DE10311552A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von anhaftenden Verunreinigungen - Google Patents

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Abstract

Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von anhaftenden flüssigen Verunreinigungen, wie zum Beispiel Kühl- und/oder Schmierstoffen, vorgeschlagen, welches die Vorteile einer Vibrationsreinigung mit denen einer Plasmareinigung verbindet, wobei der zusätzliche Aufwand gegenüber einer herkömmlichen Vibrationsreinigung verhältnismäßig gering ist.

Description

  • In Produktionsprozessen, insbesondere bei der spanenden Bearbeitung von Metallen werden Kühl- und Schmierstoffe eingesetzt, die das Werkstück benetzen. An den Werkstücken können zusätzlich auch noch Verschmutzungen in Form von Partikeln wie z. B. kleine Metallspäne, anhaften. Diese auf dem Werkstück anhaftenden Verunreinigungen sind in der Regel störend. Zum Beispiel ist es störend, wenn bei der weiteren Handhabung des Werkstücks von diesem abtropfender Kühl- oder Schmierstoff die Umgebung verschmutzt. Die Werkstücke müssen daher zwischen zwei Bearbeitungsschritten oder zum Abschluß der Bearbeitung gereinigt werden.
  • Um die Werkstücke in der Fertigungslinie behalten zu können, werden Verfahren zur Reinigung entwickelt, die wegen ihrer kompakten Bauweise im Fertigungstakt reinigen können und zwischen zwei Bearbeitungsschritten in die Fertigungslinie integriert werden können.
  • Aus der DE-OS 196 33 771 A1 ist ein Verfahren zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen Anhaftungen, z. B. Kühlschmierstoffen, sowie Partikeln bekannt. Hierbei wird das Werkstück in Schwingungen versetzt. Die dadurch entstehenden Trägheitskräfte führen zum Ablösen der flüssigen Anhaftungen von dem Werkstück. Gleichzeitig werden durch eine in ihrer Form an das Werkstück angepassten Düse die abgelösten nunmehr tropfenförmigen Anhaftungen von einem Luftstrom, der durch die Düse gesaugt wird, aufgenommen und entfernt. Dieses Verfahren wird im Folgenden "Vibrationsreinigung" genannt.
  • Durch die permanente Wiederholung dieses Vorganges verringert sich die Masse, bzw. die Schichtdicke der anhaftenden Flüssigkeit solange, bis ein Kräftegleichgewicht aus der Trägheitskraft und der Haftkraft, hervorgerufen durch die Adhäsion, erreicht ist. Hierdurch verbleibt bei diesem Verfahren immer eine Restmenge auf dem Bauteil, deren Masse z. B. durch die Viskosität des Kühl- oder Schmierstoffs bestimmt wird. Eine vollständige Reinigung des Werkstücks mittels einer Vibrationsreinigung ist nicht möglich.
  • In allen Fällen in denen eine weitgehende Reinigung, z. B. zum Schutz optischer Sensoren, oder gar eine vollständige Reinheit, z. B. wegen einer nachfolgenden Beschichtung des Werkstücks, notwendig ist, kann die Vibrationsreinigung nicht alleine eingesetzt werden.
  • Eine weitgehende oder vollständige Reinigung der Werkstücke von diesen Stoffen kann durch Reinigungsbäder mit chemischen Zusätzen erreicht werden. Wegen baulicher und betriebstechnischer Bedingungen können diese Anlagen nicht oder nur schwer in eine Fertigungslinie integriert werden. Sie werden daher üblicherweise im Batch beschickt. Dies bedeutet, dass eines oder mehrere Werkstücke aus der Fertigungslinie entnommen werden, in eine Reinigungsvorrichtung eingelegt, dort gereinigt und anschließend wieder in die Fertigungslinie zurückgebracht werden.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, die Vibrationsreinigung so weiterzuentwickeln, dass eine vollständige Reinigung des Werkstücks ist.
  • Die oben genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen gelöst, bei dem ein Werkstück in ein das Werkstück im Wesentlichen umschließendes Gehäuse eingebracht wird, eine Vibrationsreinigung durchgeführt wird und eine Plasmareinigung durchgeführt wird, wobei in plasmaförmigen Zustand befindliche Luft innerhalb des Gehäuses an dem Werkstück vorbeigeführt wird.
  • Vorteile der Erfindung
  • Die Erfindung nutzt die Tatsache aus, dass Kühl- und Schmierstoffe in der Regel auf Mineralölprodukten mit langkettigen C-H-Verbindungen basieren. Es ist bekannt, dass diese Kühl- und Schmierstoffe durch Oxydation beseitigt werden können. Es ist ferner bekannt, dass der hierzu notwendige Sauerstoff aus dem Gasgemisch der Luft bereitgestellt weden kann, sobald das Luftgasgemisch in einen plasmatischen Zustand versetzt wird.
  • Dieser Effekt wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ausgenutzt, um in einer Vorrichtung zeitgleich oder zeitlich versetzt eine Vibrationsreinigung durch eine Plasmareinigung zu ergänzen. Die Plasmareinigung kann die Nachteile der Vibrationsreinigung vollständig kompensieren, ohne dass das Werkstück aus der Fertigungslinie entnommen werden muß. Da durch die Vibrationsreinigung bereits der Großteil der an dem Werkstück haftenden Verunreinigungen schnell und effizient entfernt wird, ist der Energiebedarf für die Plasmareinigung sehr gering, so dass durch das erfindungemäße Verfahren ein wirkungsvolles und gleichzeitig wirtschaftliches Verfahren zur vollständigen Reinigung von Werkstücken zur Verfügung steht. Das erfindungsgemäße Verfahren kann in einer Vorrichtung zur Vibrationsreinigung durchgeführt werden, wenn eine oder mehrere Plasmaquellen installiert werden. D. h, selbst bestehende Anlagen zur Vibrationsreinigung können in vielen Fällen nachgerüstet werden.
  • Vorzugsweise wird dieses Plasma mit Druckluft als kaltes Plasma ausgeführt.
  • Weitere Erfindungsvarianten des erfindungsgemäßen Verfahrens sehen vor, dass die sich im plasmaförmigen Zustand befindliche Luft in ihrer Zusammensetzung geändert wird, um die Wirksamkeit der Plasmareinigung zu erhöhen. Dies kann durch die Zugabe von reinem Sauerstoff oder durch Sauerstoff in Form von Ozon (O3) geschehen.
  • Alternativ kann in weiteren Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens das Werkstück nach der Vibrationsreinigung mit einem flüssigen Reinigungsmedium gereinigt werden, während es sich in dem Gehäuse befindet. Dadurch wird eine effiziente Reinigung mit einem sehr geringen Einsatz an Reinigungsmedium erreicht.
  • Als besonders vorteilhaft hat sich der Einsatz von bei Raumtemperatur verflüssigtem Kohlendioxid erwiesen. Kohlendioxid ist bei Raumtemperatur nur flüssig, wenn es unter hohen Druck gesetzt wird. Es ist bei Raumtemperatur in einem überkritischen Aggregatzustand, weshalb es auch als überkritisches Kohlendioxid bezeichnet wird.
  • In weiterer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann das Reinigungsmedium in den Hohlraum des Gehäuses eingesprüht werden oder der Hohlraum mit dem Reinigungsmedium geflutet werden.
  • Alternativ kann das erfindungsgemäße Verfahren als kontinuierlicher Reinigungsprozess betrieben werden, indem Werkstücke kontinuierlich dem Gehäuse zugeführt werden und gleichzeitig Werkstücke aus dem Gehäuse entnommen werden. Es ist aber ebenso möglich, das erfindungsgemäße Verfahren im sogenannten batch-Betrieb durchzuführen, das heißt, dass ein oder mehrere Werkstücke in das Gehäuse eingebracht werden, das erfindungsgemäße Reinigungsverfahren durchgeführt wird und anschließend das Werkstück wieder entnommen wird. Welche der zuvor beschriebenen Varianten zum Einsatz kommen, hängt unter anderem von der zur Stückzahl der zu reinigenden Werkstücke der Art der Verschmutzungen sowie Größe und Geometrie der Werkstücke ab.
  • Die eingangs genannte Aufgabe wird auch durch eine Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen mit einem das Werkstück mindestens teilweise umschließenden Gehäuse, mit einem Schwingungserzeuger, welcher das Werkstück in Schwingung versetzt, mit einer Einrichtung zur Förderung von Luft aus einem von dem Gehäuse und dem Werkstück begrenzten Hohlraum dadurch gelöst, dass mindestens eine Plasmaquelle vorhanden ist und dass durch die mindestens eine Plasmaquelle das in dem Hohlraum vorhandene Gas in einen plasmaförmigen Aggregatzustand gebracht werden kann. Die Zahl der Plasmaquellen kann und muss in Abhängigkeit der Größe des Werkstücks sowie der gewünschten Reinigungsleistung festgelegt werden.
  • Die eingangs genannte Aufgabe wird auch durch eine Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen mit einem das Werkstück mindestens teilweise umschließenden Gehäuse, mit einem Schwingungserzeuger, welcher das Werkstück in Schwingung versetzt, mit einer Einrichtung zur Förderung von Luft aus einem von dem Gehäuse und dem Werkstück begrenzten Hohlraum dadurch gelöst, dass mindestens ein Kanal vorhanden ist, und dass durch den mindestens einen Kanal ein Reinigungsmedium in den Hohlraum geleitet werden kann.
  • Dabei werden die anhand dem Verfahren erläuterten Vorteile in gleicher Weise erreicht.
  • Die Einrichtung zur Förderung von Luft aus dem Hohlraum zwischen Gehäuse und Werkstück kann entweder als Absaugeinrichtung oder als Gebläse ausgeführt werden.
  • Des Weiteren ist bei einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Möglichkeit vorgesehen, der in den Hohlraum geförderten Luft Sauerstoff, insbesondere reinen Sauerstoff oder Ozon, zuzusetzen.
  • Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind der nachfolgenden Zeichnung, deren Beschreibung und den Patentansprüchen entnehmbar.
  • Zeichnung
  • Es zeigen:
  • 1 und 2: Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer Vorrichtugen.
  • In 1 ist ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken im Schnitt vereinfacht dargestellt.
  • Ein Werkstück 1, welches bei dem in der einzigen Figur dargestellten Ausführungsbeispiel eine ringförmige Geometrie hat, wird von einem zweiteiligen Gehäuse 3 mit den Gehäusehälften 3a und 3b umschlossen. In den Gehäusehälften 3a und 3b sind über den Umfang verteilt mehrere Luftkanäle 5a und 5b angeordnet. Durch die Luftkanäle 5a und 5b ist es möglich, einen ringförmigen Hohlraum 7, welcher von den Gehäusehälften 3a und 3b begrenzt wird und in den das Werkstück 1 eingelegt ist, mit Luft zu durchspülen. Die Luft, welche in der Figur durch die Pfeile 9 andeutungsweise in ihrer Bewegungsrichtung dargestellt ist, wird über ein nicht dargestelltes Gebläse oder über eine Absaugeinrichtung 10 dem Gehäuse 3 zugeführt. An der Gehäusehälfte 3a ist ein Diffusor 11 mit einem regelbaren ersten Ventil 13 aufgesetzt. Durch das erste Ventil 13 und dem Diffusor 11 gelangt die Luft in die Luftkanäle 5a und 5b und den Hohlraum 7.
  • An der in der Figur unteren an der Gehäusehälfte 3b ist ein Sammler 15 angeschlossen, mit dessen Hilfe die aus den Luftkanälen 5b strömende Luft abgeführt werden kann. Dies kann beispielsweise durch die Absaugeinrichtung 10 erfolgen. Am Eintritt der Luftkanäle 5b in den Sammler 15 sind zweite Ventile 17 vorgesehen, welche ebenfalls regelbar sind.
  • Durch das erste Ventil 13 und die zweiten Ventile 17 kann die Luftmenge mit welcher das Werkstück 1 im Hohlraum 7 umspült wird, bedarfsabhängig eingestellt werden oder geregelt werden. Ebenso ist es möglich, den Hohlraum 7 durch Schließen des ersten Ventils 13 und der zweiten Ventile 17 abzudichten.
  • Das Gehäuse 3 ist zweiteilig ausgebildet und besitzt zwei Gehäusehälften 3a und 3b, damit das ringförmige Werkstück 1 in den Hohlraum 7 eingelegt werden kann. Die Form des Gehäuses 3 hängt stark von der Form des zu reinigenden Werkstückes ab. In der Regel wird man bei der Formgebung des Gehäuses 3 darauf achten, dass der Hohlraum 7 zwischen Gehäuse 3 und Werkstück 1 nicht größer als notwendig ist und die Berührpunkte zwischen Werkstück 1 und Gehäuse 3 so wählen und ausbilden, dass durch die Berührung des Werkstücks 1 mit dem Gehäuse 3 keine Beschädigungen am Werkstück 1 entstehen können.
  • Ein in der Figur nicht dargestellter Schwingungserzeuger versetzt das Gehäuse 3 und mit ihm das Werkstück 1 in Schwingungen. Dieser Vorgang ist in der Figur durch einen Doppelpfeil 19 angedeutet. Die Art der Schwingungen sowie deren Amplitude, Frequenz und Richtung werden abhängig vom Werkstück 1 für jeden Anwendungsfall festgelegt. Durch die Schwingungen des Werkstücks 1 werden die an dem Werkstück anhaftenden Verunreinigungen abgelöst. Dies kann beispielsweise durch ohnehin vorhandene Kanten oder Vorsprünge (nicht dargestellt) am Werkstück 1 wirksam unterstützt werden, wenn die Schwingungen des Werkstücks 1 und des Gehäuses 3 so gerichtet sind, dass die anhaftenden Verunreinigungen auf der Oberfläche des Werkstücks 1 bis zu den genannten Kanten oder Vorsprüngen wandern und sich dort vom Werkstück 1 in Form kleiner Tröpfchen lösen. Diese Tröpfchen werden dann durch die Luft, welche das Werkstück 1 umspült, abtransportiert und durch den Sammler 15 aus der Vorrichtung abgeführt.
  • Im Anschluß an die Vibrationsreinigung wird erfindungsgemäß noch eine Plasmareinigung des Werkstücks 1 vorgenommen. Dazu sind über den Umfang des Gehäuses 3 eine oder mehrere Plasmaquellen 21 vorhanden. Diese Plasmaquellen 21 können je nach Bedarf ein- oder ausgeschaltet werden und erzeugen bevorzugt ein kaltes Plasma, welches über Kanäle 23a und 23b in den Hohlraum 7 eingeleitet wird. Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist jeder Plasmaquelle 21 ein Kanal 23a und 23b zugeordnet. Die Kanäle 23a und 23b können durch dritte Ventile 25 geschlossen werden.
  • Durch das Einleiten von Plasma in den Hohlraum 7 findet zeitgleich mit der Vibrationsreinigung oder im Anschluss an die Vibrationsreinigung auch eine Plasmareinigung des Werkstücks 1 statt. Um die Wirksamkeit der Plasmareinigung weiter zu steigern, kann es vorgesehen sein, den Sauerstoffgehalt der im plasmaförmigen Zustand befindlichen Luft durch die Zugabe von reinem Sauerstoff oder von Ozon zu erhöhen.
  • Dabei wird der Effekt ausgenutzt, dass die am Werkstück 1 anhaftenden Kühl- und Schmierstoffe in der Regel aus langkettigen Kohlenstoff-Wasserstoff-Verbindungen bestehen. Diese Verbindungen können durch Oxidation beseitigt werden. Den dazu notwendigen Sauerstoff kann durch in plasmatischem Zustand versetzte Luft bereitgestellt werden.
  • Durch die Zugabe von Sauerstoff und/oder Ozon kann die Wirksamkeit der Plasmareinigung weiter erhöht werden. Die dazu notwendigen Ventile, Fördereinrichtungen und Zuleitungen sowie Vorratstanks für Sauerstoff und Ozon und eines oder mehrerer überkritischer Medien sind in der 1 nicht dargestellt.
  • In 2 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Reinigen von Werkstücken schematisch dargestellt. Diese Vorrichtung entspricht in vielen Punkten der in l dargestellten Vorrichtung, so dass auf die zugehörige Beschreibung Bezug genommen wird und nachfolgend nur die Unterschiede erläutert werden.
  • Anstelle einer Plasmaquelle (siehe Bezugszeichen 21 in 1) sind bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 2 Vorratstanks 27 für ein Reinigungsmedium vorgesehen. Als Reinigungsmedium kann beispielsweise überkritisches Kohlendioxid eingesetzt werden. Überkritisches Kohlendioxid ist bei Raumtemperatur flüssig, wenn der Druck unter dem das Kohlendioxid steht, ausreichend groß ist.
  • Wenn die Vibrationsreinigung abgeschlossen ist, werden das erste Ventil 13 und die zweiten Ventile 17 geschlossen. Die dritten Ventile 25 werden dann geöffnet, so dass das Reinigungsmedium aus den Vorratstanks 27 in den Hohlraum 7 einströmen kann. Wegen des geringen Volumens des Hohlraums 7 ist nur eine sehr geringe Menge an Reinigungsmedium erforderlich, um das Werkstück 1 vollständig zu benetzen und zu reinigen.
  • Anschließend werden die dritten Ventile 25 und ein viertes Ventil 29 geschlossen sowie ein fünftes Ventil 31 geöffnet. Durch das fünfte Ventil 31 kann das mit Verunreinigungen beladene Reinigungsmedium aus der erfindungsgemäßen Vorrichtung abgeführt und bei Bedarf einer Nachbehandlung 33 zugeführt werden.
  • Wenn als Reinigungsmedium überkritisches Kohlendioxid eingesetzt wird, verdampft das Kohlendioxid sobald sein Druck auf Umgebungsdruck abgesenkt wird. Nach dem Verdampfen des Kohlendioxids bleiben lediglich die Verunreinigungen in der Nachbehandlung zurück.
  • Wenn ein anderes Reinigungsmedium eingesetzt wird, können das Reinigungsmedium und die Verunreinigungen in der Nachbehandlung voneinander in herkömmlicher Weise getrennt oder aufbereitet werden.
  • Sämtliche Komponenten der in den 1 und 2 dargestellten erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken werden über ein nicht dargestelltes Steuergerät angesteuert beziehungsweise geregelt, so dass eine vollautomatische Reinigung des Werkstücks 1 inklusive der Zuführung des Werkstücks 1 in den Hohlraum 7 sowie der Entnahme des Werkstücks 1 aus dem Hohlraum 7 erfolgen kann. Infolgedessen wird in aller Regel auch das Öffnen und Schließen des Gehäuses 3 automatisch von nicht dargestellten Antrieben übernommen.
  • Den erfindungsgemäßen Vorrichtungen gemeinsam ist der Vorteil, dass das Gehäuse 3, 3a, 3b das Werkstück 1 sehr eng umfasst, so dass das Volumen des Hohlraums 7 sehr klein ist. In Folge dessen ist eine sehr intensive Reinigung des Werkstücks 1 bei gleichzeitig geringem Energiebedarf und einem geringen Bedarf an Reinigungsmedium möglich. Dadurch erhöht sich die Wirtschaftlichkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens stark.
  • Alle in der Zeichnung, deren Beschreibung und in den Patentansprüchen genannten Merkmale können sowohl einzeln als auch in Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.

Claims (21)

  1. Verfahren zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: – Einbringen eines Werkstücks (1) in ein das Werkstück (1) im wesentlichen umschließendes Gehäuse (3), – Durchführen einer Vibrationsreinigung, wobei die Luft im Gehäuse (3, 3a, 3b) während der Vibrationsreinigung ausgetauscht wird, – Durchführen einer Plasmareinigung, wobei in plasmaförmigen Zustand befindliche Luft innerhalb des Gehäuses (3, 3a, 3b) an dem Werkstück (1) vorbeigeführt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma mit Druckluft als kaltes Plasma ausgeführt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Sauerstoffgehalt der in plasmaförmigen Zustand befindlichen Luft erhöht wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Sauerstoffgehalt der in plasmaförmigen Zustand befindlichen Luft durch Zugabe von reinem Sauerstoff erhöht wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Sauerstoffgehalt der in plasmaförmigen Zustand befindlichen Luft durch Zugabe von Ozon (O3) erhöht wird.
  6. Verfahren zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: – Einbringen eines Werkstücks (1) in ein das Werkstück (1) im wesentlichen umschließendes Gehäuse (), – Durchführen einer Vibrationsreinigung, wobei die Luft im Gehäuse (3, 3a, 3b) während der Vibrationsreinigung ausgetauscht wird, – Reinigen des in dem Gehäuse (3, 3a, 3b) befindlichen Werkstücks (1) mit einem Reinigungsmedium.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Reinigungsmedium bei Raumtemperatur verflüssigtes Kohlendioxid (CO2) eingesetzt wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück (1) mit dem Reinigungsmedium besprüht wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (3, 3a, 3b) mit dem Reinigungsmedium geflutet wird.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Gehäuse (3, 3a, 3b) kontinuierlich Werkstücke (1) zugeführt und entnommen werden.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Gehäuse (3, 3a, 3b) eine oder mehrere Werkstücke (1) zugeführt werden, das Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche durchgeführt wird, und anschließend das oder die Werkstücke (1) entnommen werden.
  12. Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen mit einem das Werkstück (1) mindestens teilweise umschließenden Gehäuse (3, 3a, 3b), mit einem Schwingungserzeuger, welcher das Werkstück (1) in Schwingung versetzt, mit einer Einrichtung (5a, 5b, 11, 15) zur Förderung von Luft aus einem von dem Gehäuse (3, 3a, 3b) und dem Werkstück (1) begrenzten Hohlraum (7), dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Plasmaquelle (21) vorhanden ist, und dass durch die mindestens eine Plasmaquelle (21) das in dem Hohlraum (7) vorhandene Gas in einen plasmaförmigen Aggregatzustand bringbar ist.
  13. Vorrichtung zur Reinigung von Werkstücken von flüssigen und/oder festen Verunreinigungen mit einem das Werkstück (1) mindestens teilweise umschließenden Gehäuse (3, 3a, 3b), mit einem Schwingungserzeuger, welcher das Werkstück (1) in Schwingung versetzt, mit einer Einrichtung (5a, 5b, 11, 15) zur Förderung von Luft aus einem von dem Gehäuse (3, 3a, 3b) und dem Werkstück (1) begrenzten Hohlraum (7), dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Kanal (23) vorhanden ist, und dass durch den mindestens einen Kanal (23) ein Reinigungsmedium in den Hohlraum (7) geleitet werden kann.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass als Reinigungsmedium bei Raumtemperatur verflüssigtes Kohlendioxid (CO2) eingesetzt wird.
  15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Reinigungsmedium in den Hohlraum (7) eingesprüht wird.
  16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlraum (7) mit dem Reinigungsmedium geflutet wird.
  17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zur Förderung von Luft aus einem von dem Gehäuse (3, 3a, 3b) und dem Werkstück (1) begrenzten Hohlraum (7) eine Absaugeinrichtung (10) oder ein Gebläse umfasst.
  18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der in den Hohlraum (7) geförderten Luft Sauerstoff zugesetzt wird.
  19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der in den Hohlraum (7) geförderten Luft Ozon (O3) zugesetzt wird.
  20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung im batch-Betrieb oder kontinuierlich betrieben wird.
  21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (3, 3a, 3b) in geschlossenem Zustand das Werkstück (1) vollständig umschließt.
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