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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines transmissiven
doppelbrechend wirkenden optischen Elements gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
1.
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Es
ist bekannt, transmissive doppelbrechend wirkende optische Elemente
herzustellen, indem aus einem doppelbrechenden Kristallmaterial
ein derartiges optisches Element geschnitten wird. Die doppelbrechende
Wirkung eines solchen, nach dem bekannten Verfahren hergestellten
optischen Elements hängt
von der Orientierung der Kristallachsen im optischen Element, von
der Dicke des optischen Elements und schließlich von der Wellenlänge des
verwendeten Nutzlichts ab. Mit einem solchen Herstellungsverfahren
lassen sich, beschränkt
durch die doppelbrechende Wirkung des verwendeten Kristallmaterials,
transmissive optische Elemente nur ganz bestimmter doppelbrechender
Wirkungen herstellen.
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Aus
der
DE 196 37 563
A1 ist ein Verfahren zur Herstellung eines transmissiven
doppelbrechend wirkenden optischen Elements bekannt, bei dem ein optisches
Element aus Quarzglas einer einstellbaren Zugspannung ausgesetzt
wird. Die Stärke
der doppelbrechenden Wirkung läßt sich über die
Stärke
der Zugspannung einstellen. Auf diese Weise läßt sich die Spannungsdoppelbrechung,
die das amorphes Quarzglas zeigt, zur Erzeugung einer Doppelbrechung
nutzen. Diese hält
jedoch nur solange an, wie die Zugspannung wirkt. Zudem ist der
mechanische Aufwand zur Erzeugung einer derartigen Zugspannung hoch.
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Aus
einem Aufsatz N. F. Borrelli et al. mit dem Titel "Polarized excimer
laser-induced birefringence in silica", Applied Physics Letters, Vol. 80,
No. 2, Seiten 219 bis 221, ist es bekannt, daß sich in Quarzglas bei Bestrahlung
mit polarisiertem oder auch unpolarisiertem UV-Licht der Wellenlänge 193 nm
sowohl eine dauerhafte Ausdehnung als auch eine Zusammenziehung
beobachten läßt. In Folge der
Bestrahlung stellt sich in dem Material eine permanente Doppelbrechung
ein.
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Aus
der
EP 1 067 409 A2 ist
ein optischer (De-)Multiplexer für
die optische Datenübermittlung in
der Form eines Wellenleitergitters bekannt, bei dem zur Verringerung
der Doppelbrechung einzelne Bereiche des Wellenleitergitters mit
Hilfe eines CO
2-Lasers gezielt erwärmt werden.
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Es
ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren
der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, daß eine doppelbrechende Wirkung
des optischen Elements einfacher eingestellt werden kann.
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Diese
Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch
ein Verfahren mit den Verfahrensschritten gemäß Anspruch 1.
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Erfindungsgemäß wurde
erkannt, daß durch Einwirken
auf das optische Rohelement nicht nur eine reversible doppelbrechende
Wirkung, wie dies beim optischen Element nach der
DE 196 37 563 A1 der Fall
ist, sondern auch eine irreversible doppelbrechende Wirkung erzielt
werden kann. Dies führt
zur Möglichkeit
des Designs eines optischen Elements mit an die jeweilige optische
Anwendung angepaßter doppelbrechender
Wirkung, ohne daß z.B.
mittels einer aufwendigen Halterung ständig auf das optische Element
eine Kraft ausgeübt
werden muß.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
kann z.B. ein doppelbrechendes Element hergestellt werden, welches
mit einer Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage der
Mikrolithographie derart zusammenwirkt, daß in der Objektebene eines
Projektionsobjektivs der Projektionsbelichtungsanlage zirkular polarisiertes
Licht vorliegt. Ein derartiger Polarisationszustand ist insbesondere
für Designvarianten
von Projektionsobjektiven von Vorteil, die einen Strahlteilerwürfel enthalten.
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Die
doppelbrechenden Eigenschaften des optischen Elements lassen sich über die
Form der Einwirkbereiche sowie über
die Art und Intensität
des Einwirkens beeinflussen. Auf diese Weise lassen sich je nach
Vorgabe optische Elemente praktisch beliebiger Verteilung der doppelbrechenden
Eigenschaften herstellen.
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Ein
bahnförmiger
Wirkbereich führt
zu einer Spannungsverteilung um den Wirkbereich mit Kraftlinien,
die senkrecht zum Rand der Wirkbahn verlaufen. In der Nachbarschaft
der Längsseiten
der Wirkbahn verlaufen diese Kraftlinien im wesentlichen parallel
zueinander, während
sie in der Nachbarschaft der Endbereiche der Wirkbahnen radial zu
den Endbereichen verlaufen. Dies führt zu erweiterten Designmöglichkeiten
bei der Vorgabe einer gewünschten Spannungsverteilung.
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Getrennte
Einwirkbereiche lassen sich derart gegenüberliegend anordnen, daß zwischen
den Einwirkbereichen eine doppelbrechende Wirkung mit gleichem Hauptachsenverhältnis des
Dielektrizitätstensors
und gleicher Orientierung der Hauptachsen entsteht. Dies führt zu doppelbrechend
wirkenden optischen Elementen, die in ihrer Wirkung denjenigen der
DE 196 37 563 A1 entsprechen.
Die Absolutgröße der doppelbrechenden
Wirkung läßt sich über die
Intensität
des Einwirkens auf die Einwirkbereiche vorgeben. Auch andere Verteilungen
der Doppelbrechung lassen sich durch entsprechende Vorgabe der Wirkbereiche
erzielen, z. B. eine Quadropolverteilung der Doppelbrechung über die
Fläche
des optischen Elements.
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Ein
geradliniger Einwirkbereich gemäß Anspruch
2 führt
zu einer entsprechenden Symmetrie der Spannungsverteilung.
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Neben
einer Beeinflussung der Doppelbrechung über die Spannungsverteilung
des optischen Elements kann das Einwirken auf dieses im Einwirkbereich
auch zur Änderung
anderer optischer Eigenschaften, z. B. aufgrund einer Deformation
optischer Flächen
im Einwirkbereich, führen.
Falls diese Effekte unerwünscht
sind und nicht durch Nachbehandlung, z. B. Nachpolieren des optischen
Elements ausgeglichen werden sollen, können sie durch eine Anordnung
des Einwirkbereichs gemäß Anspruch
3 vermieden werden.
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Einwirken
durch Bestrahlung gemäß Anspruch
4 ermöglicht
eine präzise
Vorgabe der Intensität
des Einwirkens und damit der internen Spannungsverteilung im optischen
Element. Wenn das optische Element die Wirkstrahlung im wesentlichen durchläßt, kann
auch auf dicke optische Elemente zur Änderung der internen Spannungsverteilung
eingewirkt werden. Der Grad der internen Spannung läßt sich
z. B. über
die Wellenlänge
und die Intensitätsverteilung
der eingesetzten Wirkstrahlung beeinflussen. Zu beachten ist, daß insbesondere
dann, wenn die Wellenlänge
der Wirkstrahlung derjenigen der Nutzstrahlung vergleichbar ist,
die Energie der Wirkstrahlung deutlich größer sein muß als diejenige der Nutzstrahlung,
um eine Beeinflussung der Spannungsverteilung durch die Nutzstrahlung
beim späteren
Gebrauch des optischen Elements zu vermeiden.
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Gewisse
optische Materialien, z. B. Quarz, zeigen bei Bestrahlung mit UV-Licht
oberhalb einer gewissen Bestrahlungsstärke Kompaktierungseigenschaften.
Diese Materialien eignen sich besonders für eine Bestrahlung mit UV-Licht
gemäß Anspruch
5.
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Bei
Glasmaterialien läßt sich
eine lokale Umverteilung durch eine Wärmebehandlung gemäß Anspruch
6 erreichen, was zu einer entsprechenden Änderung der internen Spannungsverteilung
führt.
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Auch
mit Hilfe einer externen Spannung gemäß Anspruch 7 läßt sich
eine irreversible Spannungsverteilung im optischen Element erzielen.
Hierbei können
auch spannungsdoppelbrechende optische Materialien beeinflußt werden,
die keine Kompaktierungseigenschaften aufweisen. Die Spannungsverteilung
kann durch die Stärke
und die Verteilung der externen Spannung so beeinflußt werden, daß eine vorgegebene
Verteilung der Doppelbrechung erzielt wird.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es
zeigen:
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1 ein
transmissives optisches Element, das nicht Gegenstand der Erfindung
ist, mit radialsymmetrischen doppelbrechenden Eigenschaften in einer
schematischen Darstellung;
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2 und 3 Polarisationszustände eines
das optische Element von 1 durchtretenden Lichtbündels vor
(2) bzw. nach (3) dem Durchtritt,
schematisch dargestellt über
den Bündelquerschnitt;
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4 ein
erfindungsgemäßes transmissives optisches
Element, dessen doppelbrechende Eigenschaften über die Nutzapertur das gleiche
Hauptachsenverhältnis
des Dielektrizitätstensors
und die gleiche Orientierung der Hauptachsen aufweisen, in einer
schematischen Darstellung;
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5 ein
weiteres transmissives optisches Element mit doppelbrechenden Eigenschaften,
die denjenigen des optischen Elements von 4 ähnlich sind.
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Das
in 1 gezeigte transmissive doppelbrechende optische
Element 1 besteht aus amorphem Quarz, also aus einem Spannungsdoppelbrechung
aufweisenden Material. Es ist eine kreisförmige, planparallele Platte
mit einem Durchmesser von 25 mm.
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Im
Zentrum des optischen Elements 1 ist in 1 eine
quadratische Bestrahlungsfläche 2 mit Kantenlänge 1 mm
als gefülltes
Quadrat angedeutet, deren Zweck noch diskutiert wird.
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Die
doppelbrechenden Eigenschaften des optischen Elements 1 werden
durch schematische Pfeildarstellungen des lokalen Dielektrizitätstensors des
optischen Elements 1 über
dessen Fläche
wiedergegeben. Eine solche lokale Darstellung setzt sich zusammen
aus zwei von einem gemeinsamen Ursprung ausgehenden rechtwinklig
angeordneten Pfeilen 3, 4. Diese stellen die Hauptachsen
der Projektion des Dielektrizitäts tensors
auf die optischen Flächen
des optischen Elements 1 dar. Die Verteilung der Doppelbrechung
des optischen Elements 1 ist radialsymmetrisch. Dies bedeutet,
daß an
jedem Ort der optischen Fläche
des optischen Elements 1 die Pfeildarstellung der Projektion
des Dielektrizitätstensors
eine radiale Hauptachse 3 und eine azimutale Hauptachse 4 aufweist.
Zur Verdeutlichung dieser Radialsymmetrie sind die Pfeildarstellungen
der Projektion des Dielektrizitätssensors
im rechten unteren Quadranten des optischen Elements 1 dichter
im Detail dargestellt.
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Die
schematische Darstellung der Hauptachsen 3, 4 gem. 1 soll
nur die Orientierung der Hauptachsen 3, 4 des
Dielektriziätstensors
verdeutlichen und erlaubt in diesem Fall keine Rückschlüsse auf den Absolutbetrag der
Doppelbrechung längs
der Hauptachsen 3, 4 Im vorliegenden Ausführungsbeispiel
der 1 ist der Unterschied im Absolutbetrag der Doppelbrechung
längs der
beiden Hauptachsen 3, 4 so groß gewählt, daß sich für Nutzlicht einer vorgegebenen
Wellenlänge
unter Berücksichtigung
der Dicke des optischen Elements 1 ein Phasenunterschied
von etwa lambda/2 für
die Polarisationskomponenten des Nutzlichts längs der beiden Hauptachsen 3, 4 ergibt.
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Die 2 und 3 zeigen
Polarisationszustände
eines Nutzlichtbündels 5 vor
(2) und nach (3) dem Durchtritt
durch das optische Element 1. Vor dem Durchtritt durch
das optische Element 1 ist das Nutzlichtbündel 5 über seinen
Querschnitt linear in in 2 horizontaler Richtung polarisiert,
was durch die schematischen Pfeile 6 innerhalb des Querschnitts
des Nutzlichtbündels 5 in 2 dargestellt
ist.
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Nach
dem Durchtritt durch das optische Element 1 ergibt sich
ein Polarisationszustand des Nutzlichtbündels 5 wie in 3 dargestellt.
Dort ist der Polarisationszustand im rechten oberen Quadranten des
Nutzlichtbündels 5 verglichen
mit den anderen drei Quadranten dichter im Detail dargestellt.
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Überall dort,
wo die Pfeile 6 des Polarisationszustands des Nutzlichtbündels 5 vor
dem Durchtritt durch das optische Element 1 parallel zu
einer der Hauptachsen 3, 4 der Projektion des
Dielektrizitätstensors
des optischen Elements 1 verlaufen, bleibt die Polarisation
des Nutzlichtbündels 5 unverändert, so
daß sich
in 3 ein das Nutzlichtbündel 5 in vier Quadranten
unterteilendes Kreuz unveränderter
Polarisation ergibt. Längs
der Winkelhalbierenden dieser Quadranten ist die Polarisation des Nutzlichtbündels 5 um
90° zur
ursprünglichen
Polarisationsrichtung gedreht, verläuft dort also in in 3 vertikaler
Richtung. Längs
dieser Winkelhalbierenden schließt die Polarisationsrichtung
des Nutzlichtbündels 5 vor
dem Durchtritt durch das optische Element 1 einen 45°-Winkel mit
den Hauptachsen der Projektion des Dielektrizitätstensors des optischen Elements 1 ein,
so daß sich
aufgrund der Lambda/2-Wirkung des optischen Elements 1 die
genannte Polarisationsdrehung um 90° nach dem Durchtritt des Nutzlichtbündels 5 durch
das optische Element 1 ergibt.
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Zwischen
den vorstehend diskutierten Bereichen linearer Polarisation nach
dem Durchtritt des Nutzlichtbündels 5 durch
das optische Element 1 liegen Bereiche zirkularer bzw.
elliptischer Polarisation des Nutzlichtbündels 5 vor, die durch
Polarisationskreise 7 bzw. Polarisationsellipsen 8 in 3 wiedergegeben
sind. Das Verhältnis
der Längen
der Hauptachsen dieser zirkularen bzw. elliptischen Polarisationen
ist eine Funktion des Winkels, den die ursprüngliche Polarisation des Nutzlichtbündels 5 vor dem
Durchtritt durch das optische Element 1 mit den Hauptachsen 3, 4 der
Projektion des Dielektrizitätstensors
des optischen Elements 1 im an dieser Stelle vom Nutzlichtbündel 5 durchstrahlten
Bereich einschließt.
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Das
optische Element 1 wird folgendermaßen hergestellt:
Das optische
Roh-Element, d. h. das optische Element 1 unmittelbar nach
der Herstellung aus amorphem Quarz, weist zunächst noch keine Doppelbrechung
auf.
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Zur
Erzeugung der in 1 dargestellten dauerhaften
Verteilung der doppelbrechenden Wirkung des optischen Elements 1 wird
dieses auf der Bestrahlungsfläche 2 mit
einem Wirklichtbündel
bestrahlt. Das Wirklicht ist Laserlicht mit einer Wellenlänge von
193 nm. Die Bestrahlung erfolgt mit ca. 109 Lichtpulsen
einer Energie von ungefähr
10 mJ. Das das Quarzmaterial für
Licht dieser Wellenlänge
eine Transmission von ca. 80 % auf einer Länge von einem Millimeter aufweist,
wird pro Millimeter eine Energie von ca. 200 kJ aufgebracht, die
zum großen
Teil in Form von Wärme
abgeführt
wird. Zusätzlich
wird durch diesen Energieeintrag eine dauerhafte Deformation des
Quarzmaterials verursacht, die auch als Kompaktierung bekannt ist.
Die Kompaktierung kann durch interferometrische Vermessung der Oberfläche des
optischen Elements 1 nach der Bestrahlung nachgewiesen
werden.
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Die
Kompaktierung im durch die Bestrahlungsfläche 2 vorgegebenen
zentralen Volumen des optischen Elements 1 führt zu einem
im wesentlichen radialsymmetrischen dauerhaften Spannungsaufbau innerhalb
des optischen Elements 1 Hieraus ergibt sich die in 1 dargestellte
Verteilung der Hauptachsen 3, 4 der Projektion
des Dielektrizitätstensors.
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Die
so eingestellte Spannungsdoppelbrechung kann in einer optischen
Anordnung vermessen werden, bei der das optische Element 1 zwischen
einem Polarisator und einem hierzu gekreuzt angeordneten Analysator
eingebracht und mit unpolarisiertem Licht bestrahlt wird. Das den
Analysator durchtretende Meßlicht
wird mit Hilfe eines positionsempfindlichen Detektors, z. B. einer
CCD-Kamera, vermessen.
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Dort,
wo die Polarisationsrichtung des das optische Element 1 durchtretenden
Meßlichts
mit der Richtung einer Hauptachse 3, 4 der Projektion
des Dielektrizitätstensors
des optischen Elements übereinstimmt,
tritt keine Änderung
des Polarisationszustands auf, so daß dieses Licht den Analysator
nicht durchtreten und folglich den Detektor nicht erreichen kann.
Bei einer Polarisationsrichtung des das optische Element 1 durchtretenden
Meßlichts
unter einen Winkel von 45° relativ
zu den Hauptachsen 3, 4 ergibt sich ein Maximum
der Intensität
des den Analysator durchtretenden Lichts, da dann das optische Element 1 eine
Polarisationsbeeinflussung des Meßlichts derart bewirkt, daß es vom
Analysator maximal durchgelassen und somit vom Detektor erfaßt wird.
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Durch
Drehung des optischen Elements 1 um seine durch das Zentrum
der Bestrahlungsfläche 2 gehende
optische Achse in diesem Meßaufbau
läßt sich
die Radialsymmetrie der Verteilung der erzeugten Doppelbrechung
verifizieren.
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Bei
einem alternativen Herstellungsverfahren zur Erzeugung einer Doppelbrechungsverteilung gemäß 1 wird
das optische Element 1 auf einer zentralen quadratischen
Bestrahlungsfläche
mit Kantenlänge
5 mm mit Laserlicht der Wellenlänge
157 nm bestrahlt. Auch hier erfolgt die Bestrahlung mit ca. 109 Lichtimpulsen. Die Impulsenergie pro Fläche ist dort
2 mJ/cm2. Das hierbei bestrahlte optische
Element 1 hat eine Dicke von einem Millimeter. Durch eine
derartige Bestrahlung wird eine dauerhafte Lambda/4-Wirkung für sichtbare
Wellenlängen
erzielt.
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Die
genannten Herstellungsverfahren durch Bestrahlung sind weder auf
das Material Quarz noch auf die diskutierten Lichtquellen bzw. Bestrahlungswellenlängen beschränkt. Dauerhafte
interne Spannungen, die zu einer gewünschten Verteilung der Doppelbrechung über die
Fläche
des optischen Elements 1 führen, können auch durch Bestrahlung
anderer Spannungsdoppelbrechung aufweisender Materialien sowie,
je nach eingesetztem Material, durch Bestrahlung mit elektromagnetischen
Wellen anderer Wellenlänge,
z. B. mit Wärmestrahlen,
erzielt werden.
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Alternativ
kann eine dauerhafte Doppelbrechungsverteilung gemäß 1 auch
durch Ausüben einer
externen Spannung auf das optische Element 1 erzielt werden.
Hierzu wird das optische Element 1 in einem der Bestrahlungsfläche 2 entsprechenden zentralen
Bereich einem Druck durch einen mit definierter Kraft auf das optische
Element 1 wirkenden Druckkörper ausgesetzt. Dieser Druck
führt zu
einer plastischen Verformung des optischen Elements 1 in dessen
Zentralbereich. Hierdurch resultiert eine Spannungsverteilung innerhalb
des optischen Elements 1, die derjenigen entspricht, die
durch zentrale Bestrahlungskompaktierung erzeugt wurde, wie oben
beschrieben.
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Generell
gilt, daß unerwünschte Brechungseffekte
aufgrund einer Deformation des optischen Elements 1 im
Wirkbereich (z. B. innerhalb der Bestrahlungsfläche 2) durch Nachpolieren
des optischen Elements 1 beseitigt werden können.
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Weitere
Ausführungsbeispiele
transmissiver doppelbrechender optischer Elemente werden nachfolgend
anhand der 4 und 5 beschrieben. Bestandteile
dieser Figuren, die schon unter Bezugnahme auf die 1 bis 3 beschrieben
wurden, erhalten jeweils um 100 erhöhte Bezugszeichen und werden
nicht nochmals im einzelnen erläutert.
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Das
optische Element 101 ist eine quadratische planparallele
optische Platte mit einer Kantenlänge von 25 mm. Über die
Nutzapertur des optischen Elements 101 weist dieses eine
Doppelbrechung gleichem Hauptachsenverhältnis des Dielektrizitätstensors
und Orientierung der Hauptachsen auf. Die Pfeildarstellungen zur
Wiedergabe der Projektion des Dielektrizitätstensors des optischen Elements 101,
deren Längenverhältnis im
Fall der 4 und 5 einen
Rückschluß auf das
Größenverhältnis der
Doppelbrechung erlaubt, weisen daher sämtlich zueinander parallele
gleich lange Hauptachsen 103, 104 auf. Die Absolutbeträge der doppelbrechenden
Wirkung längs
der Hauptachsen 103, 104 können in Kombination mit der
Wellenlänge
des Nutzlichts und der Dicke des optischen Elements 101 so gewählt sein,
daß sich
insgesamt eine Lambda/2-Wirkung des optischen Elements 101 über seine
Nutzapertur ergibt.
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Hergestellt
wird das optische Element 101 durch Bestrahlung mit Wirklicht
auf Bestrahlungsflächen 109, 110 längs einander
in 4 gegenüberliegender
vertikaler Kantenbereiche des optischen Elements 101. Die
Bestrahlungsflächen 109, 110 sind rechteckig,
wobei die Länge
ihrer Längsseiten
im wesentlichen der Kantenlänge
des optischen Elements 101 entspricht. Die Bestrahlungsstärke mit
Wirklicht ist über
die Bestrahlungsflächen 109, 110 konstant. Aufgrund
der Bestrahlung ergibt sich, wie oben im Zusammenhang mit dem ersten
Ausführungsbeispiel beschrieben,
eine Kompaktierung des optischen Elements 101 im Bereich
der bestrahlten gegenüberliegenden
Kantenbereiche. Diese Kompaktierung führt zu einer dauerhaften internen
Spannungsverteilung im optischen Element 101 mit im wesentlichen
horizontal verlaufenden Kraftlinien, was zur beschriebenen doppelbrechenden
Wirkung mit den Hauptachsen 103, 104 führt.
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Ein
weiteres doppelbrechendes transmissives optisches Element 201 zeigt 5.
Dieses ist ebenfalls als quadratische planparallele Platte aus amorphem
Quarz ausgeführt.
Im in 5 oberen und unteren Kantenbereich weist das optische
Element 201 zur oberen bzw. unteren Kante parallele rechteckige
Ausnehmungen 211, 212 auf. Die Bestrahlungsflächen 209, 210 sind
wie beim optischen Element 101 der 4 vertikal
orientiert und sind zwischen den gegenüberliegenden Endbereichen der Ausnehmungen 211, 212 angeordnet.
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Die
Bestrahlungsflächen 109, 110 und 209, 210 liegen
außerhalb
der Nutzapertur der optischen Elemente 101, 201.
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Bei
der Herstellung des optischen Elements 201 entsteht durch
die Bestrahlung der Bestrahlungsflächen 209, 210 zwischen
diesen eine dauerhafte Spannungsverteilung, die derjenigen des optischen
Elements 101 (vgl. 4) entspricht.
Im äußeren Kantenbereich
des optischen Elements 201 oberhalb der Ausnehmung 211 bzw.
unterhalb der Ausnehmung 212 liegen beim optischen Element 201 unbeeinflußte, d.
h. spannungsfreie, Flächenbereiche vor,
die sich zu einer Halterung des optischen Elements 201 gut
eignen.
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Ggf.
kann ein mehrstufiges Einwirken auf ein optisches Roh-Element 1, 101, 201 zur
Erzeugung einer gewünschten
Verteilung der Spannungsdoppelbrechung erfolgen. Hierzu können auch
verschiedene der oben beschriebenen Herstel lungsverfahren sequentiell
oder parallel durchgeführt
werden.
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Auch
andere Verteilungen der Bestrahlungsflächen sind natürlich möglich. Durch
Bestrahlung der vier Randbereiche eines rechteckigen Plättchens läßt sich
z. B. eine Quadrupolverteilung der lokalen Hauptachsen der Projektion
des Dielektrizitätstensors
erzielen.