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Die Erfindung betrifft ein Verfahren
zur Herstellung eines transmissiven doppelbrechend wirkenden optischen
Elements gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1 sowie ein transmissiven doppelbrechend wirkendes
optisches Element gemäß dem Anspruch
11.
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Es ist bekannt, transmissive doppelbrechend wirkende
optische Elemente herzustellen, indem aus einem doppelbrechenden
Kristallmaterial ein derartiges optisches Element geschnitten wird.
Die doppelbrechende Wirkung eines solchen, nach dem bekannten Verfahren
hergestellten optischen Elements hängt von der Orientierung der
Kristallachsen im optischen Element, von der Dicke des optischen
Elements und schließlich
von der Wellenlänge
des verwendeten Nutzlichts ab. Mit einem solchen Herstellungsverfahren
lassen sich, beschränkt
durch die doppelbrechende Wirkung des verwendeten Kristallmaterials,
transmissive optische Elemente nur ganz bestimmter doppelbrechender
Wirkungen herstellen.
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Aus der
DE 196 37 563 A1 ist ein
gattungsgemäßes Verfahren
zur Herstellung eines transmissiven doppelbrechend wirkenden optischen
Elements bekannt, bei dem ein optisches Element aus Quarzglas einer
einstellbaren Zugspannung ausgesetzt wird. Die Stärke der
doppelbrechenden Wirkung läßt sich über die
Stärke
der Zugspannung einstellen. Auf diese Weise läßt sich die Spannungsdoppelbrechung,
die das amorphes Quarzglas zeigt, zur Erzeugung einer Doppelbrechung
nutzen. Diese hält
jedoch nur solange an, wie die Zugspannung wirkt. Zudem ist der
mechanische Aufwand zur Erzeugung einer derartigen Zugspannung hoch.
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Es ist daher eine erste Aufgabe der
vorliegenden Erfindung, ein Verfahren der eingangs genannten Art
derart weiterzubilden, daß eine
doppelbrechende Wirkung des optischen Elements einfacher eingestellt
werden kann.
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Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch
ein Verfahren mit den Verfahrensschritten gemäß Anspruch 1.
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Erfindungsgemäß wurde erkannt, daß durch Einwirken
auf das optische Rohelement nicht nur eine reversible doppelbrechende
Wirkung, wie dies beim optischen Element nach der
DE 196 37 563 A1 der Fall
ist, sondern auch eine irreversible doppelbrechende Wirkung erzielt
werden kann. Dies führt
zur Möglichkeit
des Designs eines optischen Elements mit an die jeweilige optische
Anwendung angepaßter doppelbrechender
Wirkung, ohne daß z.B.
mittels einer aufwendigen Halterung ständig auf das optische Element
eine Kraft ausgeübt
werden muß.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
kann z.B. ein doppelbrechendes Element hergestellt werden, welches
mit einer Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage der
Mikrolithographie derart zusammenwirkt, daß in der Objektebene eines
Projektionsobjektivs der Projektionsbelichtungsanlage zirkular polarisiertes
Licht vorliegt. Ein derartiger Polarisationszustand ist insbesondere
für Designvarianten
von Projektionsobjektiven von Vorteil, die einen Strahlteilerwürfel enthalten.
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Die doppelbrechenden Eigenschaften
des optischen Elements lassen sich über die Form der Einwirkbereiche
sowie über
die Art und Intensität
des Einwirkens beeinflussen. Auf diese Weise lassen sich je nach
Vorgabe optische Elemente praktisch beliebiger Verteilung der doppelbrechenden
Eigenschaften herstellen.
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Bei einem Einwirkbereich gemäß Anspruch
2 ergibt sich eine im wesentlichen radialsymmetrische Verteilung
der internen Spannungsverteilung des optischen Materials, was zu
einer entsprechenden doppelbrechen Wirkung des optischen Elements
führt. Optische
Elemente mit derartigen doppelbrechenden Eigenschaften lassen sich
mit den bekannten Verfahren nicht herstellen.
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Ein bahnförmiger Wirkbereich gemäß Anspruch
3 führt
zu einer Spannungsverteilung um den Wirkbereich mit Kraftlinien,
die senkrecht zum Rand der Wirkbahn verlaufen.
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In der Nachbarschaft der Längsseiten
der Wirkbahn verlaufen diese Kraftlinien im wesentlichen parallel
zueinander, während
sie in der Nachbarschaft der Endbereiche der Wirkbahnen radial zu
den Endbereichen verlaufen. Dies führt zu erweiterten Designmöglichkeiten
bei der Vorgabe einer gewünschten
Spannungsverteilung.
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Ein geradliniger Einwirkbereich gemäß Anspruch
4 führt
zu einer entsprechenden Symmetrie der Spannungsverteilung.
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Getrennte Einwirkbereiche gemäß Anspruch 5
lassen sich derart gegenüberliegend
anordnen, daß zwischen
den Einwirkbereichen eine doppelbrechende Wirkung mit gleichem Hauptachsenverhältnis des
Dielektrizitätstensors
und gleicher Orientierung der Hauptachsen entsteht. Dies führt zu doppelbrechend
wirkenden optischen Elementen, die in ihrer Wirkung denjenigen der
DE 196 37 563 A1 entsprechen.
Die Absolutgröße der doppelbrechenden Wirkung
läßt sich über die
Intensität
des Einwirkens auf die Einwirkbereiche vorgeben. Auch andere Verteilungen
der Doppelbrechung lassen sich durch entsprechende Vorgabe der Wirkbereiche
erzielen, z. B. eine Quadropolverteilung der Doppelbrechung über die
Fläche
des optischen Elements.
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Neben einer Beeinflussung der Doppelbrechung über die
Spannungsverteilung des optischen Elements kann das Einwirken auf
dieses im Einwirkbereich auch zur Änderung anderer optischer Eigenschaften,
z. B. aufgrund einer Deformation optischer Flächen im Einwirkbereich, führen. Falls
diese Effekte unerwünscht
sind und nicht durch Nachbehandlung, z. B. Nachpolieren des optischen
Elements ausgeglichen werden sollen, können sie durch eine Anordnung
des mindestens einen Einwirkbereichs gemäß Anspruch 6 vermieden werden.
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Einwirken durch Bestrahlung gemäß Anspruch
7 ermöglicht
eine präzise
Vorgabe der Intensität
des Einwirkens und damit der internen Spannungsverteilung im optischen
Element. Wenn das optische Element die Wirkstrahlung im wesentlichen durchläßt, kann
auch auf dicke optische Elemente zur Änderung der internen Spannungsverteilung
eingewirkt werden. Der Grad der internen Spannung läßt sich
z. B. über
die Wellenlänge
und die Intensitätsverteilung
der eingesetzten Wirkstrahlung beeinflussen:
Zu beachten ist,
daß insbesondere
dann, wenn die Wellenlänge
der Wirkstrahlung derjenigen der Nutzstrahlung vergleichbar ist,
die Energie der Wirkstrahlung deutlich größer sein muß als diejenige der Nutzstrahlung,
um eine Beeinflussung der Spannungsverteilung durch die Nutzstrahlung
beim späteren
Gebrauch des optischen Elements zu vermeiden.
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Gewisse optische Materialien, z.
B. Quarz, zeigen bei Bestrahlung mit W-Licht oberhalb einer gewissen
Bestrahlungsstärke
Kompaktierungseigenschaften. Diese Materialien eignen sich besonders für eine Bestrahlung
mit UV-Licht gemäß Anspruch
8.
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Bei Glasmaterialien läßt sich
eine lokale Umverteilung durch eine Wärmebehandlung gemäß Anspruch
9 erreichen, was zu einer entsprechenden Änderung der internen Spannungsverteilung
führt.
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Auch mit Hilfe einer externen Spannung
gemäß Anspruch
10 läßt sich
eine irreversible Spannungsverteilung im optischen Element erzielen.
Hierbei können
auch spannungsdoppelbrechende optische Materialien beeinflußt werden,
die keine Kompaktierungseigenschaften aufweisen. Die Spannungsverteilung
kann durch die Stärke
und die Verteilung der externen Spannung so beeinflußt werden, daß eine vorgegebene
Verteilung der Doppelbrechung erzielt wird.
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Eine weitere Aufgabe der Erfindung
ist die Schaffung eines transmissiven doppelbrechend wirkenden optischen
Elements mit gemäß einer
Vorgabe einstellbarer Verteilung der Doppelbrechung über die
optische Fläche.
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Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch
ein transmissives doppelbrechend wirkendes optisches Element gemäß Anspruch
11. Die Vorteile des optischen Elements entsprechen denjenigen,
die oben bei der Beschreibung des Verfahrens abgehandelt wurden.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung
werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen:
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1 ein
transmissives optisches Element mit radialsymmetrischen doppelbrechenden
Eigenschaften in einer schematischen Darstellung;
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2 und 3 Polarisationszustände eines das
optische Element von 1 durchtretenden Lichtbündels vor
(2) bzw. nach (3) dem Durchtritt, schematisch
dargestellt über
den Bündelquerschnitt;
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4 ein
alternatives transmissives optisches Element, dessen doppelbrechende
Eigenschaften über
die Nutzapertur das gleiche Hauptachsenverhältnis des Dielektrizitätstensors
und die gleiche Orientierung der Hauptachsen aufweisen, in einer
schematischen Darstellung;
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5 ein
weiteres transmissives optisches Element mit doppelbrechenden Eigenschaften,
die denjenigen des optischen Elements von 4 ähnlich
sind.
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Das in 1 gezeigte
transmissive doppelbrechende optische Element 1 besteht
aus amorphem Quarz, also aus einem Spannungsdoppelbrechung aufweisenden
Material. Es ist eine kreisförmige,
planparallele Platte mit einem Durchmesser von 25 mm.
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Im Zentrum des optischen Elements 1 ist
in 1 eine quadratische
Bestrahlungsfläche 2 mit Kantenlänge 1 mm
als gefülltes
Quadrat angedeutet, deren Zweck noch diskutiert wird.
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Die doppelbrechenden Eigenschaften
des optischen Elements 1 werden durch schematische Pfeildarstellungen
des lokalen Dielektrizitätstensors des
optischen Elements 1 über
dessen Fläche
wiedergegeben. Eine solche lokale Darstellung setzt sich zusammen
aus zwei von einem gemeinsamen Ursprung ausgehenden rechtwinklig
angeordneten Pfeilen 3, 4. Diese stellen die Hauptachsen
der Projektion des Dielektrizitäts tensors
auf die optischen Flächen
des optischen Elements 1 dar. Die Verteilung der Doppelbrechung
des optischen Elements 1 ist um dessen radialsymmetrisch.
Dies bedeutet, daß an
jedem Ort der optischen Fläche
des optischen Elements 1 die Pfeildarstellung der Projektion
des Dielektrizitätstensors
eine radiale Hauptachse 3 und eine azimutale Hauptachse 4 aufweist.
Zur Verdeutlichung dieser Radialsymmetrie sind die Pfeildarstellungen
der Projektion des Dielektrizitätssensors
im rechten unteren Quadranten des optischen Elements 1 dichter
im Detail dargestellt.
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Die schematische Darstellung der
Hauptachsen 3, 4 gem. 1 soll nur die Orientierung der Hauptachsen
des Dielektriziätstensors
verdeutlichen und erlaubt in diesem Fall keine Rückschlüsse auf den Absolutbetrag der
Doppelbrechung längs
der Hauptachsen. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel der 1 ist der Unterschied im
Absolutbetrag der Doppelbrechung längs der beiden Hauptachsen
so groß gewählt, daß sich für Nutzlicht
einer vorgegebenen Wellenlänge
unter Berücksichtigung
der Dicke des optischen Elements 1 ein Phasenunterschied von
etwa lambda/2 für
die Polarisationskomponenten des Nutzlichts längs der beiden Hauptachsen 3, 4 ergibt.
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Die 2 und 3 zeigen Polarisationszustände eines
Nutzlichtbündels 5 vor
(2) und nach (3) dem Durchtritt durch
das optische Element 1. Vor dem Durchtritt durch das optische
Element 1 ist das Nutzlichtbündel 5 über seinen
Querschnitt linear in in 2 horizontaler
Richtung polarisiert, was durch die schematischen Pfeile 6 innerhalb
des Querschnitts des Nutzlichtbündels 5 in 2 dargestellt ist.
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Nach dem Durchtritt durch das optische
Element 1 ergibt sich ein Polarisationszustand des Nutzlichtbündels 5 wie
in 3 dargestellt. Dort
ist der Polarisationszustand im rechten oberen Quadranten des Nutzlichtbündels 5 verglichen
mit den anderen drei Quadranten dichter im Detail dargestellt.
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Überall
dort, wo die Pfeile 6 des Polarisationszustands des Nutzlichtbündels 5 vor
dem Durchtritt durch das optische Element 1 parallel zu
einer der Hauptachsen 3, 4 der Projektion des
Dielektrizitätstensors
des optischen Elements 1 verlaufen, bleibt die Polarisation
des Nutzlichtbündels 5 unverändert, so
daß sich
in 3 ein das Nutzlichtbündel 5 in
vier Quadranten unterteilendes Kreuz unveränderter Polarisation ergibt.
Längs der
Winkelhalbierenden dieser Quadranten ist die Polarisation des Nutzlichtbündels 5
um 90° zur
ursprünglichen
Polarisationsrichtung gedreht, verläuft dort also in in 3 vertikaler Richtung. Längs dieser
Winkelhalbierenden schließt
die Polarisationsrichtung des Nutzlichtbündels 5 vor dem Durchtritt
durch das optische Element 1 einen 45°-Winkel mit den Hauptachsen
der Projektion des Dielektrizitätstensors
des optischen Elements 1 ein, so daß sich aufgrund der Lambda/2-Wirkung
des optischen Elements 1 die genannte Polarisationsdrehung
um 90° nach
dem Durchtritt des Nutzlichtbündels 5 durch
das optische Element 1 ergibt.
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Zwischen den vorstehend diskutierten
Bereichen linearer Polarisation nach dem Durchtritt des Nutzlichtbündels 5 durch
das optische Element 1 liegen Bereiche zirkularer bzw.
elliptischer Polarisation des Nutzlichtbündels 5 vor, die durch
Polarisationskreise 7 bzw. Polarisationsellipsen 8 in 3 wiedergegeben sind. Das
Verhältnis
der Längen
der Hauptachsen dieser zirkularen bzw. elliptischen Polarisationen
ist eine Funktion des Winkels, den die ursprüngliche Polarisation des Nutzlichtbündels 5 vor dem
Durchtritt durch das optische Element 1 mit den Hauptachsen 3, 4 der
Projektion des Dielektrizitätstensors
des optischen Elements 1 im an dieser Stelle vom Nutzlichtbündel 5 durchstrahlten
Bereich einschließt.
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Das optische Element 1 wird
folgendermaßen
hergestellt:
Das optische Roh-Element, d. h. das optische Element 1 unmittelbar
nach der Herstellung aus amorphem Quarz, weist zunächst noch
keine Doppelbrechung auf.
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Zur Erzeugung der in 1 dargestellten dauerhaften Verteilung
der doppelbrechenden Wirkung des optischen Elements 1 wird
dieses auf der Bestrahlungsfläche 2 mit
einem Wirklichtbündel
bestrahlt. Das Wirklicht ist Laserlicht mit einer Wellenlänge von
193 nm. Die Bestrahlung erfolgt mit ca. 109 Lichtpulsen
einer Energie von ungefähr
10 mJ. Das das Quarzmaterial für
Licht dieser Wellenlänge
eine Transmission von ca. 80 % auf einer Länge von einem Millimeter aufweist,
wird pro Millimeter eine Energie von ca. 200 kJ aufgebracht, die
zum großen
Teil in Form von Wärme
abgeführt
wird. Zusätzlich
wird durch diesen Energieeintrag eine dauerhafte Deformation des
Quarzmaterials verursacht, die auch als Kompaktierung bekannt ist.
Die Kompaktierung kann durch interferometrische Vermessung der Oberfläche des
optischen Elements 1 nach der Bestrahlung nachgewiesen
werden.
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Die Kompaktierung im durch die Bestrahlungsfläche 2 vorgegebenen
zentralen Volumen des optischen Elements 1 führt zu einem
im wesentlichen radialsymmetrischen dauerhaften Spannungsaufbau innerhalb
des optischen Elements. Hieraus ergibt sich die in 1 dargestellte Verteilung der Hauptachsen 3, 4 der
Projektion des Dielektrizitätstensors.
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Die so eingestellte Spannungsdoppelbrechung
kann in einer optischen Anordnung vermessen werden, bei der das
optische Element 1 zwischen einem Polarisator und einem
hierzu gekreuzt angeordneten Analysator eingebracht und mit unpolarisiertem
Licht bestrahlt wird. Das den Analysator durchtretende Meßlicht wird
mit Hilfe eines positionsempfindlichen Detektors, z. B. einer CCD-Kamera,
vermessen.
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Dort, wo die Polarisationsrichtung
des das optische Element 1 durchtretenden Meßlichts
mit der Richtung einer Hauptachse 3, 4 der Projektion
des Dielektrizitätstensors
des optischen Elements übereinstimmt,
tritt keine Änderung
des Polarisationszustands auf, so daß dieses Licht den Analysator
nicht durchtreten und folglich den Detektor nicht erreichen kann.
Bei einer Polarisationsrichtung des das optische Element 1 durchtretenden
Meßlichts
unter einen Winkel von 45° relativ
zu den Hauptachsen 3, 4 ergibt sich ein Maximum
der Intensität
des den Analysator durchtretenden Lichts, da dann das optische Element 1 eine
Polarisationsbeeinflussung des Meßlichts derart bewirkt, daß es vom
Analysator maximal durchgelassen und somit vom Detektor erfaßt wird.
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Durch Drehung des optischen Elements 1 um
seine durch das Zentrum der Bestrahlungsfläche 2 gehende optische
Achse in diesem Meßaufbau
läßt sich
die Radialsymmetrie der Verteilung der erzeugten Doppelbrechung
verifizieren.
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Bei einem alternativen Herstellungsverfahren
zur Erzeugung einer Doppelbrechungsverteilung gemäß 1 wird das optische Element 1 auf
einer zentralen quadratischen Bestrahlungsfläche mit Kantenlänge 5 mm
mit Laserlicht der Wellenlänge
157 nm bestrahlt. Auch hier erfolgt die Bestrahlung mit ca. 109 Lichtimpulsen. Die Impulsenergie pro Fläche ist dort
2 mJ/cm2. Das hierbei bestrahlte optische
Element hat eine Dicke von einem Millimeter. Durch eine derartige
Bestrahlung wird eine dauerhafte Lambda/4-Wirkung für sichtbare
Wellenlängen
erzielt.
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Die genannten Herstellungsverfahren
durch Bestrahlung sind weder auf das Material Quarz noch auf die
diskutierten Lichtquellen bzw. Bestrahlungswellenlängen beschränkt. Dauerhafte
interne Spannungen, die zu einer gewünschten Verteilung der Doppelbrechung über die
Fläche
des optischen Elements 1 führen, können auch durch Bestrahlung
anderer Spannungsdoppelbrechung aufweisender Materialien sowie,
je nach eingesetztem Material, durch Bestrahlung mit elektromagnetischen
Wellen anderer Wellenlänge,
z. B. mit Wärmestrahlen,
erzielt werden.
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Alternativ kann eine dauerhafte Doppelbrechungsverteilung
gemäß 1 auch durch Ausüben einer
externen Spannung auf das optische Element 1 erzielt werden.
Hierzu wird das optische Element 1 in einem der Bestrahlungsfläche 2 entsprechenden zentralen
Bereich einem Druck durch einen mit definierter Kraft auf das optische
Element 1 wirkenden Druckkörper ausgesetzt. Dieser Druck
führt zu
einer plastischen Verformung des optischen Elements 1 in dessen
Zentralbereich. Hierdurch resultiert eine Spannungsverteilung innerhalb
des optischen Elements 1, die derjenigen entspricht, die
durch zentrale Bestrahlungskompaktierung erzeugt wurde, wie oben
beschrieben.
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Generell gilt, daß unerwünschte Brechungseffekte aufgrund
einer Deformation des optischen Elements 1 im Wirkbereich
(z. B. innerhalb der Bestrahlungsfläche 2) durch Nachpolieren
des optischen Elements 1 beseitigt werden können.
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Weitere Ausführungsbeispiele transmissiver doppelbrechender
optischer Elemente werden nachfolgend anhand der Figuren 4 und 5
beschrieben. Bestandteile dieser Figuren, die schon unter Bezugnahme
auf die 1 bis 3 beschrieben wurden, erhalten jeweils
um 100 erhöhte
Bezugszeichen und werden nicht nochmals im einzelnen erläutert.
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Das optische Element 101 ist
eine quadratische planparallele optische Platte mit einer Kantenlänge von
25 mm. Über
die Nutzapertur des optischen Elements 101 weist dieses
eine Doppelbrechung gleichem Hauptachsenverhältnis des Dielektrizitätstensors
und Orientierung der Hauptachsen auf. Die Pfeildarstellungen zur
Wiedergabe der Projektion des Dielektrizitätstensors des optischen Elements 101,
deren Längenverhältnis im
Fall der 4 und 5 einen Rückschluß auf das Größenverhältnis der
Doppelbrechung erlaubt, weisen daher sämtlich zueinander parallele
gleich lange Hauptachsen 103, 104 auf. Die Absolutbeträge der doppelbrechenden Wirkung
längs der
Hauptachsen 103, 104 können in Kombination mit der
Wellenlänge
des Nutzlichts und der Dicke des optischen Elements 101 so
gewählt sein,
daß sich
insgesamt eine Lambda/2-Wirkung des optischen Elements 101 über seine
Nutzapertur ergibt.
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Hergestellt wird das optische Element 101 durch
Bestrahlung mit Wirklicht auf Bestrahlungsflächen 109, 110 längs einander
in 4 gegenüberliegender
vertikaler Kantenbereiche des optischen Elements 101. Die
Bestrahlungsflächen 109, 110 sind rechteckig,
wobei die Länge
ihrer Längsseiten
im wesentlichen der Kantenlänge
des optischen Elements 101 entspricht. Die Bestrahlungsstärke mit
Wirklicht ist über
die Bestrahlungsflächen 109, 110 konstant. Aufgrund
der Bestrahlung ergibt sich, wie oben im Zusammenhang mit dem ersten
Ausführungsbeispiel beschrieben,
eine Kompaktierung des optischen Elements im Bereich der bestrahlten
gegenüberliegenden
Kantenbereiche. Diese Kompaktierung führt zu einer dauerhaften internen
Spannungsverteilung im optischen Element 101 mit im wesentlichen
horizontal verlaufenden Kraftlinien, was zur beschriebenen doppelbrechenden
Wirkung mit den Hauptachsen 103, 104 führt.
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Ein weiteres doppelbrechendes transmissives
optisches Element 201 zeigt 5.
Dieses ist ebenfalls als quadratische planparallele Platte aus amorphem
Quarz ausgeführt.
Im in 5 oberen und unteren
Kantenbereich weist das optische Element 201 zur oberen
bzw. unteren Kante parallele rechteckige Ausnehmungen 211, 212 auf.
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Die Bestrahlungsflächen 209, 210 sind
wie beim optischen Element 101 der 4 vertikal orientiert und sind zwischen
den gegenüberliegenden Endbereichen
der Ausnehmungen 211, 212 angeordnet.
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Die Bestrahlungsflächen 109, 110 und 209, 210 liegen
außerhalb
der Nutzapertur der optischen Elemente 101, 201.
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Bei der Herstellung des optischen
Elements 201 entsteht durch die Bestrahlung der Bestrahlungsflächen 209, 210 zwischen
diesen eine dauerhafte Spannungsverteilung, die derjenigen des optischen
Elements 101 (vgl. 4)
entspricht. Im äußeren Kantenbereich
des optischen Elements 201 oberhalb der Ausnehmung 211 bzw.
unterhalb der Ausnehmung 212 liegen beim optischen Element 201 unbeeinflußte, d.
h. spannungsfreie, Flächenbereiche vor,
die sich zu einer Halterung des optischen Elements 201 gut
eignen.
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Ggf. kann ein mehrstufiges Einwirken
auf ein optisches Roh-Element 1, 101, 201 zur
Erzeugung einer gewünschten
Verteilung der Spannungsdoppelbrechung erfolgen. Hierzu können auch
verschiedene der oben beschriebenen Herstel lungsverfahren sequentiell
oder parallel durchgeführt
werden.
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Auch andere Verteilungen der Bestrahlungsflächen sind
natürlich
möglich.
Durch Bestrahlung der vier Randbereiche eines rechteckigen Plättchens läßt sich
z. B. eine Quadrupolverteilung der lokalen Hauptachsen der Projektion
des Dielektrizitätstensors
erzielen.