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Die
Erfindung betrifft ein Rastermikroskop mit einer Lichtquelle, die
einen Beleuchtungslichtstrahl zur Beleuchtung einer Probe emittiert,
mit einem Mittel zum spektralen Aufspalten des von der Probe ausgehenden
Detektionslichtes, mit zumindest einer Blendenvorrichtung mit der
zumindest ein Teil des spektral aufgespaltenen Detektionslichtes ausblendbar
ist und mit einem Detektor, der den ausgeblendeten Teil des Detektionslichtes
empfängt.
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In
der Rastermikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet,
um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht
zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit
Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen
durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei
die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein
Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung
der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stelielementen
bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt über einen Detektionsstrahlengang
kommenden Lichtes wird mit einem Detektor in Abhängigkeit von der Position des
Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise
werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung
ausgerüstet.
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Speziell
in der konfokalen Rastermikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus
eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.
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Ein
konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle,
eine Abbildungsoptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog.
Anregungsblende – fokussiert
wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung,
eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum
Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird
oft über
den Strahlteiler, der beispielsweise als Neutralstrahlteiler oder
als dichroitischer Strahlteiler ausgeführt sein kann, eingekoppelt.
Neutralstrahlteiler haben den Nachteil, dass je nach Teilungsverhältnis viel
Anregungs- oder viel Detektionslicht verloren geht.
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Das
vom Objekt kommende Detektionslicht (z.B. Fluoreszenz- oder Reflexionslicht)
gelangt über die
Strahlablenkeinrichtung zurück
zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende
fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht,
das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg
und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation
erhält,
die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen
Bild führt.
Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme
erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem
Objekt idealerweise einen Mäander
beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position,
anschließend
x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende
Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position, diese Zeile
in negative x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise Bilddatennahme
zu ermöglichen,
wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht
verschoben und so die nächste
abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.
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In
der Rastermikroskopie werden meist aufwendige und leistungsfähige Detektoren,
wie beispielsweise Multibanddetektoren oder Spektrometer, eingesetzt,
die beispielsweise eine simultane Detektion des von der Probe ausgehenden
Detektionslichtes ermöglichen.
Aus der Offenlegungsschrift
DE
43 30 347 A1 ist eine Vorrichtung zur Selektion und Detektion
mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls, mit einer
Selektionseinrichtung und einer Detektionseinrichtung bekannt. Die
Vorrichtung ist zur zuverlässigen
gleichzeitigen Selektion und Detektion unterschiedlicher Spektralbereiche
bei hoher Ausbeute und bei einfachster Konstruktion derart ausgestaltet,
dass die Selektionseinrichtung Mittel zur spektralen Zerlegung des
Lichtstrahls und Mittel einerseits zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs
und andererseits zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten
Spektralbereichs und die Detektionseinrichtung einen im Strahlengang des
ausgeblendeten ersten Spektralbereichs angeordneten ersten Detektor
und einen im Strahlengang des reflektierten Spektralbereichs angeordneten zweiten
Detektor umfasst. Als Mittel zum Ausblenden eines ersten Spektralbereichs
und andererseits zur Reflexion zumindest eines Teils des nicht ausgeblendeten
Spektralbereichs ist vorzugsweise eine Spaltblendenvorrichtung mit
verspiegelten Blendenbacken vorgesehen. Die Vorrichtung ist insbesondere als
Multibanddetektor in einem Scanmikroskop einsetzbar.
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Aus
der Offenlegungsschrift
DE
100 38 049 A1 ist eine optische Anordnung zur Selektion
und Detektion eines Spektralbereichs eines Lichtstahls in einem
konfokalen Rastermikroskop bekannt. Die Anordnung umfasst Mittel
zur spektralen Zerlegung des Lichtstrahls und eine Detektionsvorrichtung
mit Mitteln zum Selektieren eines vorgebbaren spektralen Bereichs.
Zur Beeinflussung des detektierenden spektralen Bereichs sind der
spektral zerlegte Lichtstrahl und die Detektionsvorrichtung relativ
zueinander in ihrer Position veränderbar.
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Aus
der Offenlegungsschrift
DE
199 02 625 A1 ist eine Vorrichtung zur gleichzeitigen Detektion mehrerer
Spektralbereiche eines Lichtstrahls bekannt. Die Vorrichtung ist
zur Realisierung eines einfachen Aufbaus bei geringer Baugröße und unter Vermeidung
des Defokusiereffektes gekennzeichnet durch eine Anordnung zum spektralen
Auffächern des
Lichtstrahls und eine Anordnung zur Aufspaltung des aufgefächerten
Lichtstrahls aus der Dispersionsebene heraus in Spektralbereiche,
wobei eine anschließende
Detektion der aufgespaltenen Spektralbereiche in einer Spaltblendenanordnung
erfolgt.
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Die
Patentschrift
US 6,459,484
B1 offenbart eine optische Scanvorrichtung mit einem Array
von Mikroelementen, das von einer Lichtquelle kommendes spektral
aufgespaltenes Beleuchtungslicht über eine Prismenanordnung zu
einer Probe lenkt und von der Probe ausgehendes spektral aufgespaltenes
Detektionslicht in Abhängigkeit
von der Wellenlänge mehreren
Detektoren zuführt.
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Es
ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Rastermikroskop anzugeben,
das eine spektrale Detektion erlaubt und das gleichzeitig eine effiziente
und weitgehend verlustfreie Einkopplung von Beleuchtungslicht ermöglicht.
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Diese
Aufgabe wird durch ein Rastermikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet
ist, dass der Beleuchtungslichtstrahl über die Blendenvorrichtung und über das
Mittel zum spektralen Aufspalten zur Probe gelangt.
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Das
erfindungsgemäße Rastermikroskop
erlaubt vorteilhafterweise die Verwendung von Beleuchtungslichtstrahlen
beliebiger Wellenlänge.
Ein Austausch von Strahlteilern bzw. von Filtern beim Wechsel der
Beleuchtungslichtwellenlänge
ist nicht mehr nötig.
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In
einer bevorzugten Ausführungsvariante wird
das spektral aufgespaltene Detektionslicht von einer Optik zu einem
Linienfokus fokussiert. Vorzugsweise ist die Blendenvorrichtung
in der Brennebene der Optik, d.h. im Idealfall im Bereich des Linienfokus,
angeordnet. Vorzugsweise weist die Blendenvorrichtung zumindest
eine Blendenbacke auf, die zur Realisierung einer spektralen Einstellbarkeit
vorzugsweise entlang der Richtung des Linienfokus verschiebbar ist.
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In
einer besonders bevorzugten Ausgestaltungsform weist die Blendenvorrichtung
zwei Blendenbacken auf, wobei eine Blendenbacke zur Begrenzung des
auszublendenden Teils des Detektionslicht im unteren Spektralbereich
dient, während die
andere Blendenbacke zur Begrenzung des auszublendenden Teils des
Detektionslichts im oberen Spektralbereich fungiert.
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Bei
einer bevorzugten Ausgestaltungsvariante weist die Blendenvorrichtung
ein Umlenkelement auf, das vorzugsweise eine Reflexionsfläche umfasst.
Das Umlenkelement empfängt
den Beleuchtungslichtstrahl und lenkt ihn direkt oder indirekt über weitere
optische Bauteile zu dem Mittel zum spektralen Aufspalten. Vorzugsweise
ist das Umlenkelement an der dem Detektor abgewandten Seite einer
Blendenbacke angeordnet.
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Es
kann vorgesehen sein, dass sämtliche Blendenbacken
verschiebbar sind. Es ist jedoch auch für bestimmte Ausgestaltungsformen
von Vorteil, wenn zumindest eine Blendenbacke ortsfest ist.
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In
einer vorteilhaften Variante beinhaltet die Blendenvorrichtung drehbare
Excenter, die je nach Drehstellung einen unterschiedlichen spektralen
Bereich des spektral aufgespaltenen Detektionslichts ausblenden.
Vorzugsweise sind die Drehachsen der Excenter in der Aufspaltungsebene
des Detektionslichts senkrecht zur Fokuslinie angeordnet um störende Streueffekte,
die beispielsweise bei streifendem Einfall von Detektionslicht auftreten
könnten,
zu vermeiden.
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Das
Mittel zum spektralen Aufspalten definiert für jede Wellenlänge einen
Lichtweg. So ist im Idealfall jedem Punkt der Fokuslinie eine Wellenlänge zuordenbar.
Vorzugsweise lenkt die Blendenvorrichtung den Beleuchtungslichtstrahl
auf den seiner Wellenlänge
entsprechenden Lichtweg. Wobei der Beleuchtungslichtstrahl den Lichtweg
in umgekehrter Richtung durchläuft,
als das Detektionslicht.
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In
einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist ein Lichtleiter
vorgesehen, der den Beleuchtungslichtstrahl zur Blendenvorrichtung transportiert.
Das Ende des Lichtleiters ist vorzugsweise verschiebbar angeordnet.
Besonders vorteilhaft ist eine Variante, bei der der Lichtleiter
gemeinsam mit einer Blendenbacke, vorzugsweise an dieser befestigt,
verschiebbar ist.
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Wenn
die Wellenlänge
des Beleuchtungslichtstrahls unterhalb der Wellenlängen des
ausblendeten zu detektierenden Detektionslicht liegt, lenkt vorzugsweise
die die spektral untere Grenze des ausgeblendeten Detektionslichts
festlegende Blendenbacke das Beleuchtungslicht direkt oder indirekt zu
den Mittel zum spektralen Aufspalten. Diese Variante wird vorzugsweise
bei Fluoreszenzanordnungen, bei denen die Wellenlänge des
Beleuchtungslichts aufgrund der Stokes-Shift unterhalb der Wellenlänge des
Detektionslichts liegt, zum Einsatz kommen. Wenn die Wellenlänge des
Beleuchtungslichts oberhalb der Wellenlängen des ausgeblendeten Teils des
Detektionslichts liegt, erfolgt die Einkopplung des Beleuchtungslichtstrahls
vorzugsweise über
die die obere spektrale Grenze des ausgeblendeten Teils des Detektionslichts
festlegende Blendenbacke. Diese Variante ist beispielsweise zur
Zwei- oder Mehrphotonenanregung der Probe besonders gut geeignet.
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Der
Lichtleiter ist vorteilhafterweise mit einer Auskoppeloptik versehen,
die ebenfalls gleichzeitig mit den Blendenbacken verschiebbar ist.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante beinhaltet die Lichtquelle
ein verschiebbares Array aus Leuchtdioden (LED) oder aus Halbleiterlasern. Die
Auswahl der Wellenlänge
des Beleuchtungslichtstrahls kann in dieser Variante durch Verschieben oder
Drehen des Arrays in eine der gewünschten Wellenlänge entsprechende
Arbeitsposition realisiert werden.
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Um
das gesamte Detektionslicht spektral abzutasten, besteht die Blendenvorrichtung
aus zwei parallel verschiebbaren Blendenbacken, die gleichzeitig
entlang der Fokuslinie verfahren werden können.
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In
dieser Variante ist vorzugsweise eine ortsfeste weitere Blendenbacke
vorgesehen, die das Umlenkelement trägt, das den Beleuchtungslichtstrahl
zu dem Mittel zum spektralen Aufspalten lenkt. Hierdurch ist gewährleistet,
dass die Aufnahme des Detektionsspektrums bei konstanten Beleuchtungsbedingungen
erfolgt.
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Das
erfindungsgemäße Rastermikroskop
erlaubt vorteilhafterweise neben der Einkopplung des Beleuchtungslichtstrahls
auch die Einkopplung eines vorzugsweise leistungsstarken Manipulationsstrahls, beispielsweise
für Bleichexperimente
oder zur Fotoaktivierung oder zur Manipulation der Probe, wobei der
Manipulationsstrahl zum Beispiel als optische Pinzette einsetzbar
ist.
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Das
erfindungsgemäßen Rastermikroskop erlaubt
es, weitere Beleuchtungs- und/oder
Manipulationslichtstrahlen zusätzlich
auf herkömmlichen Weg,
beispielsweise über
Strahlteiler einzukoppeln.
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Das
Rastermikroskop ist vorzugsweise als konfokales Rastermikroskop
ausgebildet. Wobei in einer bevorzugten Variante eine einzige Lochblende gleichzeitig
als Anregungs- und als Detektionslochblende dient.
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In
der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt
und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich
wirkende Bauteile mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei
zeigen:
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1 Eine erfindungsgemäßes Rastermikroskop,
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2 ein Detail eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops,
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3 ein Variante eines Rastermikroskops,
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4 eine andere Variante des
Rastermikroskops und
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5 ein weiteres Rastermikroskop.
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1 zeigt ein erfindungsgemäßes konfokales
Rastermikroskop mit einer Lichtquelle 1, die als Halbleiterlaserarray
ausgebildet ist. Jeder der Halbleiterlaser des Halbleiterlaserarrays 3 emittiert
Licht einer anderen Wellenlänge.
Das Halbleiterlaserarray 3 ist verschiebbar angeordnet,
sodass unterschiedliche Halbleiterlaser in eine Arbeitsposition 5 gebracht werden
können
und so Beleuchtungslichtstrahlen unterschiedlicher Wellenlängen erzeugbar
sind. Das von dem Halbleiterlaser 7 in der Arbeitsposition 5 ausgehende
Beleuchtungslicht wird von einer Optik 9 zu einem Beleuchtungslichtstrahl 11 kollimiert,
der auf die Blendenvorrichtung 13 trifft. Die Blendenvorrichtung 13 beinhaltet
eine erste Blendenbacke 15 und eine zweite Blendenbacke 17.
Auf der dem Detektor 19 abgewandten Seite weist die ersten
Blendenbacke 15 ein Umlenkelement 21 auf, das
als Reflexionsfläche 23 ausgeführt ist.
Der Beleuchtungslichtstrahl 11 wird von dem Umlenkelement 21 über die
Optik 25 zu dem Mittel zum spektralen Aufspalten 27,
das als Prisma 29 ausgeführt ist, gelenkt. Von dort
gelangt der Beleuchtungslichtstrahl 11 über eine weitere Optik 31 und
eine Lochblende 33, die gleichzeitig als Detektionslochblende
und Beleuchtungslochblende dient, zu der Strahlablenkeinrichtung 35, die
einen kardanisch aufgehängten
Scanspiegel 37 beinhaltet. Der kardanisch aufgehängte Scanspiegel 37 führt den
Beleuchtungslichtstrahl 11 durch die Scanoptik 39 und
die Tubusoptik 41, sowie durch das Mikroskopobjektiv 43 über bzw.
durch die Probe 28. Das von der Probe ausgehende Detektionslicht 45 gelangt
auf dem umgekehrten Lichtweg, nämlich über die
Mikroskopoptik 43, die Tubusoptik 41, die Scanoptik 39 und
die Strahlablenkeinrichtung 35 zurück zur Lochblende 33,
passiert diese und wird von der weiteren Optik 31 kollimiert.
Das kollimierte Beleuchtungslicht 45 wird von dem Mittel
zum spektralen Aufspalten 27 räumlich spektral aufgespalten
und von der Optik 25 zu einer nicht dargestellten Fokuslinie
fokussiert. Die ausblendenden Kanten der ersten und zweiten Blendenbacke 15, 17 befinden
sich auf der Fokuslinie. Die erste und zweite Blendenbacke 15, 17 sind
entlang der Fokuslinie verschiebbar angeordnet, wodurch der von
den Blendenbacken ausgeblendete Teil des Detektionslichts, das der
Detektor 19 empfängt,
auswählbar
ist. Der Beleuchtungslichtstrahl 11 verläuft von
der Lichtquelle 1 bis zum Umlenkelement 21 parallel
zur Fokuslinie, sodass gewährleistet
ist, dass der Umlenkpunkt sich stets auf der Fokuslinie befindet,
wodurch eine optimale Einkoppelgeometrie gewährleistet ist. Die Lichtquelle 1 und
die Optik 9 sind mit der ersten Blendenbacke 15 zusammen
verschiebbar angeordnet, so dass bei einem Wechsel der Wellenlänge die
Einkoppelgeometrie erhalten bleibt. Alternativ kann die Optik 9 als Vario-Optik
ausgestaltet sein.
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2 zeigt ein Detailansicht
eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops.
Die Lichtquelle 1 besteht bei diesem Rastermikroskop aus
drei Einzellasern 47, 49, 51, die Beleuchtungslicht
unterschiedlicher Wellenlängen
emittieren, das von zwei dichroitischen Strahlteilern 53, 55 zu
einem Beleuchtungslichtstrahl 11 vereinigt wird. Im Lichtweg
des Beleuchtungslichtstrahls 11 befindet sich ein AOTF
(Acousto Optical Tunable Filter) 57, mit dem wellenlängenabhängig Anteile
des Beleuchtungslichtstrahls 11 abgeschwächt oder
ganz ausgeblendet werden können.
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3 zeigt eine andere Variante
eines erfindungsgemäßen Rastermikroskops.
Das Rastermikroskop beinhaltet eine Lichtquelle 1, die
aus drei Einzellasern 47, 49, 51, deren
Licht unterschiedlicher Wellenlänge
mit Hilfe von dichroitischen Strahlteilern 53, 55 zu
einem Beleuchtungslichtstrahl 11 vereinigt wird. Der Beleuchtungslichtstrahl 11 durchläuft, wie in
Bezug auf 2 beschrieben,
einen AOTF 57 und wird mit Hilfe der Einkoppeloptik 59 in
einen Lichtleiter 61 eingekoppelt. Das Auskoppelende 63 des Lichtleiters 61 ist
zusammen mit einer Auskoppeloptik 65 an der Blendenbacke 15 befestigt
und mit dieser zusammen verschiebbar. Das Rastermikroskop weist
eine weitere Lichtquelle 67, die als gepulster Titan-Saphir-Laser 69 ausgeführt ist,
auf. Der Titan-Saphir-Laser 69 emittiert einen weiteren
Beleuchtungslichtstrahl 71, der eine Wellenlänge von
ca. 800 nm aufweist und der mit Hilfe der weiteren Einkoppeloptik 73 in
einen weiteren Lichtleiter 75 eingekoppelt wird. Das Auskoppelende 77 des
weiteren Lichtleiters 75 ist zusammen mit einer Auskoppeloptik 79 an der
zweiten Blendenbacke 17 befestigt und mit dieser gemeinsam
verschiebbar. Während
mit Hilfe des Beleuchtungslichts der Einzellaser 47, 49, 51,
das Wellenlängen
im Bereich von 488–653
nm aufweist, eine Einphotonenanregung der Probe erzielbar ist, dient der
weitere Beleuchtungslichtstrahl 71 zur Zweiphotonenanregung
der Probe. Der Beleuchtungslichtstrahl 71 wird, analog
wie der Beleuchtungslichtstrahl 11, über ein Umlenkelement 79,
das als Reflexionsfläche 81 ausgeführt ist
und das sich auf der dem Detektor 19 abgewandten Seite
befindet, zu dem Prisma 29 gelenkt. Die Umlenkpunkte 83 bzw. 85 des weiteren
Beleuchtungslichtstrahls 71 bzw. des Beleuchtungslichtstrahls 11 befinden
sich auf der Fokuslinie an der ihrer Wellenlänge entsprechenden Position,
die durch das Mittel zum spektralen Aufspalten 27 definiert
ist.
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4 zeigt eine Variante mit
einer dritten Blendenbacke 87, die ortsfest angeordnet
ist. Während
die erste und zweite Blendenbacke 15, 17 zum sequentiellen
spektralen Abtasten (λ-Scan)
des Detektionslichtes entlang der Fokuslinie parallel verfahrbar
sind, ist die dritte Blendenbacke 87 ortsfest angeordnet.
Hierdurch ist gewährleistet,
dass bei jeder Einzelmessung, die durch eine unterschiedliche Stellung
der ersten und zweiten Blendenbacke 15, 17 charakterisiert
ist, dieselben Beleuchtungsverhältnisse
vorherrschen.
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5 zeigt ein weiteres konfokales
Rastermikroskop mit einem Mehrlinienlaser
89 als weitere Lichtquelle
91.
Der Mehrlinienlaser
89 ist als Aron-Krypton-Laser ausgeführt und
emittiert einen weiteren Beleuchtungslichtstrahl
93, der über einen acousto-optischen
Beam-Splitter (AOBS) in den Strahlengang des Rastermikroskops eingekoppelt wird.
Der weitere Beleuchtungslichtstrahl
93 dient in dieser
Variante zum Anregen einer fluoreszierenden Probe
28, während der
Beleuchtungslichtstrahl
11 einer als Manipulationslaser
97 ausgeführten Lichtquelle
1 zum
Ausbleichen bzw. zur Fotoaktivierung der Probe dient. In dieser
Variante des Rastermikroskops ist eine Anregungslochblende
99 im
Strahlengang des weiteren Beleuchtungslichtstrahls
93 vorgesehen.
Das Rastermikroskop beinhaltet eine Detektionslochblende
101 im
Strahlengang des Detektionslichts
45. Der AOBS
95 beinhaltet
ein akusto-optisches Element. Der Trennung von Anregungs- und Detektionsstrahlengang
bzw. die Einkopplung von Beleuchtungslicht in den Strahlengang eines
Rastermikroskops mit Hilfe eines acousto-optical Beam-Splitters
(AOBS) ist dem Fachmann bekannt und beispielsweise in
DE 199 06 757 beschrieben.
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Die
Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es
ist jedoch selbstverständlich,
dass Änderungen
und Abwandlungen durchgeführt
werden können,
ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.
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- 1
- Lichtquelle
- 3
- Halbleiterlaserarray
- 5
- Arbeitsposition
- 7
- Halbleiterlaser
- 9
- Optik
- 11
- Beleuchtungslichtstrahl
- 13
- Blenäenvorrichtung
- 15
- erste
Blendenbacke
- 17
- zweite
Blendenbacke
- 19
- Detektor
- 21
- Umlenkelement
- 23
- Reflexionsfläche
- 25
- Optik
- 27
- Mittel
zum spektralen Aufspalten
- 28
- Probe
- 29
- Prisma
- 31
- Optik
- 33
- Lochblende
- 35
- Strahlablenkeinrichtung
- 37
- Scanspiegel
- 39
- Scanoptik
- 41
- Tubusoptik
- 43
- Mikroskopoptik
- 45
- Detektionslicht
- 47
- Einzellaser
- 49
- Einzellaser
- 51
- Einzellaser
- 53
- dichroitischer
Strahlteiler
- 55
- dichroitischer
Strahlteiler
- 57
- AOTF
- 59
- Einkoppeloptik
- 61
- Lichtleiter
- 63
- Auskoppelende
- 65
- Auskoppeloptik
- 67
- weitere
Lichtquelle
- 69
- Titan-Saphir-Laser
- 71
- weiterer
Beleuchtungslichtstrahl
- 73
- weitere
Einkoppeloptik
- 75
- weiterer
Lichtleiter
- 77
- Auskoppelende
- 79
- Auskoppeloptik
- 81
- Reflexionsfläche
- 83
- Umlenkpunkt
- 85
- Umlenkpunkt
- 87
- dritte
Blendenbacke
- 89
- Mehrlinienlaser
- 91
- weitere
Lichtquelle
- 93
- weiterer
Beleuchtungslichtstrahl
- 95
- AOBS
- 97
- Manipulationslaser
- 99
- Anregungslochblende
- 101
- Detektionslochblende