DE10323296A1 - Anordnung zur Stress-Reduzierung bei substratbasierten Chip-Packages - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Stress-Reduzierung bei substratbasierten Chip-Packages, insbesondere von Ball Grid Arrays (BGA), mit Rückseiten- und/oder Kartenschutz, wobei der Chip mit einem Substrat fest verbunden ist, welches auf der dem Chip gegenüberliegenden Seite mit Leitbahnen und Mikrobällen zur elektrischen Kontaktierung mit der nächst höheren Verdrahtungsebene versehen ist. DOLLAR A Mit der Erfindung soll eine Anordnung zur Stress-Reduzierung bei substratbasierten Chip-Packages mit Rückseiten- und/oder Kantenschutz geschaffen werden, die einfach zu realisieren ist und den Chip-Montageprozess in keiner Weise behindert. DOLLAR A Gelöst wird die Aufgabe dadurch, dass auf der Chip-Seite des Substrates (1) regelmäßige grabenförmige Strukturen (11, 14, 15) in dieses eingebracht sind, die den Chip (6) zumindest umgrenzen, um den vom Chip (6) indizierten thermisch bedingten mechanischen Stress im Substrat (1) zu unterbrechen bzw. zu verlagern. Dabei können mehrere abstandsweise ineinander verschachtelte rahmenförmige Strukturen (11) vorgesehen sein, wobei zwischen den rahmenförmigen Strukturen (11) unterhalb des Chips (6) weitere Gräben (15) angeordnet sind, die parallel zu deren Längskanten verlaufen können.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Stress-Reduzierung bei substratbasierten Chip-Packages, insbesondere von Ball Grid Arrays (BGA) mit Rückseiten- und/oder Kantenschutz, wobei der Chip mit einem Substrat fest verbunden ist, welches auf der dem Chip gegenüber liegenden Seite mit Leitbahnen und Mikrobällen zur elektrischen Kontaktierung mit der nächst höheren Verdrahtungsebene versehen ist.
  • Bei einer Reihe von Bauelementen, wie BOC-Bauelementen oder auch bei CSP (Chip Size Package)-Bauelementen, FBGA-(Fine Pitch Ball Grid Array)-, TBGA-(Tape Ball Grid Array)- oder μBGA-Bauelementen o.dgl., werden die Chips auf Substraten montiert, die nur geringfügig größer sind, als die auf diesen montierten Chips. Die unterschiedlichen Bezeichnungen sind zum Teil herstellertypische Angaben und kennzeichnen Unterschiede bzw. Feinheiten im Strukturaufbau.
  • Für den Fall, dass eine möglichst geringe Bauhöhe realisiert werden soll, werden die Chiprückseiten nicht abgedeckt, sondern höchstens lediglich die besonders empfindlichen Chipkanten durch eine Moldmasse umschlossen. Letzteres kann durch Dispensen einer geeigneten Moldmasse (Vergussmasse) um die Chipkanten herum erfolgen.
  • Wenn allerdings auch die Chiprückseite zusätzlich mit geschützt werden soll, müssen aufwändige Druck- oder Gießverfahren eingesetzt werden.
  • Es ist leicht einzusehen, dass die unterschiedlichen Materialien für das Substrat, das Chip und die Vergussmasse teilweise deutlich unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten besitzen, was zu einem erheblichen Stress beim Einsatz der Bauelemente führen kann. Für das Substrat kommen normalerweise gängige Leiterplattenmaterialien, wie Hartpapier- oder Glasfasermaterialien insbesondere im Mehrschichtaufbau zum Einsatz, wobei als Bindemittel üblicherweise ein Kunstharz verwendet wird.
  • Beispiele derartiger Halbleiterbauelemente finden sich in der US 5 391 916 A , in der ein Hableiterbauelement beschrieben wird, dass mit einer Vergussmasse verschlossen ist, oder in der US 5 293 067 A , in der ein spezieller Chipträger für ein Chip on Board (COB) Bauelement beschrieben wird, um den mechanischen Stress zu reduzieren.
  • Durch geeignete Materialwahl lassen sich die Ausdehnungskoeffizienten in gewisser Weise so aufeinander abstimmen, dass der Unterschied der Ausdehnungskoeffizienten zwischen der jeweiligen Materialpaarung möglichst gering wird. Dennoch verursacht der mehrschichtige Strukturaufbau des Substrates (in der Regel ein PCB/printed circuit board) einen erheblichen Stress.
  • Das hat insbesondere bei BOC- bzw. COB-Bauelementen die fatale Folge, dass diese, wenn diese mit einer zusätzlichen Moldabdeckung geschützt werden, beim normalen Gebrauch einem extremen Stress unterworfen werden. Dieser Stress beruht im wesentlichen auf dem „Bimetalleffekt", welcher sich ergibt, wenn unterschiedliche Materialien mit unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten schichtweise zusammengefügt werden.
  • Um wenigstens den Stress zwischen dem Substrat und dem Chip zu reduzieren, erfolgt deren Montage auf dem Substrat übli cherweise unter Zwischenlage eines thermische Spannungen ausgleichenden Tapes. Auf jeden Fall bestehen dann immer noch zwischen den unmittelbar miteinander in Kontakt stehenden Materialpaarungen Si-Chip/Moldmasse und Moldmasse/Substrat sowie im PCB (Substrat) deutliche Differenzen der jeweiligen Ausdehnungskoeffizienten. Im ungünstigsten Fall kann es dabei zu einer Trennung der Verbindung bzw. einem Abreißen der Mikrobälle (μ-Balls, Mikroballs) und damit möglicherweise zum Totalausfall des Bauelementes kommen.
  • Die Auswirkungen der thermomechanischen Spannungen (Stress) zwischen den Materialpaarungen und insbesondere im Substrat konnten bisher jedoch nicht, bzw. nicht ausreichend behoben werden, so dass mit Stress bedingten Bauelementeausfällen immer gerechnet werden muss.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur Stress-Reduzierung bei substratbasierten Chip-Packages mit Rückseiten- und/oder mit Kantenschutz zu schaffen, die einfach zu realisieren ist und den Chip-Montageprozess in keiner Weise behindert.
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird bei einer Anordnung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass auf der Chip-Seite des Substrates regelmäßige grabenförmige Strukturen in dieses eingebracht sind und das Chip zumindest umgrenzen, um thermisch bedingten mechanischen Stress im Substrat zu unterbrechen bzw. zu verlagern.
  • Der besondere und überraschende Vorteil der Erfindung besteht darin, dass durch die grabenförmigen Strukturen eine wirksame Verringerung der Stresseinkopplung des Chip's auf das Substrat und damit eine Reduzierung der Gehäusedurchbiegung erreicht wird. Daraus resultiert eine erhebliche Reduzierung des Stresses der Lötkugeln (Mikroballs) zur nächst höheren Verdrahtungsebene. Die Folge sind eine deutliche Verbesserung der Modulzuverlässigkeit bei Temperaturbelastung. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht auch darin, dass eine einfache Anpassung des Substratdesigns an die entsprechende Chipgröße einfach möglich ist
  • Die grabenförmigen Strukturen können einfach in das Substrat geätzt werden, wobei es grundsätzlich auch möglich ist die grabenförmigen Strukturen durch mechanische Bearbeitung in das Substrat einzubringen.
  • In einer Variante der Erfindung kann der Lötstopplack auf der Chip-Seite des Substrates nach dem Einbringen der grabenförmigen Strukturen in das Substrat aufgebracht werden, wodurch die grabenförmigen Strukturen dann wieder verfüllt werden.
  • Eine weitere Variante der Erfindung sieht vor, dass die grabenförmigen Strukturen bei einem mit einem Lötstopplack versehenen Substrat durch den Lötstopplack in das Substrat geätzt sind.
  • In einer weiteren Fortbildung der Erfindung umschließen die grabenförmigen Strukturen im Substrat das Chip rahmenförmig.
  • Es können auch mehrere abstandsweise ineinander verschachtelte rahmenförmige Strukturen vorgesehen werden, wobei zusätzlich zwischen den rahmenförmigen Strukturen unterhalb des Chips's weitere Gräben angeordnet werden können, die parallel zu deren Längs- oder Querkanten verlaufen.
  • Eine besondere Ausgestaltung der Erfindung ist gekennzeichnet durch eine Kombination der vorhergehenden Strukturen, wobei auch die Anordnung sich zumindest teilweise kreuzender Gräben möglich ist.
  • Durch die Erfindung wird eine Differenzierung der großen Gesamtdurchbiegung des Substrates in viele kleine Einzelbereichsdurchbiegungen erreicht, wodurch eine leicht realisierbare kostenneutrale Anpassung des Substrates an die entsprechende Chipgröße problemlos möglich ist.
  • Besonders kostengünstig ist es, wenn die grabenförmigen Strukturen in den Matrixverbund des Substrates eingebracht werden, was zu einer Optimierung der Streifendurchbiegung vor und nach dem Molden (Vergießen des einzelnen Bauelementes) mit einer verbesserten Prozessierbarkeit und der Optimierung der Durchbiegung des vereinzelten Bauelementes mit erhöhter Zuverlässigkeit führt.
  • Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:
  • 1 eine schematische Schnittdarstellung eines erfindungsgemäß ausgestalteten substratbasierten Chip-Packages mit grabenförmigen Strukturen; und
  • 2a–e unterschiedliche Anordnungen der grabenförmigen Strukturen in einem Substrat, wobei die weißen Linien die Lage der grabenförmigen Strukturen schematisch veranschaulichen.
  • 1 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines substratbasierten Chip-Packages, bestehend aus einem Substrat 1, welches beidseitig mit einem Lötstopplack 2, 3 beschichtet ist und auf der zeichnungsgemäßen Unterseite mit Mikrobällen 4 zur elektrischen Verbindung mit einer nächst höheren Verdrahtungsebene versehen ist. Die Mikrobälle 4 sind dabei mit nicht dargestellten Leitbahnen elektrisch leitend verbunden, die ihrerseits durch nicht dargestellte Bonddrähte, die durch einen Bondkanal 5 geführt sind, mit Bondinseln eines Chips 6 elektrisch verbunden sind. Das Chip 6 ist auf der den Mikrobällen 4 gegenüber liegenden Seite des Substrates 1 unter Zwischenlage einer Tapes 7 montiert.
  • 1 zeigt dabei auf der linken Hälfte der Zeichnungsfigur die übliche Ausführung eines substratbasierten Chip-Packages (Stand der Technik), wohingegen die rechte Hälfte der Zeichnungsfigur die erfindungsgemäß veränderte Struktur rein schematisch zeigt. Hier ist in den Lötstopplack 2 unterhalb der Kante 12 des Chips 6 eine grabenförmige Struktur 11 eingearbeitet, die sich auch teilweise in das Substrat 1 erstrecken kann. Das Chip 6 ist hier durch eine Moldmasse 13 umhüllt, wobei es auch möglich ist, dass lediglich die Chipkanten 12 durch die Moldmasse 13 geschützt werden und die Chiprückseite frei bleibt.
  • In 1 ist jeweils der Betrag des Stresses bei Wärmeeinwirkung in Querrichtung des Substrates 8, der Stress senkrecht zum Substrat 9 und die Stress-Resultierende 10 eingetragen.
  • Es ist klar ersichtlich, dass die Stress-Resultierende 10 auf der linken Zeichnungshälfte wesentlich größer ausfällt, als auf der rechten Zeichnungshälfte. Der Grund hierfür ist, dass durch die grabenförmige Struktur 11 der Stress unterbrochen und in eine günstigere Position verlagert wird.
  • Die grabenförmigen Strukturen 11 können einfach in das Substrat 1 geätzt werden. Denkbar wäre auch, die grabenförmigen Strukturen 11 durch mechanische Bearbeitung in das Substrat 1 einzubringen.
  • Im Falle, dass das Substrat 1 auf der Chipseite innerhalb des Packages frei von Lötstopplack 2 ist, kann das Chip 6 unter Zwischenlage eines Tapes 7 direkt auf das Substrat 1 gebondet werden.
  • Es ist auch möglich, das Substrat 1 zunächst mit den grabenförmigen Strukturen 11 zu versehen und anschließend den Lötstopplack 2 auf der Chip-Seite des Substrates 1 aufzubringen werden, wodurch die grabenförmigen Strukturen 11 dann wieder verfüllt werden.
  • Ebenso können die grabenförmigen Strukturen 11 bei einem mit einem Lötstopplack 2, 3 versehenen Substrat 1 durch den Lötstopplack in das Substrat 1 geätzt werden.
  • In einer einfachsten Ausgestaltung umschließen die grabenförmigen Strukturen 11 im Substrat 1 das Chip 6 rahmenförmig (2a), wobei auch mehrere abstandsweise ineinander verschachtelte rahmenförmige Strukturen 11 vorgesehen werden können (2b). Zusätzlich können zwischen den rahmenförmigen Strukturen 11 unterhalb des Chips's 6 weitere Gräben 14, 15 angeordnet werden können, die parallel zu deren Längs- oder Querkanten verlaufen (2c, d).
  • Schließlich kann auch eine Kombination der beschriebenen Strukturen vorgesehen werden, wobei auch die Anordnung sich zumindest teilweise kreuzender Gräben 11, 14, 15 möglich ist (2e).
  • Durch die Erfindung wird eine Differenzierung der großen Gesamtdurchbiegung des Substrates 1 in viele kleine Einzelbereichsdurchbiegungen erreicht, wodurch eine leicht realisierbare kostenneutrale Anpassung des Substrates an die entsprechende Chipgröße problemlos möglich ist.
  • Besonders kostengünstig ist es, wenn die grabenförmigen Strukturen in den Matrixverbund des Substrates bereits vorher eingebracht werden, was zu einer Optimierung der Streifendurchbiegung des Substrates 1 vor und nach dem Molden (Vergießen des einzelnen Bauelementes) mit einer verbesserten Prozessierbarkeit und der Optimierung der Durchbiegung des vereinzelten Bauelementes mit erhöhter Zuverlässigkeit führt.
  • Durch die grabenförmigen Strukturen 11, 14, 15 wird eine wirksame Verringerung der Stresseinkopplung des Chip's 6 auf das Substrat 1 und damit eine Reduzierung der Gehäusedurchbiegung erreicht. Daraus resultiert eine erhebliche Reduzierung des Stresses der Mikrobälle 4 zur nächst höheren Verdrahtungsebene. Die Folge sind eine deutliche Verbesserung der Modulzuverlässigkeit bei Temperaturbelastung.
  • 1
    Substrat
    2
    Lötstopplack
    3
    Lötstopplack
    4
    Mikroball
    5
    Bondkanal
    6
    Chip
    7
    Tape
    8
    Stress in Querrichtung
    9
    Stress senkrecht zum Substrat
    10
    Stress-Resultierende
    11
    grabenförmige Struktur
    12
    Chipkante
    13
    Moldmasse
    14
    Graben
    15
    Graben

Claims (13)

  1. Anordnung zur Stress-Reduzierung bei substratbasierten Chip-Packages, insbesondere von Ball Grid Arrays (BGA) mit Rückseiten- und/oder mit Kantenschutz, wobei das Chip mit einem Substrat fest verbunden ist, welches auf der dem Chip gegenüber liegenden Seite mit Leitbahnen und Mikrobällen zur elektrischen Kontaktierung mit der nächst höheren Verdrahtungsebene versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Chip-Seite des Substrates (1) regelmäßige grabenförmige Strukturen (11, 14, 15) in dieses eingebracht sind, die das Chip (6) zumindest umgrenzen, um den vom Chip (6) indizierten thermisch bedingten mechanischen Stress im Substrat (1) zu unterbrechen bzw. zu verlagern.
  2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die grabenförmigen Strukturen (11, 14, 15) in das Substrat (1) geätzt sind.
  3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die grabenförmigen Strukturen (11, 14, 15) durch mechanische Bearbeitung eingebracht sind.
  4. Anordnung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Lötstopplack (2) auf der Chipseite des Substrates (1) nach dem Einbringen der grabenförmigen Strukturen (11, 14, 15) in das Substrat (1) aufgebracht ist.
  5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die grabenförmigen Strukturen (11, 14, 15) durch den Lötstopplack (2) in das Substrat (1) geätzt sind.
  6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die grabenförmigen Strukturen (11) das Chip (6) rahmenförmig umschließen.
  7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere abstandsweise ineinander verschachtelte rahmenförmige Strukturen (11) vorgesehen sind.
  8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den rahmenförmigen Strukturen (11) unterhalb des Chip's (6) weitere Gräben (15) angeordnet sind, die parallel zu deren Längskanten verlaufen.
  9. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den rahmenförmigen Strukturen (11) unterhalb des Chip's (6) weitere Gräben (15) angeordnet sind, die parallel zu den Querkanten verlaufen.
  10. Anordnung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Kombination der Ansprüche 9 und 10.
  11. Anordnung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch eine Kombination der Ansprüche 9 und 10 mit sich zumindest teilweise kreuzenden Gräben (11, 14, 15).
  12. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Gräben (11, 14, 15) zumindest teilweise durch die Moldmasse (13) des Rückseiten- und/oder Kantenschutzes ausgefüllt sind.
  13. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die grabenförmigen Strukturen (11, 14, 15) in den Matrixverbund des Substrates (1) eingebracht sind.
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