DE19637878C2 - Mikroventil mit vorgespannter Ventilklappenstruktur - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Mikroventile und ins­ besondere auf elektrostatisch angetriebene Silizium-Mikro­ ventile.

Ein bekanntes Mikroventil ist in dem U. S. Patent Nr. 4,585,209 beschrieben. Fig. 4 zeigt schematisch einen Aus­ schnitt dieses Mikroventils 40 in Querschnittsdarstellung. Das Mikroventil 40 weist eine Ventilplatte 41 mit einer Ven­ tilöffnung 42 auf, durch welche das Fluid fließt. Über der Ventilöffnung 42 in der Ventilplatte 41 ist ein einseitig befestigtes Ventilbauglied 43 angeordnet. Das Ventilbauglied 43 ist an seinem befestigten Abschnitt mit einer Trage- oder Rahmenstruktur 44 verbunden. Zwischen dem Rahmen, dem ein­ seitig befestigten Ventilbauglied 43 und der Ventilplatte 41 ist eine elektrisch isolierende Schicht 45 vorgesehen, die das Ventilbauglied 43 von der Ventilplatte 41 elektrisch trennt, um einen Ladungsfluß zwischen dem Ventilbauglied 43 und der Ventilplatte 41 zu verhindern.

Mittels äußerer Betätigungskräfte kann das Ventilbauglied 43 bezüglich der Ventilplatte 41 bewegt werden, derart, daß die Ventilöffnung 42 durch das Ventilbauglied 43 geschlossen bzw. geöffnet werden kann.

Im Betrieb ist der Einlaß (bzgl. Fig. 4 unter der Ventil­ platte 41) des Mikroventils 40 mit einer unter Druck stehen­ den Quelle (nicht gezeigt) für einen Fluidfluß Φ verbunden. Der Druck, der auf das einseitig befestigte Ventilbauglied 43 ausgeübt wird, bewirkt, daß sich das Ventilbauglied 43 nach oben biegt, wie es durch das gestrichelt dargestellte Ventilbauglied 43 in Fig. 4 angezeigt ist. Der Pfeil in Fig. 4 stellt die Richtung des Fluidflusses Φ durch das Mikroven­ til 40 dar. Die gestrichelte Darstellung des Ventilbauglieds 43 in Fig. 4 zeigt die vollständig geöffnete Position des Mikroventils 40.

Das Mikroventil 40 wird betätigt, indem eine Spannungsquelle 46 über Leitungen 47 eine elektrische Potentialdifferenz zwischen der Ventilplatte 41 und dem Ventilbauglied 43 an­ legt. Dadurch fließen Ladungen auf die sich gegenüberliegen­ den Seiten der beiden Bauteile 41, 43, wodurch die Bauteile unterschiedlich gepolt werden. Diese Ladungen ziehen sich gegenseitig an, wodurch das nicht befestigte Ende des Ven­ tilbauglieds 43 zu der Ventilplatte 41 bewegt wird. Das Mi­ kroventil 40 mit geschlossenem Ventilbauglied 43 ist in Fig. 4 mit durchgezogenen Linien dargestellt.

Da ein derartiges Mikroventil 40 durch den Druck des durch­ fließenden Fluidflusses Φ tendenziell geöffnet wird, bzw. der Fluß Φ des Fluids durch Schließen des Ventilbauglieds 43 unterbrochen wird, indem eine Potentialdifferenz zwischen dem Ventilbauglied 43 und der Ventilplatte 41 angelegt wird, besteht ein Nachteil des bekannten Mikroventils 40 darin, daß ein derartiges Mikroventil 40 nur in einer Fluidfluß­ richtung betreibbar ist.

Die US-PS 5,176,358 offenbart ein mikrostrukturiertes Gas­ ventil, das eine Ventilstruktur aufweist, welche sechs Öff­ nungen 90 umfaßt. Jeder der Öffnungen 90 ist eine Verschluß­ platte 92 zugeordnet. Die Ventilstruktur umfaßt ein Sub­ strat, in dem die Öffnung 90 gebildet ist. Ferner ist auf dem Substrat eine dielektrische Schicht 94 angeordnet, aus der die Verschlußplatte 92 und ein Ventilsitz gebildet ist. Durch den unteren Teil der Schicht 94 ist der Ventilsitz ge­ bildet, durch den sich die Öffnung 90 erstreckt. Beabstandet von dem Ventilsitz durch einen Zwischenraum, welcher sich durch die Herstellung unter Verwendung einer Opferschicht aus Aluminium einstellt, befindet sich die Verschlußklappe 92, welche aus dem dielektrischen Material der Schicht 94 besteht und in der dargestellten Position ist, wenn keine äußeren Kräfte an diese Platte angelegt sind. Im Inneren der Ventilsitzstruktur sind Elektroden 98 vorgesehen, welche zu einem Anschluß 102 führen. Im Inneren der Ventilplatte 92 ist eine weitere Elektrode 100 vorgesehen, welche zu einem Anschluß 104 herausgeführt ist. Im Normalfall, d. h. wenn keine externen Spannungen an der Platte anliegen, ist diese in der dargestellten Position. Durch Bewegen der Platte 92 derart, daß sie in Kontakt mit der dielektrischen Schicht 94 ist, die die Ventilsitzstruktur definiert, wird das Ventil geschlossen. Dies wird dadurch erreicht, daß an die beiden Anschlüsse 102 und 104 eine Spannung angelegt wird. Beim An­ legen gleicher Potentiale an den Anschlüssen 102 und 104 kehrt die Platte 92 aufgrund einer internen elastischen Rücksetzkraft in ihre offene Position zurück.

Die in der US-PS 5,176,358 offenbarte Ventilstruktur weist jedoch den Nachteil auf, daß die Ventilplatte 92 zusammen mit der Ventilsitzstruktur durch die Schicht 94 bzw. durch eine Strukturierung derselben gebildet ist. Die Schicht 94 ist aus einem elektrisch nicht leitenden Material gebildet, so daß es erforderlich ist, sowohl in der Ventilsitzstruktur als auch in der Ventilplatte 92 die zur Betätigung des Ven­ tils erforderlichen Elektroden einzubetten. Ferner ist es zur Herstellung der Platte 92 erforderlich zunächst einen Teil der Schicht 94 aufzuwachsen, anschließend eine Alumi­ niumopferschicht vorzusehen und darauf wiederum eine weitere dielektrische Schicht aufzuwachsen, worauf im Anschluß die Aluminiumschicht zu entfernen ist, um so die dargestellte Struktur herbeizuführen. Ein weiterer Nachteil dieser vorbe­ kannten Ventilstruktur besteht darin, daß die zur Betätigung der Ventilklappe 92 erforderlichen Kräfte sehr hoch sind und so die an die Struktur anzulegenden Spannungen ebenfalls hoch sind.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Mikroventil zu schaffen, das ohne angelegte Betätigungsspan­ nung und ohne das Einwirken von pneumatischen Kräften eine geöffnete Durchlaßöffnung aufweist.

Diese Aufgabe wird durch ein Mikroventil gemäß Anspruch 1 und durch ein Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils gemäß Anspruch 9 gelöst.

Die vorliegende Erfindung schafft ein Mikroventil, das eine Auflagestruktur, eine Durchlaßöffnung, die sich durch die Auflagestruktur erstreckt, und eine mechanisch vorgespannte, zumindest einseitig befestigte Ventilklappe aufweist, die in ihrem unbetätigten Zustand von der Auflagestruktur weggebo­ gen ist und die Durchlaßöffnung öffnet und in ihrem betätig­ ten Zustand an der Auflagestruktur anliegt und die Durchlaß­ öffnung verschließt, wobei das Mikroventil dadurch gekenn­ zeichnet ist, daß eine elektrisch isolierende Beschichtung auf der der Auflagestruktur zugewandten Seite der Ventil­ klappe angeordnet ist und die Ventilklappe mechanisch vor­ spannt, wobei die Beschichtung im Bereich der Befestigung der Ventilkappe auf der Auflagestruktur aufliegt, um die Ventilklappe elektrisch von der Auflagestruktur zu isolie­ ren.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen detaillierter erläutert. Es zeigen:

Fig. 1a eine prinzipielle Querschnittsansicht eines Mikro­ ventils mit geöffneter Ventilklappe gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung.

Fig. 1b eine prinzipielle Querschnittsansicht eines Mikro­ ventils mit geschlossener Ventilklappe gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.

Fig. 2 eine prinzipielle vergrößerte Querschnittsansicht eines Mikroventils gemäß einem zweiten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 3a eine perspektivische Ansicht einer an zwei benach­ barten Kanten zweiseitig eingespannten Ventilklap­ pe.

Fig. 3b eine perspektivische Ansicht einer an zwei gegen­ überliegenden Kanten zweiseitig eingespannten Ven­ tilklappe.

Fig. 3c eine perspektivische Ansicht einer dreiseitig ein­ gespannten Ventilklappe.

Fig. 4 eine prinzipielle Querschnittsansicht eines Mikro­ ventils gemäß dem Stand der Technik.

Fig. 1a stellt schematisch den Aufbau eines Mikroventils 10 mit einer geöffneten Ventilklappe 11 gemäß einem ersten Aus­ führungsbeispiel der Erfindung dar. Eine einseitig einge­ spannte, mechanisch vorgespannte Ventilklappe 11 ist über einer Auflagestruktur 12 angeordnet. Die Auflagestruktur 12 weist eine Durchlaßöffnung 13 auf, durch welche ein Fluid­ fluß Φ, dessen Richtung durch den in Fig. 1a gezeichneten Pfeil schematisch dargestellt ist, fließen kann. Über Zulei­ tungen 16 sind ein Ventilsitz 15, der mit der Ventilklappe 11 elektrisch und mechanisch verbunden ist, und die Auflage­ struktur 12 mit einer Spannungsquelle 14 verbunden. Der Ven­ tilsitz 15 besteht vorzugsweise aus Silizium, wobei derselbe auch aus anderen geeigneten Materialien hergestellt sein kann. Durch die Spannungsquelle 14 kann eine Potentialdiffe­ renz zwischen dem Ventilsitz 15 bzw. der Ventilklappe 11 und der Auflagestruktur 12 angelegt werden, wodurch die Ventil­ klappe 11 geschlossen werden kann. Die Dicke des Siliziums der vorgespannten Ventilklappe 11 liegt z. B. in der Größen­ ordnung von 5 µm bis 50 µm, wobei die lateralen Abmessungen derselben beispielsweise in der Größenordnung von 500 µm bis 5 mm liegen können.

Die Ventilklappe 11 wird mittels einer geeigneten Beschich­ tung 17 auf Druck mechanisch vorgespannt, wobei die Be­ schichtung 17 sowohl als Maskierung für einen vorangegange­ nen Ätzschritt (z. B. beim KOH-Ätzen der Ventilklappe 11) als auch als elektrische Isolierung zwischen dem Ventilsitz 15 bzw. der Ventilklappe 11 und der Auflagestruktur 12 dienen kann. Ferner kann zusätzlich zu der mechanisch vorgespannten Ventilklappe 11 auch die Auflagestruktur 12 mit einer iso­ lierenden Schicht (in den Fig. nicht gezeigt) bedeckt sein. Diese zusätzliche isolierende Schicht verbessert zusätzlich die elektrische Durchbruchfestigkeit beim Anlegen einer Be­ tätigungsspannung.

Die Dicke der Beschichtung 17, die die mechanische Vorspan­ nung erzeugt, liegt beispielsweise in der Größenordnung von 0,2 µm bis 1,5 µm. Die Beschichtung 17 kann aus Si₃N₄, SiC, Si-Oxid oder Kombinationen derselben bestehen. Durch diese mechanische Vorspannung (z. B. eine möglichst hohe Druckspan­ nung von etwa -1500 MPa bei Si₃N₄) biegt sich die einseitig eingespannte Ventilklappe 11 nach einer Befestigung an der Auflagestruktur 12 von der Durchlaßöffnung 13 weg.

Das Mikroventil 10 wird betrieben, um den Fluidfluß Φ zu steuern. Durch die Durchlaßöffnung 13 in der Auflagestruktur 12 kann, wenn ein Überdruck von oben (Fig. 1a) und eine elektrische Betätigungsspannung von U = 0 V an dem Mikroven­ til 10 anliegen, das Fluid um die durch die mechanische Vor­ spannung aufgebogene Ventilklappe 11 herum, durch die Durch­ laßöffnung 13 fließen. Die durch die mechanische Vorspannung auf die Ventilklappe 11 wirkenden, tendenziell öffnenden Kräfte sind bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung so ausgelegt, daß diese Kräfte das Mikroventil 10 in einem geöffneten Zustand halten, solange der Druck des in Fig. 1a gezeichneten Fluidflusses Φ einen durch die mechanische Vorspannung eingestellten Nenndruck nicht überschreitet.

Liegen dagegen Drücke an, die größer als der Nenndruck sind, wird die Ventilklappe 11 geschlossen, auch wenn keine elek­ trische Betätigungsspannung (U = 0 V) anliegt. Das Mikroven­ til 10 gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor­ liegenden Erfindung ist somit bei Fluiddrücken über dem Nenndruck selbstschließend.

Eine elektrische Betätigungsspannung (U = 0 V), die zum Be­ tätigen der Ventilklappe 11 in Schließrichtung notwendig ist, kann durch einen elektrostatischen Wanderkeil 18, d. h. durch die Konfiguration von elektrostatischen Kräften zwi­ schen der Ventilklappe 11 und der Auflagestruktur 12, klein gehalten werden. Da die Ventilklappe 11 und die Auflage­ struktur 12 in der Verbindungsregion derselben im wesent­ lichen nur durch die Dicke der Beschichtung 17 voneinander getrennt sind, treten zwischen der Ventilklappe 11 und der Auflagestruktur 12 in dieser Region auch bei kleinen Betäti­ gungsspannungen hohe elektrische Feldstärken auf. Der Be­ reich der hohen Feldstärken wandert beim Schließen der Ven­ tilklappe 11 mit der Region mit, in der die Ventilklappe 11 bereits im wesentlichen parallel zu der Auflagestruktur 12 angeordnet ist. Dadurch können sehr niedrige Betätigungs­ spannungen (U < 50 V) realisiert werden, da der elektro­ statische Wanderkeil 18 den wesentlichen Anteil der Schließ­ kräfte liefert. Bei herkömmlichen, aktiven, normalerweise offenen Mikroventilen mit elektrostatischen Schaltkräften existiert zwischen der Ventilklappe und der Auflagestruktur eine konstante Beabstandung von einigen Mikrometern, so daß eine relativ hohe Betätigungsspannung von ca. 180 Volt zum Schalten nötig ist, da hier kein elektrostatischer Wander­ keil vorhanden ist. Der Betriebszustand mit geschlossener Ventilklappe 11 ist in Fig. 1b in Form einer prinzipiellen Querschnittsansicht dargestellt.

Ein zweites Ausführungsbeispiel eines Mikroventils 10 mit vorgespannter Ventilklappenstruktur ist in einer vergrößer­ ten, prinzipiellen Querschnittsansicht in Fig. 2 darge­ stellt. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind kleine Abstands­ höcker 21 entweder auf der vorgespannten Ventilklappe 11 oder auf der Auflagestruktur 12 oder auf beiden angebracht. Die Höhe dieser Abstandshöcker 21 kann in der Größenordnung von 0,1 µm bis 1 µm liegen, wobei die Querschnittsabmessun­ gen der Abstandshöcker 21 in der Größenordnung von 10 × 10 µm² bis 100 × 100 µm² liegen können. Die Abstände zwischen benachbarten Abstandshöckern 21 liegen in der Größenordnung von 500 µm bis 2000 µm.

Die Funktion der Abstandshöcker 21 besteht darin, bei einem geschlossenen Mikroventil 10, d. h. wenn eine elektrische Be­ tätigungsspannung angelegt ist oder der Nenndruck über­ schritten ist, die direkte Kontaktfläche zwischen der vorge­ spannten Ventilklappe 11 und der Auflagestruktur 12 zu mini­ mieren, um Anhafteffekte, die aufgrund des Eindringens von Ladungen in die Isolation bei großen Feldstärken auftreten können, zu minimieren. Die Abstandshöcker 21 werden entweder durch einen Abscheideprozeß (z. B. Sputtern) aufgebracht oder aus dem Siliziummaterial des Ventilsitzes 15 oder der Ven­ tilklappe 11 herausgeätzt. Im Gegensatz zu der soeben be­ schriebenen Ausführungsform können die Abstandshöcker auch unterhalb der Basisschicht liegen.

In den Fig. 3a bis 3c sind drei weitere Ausführungsformen mechanisch vorgespannter Ventilklappen 11 perspektivisch dargestellt. Fig. 3a zeigt eine an benachbarten Kanten zwei­ seitig eingespannte, mechanisch vorgespannte Ventilklappe 11a. Fig. 3b zeigt eine an gegenüberliegenden Kanten zwei­ seitig eingespannte, mechanisch vorgespannte Ventilklappe 11b. Fig. 3c zeigt eine dreiseitig eingespannte, mechanisch vorgespannte Ventilklappe 11c.

Durch die mechanische Vorspannung der Ventilklappen 11a-c ist jeweils eine Struktur realisiert, in der ein elektrosta­ tischer Wanderkeil 18 wirken kann. Die Einspannung der Ven­ tilklappen 11a-c kann an den Kanten ein- oder mehrmals un­ terbrochen sein, um die Ventilklappenstruktur flexibler zu gestalten. Der Vorteil einer an zwei oder drei Kanten einge­ spannten Ventilklappe 11 besteht darin, daß derartige Ven­ tilklappen 11 gegenüber Druckstößen eine vergrößerte Robust­ heit aufweisen.

Beschränkt man sich bei der Herstellung von Mikroventilen nicht auf ein anisotropes Ätzen von <100<-Silizium mit KOH, so sind beliebig geformte (runde, ovale, dreieckige, etc.) Ventilklappen 11 herstellbar, die jeweils an einigen Stellen nicht mit dem Ventilsitz 15 verbunden sind und sich dort durch die mechanische Vorspannung aufbiegen können. Die Ven­ tilklappen 11a-c können wegen der Keilstruktur, d. h. auf­ grund ihrer nicht überall parallelen Anordnung zu der Auf­ lagestruktur 12, mit relativ kleinen Betätigungsspannungen die Durchlaßöffnung 13 schließen.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung gegenüber herkömm­ lichen Ventilvarianten besteht darin, daß die öffnenden Kräfte der Ventilklappe 11 und damit die normalerweise of­ fene ("normally open") Stellung durch die mechanische Vor­ spannung einer Beschichtung 17 eingestellt wird, wobei bei anderen bekannten Ventilen die normalerweise offene Stellung durch die Aufhängung der Ventilklappenstruktur vorgenommen werden muß. Die Aufhängung der Ventilklappenstruktur be­ grenzt bei bekannten Mikroventilen eine weitere Miniaturi­ sierung. Im Gegensatz dazu können Mikroventile gemäß der vorliegenden Erfindung mit sehr geringen Abmessungen (z. B. 3 mm × 3 mm) hergestellt werden, wodurch die Herstellungs­ kosten gering gehalten werden.

Die öffnenden Kräfte bei der Ventilklappe 11 der vorliegen­ den Erfindung werden vor allem durch die mechanische Vor­ spannung in der Maskierungsschicht bestimmt, wodurch die öffnenden Kräfte von der Geometrie der Ventilklappenstruktur unabhängig sind.

Ein oft auftretendes Problem sind die Leckraten des Mikro­ ventils 10, z. B. wegen des Verkippens der Ventilklappen­ struktur gegenüber der Auflagestruktur 12. Bei dem Mikroven­ til 10 der vorliegenden Erfindung ist eine Verkippung we­ sentlich unwahrscheinlicher, da zwei planpolierte Strukturen aneinander befestigt werden, wodurch sehr gute Abdichteigen­ schaften erreicht werden.

Eventuell auftretende Anhafteffekte, die aufgrund des Ein­ dringens von Ladungen in die Isolation bei hohen Feldstärken auftreten können, können beim Betrieb eines Mikroventils ein Problem darstellen. Diese Effekte können durch eine bipolare Ansteuerung des Mikroventils 10 sowie durch die Realisierung der Abstandshöcker 21, die vorher beschrieben wurden, ver­ hindert werden.

Der Durchfluß durch das Mikroventil 10 kann ausgehend von der mechanischen Vorspannung der vorgespannten Ventilklappe 11 durch ein Modell berechnet werden kann. Wichtige Optimie­ rungsparameter für das erfindungsgemäße Mikroventil 10 sind: mechanische Vorspannung der Beschichtung 17, Dicke, Länge, Breite der Ventilklappe 11, Lage und Form der Durchlaßöff­ nungsfläche, Lage und Form des Fluidflusses Φ, Dicke der Be­ schichtung 17. Wichtige Betriebsparameter sind: Einlaß- und Auslaßdruck und Betätigungsspannung. Wichtige Stoffgrößen für das Modell sind: Adiabatenkoeffizient, Dichte und Visko­ sität des zu steuernden Fluids. Die elektrostatischen Schließkräfte können zunächst mit einfachen Modellen abge­ schätzt werden, wobei Modelle für den elektrostatischen Pum­ penbetrieb entsprechend modifiziert übernommen werden kön­ nen.

Claims (11)

1. Mikroventil (10) mit folgenden Merkmalen:
einer Auflagestruktur (12);
einer Durchlaßöffnung (13), die sich durch die Auflage­ struktur (12) erstreckt;
einer mechanisch vorgespannten, zumindest einseitig be­ festigten Ventilklappe (11), die in ihrem unbetätigten Zustand von der Auflagestruktur (12) weggebogen ist und die Durchlaßöffnung (13) öffnet und in ihrem betätigten Zustand an der Auflagestruktur (12) anliegt und die Durchlaßöffnung (13) verschließt;
gekennzeichnet durch
eine elektrisch isolierende Beschichtung (17), die auf der der Auflagestruktur (12) zugewandten Seite der Ven­ tilklappe (11) angeordnet ist und die Ventilklappe (11) mechanisch vorspannt, wobei die Beschichtung (17) im Bereich der Befestigung der Ventilklappe (11) auf der Auflagestruktur aufliegt, um die Ventilklappe (11) elektrisch von der Auflagestruktur (12) zu isolieren.

2. Mikroventil (10) gemäß Anspruch 1, mit einer Vorrichtung zum Anlegen einer Betätigungsspannung zwischen der Ventilklappe (11) und der Auflagestruktur (12).

3. Mikroventil (10) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem zwei aneinander angrenzende Seiten der Ventilklappe (11) gegenüber der Auflagestruktur (12) festgelegt sind.

4. Mikroventil (10) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem zwei gegenüberliegende Seiten der Ventilklappe (11) ge­ genüber der Auflagestruktur (12) festgelegt sind.

5. Mikroventil (10) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem drei Seiten der Ventilklappe (11) gegenüber der Aufla­ gestruktur (12) festgelegt sind.

6. Mikroventil (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem zwischen der Ventilklappe (11) und der Auflagestruktur (12) Abstandshöcker (21) vorgesehen sind.

7. Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils (10), mit folgenden Schritten:
Bilden einer Durchlaßöffnung (13) in einer Auflage­ struktur (12);
Bilden einer mechanisch vorgespannten, zumindest ein­ seitig befestigten Ventilklappe (11) in einem Ventil­ sitz (15), die in ihrem unbetätigten Zustand von der Auflagestruktur (12) weggebogen ist und die Durchlaß­ öffnung (13) öffnet und in ihrem betätigten Zustand an der Auflagestruktur (12) anliegt und die Durchlaßöff­ nung (13) verschließt;
Anordnen einer elektrisch isolierenden Beschichtung (17), die die Ventilklappe (11) unter eine Vorspannung setzt, auf der der Auflagestruktur (12) zugewandten Seite der Ventilklappe (11); und
Zusammenfügen der mit der Durchlaßöffnung (13) versehe­ nen Auflagestruktur (12) und des Ventilsitzes (15), derart, daß die Ventilklappe (11) die Durchlaßöffnung (13) verschließen kann und die Beschichtung (17) zwi­ schen dem Ventilsitz (15) und der Auflagestruktur (12) angeordnet ist und im Bereich der Befestigung der Ven­ tilklappe (11) auf der Auflagestruktur (12) aufliegt.

8. Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils (10) gemäß Anspruch 7, bei dem zwei aneinander angrenzende Seiten der Ventilklappe (11) gegenüber der Auflagestruktur (12) befestigt wer­ den.

9. Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils (10) gemäß Anspruch 7, bei dem zwei gegenüberliegende Seiten der Ventilklappe (11) ge­ genüber der Auflagestruktur (12) befestigt werden.

10. Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils (10) gemäß Anspruch 7, bei dem drei Seiten der Ventilklappe (11) gegenüber der Aufla­ gestruktur (12) befestigt werden.

11. Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils (10) gemäß einem der Ansprüche 7 bis 10, bei dem zwischen der Ventilklappe (11) und der Auflagestruktur (12) Abstandshöcker (21) gebildet werden.