DE102016214184A1 - Transport system and processing system for substrates - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Transportsystem (1) für Substrate (19), insbesondere Wafer, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit einer ersten Vorrichtung (4) zum Halten und Transportieren der Substrate (19), die einen Greifkopf (6) mit zumindest einer ersten Auflagefläche (11) an seiner Unterseite (10) zum Auflegen eines Substrats (19) und zumindest eine Saugeinrichtung (8) zum Ansaugen des Substrats (19) gegen die Auflagefläche (11) aufweist, und mit einer zweiten Vorrichtung (5) zum Halten und Transportieren der Substrate (19), die zumindest eine zweite Auflagefläche (18) aufweist, auf welcher ein Substrat (19) ablegbar ist, und mit einer Einrichtung (20) zum Bewegen des abgelegten Substrats (19) von der zweiten Auflagefläche (18) zu der ersten Auflagefläche (11). Dabei ist vorgesehen, dass die Einrichtung (20) wenigstens eine Druckluftdüse (21) aufweist, die unterhalb der zweiten Auflagefläche (18) derart angeordnet ist, das ein durch sie erzeugter Druckluftstrom in Richtung eines auf der zweiten Auflagefläche (18) liegenden Substrats (19) strömt, um das Substrat (19) in Richtung der ersten Auflagefläche (11) anzuheben.The invention relates to a transport system (1) for substrates (19), in particular wafers, solar cells, printed circuit boards or the like, having a first device (4) for holding and transporting the substrates (19) having a gripping head (6) with at least one first Support surface (11) on its underside (10) for laying a substrate (19) and at least one suction device (8) for sucking the substrate (19) against the support surface (11), and with a second device (5) for holding and Transporting the substrates (19) having at least one second support surface (18) on which a substrate (19) can be deposited, and with means (20) for moving the deposited substrate (19) from the second support surface (18) the first bearing surface (11). It is provided that the device (20) has at least one compressed-air nozzle (21) which is arranged below the second support surface (18) such that a compressed air flow generated by it in the direction of a substrate (19) lying on the second support surface (18) ) flows to lift the substrate (19) in the direction of the first bearing surface (11).
Description
Die Erfindung betrifft ein Transportsystem für Substrate, insbesondere Wafer, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit einer ersten Vorrichtung zum Halten und Transportieren der Substrate, die einen Greifkopf mit zumindest einer ersten Auflagefläche an seiner Unterseite zum Auflegen eines Substrats und zumindest eine Saugeinrichtung zum Ansaugen des Substrats gegen die Auflagefläche aufweist, und mit einer zweiten Vorrichtung zum Halten und Transportieren der Substrate, die zumindest eine zweite Auflagefläche aufweist, auf welcher ein Substrat ablegbar ist, und mit einer Einrichtung zum Bewegen des abgelegten Substrats von der zweiten Auflagefläche zu der ersten Auflagefläche.The invention relates to a transport system for substrates, in particular wafers, solar cells, printed circuit boards or the like, with a first device for holding and transporting the substrates, the gripper head having at least a first support surface on its underside for placing a substrate and at least one suction device for sucking Having substrate against the support surface, and with a second device for holding and transporting the substrates, which has at least a second support surface on which a substrate is deposited, and with means for moving the deposited substrate from the second support surface to the first support surface.
Weiterhin betrifft die Erfindung ein Bearbeitungssystem für Substrate, insbesondere Wafer, Solarzellen, Leiterplatten oder dergleichen, mit wenigstens einer Arbeitsstation beziehungsweise Bearbeitungsstation zum Behandeln oder Bearbeiten der Substrate und mit wenigstens einem Transportsystem der oben genannten Art, das beispielsweise dazu genutzt wird, ein Substrat von einer Bearbeitungsstation zu einer anderen Bearbeitungsstation zu verbringen.Furthermore, the invention relates to a processing system for substrates, in particular wafers, solar cells, printed circuit boards or the like, with at least one workstation or processing station for treating or processing the substrates and at least one transport system of the type mentioned above, which is used, for example, a substrate of a Workstation to spend another workstation.
Transportsysteme der eingangs genannten Art sind aus dem Stand der Technik bekannt. Bei der Serienfertigung werden Substrate nicht manuell von einer Bearbeitungsstation zur Nächsten getragen, sondern automatisiert bewegt. Hierdurch werden Erfordernisse an Sauberkeit und Sorgsamkeit beim Herstellungsprozess sicher gewährleistet. Um die Substrate beim Transport nicht zu beschädigen, sind insbesondere Vorrichtungen notwendig, welche einen Transport der Substrate ermöglichen, durch den die Substrate nicht beschädigt werden. Um den Transport vorzunehmen, ist es daher beispielsweise üblich, die Auflagefläche, auf welcher die Substrate zur Bearbeitung abgelegt werden können, beweglich zu gestalten, um das Substrat von einer Bearbeitungsposition in eine Transportposition oder Übergabeposition zu verfahren. Häufig werden dabei Transportriemen oder Laufbänder verwendet, auf welchen die Substrate abgelegt und durch eine Bearbeitungsstation hindurchgefördert werden können. Dadurch, dass die Substrate einfach auf den Transportbändern aufliegen, werden Haltekräfte vermieden, die das Substrat beschädigen könnten. Um ein Lösen der Substrate von den Laufbändern zu verhindern, ist es außerdem bekannt, bei Bedarf einen Unterdruck einzustellen, welcher die Substrate gegen die Auflagefläche saugt. Durch den Unterdruck wird eine mechanische Kraftbeaufschlagung der Substrate vermieden und dennoch ein Halten gewährleistet. Transport systems of the type mentioned are known from the prior art. In mass production, substrates are not manually carried from one processing station to the next, but moved automatically. As a result, requirements for cleanliness and care in the manufacturing process safely guaranteed. In order not to damage the substrates during transport, in particular devices are necessary which allow a transport of the substrates, by which the substrates are not damaged. In order to carry out the transport, it is therefore customary, for example, to make the support surface on which the substrates can be stored for processing movable in order to move the substrate from a processing position into a transport position or transfer position. Frequently transport belts or treadmills are used, on which the substrates can be stored and conveyed through a processing station. The fact that the substrates simply rest on the conveyor belts, holding forces are avoided, which could damage the substrate. In order to prevent detachment of the substrates from the treadmills, it is also known, if necessary to set a negative pressure, which sucks the substrates against the support surface. Due to the negative pressure, a mechanical application of force to the substrates is avoided and still ensures a hold.
Das Arbeiten mit Unterdruck hat sich auch bei Vorrichtungen bewährt, welche ein Substrat von oben greifen, indem sie es an einer Auflagefläche eines Greifkopfs ansaugen. Wird der Greifkopf anschließend bewegt, ist das Substrat auf einfache Art und Weise von einer Bearbeitungsstation zur nächsten Bearbeitungsstation verlagerbar. Um das Substrat von der einen Vorrichtung der anderen zu übergeben, ist es bekannt, den Greifkopf auf dem Substrat abzusetzen beziehungsweise auf dieses aufzulegen, um das Substrat zu greifen. Arbeiten die beschriebenen Vorrichtungen zusammen, ist auf einfache Art und Weise ein Transportsystem bereitstellbar, das die Bearbeitung und den Transport von Substraten durch ein Bearbeitungssystem mit mehreren Bearbeitungsstationen sicher erlaubt.Working with negative pressure has also been proven in devices that grab a substrate from above by sucking it on a support surface of a gripping head. If the gripping head is subsequently moved, the substrate can be moved in a simple manner from one processing station to the next processing station. In order to transfer the substrate from one device to the other, it is known to deposit or place the gripping head on the substrate in order to grasp the substrate. If the devices described work together, a transport system can be provided in a simple manner, which reliably allows the processing and transport of substrates through a processing system having a plurality of processing stations.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Transportsystem der eingangs genannten Art zu verbessern, sodass die Übergabe eines Substrats von der ersten Vorrichtung an die zweite Vorrichtung sicher und kostengünstig erfolgt. The invention has for its object to improve the transport system of the type mentioned, so that the transfer of a substrate from the first device to the second device is safe and inexpensive.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird durch ein Transportsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Dieses hat den Vorteil, dass die Übergabe der Substrate von der ersten Vorrichtung an die zweite Vorrichtung ohne großen Mehraufwand erfolgt und insbesondere keine beweglichen Teile erfordert, die das jeweilige Substrat anheben und dem Greifkopf näherführen oder den Greifkopf in Richtung der zweiten Auflagefläche bewegen, um das dort liegende Substrat greifen zu können. Dadurch wird der Herstellungs- und Montageaufwand des Transportsystems vereinfacht, sodass insbesondere auch Herstellungskosten reduziert werden. Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, dass die Einrichtung wenigstens eine Druckluftdüse aufweist, die unterhalb der zweiten Auflagefläche derart angeordnet ist, dass ein durch sie erzeugter/erzeugbarer bzw. ausgerichteter Druckluftstrom in Richtung eines auf der zweiten Auflagefläche liegenden Substrats strömt beziehungsweise ausgerichtet ist, um das Substrat in Richtung der ersten Auflagefläche anzuheben, insbesondere, wenn sich das Substrat in einem dafür vorgesehenen Übergabebereich der zweiten Auflagefläche befindet. Die Erfindung sieht also vor, dass die Substrate bzw. das jeweilige Substrat von der zweiten Vorrichtung durch Druckluft angehoben und der ersten Vorrichtung zugeführt werden/wird. Mit anderen Worten werden die Substrate beziehungsweise das jeweilige Substrat von der zweiten Vorrichtung an die erste Vorrichtung angeblasen. Hierdurch ist eine besonders einfache Übergabe der Substrate gewährleistet, die keine beweglichen mechanischen Teile benötigt. Dadurch wird insbesondere auf Elemente verzichtet, die einem mechanischen Verschleiß unterliegen und den Wartungsaufwand des Transportsystems erhöhen. Insbesondere ist es nicht notwendig, dass die erste Vorrichtung und/oder die zweite Vorrichtung Aktoren aufweisen, welche die erste Auflagefläche oder die zweite Auflagefläche nach unten beziehungsweise nach oben bewegen, um das jeweilige Substrat zu übergeben. Der Herstellungs-, Verkabelungs- und konstruktive Aufwand wird dadurch erheblich erleichtert. Durch das Anblasen der Substrate an den Greifkopf wird darüber hinaus ein besonders schonender Umgang mit den Substraten gewährleistet, da auf mechanische Krafteinwirkung auch bei der Übergabe der Substrate verzichtet wird. Zweckmäßigerweise sind die erste Auflagefläche und die zweite Auflagefläche derart nahe zueinander angeordnet, dass durch das Anblasen des jeweiligen Substrats von der zweiten Auflagefläche in Richtung der ersten Auflagefläche bis an die erste Auflagefläche angeblasen, beziehungsweise angehoben wird, oder zumindest bis in den Bereich angehoben werden, in welchem der Unterdruck der ersten Vorrichtung ausreichend hoch ist, um das Substrat weiter an die erste Auflagefläche anzusaugen/anzuziehen. Die wenigstens eine Druckluftdüse ist dazu insbesondere dem Übergabebereich der zweiten Auflagefläche beziehungsweise des Transportsystems zugeordnet, in welchem die erste Auflagefläche und die zweite Auflagefläche einander gegenüberliegen.The problem underlying the invention is achieved by a transport system having the features of
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Einrichtung mehrere parallel zueinander angeordnete Druckluftdüsen zum Anheben des Substrats aufweist. Durch das Vorsehen mehrerer Druckluftdüsen ist gewährleistet, dass das Substrat beim Anblasen beispielweise nicht verkippt und seine Ausrichtung insgesamt beim Anheben beibehalten wird. Insbesondere sind zumindest zwei Druckluftdüsen vorhanden, die jeweils einer Längsseite des Substrats beziehungsweise der zweiten Auflagefläche zugeordnet sind, um ein Substrat beidseitig mit Druckluft zu beaufschlagen und dadurch sicher anzuheben.According to a preferred embodiment of the invention it is provided that the device comprises a plurality of mutually parallel compressed air nozzles for lifting the substrate. By providing a plurality of compressed air nozzles is ensured that the substrate, for example, not tilted when blowing and its orientation is maintained altogether when lifting. In particular, at least two compressed-air nozzles are present, which are each assigned to one longitudinal side of the substrate or the second bearing surface, in order to pressurize a substrate on both sides with compressed air and thereby lift it safely.
Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass die Druckluftdüsen eine symmetrische Anordnung aufweisen, um einen gleichmäßige Druckluftbeaufschlagung des jeweiligen Substrats zu gewährleisten. Insbesondere wird dadurch ein Druckluftkissen erzeugt, welches eine gleichmäßige Kraftbeaufschlagung des jeweiligen Substrats gewährleistet, sodass beispielsweise auch ein Durchhängen des Substrats beim Anheben vermieden wird.It is particularly preferred that the compressed-air nozzles have a symmetrical arrangement in order to ensure a uniform supply of compressed air to the respective substrate. In particular, a compressed air cushion is thereby produced, which ensures a uniform application of force to the respective substrate, so that, for example, sagging of the substrate during lifting is avoided.
Gemäß einer vorteilhaften Weitebildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Druckluftdüsen neben der zweiten Auflagefläche angeordnet sind. Dadurch werden Bereiche des jeweiligen Substrats mit der Druckluft beaufschlagt, die über die zweite Auflagefläche hinausragen. Dies ist insbesondere dann eine vorteilhafte Lösung, wenn die zweite Auflagefläche von einem Transportriemen oder mehreren Transportriemen gebildet wird.According to an advantageous development of the invention, it is provided that the compressed-air nozzles are arranged next to the second bearing surface. As a result, areas of the respective substrate are subjected to the compressed air, which protrude beyond the second bearing surface. This is an advantageous solution in particular when the second bearing surface is formed by a transport belt or a plurality of transport belts.
Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass zumindest eine Druckluftdüse mittig in einer Unterbrechung der zweiten Auflagefläche angeordnet ist. In diesem Fall ist die Druckluftdüse beispielsweise zwischen zwei parallel und beabstandet zueinander angeordneten Transportriemen angeordnet, welche die zweite Auflagefläche bilden. Dadurch wird ein auf der zweiten Auflagefläche aufliegendes Substrat auch mittig mit Druckluft beaufschlagt und in Richtung der ersten Auflagefläche angehoben.Furthermore, it is preferably provided that at least one compressed air nozzle is arranged centrally in an interruption of the second bearing surface. In this case, the compressed-air nozzle is arranged, for example, between two transport belts which are arranged parallel to one another and spaced apart from one another and which form the second support surface. As a result, a resting on the second support surface substrate is also centrally applied with compressed air and raised in the direction of the first support surface.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, wie bereits erwähnt, dass die erste und/oder zweite Auflagefläche durch wenigstens einen beweglich gelagerten Transportriemen gebildet ist. Dadurch ist ein einfacher und verschleißfreier Transport der Substrate entlang der jeweiligen Auflagefläche beziehungsweise gewährleistet. Der Transportriemen stellt dabei vorzugsweise ein Endloszugmittel dar, das insbesondere durch Umlenkrollen an der zweiten Vorrichtung umlaufend geführt ist. Vorzugsweise ist dem jeweiligen Transportriemen zumindest ein Riemenspanner zugeordnet, welcher gewährleistet, dass sich der Transportriemen entlang der vorgesehenen Laufbahn erstreckt, insbesondere in dem Laufabschnitt, in welchem der Transportriemen die erste beziehungsweise zweite Auflagefläche bildet. According to a preferred development is provided, as already mentioned, that the first and / or second bearing surface is formed by at least one movably mounted transport belt. This ensures a simple and wear-free transport of the substrates along the respective support surface or respectively. The transport belt is preferably an endless traction means, which is guided in particular circumferentially by deflection rollers on the second device. Preferably, at least one belt tensioner is assigned to the respective transport belt, which ensures that the transport belt extends along the intended track, in particular in the running section, in which the transport belt forms the first or second bearing surface.
Insbesondere ist vorgesehen, dass die erste und/oder zweite Auflagefläche durch zumindest zwei parallel und beabstandet zueinander angeordnete und beweglich gelagerte Transportriemen gebildet ist. Dadurch liegt das jeweilige Substrat auf zwei Transportriemen auf oder an, sodass es sicher gehalten und geführt ist. Hierbei kann die eine oder die mehreren Druckluftdüsen mittig zwischen den Transportriemen oder außerhalb der beiden Transportriemen angeordnet sein, um das jeweilige Substrat von unten mit Druckluft zu beaufschlagen.In particular, it is provided that the first and / or second support surface is formed by at least two parallel and spaced from each other and movably mounted transport belt. As a result, the respective substrate rests on or on two conveyor belts, so that it is securely held and guided. In this case, the one or more compressed-air nozzles may be arranged centrally between the transport belts or outside the two transport belts in order to pressurize the respective substrate from below with compressed air.
Vorzugsweise sind die Druckluftdüsen mit einem gemeinsamen Drucklufterzeuger strömungstechnisch verbunden, sodass die Druckluftdüsen mit derselben Druckluft beaufschlagt werden, wodurch eine einfache Drucklufterzeugung und Anhebung des jeweiligen Substrats kostengünstig realisiert wird.Preferably, the compressed air nozzles are fluidly connected to a common compressed air generator, so that the compressed air nozzles are acted upon by the same compressed air, whereby a simple compressed air generation and raising the respective substrate is realized cost.
Weiterhin ist bevorzugt vorgesehen, dass die jeweilige Druckluftdüse ein ansteuerbares Ventil zum Einstellen eines Durchströmungsquerschnitts in der jeweiligen Druckluftdüse aufweist. Durch das jeweilige Ventil können somit die Durchströmungsquerschnitte der insbesondere mehreren Druckluftdüsen angepasst werden, um beispielsweise zu gewährleisten, dass das jeweilige Substrat gleichmäßig angehoben wird, ohne dass es in Bezug auf die Auflagefläche seine Ausrichtung verliert und beispielsweise in eine Richtung kippt. Insbesondere werden die Ventile dazu angesteuert, die Druckluftbeaufschlagung einzuschalten oder zu deaktivieren, indem sie den Durchströmungsquerschnitt freigeben oder vollständig verschließen. Dadurch wird erreicht, dass das Druckluftkissen erst dann erzeugt wird, wenn sich das Substrat in einer dafür vorteilhaften Position auf der zweiten Auflagefläche befindet. Alternativ ist nur ein ansteuerbares Ventil vorgesehen, das beispielsweise dem Drucklufterzeuger nachgeschaltet und der Verzweigung zu den Druckluftdüsen vorgeschaltet ist, sodass mit einem einzigen Ventil der Druckluftstrom unterbrochen oder freigegeben werden kann. Zweckmäßigerweise ist das jeweilige Ventil elektrisch ansteuerbar und weist einen entsprechenden Aktor zum Verstellen eines Ventilelements auf, welches den Durchströmungsquerschnitt beeinflusst.Furthermore, it is preferably provided that the respective compressed-air nozzle has a controllable valve for setting a flow cross-section in the respective compressed-air nozzle. By the respective valve thus the flow cross sections of the particular more compressed air nozzles can be adjusted, for example, to ensure that the respective substrate is raised evenly without it loses its orientation with respect to the support surface and tilts, for example in one direction. In particular, the valves are driven to the To turn on or off the compressed air supply by releasing or completely closing the flow area. This ensures that the compressed air cushion is generated only when the substrate is in a favorable position on the second support surface. Alternatively, only one controllable valve is provided which, for example, downstream of the compressed air generator and upstream of the branch to the compressed air nozzles, so that the compressed air flow can be interrupted or released with a single valve. Conveniently, the respective valve is electrically actuated and has a corresponding actuator for adjusting a valve element, which influences the flow cross-section.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die zweite Vorrichtung zumindest einen Sensor zum Erfassen des Aufliegens eines Substrats auf der zweiten Auflagefläche aufweist. Mittels des Sensors ist dann beispielsweise erfassbar, dass ein Substrat mittels der Transportriemen in einen Übergabebereich, also in eine für die Übergabe vorteilhafte Position entlang der zweiten Auflagefläche transportiert wurde. Wird dies detektiert, so werden beispielsweise das eine oder die mehreren Ventile angesteuert, um den jeweiligen Durchströmungsquerschnitt freizugeben, sodass das jeweilige Substrat in Richtung des Greifkopfs angehoben wird. Bevorzugt ist der Sensor dazu ausgebildet, lediglich das Vorhandensein des Substrats auf der zweiten Auflagefläche, insbesondere in dem Übergabeabschnitt, zu erfassen. Alternativ ist bevorzugt vorgesehen, dass der Sensor nicht nur das Vorhandensein, sondern auch die Ausrichtung des Substrats in dem Übergabeabschnitt erfasst, wobei unter der Ausrichtung insbesondere die Ausrichtung des Substrats in Bezug auf die Ebene der Auflagefläche zu verstehen ist. Insofern wird hierdurch die Möglichkeit zur Verfügung gestellt, die Neigung eines Substrats in Bezug auf die zweite Auflagefläche zu erfassen. In Abhängigkeit von der erfassten Neigung werden die Druckluftdüsen dazu angesteuert, der Neigung entgegenzuwirken, sodass das Substrat parallel zur zweiten Auflagefläche ausgerichtet wird. Zum Auswerten der Sensordaten und zum Ansteuern des jeweiligen Ventils ist vorzugsweise ein Steuergerät vorhanden, welches mit dem zumindest einen Sensor und dem zumindest einen Ventil signaltechnisch verbunden ist. Vorzugsweise sind zum Erfassen der Neigung des Substrats mehrere Sensoren verteilt angeordnet, die beispielsweise jeweils einen Abstand zu dem Substrat erfassen, sodass in Abhängigkeit der ermittelten Abstände die Neigung des Substrats bestimmt wird.According to a preferred embodiment of the invention it is provided that the second device has at least one sensor for detecting the resting of a substrate on the second support surface. By means of the sensor it is then possible to detect, for example, that a substrate has been transported by means of the transport belts into a transfer region, that is to say into a position advantageous for transfer along the second support surface. If this is detected, then, for example, the one or more valves are activated in order to release the respective flow cross section, so that the respective substrate is raised in the direction of the gripping head. Preferably, the sensor is designed to detect only the presence of the substrate on the second bearing surface, in particular in the transfer section. Alternatively, it is preferably provided that the sensor not only detects the presence, but also the orientation of the substrate in the transfer section, wherein the alignment is to be understood in particular as the orientation of the substrate with respect to the plane of the support surface. In this respect, the possibility is thereby made available to detect the inclination of a substrate with respect to the second bearing surface. Depending on the detected tilt, the compressed air nozzles are driven to counteract the tilt so that the substrate is aligned parallel to the second support surface. To evaluate the sensor data and to control the respective valve, a control device is preferably present, which is signal-technically connected to the at least one sensor and the at least one valve. Preferably, a plurality of sensors are arranged distributed for detecting the inclination of the substrate, for example, each detect a distance to the substrate, so that the inclination of the substrate is determined depending on the determined distances.
Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dass der Sensor als berührungsfrei arbeitender Sensor, insbesondere als Abstandssensor, beispielsweise als optischer Sensor, Ultraschallsensor, Radarsensor, Laser-Sensor, Lidarsensor oder dergleichen ausgebildet ist. Wird ermittelt, dass ein durch den Sensor erfasster Abstand nicht einem Sollabstand entspricht, der erfasst werden würde, wenn sich das Substrat im Übergabebereich befindet, wird darauf erkannt, dass sich kein Substrat im Übergabebereich befindet oder das Substrat bereits an die erste Vorrichtung übergeben wurde. Dadurch ist eine einfache Steuerung des Transportsystems mittels des zuvor bereits erwähnten Steuergeräts gewährleistet. Mittels des jeweiligen Sensors ist es somit auch durch Auswerten der erfassten Daten durch das Steuergerät vorgesehen, das Vorhandensein eines Substrats im Übergabebereich zu erfassen, wobei durch das Steuergerät die Druckluftdüsen erst dann aktiviert werden, wenn das Substrat den Übergabebereich erreicht hat beziehungsweise vollständig in diesem liegt.It is particularly preferably provided that the sensor is designed as a contact-free operating sensor, in particular as a distance sensor, for example as an optical sensor, ultrasonic sensor, radar sensor, laser sensor, lidar sensor or the like. If it is determined that a distance detected by the sensor does not correspond to a desired distance that would be detected when the substrate is in the transfer area, it is recognized that there is no substrate in the transfer area or the substrate has already been transferred to the first device. As a result, a simple control of the transport system by means of the previously mentioned control device is ensured. By means of the respective sensor, it is thus also provided by evaluating the detected data by the control unit to detect the presence of a substrate in the transfer area, wherein the compressed air nozzles are activated by the control unit only when the substrate has reached the transfer area or lies completely in this ,
Das erfindungsgemäße Bearbeitungssystem mit den Merkmalen des Anspruchs 12 zeichnet sich durch das erfindungsgemäße Transportsystem aus. Es ergeben sich hierdurch die bereits genannten Vorteile. Dabei ist beispielsweise vorgesehen, dass die zweite Vorrichtung in die wenigstens eine Bearbeitungsstation integriert ist, um ein Substrat durch die Bearbeitungsstation zu fördern. Die erste Vorrichtung arbeitet gemäß dem erfindungsgemäßen Transportsystem mit der zweiten Vorrichtung zusammen, um das Substrat von der wenigstens einen Bearbeitungsstation zu entfernen und beispielsweise zu wenigstens einer zweiten Bearbeitungsstation zu verbringen. Dazu ist der Greifkopf beispielsweise beweglich ausgebildet, sodass er beispielsweise horizontal verfahrbar ist, um das Substrat von einer Bearbeitungsstation zu einer anderen Bearbeitungsstation, die insbesondere ebenfalls eine Transportvorrichtung gemäß der zweiten Vorrichtung aufweist, zu verbringen und dort auf die zweite Auflagefläche abzulegen. Hierdurch können komplexe Bearbeitungssysteme mit einem automatischen Transport der Substrate auf einfache und kostengünstige Art und Weise zur Verfügung gestellt werden.The processing system according to the invention with the features of
Im Folgenden soll die Erfindung anhand der Zeichnung näher erörtert werden. Dazu zeigenIn the following, the invention will be discussed with reference to the drawing. Show this
Dazu weist das Transportsystem
Die Vorrichtung
Wird somit ein Substrat an die Transportriemen
Die zweite Vorrichtung
Der oben verlaufende Abschnitt der Transportriemen
Die Vorrichtungen
Um nun ein Substrat
Dazu weist die Einrichtung
Die Druckluftdüsen
Zum Anheben beziehungsweise Verbringen des jeweiligen Substrats
Hierdurch ist eine mechanische berührungsfreie Übergabe des Substrats
Um die Übergabe zu steuern ist zweckmäßigerweise ein Steuergerät
Die Druckluftdüsen
Darüber hinaus ist mittels des Sensors
Gemäß einem weiteren, hier nicht dargestellten Ausführungsbeispiel, ist vorgesehen, dass die Vorrichtung
Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, dass jeder der Druckluftdüsen
Das Transportsystem
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