestellt. Zunächst wird in einem ersten Schritt
SPCBCPGA die Trägerlage
PCB standardmäßig verarbeitet.
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In
einem Schritt AP wird nun auf die Trägerschicht PCB eines oder mehrere
Positionierelemente P aufgebracht. Dieses Aufbringen kann, wie bereits teilweise
oben dargelegt, beispielsweise durch direktes Aufdampfen der Positionierelemente
P auf die Trägerschicht
PCB erfolgen. Alternativ kann eine photolitografische Strukturierung
einer auf der Trägerschicht
PCB vorhandenen Metallschicht erfolgen.
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Anstelle
der Verwendung von Kupfer für
die Positionierelemente P können
auch andere Metalle oder Nichtleitermaterialien vorgesehen sein.
Ein Kriterium für
die Verwendung des Materials für
die Positionierelemente P sind die Integrationsmöglichkeiten des Materials in
den bestehenden Prozess für
die Herstellung oder Weiterverarbeitung der Trägerschicht PCB sowie die Formstabilität bei chemischen oder
mechanischen Prozessen.
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Die
Form, Anzahl und Höhe
der Positionierelemente P richtet sich weiterhin nach der jeweiligen Verwendungsnummer,
d.h. nach dem zu positionierenden Chip, insbesondere dessen Form
und Fläche, sowie
der verwendeten Technologie für
den Leiterplattenaufbau LA. Eine typische Größe eines Chips beträgt etwa
7 × 8
mm2.. Bei mehreren zu positionierenden Chips
C können
die Positionierelemente auch für
zwei oder mehrere Chips gleichzeitig eingesetzt werden, beispielsweise
indem jede Seite des Positionierelement den Versatz eines anderen
Chips begrenzt.
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Anschließend wird
Kleber bzw. eine Kleberschicht auf die Stelle aufgebracht, auf der
der Chip bzw. der "Die" aufgebracht werden
soll. In einem nächsten
Schritt DP wird nun der Chip bzw. der "Die" an
der gewünschten
Stelle aufgebracht. In einem nächsten
Schritt GH wird der Kleber ausgehärtet.
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Nach
dem Aushärten
des Klebers erfolgt in einem weiteren Schritt AIRCCRLDSP das Aufbringen
einer weiteren Leiterplattenlage RCC, insbesondere einer RCC-Folie,
wie im Zusammenhang mit 1 beschrieben.
Da nach dem Aufbringen der RCC-Folie
die Außenseite
komplett mit Kupfer bedeckt ist, kann die weitere Verarbeitung der
Leiterplattenanordnung erst er folgen, wenn die genaue Lage des eingebetteten
Chips über
einen Registriervorgang z.B. das Röntgen der Leiterplattenanordnung
bekannt ist.
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Um
die bereits in 1 angesprochenen Durchkontaktierungen
DK zu ermöglichen,
werden vorzugsweise Laserbohrungen eingesetzt, die, damit sie zum
Herstellen von elektrischen Kontakten geeignet sind, zumindest an
Ihrer Innenseite mit einem elektrisch leitfähigen Material ausgekleidet
werden.
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Die
weiteren Leiterplattenlagen RCC, die auf einer oder beiden Seiten
der Trägerschicht
PCB aufgebracht werden können,
werden beispielsweise mittels photolithografischer oder lasergesteuerter
Prozesse strukturiert und mittels eines Lasers gebohrt. Es erfolgt
weiterhin ein Überziehen
dieser Leiterplattenlagen RCC oder Trägerschicht PCB mit einem Metall,
um die Außenlagen
mit der Innenlage galvanisch zu verbinden. Das Überziehen bzw. "Plating" wird beispielsweise über eine
galvanische Abscheidung vorgenommen. Alternativ stehen verschiedene Aufdampftechnologien
zur Verfügung.
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In
einem weiteren Schritt A2RCCRLDSP werden optional eine zweite weitere
Lage RCC oder FR4 aufgebracht, es erfolgen dieselben Prozessschritte
wie beim Aufbringen der ersten Lage. Die Anzahl und Anordnung der
weiteren Leiterplattenlagen RCC, sowie das jeweils dafür verwendete
Material hängen
stark vom jeweiligen Verwendungszweck ab.
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Nach
Fertigstellung der Leiterplattenanordnung LA erfolgt noch ein Herstellungstest
MT. Hierbei wird die Funktion der Leiterplatte geprüft, was
bei einer passiven Leiterplatte einen Verdrahtungstest darstellt.
Im Fall, dass aktives Silizium eingebettet ist, wird die Anbindung
und ggf. Funktion des eingebetteten Chips ebenfalls erfasst.
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Anstelle
eines Chips können
auch andere Elemente gehalten werden, die genau positioniert werden
sollen.
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Weiterhin
können
alternativ zu dem in 1 geschilderten
Leiterplattenaufbau der Leiterplattenanordnung LA auch weitere Aufbauten
vorgesehen sein. Insbesondere kann die Form, Herstellungsweise und
Anzahl der Positionsecken an das jeweils zu haltende Element angepasst
werden.
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- 1
- Kontaktpunkt
zwischen den Auskleidungen AK
- A
- Klebeschicht
- AIRCCRLDSP
- Hinzufügen der
ersten weiteren Leitenplatten
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- schicht,
Registration, Laserbohrung, Struktu
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- rierung, Überziehung
mit Metall bzw. "Adding
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- of
1st RCC layer, registration, laser drill
-
- ing,
structuring, plating
- A2RCCRLDSP
- Hinzufügen der
zweiten RCC-Schicht, Registrie
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- rung,
Laserbohrung, Strukturierung und Über
-
- ziehen
mit Metall bzw. "Adding
of 2nd RCC
-
- layer,
registration, laser drilling, structur
-
- ing
and plating
- AP
- Hinzufügen des/der
Positionierelemente
- ARL
- Hinzufügen der
Verteilungsfläche bzw. "Adding
-
- of
Redistribution Layer"
- C
- Chip
- CK
- Schaltungsabschnitt
- DP
- Positionierung
des Chips bzw. "die
positio
-
- ning"
- FCHTWL
- Test
des gesamten Chips auf dem Wafer bzw.
-
- "Full chip test on
wafer level"
- GE
- Schleifen
und Ätzen
bzw. "Grinding and
etching
- GH
- Aushärten des
Klebers bzw. "Glue
hardening"
- I
- Isolationsschicht
- K
- Kontaktierungsfläche
- L
- Lamination
- MT
- Herstellungstest
bzw. "Manufacturing
test"
- P
- Positionierelement
- PCB
- Leiterplattenträger
- PD
- Abziehen
des oberen Bandes und zerteilen bzw.
-
- "peeling of upside
tape and dicing"
- RCC
- Weitere
Leiterplattenlage, insbesondere "Resin
-
- Coated
Copper Foil"
- S
PCB CP GA
- Standard
Leiterplattenträgerverarbeitung
und
-
- Aufbringung
von Kleber bzw. "Standard
PCB core
-
- processing
and glue application"
- SPCBM
- Teilen
zum Aufbringen auf die Leiterplatte
-
- bzw. "separation for pcb
mounting"
- SWP
- Standard
Laser Bearbeitung bzw. "Standard
Wa
-
- fer
Processing"
- TLAS
- Bandlamination
auf der aktiven Seite des Sili
-
- zium
bzw. "Tape Lamination
on active Silicon-
-
- Side"
- TLBS
- Bandlamination
auf der Rückseite
des Siliziums
-
- bzw.
Tape lamination on Backside of silicon
- V
- Verteilungsfläche
- DK
- Via-
bzw. Durchkontaktierung