DE102021134002B3

DE102021134002B3 - Vorrichtung und Verfahren zur Drucksinterverbindung

Info

Publication number: DE102021134002B3
Application number: DE102021134002.0A
Authority: DE
Inventors: Dominic Birkicht; Thomas Franz; Juri Heinrich; Silke Kraft; Erik Michaelsen
Original assignee: Semikron Elektronik GmbH and Co KG
Current assignee: Semikron Elektronik GmbH and Co KG
Priority date: 2021-12-21
Filing date: 2021-12-21
Publication date: 2022-12-15
Anticipated expiration: 2041-12-22

Abstract

Vorgestellt wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche oder auf dem ersten Verbindungspartner auffliegt oder hierauf absenkbar ist, mit einem Sinterkissen das aus der Normalenrichtung auf den zweiten Verbindungspartner absenkbar ist und dabei einen Druck ausübt, der eine Sinterpaste in ein Sintermetall überführt, wobei eine Einblasöffnung derart angeordnet ist, dass ein Gas in einen Zwischenbereich zwischen dem Rahmenelement und dem Sinterkissen aktiv oder passiv einströmen kann.

Description

Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche oder auf dem ersten Verbindungspartner absenkbar ist, mit einem Sinterkissen, das aus der Normalenrichtung auf den zweiten Verbindungspartner absenkbar ist und dabei einen Druck ausübt, der eine Sinterpaste in ein Sintermetall überführt.
Die DE 10 2015 120 156 A1 offenbart eine gattungsgemäße Vorrichtung mit einem ein elastisches Kissenelement aufweisenden Pressstempel zur materialschlüssigen Drucksinterverbindung, eines ersten mit einem zweiten Verbindungspartner eines Leistungselektronik-Bauteils, wobei das elastische Kissenelement des Pressstempels von einem formstabilen Rahmen umgeben ist, innerhalb welchem das Kissenelement und ein Führungsteil des Pressstempels derart linear beweglich geführt werden, dass sich der formstabile Rahmen auf den ersten Verbindungspartner oder einen Werkstückträger mit darin angeordnetem ersten Verbindungspartner, absenkt und nach Anliegen an diesem der Pressstempel samt elastischem Kissenelement auf den zweiten Verbindungspartner abgesenkt wird und auf das elastische Kissen ein notwendiger Druck ausgeübt wird, um den ersten mit dem zweiten Verbindungspartner zu verbinden. Fachüblich wird nach dem Sintervorgang das Kissenelement abgehoben, wobei sich ein Unterdruck zwischen dem Kissenelement und den Verbindungspartnern oder einer dort angeordneten Trennfolie ausbildet.
Die DE 10 2019 128 667 B3 offenbart eine Sinterpresse zur Herstellung einer Sinterverbindung zwischen einem ersten Verbindungspartner und einem über diesem angeordneten zweiten Verbindungspartner, mit einer Ansaugfixiereinrichtung zur Fixierung des ersten Verbindungspartners, mit einem über der Ansaugfixiereinrichtung angeordnetem Druckstück, wobei die Sinterpresse dazu ausgebildet ist, zur Herstellung der Sinterverbindung, wenn der erste und zweite Verbindungspartner zwischen dem Druckstück und der Ansaugfixiereinrichtung angeordnet sind, das Druckstück und die Ansaugfixiereinrichtung relativ aufeinander zu zubewegen und hierdurch den ersten und zweiten Verbindungspartner aufeinander zu zudrücken, wobei die Ansaugfixiereinrichtung an ihrer dem Druckstück zugewandten Seite erste Ansaugöffnungen aufweist, wobei die Ansaugfixiereinrichtung dazu ausgebildet ist, wenn der erste Verbindungspartner über den ersten Ansaugöffnungen angeordnet ist, den ersten Verbindungspartner, mittels Erzeugung eines Unterdrucks an den ersten Ansaugöffnungen, anzusaugen und diesen hierdurch im Bezug zur Ansaugfixiereinrichtung zu fixieren. Weiterhin wird ein Drucksinterverfahren zur Herstellung einer Sinterverbindung mittels der Sinterpresse offenbart.
Die DE 10 2020 116 084 B3 offenbart eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche absenkbar ist, und mit einer Hilfsvorrichtung zur Anordnung einer Trennfolie zur Überdeckung der Rahmenfläche und der Verbindungspartner, soweit direkt zugänglich, wobei sich durch diese Anordnung ein Innenbereich ergibt, der durch einen Trennfolienabschnitt, der innerhalb des Rahmenelements liegt, und durch die Auflagefläche begrenzt ist, wobei eine Einblasöffnung derart angeordnet ist, dass ein Gas in diesen Innenraum eingeblasen werden kann.
In Kenntnis des Standes der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde eine Vorrichtung anzugeben, wobei der Unterdruck zwischen dem Kissenelement und den Verbindungspartnern oder zwischen dem Kissenelement und einer die Verbindungspartner bedeckenden Trennfolie ausgeglichen wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche oder auf dem ersten Verbindungspartner auffliegt oder hierauf absenkbar ist, mit einem Sinterkissen das aus der Normalenrichtung auf den zweiten Verbindungspartner absenkbar ist und dabei einen Druck ausübt, der eine Sinterpaste in ein Sintermetall überführt, wobei eine Einblasöffnung derart angeordnet ist, dass ein Gas in einen Zwischenbereich zwischen dem Rahmenelement und dem Sinterkissen aktiv oder passiv einströmen kann, wobei eine Hilfsvorrichtung angeordnet ist zur Anordnung einer Trennfolie zur Überdeckung der Rahmenfläche und der Verbindungspartner, wobei sich durch diese Anordnung ein Innenbereich ergibt, der durch einen Trennfolienabschnitt, der innerhalb des Rahmenelements liegt und durch die Auflagefläche begrenzt ist.
Unter der Formulierung, dass das Sinterkissen auf den zweiten Verbindungspartner absenkbar ist, soll auch verstanden werden, dass das die Bewegung gegenläufig erfolgen kann.
Auch kann es bevorzugt sein, wenn die Einblasöffnung derart angeordnet ist, dass das Gas außerhalb dieses Innenbereichs einströmen kann.
Es kann in einer Ausprägung bevorzugt sein, wenn die Einblasöffnung im Innenbereich angeordnet ist, die Trennfolie zumindest in einem Abschnitt gasdurchlässig ausgebildet ist, insbesondere perforiert ausgebildet ist und somit das Gas in den Zwischenbereich einströmen kann.
Auch kann es vorteilhaft sein, wenn die Einblasöffnung mechanisch mittels eines Ventils verschließbar ist. Weiterhin kann es vorteilhaft sein, wenn das Ventil mittels des Drucks des einströmenden Gases oder mittels einer vorzugsweise elektro-mechanischen Öffnungseinrichtung geöffnet werden kann. Es kann bevorzugt sein, dass das Ventil die Einblasöffnung derartig verschließt, dass der Ventilfuß mit dem benachbarten Bereich des Rahmenelements bündig abschließt.
Es kann bevorzugt sein, dass das Sinterkissen aus Silikon ausgebildet ist.
Die o.g. Aufgabe wird weiterhin erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners mittels einer o.g. Vorrichtung und folgenden Verfahrensschritten:

a) Anordnen des zweiten auf dem ersten Verbindungspartner mit einer Schicht einer Sinterpaste zwischen beiden;
b) Anordnen des ersten Verbindungspartners auf der Auflagefläche;
c) Anordnen oder Absenken des Rahmenelementsauf die die Rahmenfläche oder den ersten Verbindungspartner;
d) Ausbilden der Drucksinterverbindung, wobei ein Sinterkissen aus der Normalenrichtung auf den zweiten Verbindungspartner drückt und dabei die Sinterpaste in ein Sintermetall überführt wird;
e) Beenden der Druckbeaufschlagung auf das Sinterkissen
f) Aktives oder passives Einströmen eines Gases in den Zwischenbereich zwischen dem Rahmenelement und dem Sinterkissen;
g) Anheben des Sinterkissens.

Es kann hierbei vorteilhaft sein, wenn im Verfahrensschritt e) erst ein Sinterstempelrahmen auf einen Rahmenabschnitt des ersten Verbindungspartners abgesenkt wird, anschließend der Sinterstempel abgesenkt wird und nach Ausbildung der Sinterverbindung der Sinterstempel und der Sinterstempelrahmen in Normalenrichtung angehoben werden.
Es kann auch bevorzugt sein, wenn vor dem Verfahrensschritt f) ein die Einblasöffnung verschließendes Ventil aktiv geöffnet wird.
Selbstverständlich können, sofern dies nicht explizit oder per se ausgeschlossen ist oder dem Gedanken der Erfindung widerspricht, die jeweils im Singular genannten Merkmale, insbesondere die Einblasöffnung und der zweite Verbindungspartner, jeweils mehrfach in der erfindungsgemäßen Vorrichtung angeordnet werden.
Es versteht sich, dass die verschiedenen Ausgestaltungen der Erfindung, gleichgültig ob sie im Rahmen der Beschreibung der Vorrichtung oder des Verfahrens offenbart sind, einzeln oder in beliebigen Kombinationen realisiert sein können, um Verbesserungen zu erreichen. Insbesondere sind die vorstehend und im Folgenden genannten und erläuterten Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Weitere Erläuterungen der Erfindung, vorteilhafte Einzelheiten und Merkmale, ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in den 1 bis 5 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele der Erfindung oder von jeweiligen Teilen hiervon.

1 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
2 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer Ausgestaltung des Ventils bei verschiedenen Verfahrensschritten.
3 und 4 zeigen eine seitliche Schnittansicht einer zweiten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei verschiedenen Verfahrensschritten des erfindungsgemäßen Verfahrens.
5 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer dritten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

1 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1. Dargestellt ist ein Widerlager 80 einer Sinterpresse, das auch als Unterwerkzeug bezeichnet wird. Auf einem Werkstückträger oder wie hier dargestellten auf einer dem Oberwerkzeug der Sinterpresse zugewandten Auflagefläche 50 des Widerlagers 80, liegt ein erster Verbindungspartner 2, hier ohne Beschränkung der Allgemeinheit, ein leistungselektronisches Substrat mit einem keramischen Isolationskörper 22 und mit Kupferschichten 20,24 auf dessen Oberflächen, wobei die dem Unterwerkzeug abgewandte Kupferschicht eine Mehrzahl von Leiterbahnen ausbildet, auf.
Das Widerlager 80 weist hier Ansaugkanäle 52 auf, die dafür ausgestaltet und vorgesehen sind das Substrat mittels Unterdruck während eines Sintervorgangs auf der Auflagefläche 50 des Widerlagers 80 zu fixieren.
Weiterhin dargestellt ist ein zweiter Verbindungspartner 3, hier ein Leistungshalbleiterbauelement, das auf einer dem Widerlager 80 abgewandten Oberfläche des ersten Verbindungspartners 2 angeordnet ist. Zwischen den beiden Verbindungspartnern 2,3 ist fachüblich eine Sinterpaste 23 angeordnet, die während des Sintervorgangs in ein Sintermetall überführt wird und somit eine stoffschlüssige und elektrisch leitende Verbindung zwischen den beiden Verbindungspartnern 2,3 ausbildet.
Weiterhin dargestellt ist als Teil des Oberwerkzeugs der Sinterpresse ein Sinterkissen 12, hier ausgebildet als ein Sinterkissen 12 aus Silikon mit einer Shore-A Härte von 56, und durch metallische Zusätze derart stabilisiert, dass es bei Temperaturen von 210°C und einem Druck von 35 MPa eingesetzt werden kann.
Zum Schutz des Sinterkissens 12 bzw. der Verbindungspartner 2,3 ist fachüblich eine Trennfolie 4, hier eine PTFE Folie mit einer Dicke von ca. 50 µm angeordnet. Diese Trennfolie 4 wird mittels einer Hilfsvorrichtung über den beiden Verbindungspartnern 2,3 und über einer die Auflagefläche 50 und den ersten Verbindungspartner 2 mittelbar umgebenden Rahmenfläche 56 angeordnet. Vorzugsweise reicht diese Trennfolie 4 noch über diese Rahmenfläche 56 hinaus.
Als weiterer Teil des Oberwerkzeugs ist hier ein Rahmenelement 6 dargestellt, das in Normalenrichtung N der Auflagefläche 50 beweglich ist. Dieses Rahmenelement 6 wird vor dem eigentlichen Sintervorgang, also bevor das Sinterkissen 12 auf den zweiten Verbindungspartner 3 Druck ausübt, auf die Rahmenfläche 56, genau auf den Abschnitt der Trennfolie 4, der oberhalb der Rahmenfläche 56 angeordnet ist, abgesenkt. Hierdurch wird die Trennfolie 4 in ihrer Position fixiert. Anschließend wird der fachübliche Drucksintervorgang ausgeführt.
Hierbei legt sich das Sinterkissen 12 bündig an die Trennfolie 4 und das Rahmenelement 6 an, wobei es auch zu einem ungewünschten Anhaften des Sinterkissens an der Trennfolie kommt. Während des Sintervorgangs ändern sich die physikalischen Eigenschaften des Sinterkissens 12. Insbesondere nimmt das Silikon des Sinterkissen 12 durch den hohen anliegenden Druck vorübergehend einen quasi zähflüssigen Materialzustand an. Nach der Druckbeaufschlagung kehrt das Sinterkissen 12 in seinen für derartige Silikonkissen bekannten Ausgangszustand zurück.
In der Vorrichtung ergibt sich während der Ausführung des Verfahrens ein Zwischenbereich 300. Dieser Zwischenbereich 300 ist hier begrenzt und damit definiert durch das Sinterkissen 12, die Trennfolie 4 und das Rahmenelement 6. Der Zwischenbereich 300 ist räumlich ausgebildet, solange das Sinterkissen 12 nicht an der Trennfolie 4 anliegt. Durch die Druckbeaufschlagung wird der Zwischenbereich 300 durch das dann zähflüssige Sinterkissen 12 vorübergehend zumindest annähernd vollständig ausgefüllt, vgl. 4.
Weiterhin weist das Rahmenelement 6 einen Einblaskanal 70 mit einer Einblasöffnung 7 mit einem Ventil 700, vgl. 2, auf. Diese Einblasöffnung ist hier bündig an der Außenfläche des Rahmenelements 6 und zu dem Zwischenbereich 300 angeordnet, sodass hierüber ein Gas, im einfachsten Fall Luft, aktiv oder passiv in den Zwischenbereich 300 zwischen Rahmenelement und dem Sinterkissen 12 einströmen kann.
Nach der Druckbeaufschlagung und vor dem Anheben des Sinterkissens liegt die Trennfolie 4 auf der Rahmenfläche 56 und an den Verbindungspartnern 2,3 bündig an. Beim Anheben des Sinterkissen 12 entsteht der Unterdruck im Zwischenbereich 300. Durch diesen Unterdruck und die Adhäsion zwischen der Trennfolie 4 und dem Sinterkissen 12 können die Verbindungspartner 2,3 vom Widerlager 80 abgehoben werden.
Damit die Verbindungspartner 2,3 in ihrer Position verbleiben und nicht vom Sinterkissen 12 angehoben werden, wird das Sinterkissen 12 erst nach dem aktiven oder passiven Einströmen von Luft von der Trennfolie 4 angehoben.
1 zeigt die Vorrichtung 1 nach dem Sintervorgang und auch nach dem Einblasen mit bereits wieder in Normalenrichtung N angehobenen Sinterkissen 12.
2 zeigt eine seitliche Schnittansicht des Rahmenelements 6 mit einer Ausgestaltung einer Einblasöffnung 7 mit einem Ventil 700 bei verschiedenen Verfahrensschritten. Dargestellt sind jeweils vergrößerte Ausschnitte des Rahmenelements 6 mit dem Einblaskanal 70 und der Einblasöffnung 7.
Die obere Abbildung zeigt hierbei den durch das Ventil 700 verschlossen Einblaskanal 70. Das Ventil 700 ist dabei so im Einblaskanal 70 angeordnet, dass es den Einblaskanal 70 zum Zwischenbereich 300 hin bei nicht Verwendung luftdicht abdichtet. Die Bewegung des Sinterkissens wird durch das bündige Abschließen der Außenkante des Rahmenelements 6 und der Außenkante des Ventils 700 in seiner Bewegung nicht eingeschränkt oder behindert.
Die untere Abbildung zeigt das geöffnete Ventil 700 und den damit geöffneten Einblaskanal 70. Das Ventil 700 wurde geöffnet, in dem es in Richtung des Zwischenbereichs 300 bewegt wurde. Dieses Ventil 700 steht im geöffneten Zustand zumindest soweit aus dem Einblaskanal 70 in Richtung des Zwischenbereichs 300 heraus, dass Luft in den Zwischenbereich 300 einströmen kann. Das Öffnen aber auch das Schließen des Ventils kann hierbei vorzugsweise elektro-mechanisch aber auch beispielsweise pneumatisch oder mechanisch erfolgen.
Durch das Öffnen des Ventils 700 strömt aktiv oder passiv Luft in den Zwischenbereich 300. Als aktiv wird beispielsweise das Einblasen von Druckluft verstanden, wohingegen das durch den Unterdruck induzierte Einströmen von Luft als passiv verstanden wird.
3 und 4 zeigen eine seitliche Schnittansicht einer zweiten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 bei verschiedenen Verfahrensschritten des erfindungsgemäßen Verfahrens. Diese Ausgestaltung unterscheidet sich von der ersten dahingehen, dass das Rahmenelement 6 auf den ersten Verbindungpartner 2 abgesenkt wird. Auch hier wird dadurch die Trennfolie 4 in ihrer Position fixiert.
3 zeigt die Vorrichtung 1 vor dem Drucksintervorgang. Das Sinterkissen 12 und das Rahmenelement 6 mit dem Einblaskanal 70 sind in Normalenrichtung N angehoben. Das nicht explizit dargestellte Ventil 700, vgl. 2, befindet sich im geschlossenen Zustand, sodass keine Luft durch den Einblasbereich 7 in den Zwischenbereich 300 einströmen kann.
In 4 ist die Vorrichtung 1 nach dem Drucksintervorgang, also nach der Druckbeaufschlagung und vor dem Anheben des Sinterkissens dargestellt. Das Sinterkissen 12 liegt somit noch auf der Trennfolie 4 auf. Das Ventil 700 wird nun aktiv geöffnet. Somit strömt nun Luft durch den Einblaskanal 70 durch die Einblasöffnung 7 in den Zwischenbereich 300 ein. Dadurch wird das weitere Anhaften des Sinterkissens 12 an der Trennfolie 4 verhindert, sodass beim Anheben des Sinterkissens 12 die Trennfolie 4 sowie die Verbindungspartner 2, 3 auf dem Widerlager 80 in ihrer Position verbleiben.
5 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer dritten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1. Diese Ausgestaltung unterscheidet sich von der ersten und zweiten dahingehend, dass der Einblaskanal 70 im Widerlager 80 und die Einblasöffnung 7 in dessen Rahmenfläche 56 angeordnet ist. Um dennoch bei abgesenktem Rahmenelement 6 ein Einblasen von Luft in den Zwischenbereich 300 zu ermöglichen, weist die Trennfolie 4 zumindest in einem Abschnitt gasdurchlässige Aussparungen auf. Hier sind die genannten Aussparungen als Perforation 90 ausgebildet.
Weiterhin liegen das Rahmenelement 6 und das nicht dargestellte Sinterkissen 12 an der Trennfolie 4 an. Nach dem Sintervorgang wird das Ventil 700, vgl. 2, geöffnet. Über den Einblaskanal 70 kann nun Luft durch die Einblasöffnung 7 in einen Innenbereich 400 strömen, besser aktiv eingeblasen werden. Dieser Innenbereich 400 ist hier begrenzt und definiert durch die Auflagefläche 50, die Trennfolie 4 und das Rahmenelement 6. Von diesem Innenraum 400 gelangt die Luft in den Zwischenbereich 300 durch die Aussparungen 90. Dort wirkt die eingeblasene Luft nun wie oben beschrieben.
Bezugszeichenliste

1: Vorrichtung
12: Sinterkissen
2: erster Verbindungspartner
20, 24: Kupferschichten von 2
22: keramischer Isolationskörper von 2
23: Sinterpaste
3: zweiter Verbindungspartner
300: Zwischenbereich
4: Trennfolie
400: Innenbereich
50: Auflagefläche
52: Ansaugkanäle
54: Zwischenfläche
56: Rahmenfläche
6: Rahmenelement
7: Einblasöffnung
70: Einblaskanal
700: Ventil
80: Widerlager
90: perforierter Abschnitt

Claims

Vorrichtung (1) zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners (2,3), mit einer Auflagefläche (50) zur Anordnung des ersten Verbindungspartners (2), mit einem Rahmenelement (6), das aus der Normalenrichtung (N) der Auflagefläche (50) auf eine die Auflagefläche (50) umgebende Rahmenfläche (56) oder auf dem ersten Verbindungspartner (2) aufliegt oder hierauf absenkbar ist, mit einem Sinterkissen (12), das aus der Normalenrichtung (N) auf den zweiten Verbindungspartner (3) absenkbar ist und dabei einen Druck ausübt, der eine Sinterpaste (23) in ein Sintermetall überführt, wobei eine Einblasöffnung (7) derart angeordnet ist, dass ein Gas in einen Zwischenbereich (300) zwischen dem Rahmenelement (6) und dem Sinterkissen (12) aktiv oder passiv einströmen kann, wobei eine Hilfsvorrichtung angeordnet ist zur Anordnung einer Trennfolie (4) zur Überdeckung der Rahmenfläche (56) und der Verbindungspartner (2,3), wobei sich durch diese Anordnung ein Innenbereich (400) ergibt, der durch einen Trennfolienabschnitt, der innerhalb des Rahmenelements (6) liegt und durch die Auflagefläche (50) begrenzt ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Einblasöffnung (7) derart angeordnet ist, dass das Gas außerhalb dieses Innenbereichs (400) einströmen kann.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Einblasöffnung (7) im Innenbereich angeordnet ist, die Trennfolie zumindest in einem Abschnitt gasdurchlässig, insbesondere perforiert, ausgebildet ist und somit das Gas in den Zwischenbereich (300) einströmen kann.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Einblasöffnung (7) mechanisch mittels eines Ventils (700) verschließbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei das Ventil (700) mittels des Drucks des einströmenden Gases oder mittels einer, vorzugsweise elektro-mechanischen Öffnungseinrichtung geöffnet werden kann.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, wobei das Ventil (700) die Einblasöffnung (7) derartig verschließt, dass ein Ventilfuß mit einem benachbarten Bereich des Rahmenelements (6) bündig abschließt.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Sinterkissen (12) aus Silikon ausgebildet ist.
Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners (2,3) mittels einer Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche und folgenden Verfahrensschritten: a) Anordnen des zweiten auf dem ersten Verbindungspartner (2,3) mit einer Schicht einer Sinterpaste (23) zwischen beiden; b) Anordnen des ersten Verbindungspartners (2) auf der Auflagefläche (50); c) Anordnen oder Absenken des Rahmenelements (6) auf die Rahmenfläche (56) oder den ersten Verbindungspartner; d) Ausbilden der Drucksinterverbindung, wobei ein Sinterkissen (12) aus der Normalenrichtung (N) auf den zweiten Verbindungspartner (3) drückt und dabei die Sinterpaste (23) in ein Sintermetall überführt wird e) Beenden der Druckbeaufschlagung auf das Sinterkissen (12); f) Aktives oder passives Einströmen eines Gases in den Zwischenbereich (300) zwischen dem Rahmenelement (6) und dem Sinterkissen (12); g) Anheben des Sinterkissens (12).
Verfahren nach Anspruch 8, wobei vor dem Verfahrensschritt f) ein die Einblasöffnung (7) verschließendes Ventil (700) aktiv geöffnet wird.