DE102020116084B3

DE102020116084B3 - Vorrichtung und Verfahren zur Drucksinterverbindung

Info

Publication number: DE102020116084B3
Application number: DE102020116084.4A
Authority: DE
Inventors: Jörg Ammon; Harald Kobolla; Thomas Franz
Original assignee: Semikron Elektronik GmbH and Co KG
Current assignee: Semikron Elektronik GmbH and Co KG
Priority date: 2020-06-18
Filing date: 2020-06-18
Publication date: 2021-07-29
Anticipated expiration: 2040-06-19

Abstract

Vorgestellt wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche absenkbar ist, und mit einer Hilfsvorrichtung zur Anordnung einer Trennfolie zur Überdeckung der Rahmenfläche und der Verbindungspartner, soweit direkt zugänglich, wobei sich durch diese Anordnung ein Innenbereich ergibt, der durch einen Trennfolienabschnitt, der innerhalb des Rahmenelements liegt, und durch die Auflagefläche begrenzt ist, wobei eine Einblasöffnung derart angeordnet ist, dass ein Gas in diesen Innenraum eingeblasen werden kann.

Description

Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche absenkbar ist, und mit einer Hilfsvorrichtung zur Anordnung einer Trennfolie zur Überdeckung der Rahmenfläche und der Verbindungspartner.
Die DE 10 2015 120 156 A1 offenbart eine gattungsgemäße Vorrichtung mit einem ein elastisches Kissenelement aufweisenden Pressstempel zur materialschlüssigen Drucksinterverbindung, eines ersten mit einem zweiten Verbindungspartner eines Leistungselektronik-Bauteils, wobei das elastische Kissenelement des Pressstempels von einem formstabilen Rahmen umgeben ist, innerhalb welchem das Kissenelement und ein Führungsteil des Pressstempels derart linear beweglich geführt werden, dass sich der formstabile Rahmen auf den ersten Verbindungspartner oder einen Werkstückträger mit darin angeordnetem ersten Verbindungspartner, absenkt und nach Anliegen an diesem der Pressstempel samt elastischem Kissenelement auf den zweiten Verbindungspartner abgesenkt wird und auf das elastische Kissen ein notwendiger Druck ausgeübt wird, um den ersten mit dem zweiten Verbindungspartner zu verbinden. Fachüblich wird hierbei während des Sintervorgangs eine Trennfolie zwischen dem Kissenelement, allgemeiner dem Sinterstempel, und mindestens dem zweiten Verbindungspartner angeordnet. Häufig haftet im Anschluss an den Sintervorgang diese Trennfolie an dem zweiten, meist an beiden Verbindungspartnern.
Die DE 10 2011 080 929 B4 offenbart ein Verfahren zur Herstellung eines Verbundes, bei dem mindestens zwei Fügepartner fest miteinander verbunden werden, mit folgenden Schritten: Bereitstellen eines ersten Fügepartners und eines zweiten Fügepartners; Bereitstellen eines Verbindungsmittels; Bereitstellen eines Dichtmittels; Bereitstellen eines eine Druckkammer aufweisenden Reaktors; Bereitstellen eines Heizelementes; Anordnen des ersten Fügepartners, des zweiten Fügepartners und des Verbindungsmittels in der Druckkammer, so dass sich das Verbindungsmittel zwischen dem ersten Fügepartner und dem zweiten Fügepartner befindet; Erzeugen eines gasdichten Bereichs, in welchem das Verbindungsmittel angeordnet ist; Erzeugen eines Gasdrucks in der Druckkammer außerhalb des gasdichten Bereichs, so dass der Gasdruck auf den gasdichten Bereich einwirkt und den ersten Fügepartner, den zweiten Fügepartner sowie das zwischen diesen befindliche Verbindungsmittel mit mindestens 2 MPa aneinander presst; Erhitzen des ersten Fügepartners, des zweiten Fügepartners und des Verbindungsmittels mittels des Heizelementes auf eine vorgegebene Maximaltemperatur von mindestens 210°C; nachfolgendes Abkühlen des ersten Fügepartners, des zweiten Fügepartners und des Verbindungsmittels; wobei das Volumen der geschlossenen Druckkammer kleiner oder gleich 200 ml ist.
Die WO 2018/215 524 A1 offenbart eine Vorrichtung zum Herstellen einer elektronischen Baugruppe durch Sintern, umfassend ein unteres Sinterwerkzeug mit einer Aussparung zum Aufnehmen der elektronischen Baugruppe, die durch Sintern hergestellt werden soll, ein oberes Sinterwerkzeug zum Ausüben eines gerichteten Drucks gegen das untere Sinterwerkzeug und eine Schutzfolie, die zwischen dem unteren Sinterwerkzeug und dem oberen Sinterwerkzeug angeordnet ist und mindestens die Aussparung des unteren Sinterwerkzeugs abdeckt, wobei die Schutzfolie perforiert ist, um das Zuführen eines Schutzgases auf die Oberfläche der elektronischen Baugruppe zu ermöglichen.
In Kenntnis des Standes der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde eine Vorrichtung anzugeben, die eine Trennfolie zwischen einem Sinterstempel und dem Verbindungspartner einfach entfernt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners, mit einer Auflagefläche zur Anordnung des ersten Verbindungspartners, mit einem Rahmenelement, das aus der Normalenrichtung der Auflagefläche auf eine die Auflagefläche umgebende Rahmenfläche absenkbar ist, mit einem Sinterstempel der aus der Normalenrichtung auf den zweiten Verbindungspartner absenkbar ist und dabei einen Druck ausübt, der eine Sinterpaste in ein Sintermetall überführt und mit einer Hilfsvorrichtung zur Anordnung einer Trennfolie zur Überdeckung der Rahmenfläche und der Verbindungspartner, soweit direkt zugänglich, wobei sich durch diese Anordnung ein Innenbereich ergibt, der durch einen Trennfolienabschnitt, der innerhalb des Rahmenelements liegt, und durch die Auflagefläche begrenzt ist, wobei eine Einblasöffnung derart angeordnet ist, dass ein Gas in diesen Innenraum eingeblasen werden kann.
Hierbei kann es vorteilhaft sein, wenn die Auflagefläche und die Rahmenfläche jeweils Teil eines Widerlagers, beispielhaft eines Unterwerkzeugs, einer Sinterpresse sind und die Auflagefläche vorzugsweise in einer Vertiefung angeordnet ist.
Auch kann es bevorzugt sein, wenn die Auflagefläche und vorzugsweise auch die Rahmenfläche jeweils Teil eines Werkstückträgers sind, der auf einem Widerlager, beispielhaft dem Unterwerkzeug, einer Sinterpresse angeordnet ist.
Es kann in einer Ausprägung bevorzugt sein, wenn die Einblasöffnung im Bereich der Auflagefläche angeordnet ist. Es kann alternativ oder zusätzlich bevorzugt sein, wenn die Einblasöffnung in einer Zwischenfläche zwischen der Auflagefläche und der Rahmenfläche angeordnet ist. Weiterhin alternativ oder zusätzlich kann es bevorzugt sein, wenn die Einblasöffnung im Bereich der Rahmenfläche angeordnet ist. Hierbei wiederum kann es vorteilhaft sein, wenn das Rahmenelement in Normalenrichtung fluchtend mit der Einblasöffnung eine Aussparung aufweist.
Grundsätzlich kann es vorteilhaft sein, wenn die Trennfolie eine PTFE-Folie ist und bevorzugt eine Dicke zwischen 10 µm und 200 µm, insbesondere zwischen 30 µm und 100 µm aufweist.
Die o.g. Aufgabe wird weiterhin erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners mittels einer o.g. Vorrichtung und folgenden Verfahrensschritten:

a) Anordnen des zweiten auf dem ersten Verbindungspartner mit einer Sinterpastenschicht zwischen beiden;
b) Anordnen des ersten Verbindungspartners auf der Auflagefläche;
c) Anordnen der Trennfolie, wobei diese die beiden Verbindungspartner und die Rahmenfläche überdeckt;
d) Absenken des Rahmenelements auf die Rahmenfläche mit der dazwischen angeordneten Trennfolie;
e) Ausbilden der Drucksinterverbindung, wobei ein Sinterstempel aus der Normalenrichtung auf den zweiten Verbindungspartner drückt und dabei die Sinterpaste in ein Sintermetall überführt wird;
f) Einblasen eines Gases in den Innenbereich durch die Einblasöffnung, wobei die Trennfolie von der Oberfläche der Verbindungspartner, auf der sie aufliegt, nicht zwangsläufig vollständig abgehoben wird;
g) Anheben des Rahmenelements.

Es kann hierbei vorteilhaft sein, wenn im Verfahrensschritt e) erst ein Sinterstempelrahmen auf einen Rahmenabschnitt des ersten Verbindungspartners abgesenkt wird, anschließend der Sinterstempel abgesenkt wird und nach Ausbildung der Sinterverbindung der Sinterstempel und der Sinterstempelrahmen in Normalenrichtung angehoben werden.
Es kann auch bevorzugt sein, wenn erst der Sinterstempel und anschließend der Sinterstempelrahmen angehoben werden. Hierbei kann es weiterhin bevorzugt sein, wenn das Rahmenelement und der Sinterstempelrahmen mechanisch, vorzugsweise mittels einer in Normalenrichtung wirkenden Feder, gekoppelt sind.
Selbstverständlich können, sofern dies nicht explizit oder per se ausgeschlossen ist oder dem Gedanken der Erfindung widerspricht, die jeweils im Singular genannten Merkmale, insbesondere die Einblasöffnung und der zweite Verbindungspartner, jeweils mehrfach in der erfindungsgemäßen Vorrichtung angeordnet werden.
Es versteht sich, dass die verschiedenen Ausgestaltungen der Erfindung, gleichgültig ob sie im Rahmen der Beschreibung der Vorrichtung oder des Verfahrens offenbart sind, einzeln oder in beliebigen Kombinationen realisiert sein können, um Verbesserungen zu erreichen. Insbesondere sind die vorstehend und im Folgenden genannten und erläuterten Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Weitere Erläuterungen der Erfindung, vorteilhafte Einzelheiten und Merkmale, ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in den 1 bis 8 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele der Erfindung oder von jeweiligen Teilen hiervon.

1 und 2 zeigen eine seitliche Schnittansicht einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei verschiedenen Verfahrensschritten des erfindungsgemäßen Verfahrens.
3 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer zweiten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
4 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer dritten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
5 bis 8 zeigen Draufsichten auf verschiedene Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

1 und 2 zeigen eine seitliche Schnittansicht einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 bei verschiedenen Verfahrensschritten des erfindungsgemäßen Verfahrens. Dargestellt ist ein Widerlager 80 einer Sinterpresse, das auch als Unterwerkzeug bezeichnet wird. Auf einem hier nicht dargestellten Sinterstempelrahmen als Teil eines Oberwerkzeugs der Sinterpresse zugewandten Auflagefläche 50 des Widerlagers 80 liegt ein erster Verbindungspartner 2, hier ohne Beschränkung der Allgemeinheit, ein leistungselektronisches Substrat mit einem keramischen Isolationskörper 22 und mit Kupferschichten 20,24 auf dessen Oberflächen, wobei die dem Unterwerkzeug abgewandte Kupferschicht ein Mehrzahl von Leiterbahnen ausbildet, auf.
Das Widerlager 80 weist hier Ansaugkanäle 52 auf, die dafür ausgestaltet und vorgesehen sind das Substrat mittels Unterdruck während eines Sintervorgangs auf der Auflagefläche 50 des Widerlagers 80 zu fixieren. Weiterhin weist das Widerlager 80 einen Einblaskanal 70 mit einer Einblasöffnung 7 in der Oberfläche des Widerlagers 80 auf. Diese Einblasöffnung 70 ist hier in eine Zwischenfläche 54 neben der Auflagefläche 50 des ersten Verbindungspartners 2 angeordnet, sodass hierüber eingeblasenes Gas, in einfachsten Fall Luft, neben dieser Auflagefläche 50 ausströmen kann.
Weiterhin dargestellt ist ein zweiter Verbindungspartner 3, hier ein Leistungshalbleiterbauelement, das auf einer dem Widerlager 80 abgewandten Oberfläche des ersten Verbindungspartners 2 angeordnet ist. Zwischen den beiden Verbindungspartnern 2,3 ist fachüblich eine Sinterpaste 23 angeordnet, die während des Sintervorgangs in ein Sintermetall überführt wird und somit eine stoffschlüssige und elektrisch leitende Verbindung zwischen den beiden Verbindungspartnern 2,3 ausbildet.
Zum Schutz des Sinterstempels bzw. der Verbindungspartner 2,3 ist fachüblich eine Trennfolie 4, hier eine PTFE Folie mit eine Dicke von ca. 56 µm angeordnet. Diese Trennfolie 4 wird mittels einer Hilfsvorrichtung über den beiden Verbindungspartnern 2,3 und über einer die Auflagefläche 50 und den ersten Verbindungspartner 2 mittelbar umgebenden Rahmenfläche 56 angeordnet. Vorzugsweise reicht diese Trennfolie 4 noch über diese Rahmenfläche 56 hinaus.
Als weiterer Teil des Oberwerkzeugs ist hier ein Rahmenelement 6 dargestellt, das in Normalenrichtung N der Auflagefläche 50 beweglich ist. Dieses Rahmenelement 6 wird vor dem eigentlichen Sintervorgang, also bevor das Stempelelement auf den zweiten Verbindungspartner 3 Druck ausübt, auf die Rahmenfläche 56, genau auf den Abschnitt der Trennfolie 4, der oberhalb der Rahmenfläche 56 angeordnet ist, abgesenkt. Hierdurch wird die Trennfolie 4 in ihrer Position fixiert. Anschließend wird der fachübliche Drucksintervorgang ausgeführt. 1 zeigt die Vorrichtung 1 nach dem Sintervorgang, wobei einzelne Elemente rein aus Gründen der Übersicht beabstandet dargestellt sind.
Nach dem Sintervorgang liegt die Trennfolie 4 auf der Rahmenfläche 56 und über den Verbindungspartnern 2,3 auf diesen bündig an. Um die Trennfolie 4 auf einfache Weise und vollständig oder zumindest signifikant von den Verbindungspartnern 2,3 zu lösen, wird Luft durch die Einblasöffnung 7 in einen Innenbereich 400 eingeblasen. Dieser Innenbereich 400 ist hier begrenzt und damit definiert durch die Auflagefläche 50, die Trennfolie 4 und das Rahmenelement 6.
Wie in 2 dargestellt bläht sich die Trennfolie 4, die während dieses Verfahrensschritts noch eine Temperatur von ca. 100°C aufweist, durch den Druck 700 des Einblasens von Luft auf und löst sich somit von dem ersten und zweiten Verbindungspartner 2,3. Nun kann das Rahmenelement 6 in Normalenrichtung N angehoben und die Trennfolie 4 entfernt werden.
3 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer zweiten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1. Diese Ausgestaltung unterscheidet sich von der ersten dahingehend, dass die Einblasöffnung 7 in der Rahmenfläche 56 angeordnet ist. Um dennoch bei abgesenktem Rahmenelement 6 ein Einblasen von Luft zu ermöglichen, weist das Rahmenelement 6 in Normalenrichtung N betrachtet oberhalb der Einblasöffnung 7 eine Aussparung 62 auf, vgl. auch 8.
Weiterhin dargestellt ist als Teil des Oberwerkzeugs der Sinterpresse ein Sinterstempel 12, hier ausgebildet als ein Sinterkissen aus Silikon mit einer Shore-A Härte von 56, und durch metallische Zusätze derart stabilisiert, dass es bei Temperaturen von 210°C und einem Druck von 35 MPa eingesetzt werden kann. Dieses Sinterkissen wird umrahmt von einem Sinterstempelrahmen 10, mit dem das Rahmenelement 6 über Federelemente 14 verbunden ist. Während des Absenkens des Oberwerkzeugs, wird erst das Rahmenelement 6 im Bereich der Rahmenfläche 56 auf die Trennfolie 4 abgesenkt, wodurch diese fixiert wird. Anschließend senkt sich der Sinterstempelrahmen 10 auf einen Randbereich des ersten Verbindungspartners 2, mit dazwischen angeordneter Trennfolie 4, und wiederum anschließend der Sinterstempel 12 auf den zweiten, und hier auch ersten Verbindungspartner 2,3, wiederum mit dazwischen angeordneter Trennfolie 4, ab. Mittels des Sinterstempels 12 wird nun der zur Sinterverbindung notwenige Druck ausgeübt. In 3 dargestellt ist die Vorrichtung 1, nach der Ausbildung der Sinterverbindung und mit bereits wieder in Normalenrichtung N angehobenem Sinterstempel 12, vor dem Einblasen von Luft durch die Einblasöffnung 7.
4 zeigt eine seitliche Schnittansicht einer dritten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1. Bei dieser Ausgestaltung weist ein Werkstückträger 82, der zum Transport der Verbindungspartner 2,3 dient und während des Sintervorgangs auf dem Unterwerkzeug der Sinterpresse temporär aufliegt, die Auflagefläche 50 auf. Diese ist in einer Ausnehmung des Werkstückträgers 82 angeordnet. Der erste und damit auch zweite Verbindungspartner 2,3 sind in dieser Ausnehmung angeordnet, wobei der erste Verbindungspartner auf der Auflagefläche 50 aufliegt. In dieser Ausgestaltung, aber nicht hierauf beschränkt, ist die Einblasöffnung 7 seitlich in der Aussparung des Werkstückträgers angeordnet. Dies gestattet es, dass die laterale Ausdehnung der Ausnehmung orthogonal zur Normalenrichtung N nur minimal größer ist als die Ausdehnung des ersten Verbindungspartners 2.
Hier ebenfalls dargestellt sind drei Ansaugkanäle 52 des Werkstückträgers 82, die in das Unterwerkzeug führen und dort zu einem Ansaugkanal zusammengeführt werden. Sowohl die Ansaugkanäle 52, wie auch der Einblaskanal 70 sind selbstverständlich zwischen dem Werkstückträger 82 und dem Unterwerkzeug ausreichend abgedichtet.
5 bis 8 zeigen Draufsichten auf verschiedene Ausgestaltungen und Teile der erfindungsgemäßen Vorrichtung. In 5 dargestellt ist eine Auflagefläche 50, an deren Rand umlaufend eine Mehrzahl von Einblasöffnungen 7 angeordnet sind. Unmittelbar anschließend an die Auflagefläche 50, ebenfalls umlaufend ist die Rahmenfläche 56 dargestellt.
6 zeigt ein Rahmenelement 6, das auf die Rahmenfläche 56 gemäß 5 abgesenkt ist. Weiterhin dargestellt ist ein erster Verbindungspartner 2 und auf diesem angeordnet ein Sinterstempelrahmen 10 und ein Sinterstempel 12.
7 zeigt ebenfalls eine Auflagefläche 50 und eine Rahmenfläche 56, wobei an den Schmalseiten der Auflagefläche sich jeweils eine Zwischenfläche 54 anschließt, in der jeweils eine Mehrzahl von Einblasöffnungen 7 angeordnet sind.
8 zeigt an beiden Längsseiten der Auflagefläche 50 angeordnet jeweils zwei Abschnitte 58 der Rahmenfläche, die unterhalb einer Aussparung 62, vgl. 3, angeordnet sind und ihrerseits Einblasöffnungen 7 aufweisen.
Bezugszeichenliste

1: Vorrichtung
10: Sinterstempelrahmen
12: Sinterstempel
14: Federelemente
2: erster Verbindungspartner
20, 24: Kupferschichten von 2
22: keramischer Isolationskörper von 2
23: Sinterpaste
3: zweiter Verbindungspartner
4: Trennfolie
400: Innenbereich
50: Auflagefläche
52: Ansaugkanäle
54: Zwischenfläche
56: Rahmenfläche
58: Abschnitte
6: Rahmenelement
62: Aussparung in 6
7: Einblasöffnung
70: Einblaskanal
700: Druck
80: Widerlager
82: Werkstückträger

Claims

Vorrichtung (1) zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners (2,3), mit einer Auflagefläche (50) zur Anordnung des ersten Verbindungspartners (2), mit einem Rahmenelement (6), das aus der Normalenrichtung (N) der Auflagefläche (50) auf eine die Auflagefläche (50) umgebende Rahmenfläche 56 absenkbar ist, mit einem Sinterstempel (12) der aus der Normalenrichtung (N) auf den zweiten Verbindungspartner (3) absenkbar ist und dabei einen Druck ausübt, der eine Sinterpaste (23) in ein Sintermetall überführt, und mit einer Hilfsvorrichtung zur Anordnung einer Trennfolie (4) zur Überdeckung der Rahmenfläche (56) und der Verbindungspartner (2,3), wobei sich durch diese Anordnung ein Innenbereich (400) ergibt, der durch einen Trennfolienabschnitt, der innerhalb des Rahmenelements (6) liegt, und durch die Auflagefläche (50) begrenzt ist, wobei eine Einblasöffnung (7) derart angeordnet ist, dass ein Gas in diesen Innenbereich (400) eingeblasen werden kann.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Auflagefläche (50) und die Rahmenfläche (56) jeweils Teil eines Widerlagers (80) einer Sinterpresse sind und die Auflagefläche (50) vorzugsweise in einer Vertiefung angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Auflagefläche (50) und vorzugsweise auch die Rahmenfläche (56) jeweils Teil eines Werkstückträgers (82) sind, der auf einem Widerlager einer Sinterpresse angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Einblasöffnung (7) im Bereich der Auflagefläche (50) angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Einblasöffnung (7) in einer Zwischenfläche (54) zwischen der Auflagefläche (50) und der Rahmenfläche (56) angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Einblasöffnung (7) in einem Abschnitt (58) der Rahmenfläche (56) angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei das Rahmenelement (6) in Normalenrichtung (N) fluchtend mit der Einblasöffnung (7) eine Aussparung (62) aufweist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trennfolie (4) eine PTFE-Folie ist und bevorzugt eine Dicke zwischen 10 µm und 200 µm, insbesondere zwischen 30 µm und 100 µm aufweist.
Verfahren zur Drucksinterverbindung eines ersten und eines zweiten Verbindungspartners (2,3) mittels einer Vorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche und folgenden Verfahrensschritten: a) Anordnen des zweiten auf dem ersten Verbindungspartner (2,3) mit einer Sinterpastenschicht (23) zwischen beiden; b) Anordnen des ersten Verbindungspartners (2) auf der Auflagefläche (50); c) Anordnen der Trennfolie (4), wobei diese die beiden Verbindungspartner (2,3) und die Rahmenfläche (56) überdeckt; d) Absenken des Rahmenelements (6) auf die Rahmenfläche (56) mit der dazwischen angeordneten Trennfolie (4); e) Ausbilden der Drucksinterverbindung, wobei ein Sinterstempel (12) aus der Normalenrichtung (N) auf den zweiten Verbindungspartner (3) drückt und dabei die Sinterpaste (23) in ein Sintermetall überführt wird; f) Einblasen eines Gases in den Innenbereich (400) durch die Einblasöffnung (7), wobei die Trennfolie (4) von der Oberfläche der Verbindungspartner (2,3) auf der sie aufliegt, abgehoben wird; g) Anheben des Rahmenelements (6).
Verfahren nach Anspruch 9, wobei im Verfahrensschritt e) erst ein Sinterstempelrahmen (10) auf einen Rahmenabschnitt des ersten Verbindungspartners (2) abgesenkt wird, anschließend der Sinterstempel (12) abgesenkt wird und nach Ausbildung der Sinterverbindung der Sinterstempel (12) und der Sinterstempelrahmen (10) in Normalenrichtung (N) angehoben werden.
Verfahren nach Anspruch 10, wobei erst der Sinterstempel (12) und anschließend der Sinterstempelrahmen (10) angehoben werden.
Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, wobei des Rahmenelement (6) und der Sinterstempelrahmen (10) mechanisch, vorzugsweise mittels einer in Normalenrichtung (N) wirkenden Feder (14), gekoppelt sind.