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TECHNISCHES GEBIET
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Bei zumindest einem Aspekt betrifft die vorliegende Erfindung korrosionsbeständige Kohlenstoffträger für Brennstoffzellen- und Batterieanwendungen.
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HINTERGRUND
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Brennstoffzellen werden bei vielen Anwendungen als eine elektrische Energiequelle verwendet. Insbesondere werden Brennstoffzellen zur Verwendung in Kraftfahrzeugen als Ersatz für Verbrennungsmotoren vorgeschlagen. Eine üblicherweise verwendete Brennstoffzellenkonstruktion verwendet eine Festpolymerelektrolyt-(”SPE”)-Membran oder Protonenaustauschmembran (”PEM”), um einen Ionentransport zwischen der Anode und der Kathode bereitzustellen.
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Bei Brennstoffzellen vom Protonenaustauschmembrantyp wird Wasserstoff an die Anode als Brennstoff geliefert und Sauerstoff an die Kathode als das Oxidationsmittel geliefert. Der Sauerstoff kann entweder in reiner Form (O2) oder als Luft (eine Mischung aus O2 und N2) vorliegen. PEM-Brennstoffzellen besitzen typischerweise eine Membranelektrodenanordnung (”MEA”), in der eine Festpolymermembran einen Anodenkatalysator auf einer Seite und einen Kathodenkatalysator auf der entgegengesetzten Seite aufweist. Die Anoden- und Kathodenschichten einer typischen PEM-Brennstoffzelle sind aus porösen leitenden Materialien ausgebildet, wie verwobenem Graphit, graphitisierten Lagen oder Kohlepapier, um zu ermöglichen, dass der Brennstoff und das Oxidationsmittel über die den Brennstoff- bzw. Oxidationsmittellieferelektroden zugewandten Oberfläche der Membran verteilt werden. Jede Elektrode besitzt fein geteilte Katalysatorpartikel (beispielsweise Platinpartikel), die auf Kohlenstoffpartikeln getragen sind, um eine Oxidation von Wasserstoff an der Anode und eine Reduktion von Sauerstoff an der Kathode zu unterstützen. Protonen fließen von der Anode durch die ionenleitende Polymermembran an die Kathode, an der sie sich mit Sauerstoff kombinieren, um Wasser zu bilden, das von der Zelle ausgetragen wird. Die MEA ist schichtartig zwischen einem Paar poröser Gasdiffusionsschichten (”GDL”) angeordnet, die ihrerseits schichtartig zwischen einem Paar nicht poröser, elektrisch leitender Elemente oder Platten angeordnet sind. Die Platten dienen als Stromkollektoren für die Anode und die Kathode und enthalten geeignete Kanäle und Öffnungen, die darin ausgebildet sind, um die gasförmigen Reaktanden der Brennstoffzelle über die Oberfläche jeweiliger Anoden- und Kathodenkatalysatoren zu verteilen. Um effizient Elektrizität zu erzeugen, muss die Polymerelektrolytmembran einer PEM-Brennstoffzelle dünn, chemisch stabil, protonendurchlässig, nicht elektrisch leitend und gasimpermeabel sein. Bei typischen Anwendungen werden Brennstoffzellen in Gruppierungen vieler einzelner Brennstoffzellenstapel vorgesehen, um hohe Niveaus an elektrischer Leistung bereitzustellen.
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Kohlenstoff mit großer Oberfläche wird bei elektrochemischen Vorrichtungen weitverbreitet verwendet, wie Brennstoffzellen, Batterien und Superkondensatoren. In PEM-Brennstoffzellen dienen Kohlenstoffpartikel mit großer Oberfläche als Träger für Elektrokatalysatoren und bilden den Baublock der Elektrodenstruktur. Jedoch ist Kohlenstoff in nahezu allen Brennstoffzellensystemanwendungen, insbesondere bei Kraftfahrzeuganwendungen, anfällig gegenüber einer elektrochemischen Oxidationsreaktion (auch als Kohlenstoffkorrosion bekannt). Eine Kohlenstoffkorrosion führt zu einem Kohlenstoffmassenverlust und beschädigt schließlich die Elektrodenstruktur. Eine Kohlenstoffkorrosion stellt eine der Schlüsselherausforderungen bei der Haltbarkeit dar, denen sich die PEM-Brennstoffzelle gegenübersieht.
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Demgemäß besteht ein Bedarf nach einer verbesserten Vorgehensweise zur Herstellung von auf Kohlenstoff geträgerten Elektrokatalysatoren für Brennstoffzellenanwendungen.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Die vorliegende Erfindung löst ein oder mehrere Probleme des Standes der Technik dadurch, dass bei zumindest einer Ausführungsform ein Verfahren zur Herstellung korrosionsbeständiger Kohlenstoffnanopartikel für Brennstoffzellen- und Batterieanwendungen bereitgestellt wird. Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung, an der Außenseite von Kohlenstoff-Nanopartikeln einen dünnen leitenden oder halbleitenden Film zu entwickeln, der auch korrosionsbeständig ist. Ein derartiger oberflächengeschützter Kohlenstoff kann als ein korrosionstoleranter Katalysatorträger verwendet werden. Das Verfahren umfasst einen Schritt zum Erwärmen eines Kohlenstoffpulvers auf eine vorbestimmte Temperatur. Das Kohlenstoffpulver weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Das Kohlenstoffpulver steht mit einem Dampf einer metallhaltigen Verbindung (z. B. titanhaltige, niobhaltige, zinnhaltige, tantalhaltige oder wolframhaltige Verbindungen) und dann mit einem Dampf einer aktivierenden Verbindung in Kontakt. Diese Kontaktschritte werden mehrere Male wiederholt, um eine metallhaltige Schicht an den Kohlenstoffpartikeln zu bilden. Metallhaltige Schichten weisen Metalloxidschichten, Metallnitridschichten, Metalloxynitridschichten und Metallkarbidschichten auf.
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Bei einer anderen Ausführungsform ist ein Verfahren zum Herstellen eines korrosionsbeständigen Kohlenstoffpulvers, das mit Platin beschichtet ist, vorgesehen. Das Verfahren umfasst einen Schritt zum Erwärmen eines Kohlenstoffpulvers auf eine vorbestimmte Temperatur. Das Kohlenstoffpulver weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Das Kohlenstoffpulver steht in Kontakt mit einem Dampf aus Titantetrahalogenid und dann mit einem Dampf einer aktivierenden Verbindung, die eine OH-Gruppe aufweist. Diese Kontaktschritte werden mehrere Male wiederholt, um eine Titanoxidschicht an den Kohlenstoffpartikeln zu bilden. Charakteristisch weist die Titanoxidschicht eine Dicke zwischen etwa 1 Monoschicht bis 20 Nanometern auf. Optional wird dann Platin an der Titanoxidschicht abgeschieden.
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Bei einer anderen Ausführungsform ist ein Verfahren zum Herstellen eines korrosionsbeständigen Kohlenstoffpulvers vorgesehen. Das Verfahren umfasst einen Schritt zum Erwärmen eines Kohlenstoffpulvers auf eine vorbestimmte Temperatur. Das Kohlenstoffpulver weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Das Kohlenstoffpulver wird mit einem Dampf aus Titantetrahalogenid in Kontakt gebracht. Das Kohlenstoffpulver wird dann mit einem Dampf einer ersten aktivierenden Verbindung, die eine OH-Gruppe aufweist, und einer zweiten aktivierenden Verbindung, die eine NH2-Gruppe aufweist, in Kontakt gebracht. Diese Schritte, um das Kohlenstoffpulver in Kontakt zu bringen, werden mehrere Male wiederholt, um eine Titanoxynitridschicht an den Kohlenstoffpartikeln zu bilden. Das Kohlenstoffpulver wird entweder gleichzeitig mit einer Kombination der ersten aktivierenden Verbindung und der zweiten aktivierenden Verbindung in demselben Schritt in Kontakt gebracht oder alternativ dazu mit der ersten aktivierenden Verbindung oder der zweiten aktivierenden Verbindung in separaten Schritten in Kontakt gebracht. Charakteristisch weist die Titanoxynitridschicht eine Dicke zwischen etwa 1 Monoschicht bis 20 Nanometern auf. Optional wird dann Platin an der Titanoxidschicht abgeschieden.
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Bei einer anderen Ausführungsform ist ein Verfahren zum Herstellen eines korrosionsbeständigen Kohlenstoffpulvers durch chemische Gasphasenabscheidung vorgesehen. Das Verfahren umfasst einen Schritt zum Erwärmen eines Kohlenstoffpulvers auf eine vorbestimmte Temperatur. Das Kohlenstoffpulver weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Das Kohlenstoffpulver reagiert mit einem Dampf einer metallhaltigen Verbindung und einem Dampf einer aktivierenden Verbindung, um eine metallhaltige Schicht an den Kohlenstoffpartikeln zu bilden. Optional wird dann Platin an der metallhaltigen Schicht abgeschieden.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine Schnittansicht einer Brennstoffzelle, die Kohlenstoffpartikel enthält, die mit einer titanhaltigen Schicht beschichtet sind;
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2 ist eine Schnittansicht einer Lithiumionenbatterie, die Kohlenstoffpartikel enthält, die mit einer titanhaltigen Schicht beschichtet sind;
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3 stellt ein schematisches Flussdiagramm bereit, das ein Verfahren zum Herstellen von Kohlenstoffpartikeln zeigt, die mit einer titanhaltigen Schicht beschichtet sind;
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4 stellt ein schematisches Flussdiagramm bereit, das ein Verfahren zum Herstellen von Kohlenstoffpartikeln zeigt, die mit einer titanhaltigen Schicht beschichtet sind;
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5A sieht eine idealisierte Aufzeichnung des Kohlenstoffkorrosionsstroms in Abhängigkeit der Dicke der titanhaltigen Schicht für beschichtete Kohlenstoffpartikel vor;
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5B sieht eine idealisierte Aufzeichnung der Leitfähigkeit der Titanschicht in Abhängigkeit der Dicke der Titanschicht vor.
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6 sieht ein Schema eines Atomlagenabscheidungssystems zur Implementierung der Verfahren der 3 und 4 vor;
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7A sieht Abbildungen eines Transmissionselektronenmikroskops (TEM) von mit TiO2 beschichteten Kohlenstoffpartikeln vor;
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7B sieht ein EDX-Elementverteilungsbild für die Zusammensetzung von mit TiO2 beschichteten Kohlenstoffpartikeln vor; und
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8 sieht ein Balkendiagramm vor, das den Einfluss der TiO2-Beschichtung auf den Kohlenstoffkorrosionsstrom zeigt.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
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Es wird nun detailliert Bezug auf derzeit bevorzugte Zusammensetzungen, Ausführungsformen und Verfahren der vorliegenden Erfindung genommen, die die besten Arten zur Ausführung der Erfindung, die den Erfindern derzeit bekannt sind, bilden. Die Figuren sind nicht unbedingt maßstabsgetreu gezeichnet. Es sei jedoch zu verstehen, dass die offenbarten Ausführungsformen lediglich beispielhaft für die Erfindung sind, die in verschiedenen und alternativen Formen ausgeführt werden kann. Daher sollen spezifische Einzelheiten, die hier offenbart sind, nicht als beschränkend sondern lediglich als eine repräsentative Basis für irgendeinen Aspekt der Erfindung und/oder als eine repräsentative Basis zur Unterrichtung des Fachmanns interpretiert werden, um die vorliegende Erfindung auf verschiedene Weise anzuwenden.
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Ausgenommen in den Beispielen oder wo dies ausdrücklich anderweitig genannt ist, sind alle numerischen Mengen in dieser Beschreibung, welche die Mengen von Material oder Reaktionsbedingungen und/oder Verwendung bezeichnen, beim Beschreiben des breitesten Umfangs der vorliegenden Erfindung als durch das Wort „ungefähr” modifiziert zu verstehen. Die Anwendung innerhalb der genannten Zahlenbegrenzungen ist im Allgemeinen bevorzugt. Sofern nicht gegenteilig ausgeführt: sind Prozent, „Teile von” und Verhältniswerte pro Gewicht; beinhaltet die Beschreibung einer Gruppe oder Klasse von Materialien für einen vorgegebenen Zweck in Verbindung mit der Erfindung als geeignet oder bevorzugt, dass Mischungen von zwei oder mehr der Mitglieder der Gruppe oder Klasse gleichermaßen geeignet oder bevorzugt sind; bezieht sich die Beschreibung von Konstituenten in chemischen Begriffen auf die Konstituenten zu der Zeit der Zugabe zu irgendeiner Mischung, welche in der Beschreibung spezifiziert ist, und schließt nicht notwendigerweise chemische Interaktionen zwischen den Konstituenten einer einmal vermischten Mischung aus; ist die erste Definition eines Akronyms oder einer anderen Abkürzung hier auf alle nachfolgenden Verwendungen derselben Abkürzung und auf normale grammatikalische Abweichungen der anfänglich definierten Abkürzung anwendbar und wird, sofern nicht gegenteilig ausgeführt, die Messung einer Eigenschaft durch dieselbe Technik, wie zuvor oder nachfolgend für dieselbe Eigenschaft dargelegt, bestimmt.
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Es sei auch zu verstehen, dass diese Erfindung nicht auf die spezifischen Ausführungsformen und Verfahren, wie nachfolgend beschrieben ist, beschränkt ist, da selbstverständlich spezifische Komponenten und/oder Bedingungen variieren können. Ferner dient die hier verwendete Terminologie nur dem Zweck der Beschreibung bestimmter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und ist nicht dazu bestimmt, in irgendeiner Weise einzuschränken.
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Es muss auch angemerkt werden, dass, wie in der Beschreibung und den angefügten Ansprüchen verwendet ist, die Singularform ”ein”, ”eine”, ”einer” und ”der”, ”die”, ”das” Pluralbezüge umfassen, sofern der Kontext dies nicht anderweitig deutlich angibt. Beispielsweise ist ein Bezug auf eine Komponente im Singular dazu bestimmt, eine Mehrzahl von Komponenten zu umfassen.
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In dieser Anmeldung sind, wenn auf Veröffentlichungen Bezug genommen wird, die Offenbarungen dieser Veröffentlichungen in ihrer Gesamtheit hierdurch durch Bezugnahme in diese Anmeldung eingeschlossen, um den Stand der Technik, zu dem diese Erfindung gehört, besser zu beschreiben.
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Bei einer Ausführungsform bedeutet der Präfix „Nano”, dass die beschriebenen Partikel zumindest eine räumliche Abmessung von etwa 1 nm bis etwa 100 nm besitzen. Bei einer Variante bedeutet der Präfix Anführungszeichen Nano”, dass die beschriebenen Partikel zumindest eine räumliche Abmessung von etwa 1 nm bis etwa 20 nm besitzen. Bei einer anderen Variante bedeutet der Präfix „Nano”, dass die beschriebenen Partikel zumindest eine räumliche Abmessung von etwa 20 nm bis etwa 50 nm besitzen.
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Der Begriff „Metalloxynitridschicht” betrifft Schichten mit Metallatomen, die durch Sauerstoffatome und Stickstoffatome gebunden sind. Bei einer Ausführung besitzt eine Titanoxynitridschicht die folgende Formel TiOxNy wobei x zwischen 0,1 und 1,95 liegt und y zwischen 0,1 und 1.4 liegt.
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Der Begriff „Metalloxidschicht” betrifft Schichten mit Metallatomen, die an Sauerstoffatome gebunden sind. Beispiele umfassen Titanoxide mit der Formel TiO2, Zinnoxide mit der Formel SNO2, Nioboxide mit der Formel NbO und Nb2O3, Tantaloxide mit der Formel Ta2O5 und Suboxide dieser Materialien. Suboxide weisen typischerweise eine nichtstöchiometrische Sauerstoffmenge auf, die um bis zu 30 Atomprozent geringer als der stöchiometrische Wert sein kann.
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Der Begriff „Metallnitridschicht” betrifft Schichten mit Metallatomen, die an Stickstoffatome gebunden sind. Beispiele umfassen Titannitride mit der Formel TiN, Niobnitride mit der Formel NbN, Tantalnitride mit der Formel TaN und nichtstöchiometrische Nitride dieser Materialien. Nichtstöchiometrische Nitride weisen typischerweise nicht stöchiometrische Stickstoffmengen auf, die um bis zu 30 Atomprozent geringer als der stöchiometrische Wert sein können.
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Bei einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen korrosionsbeständiger Kohlenstoff-Nanopartikel für Brennstoffzellen- und Batterieanwendungen vorgesehen. Das Verfahren umfasst einen Schritt zum Erwärmen eines Kohlenstoffpulvers auf eine vorbestimmte Temperatur. Das Kohlenstoffpulver weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Das Kohlenstoffpulver wird mit einem Dampf einer metallhaltigen Verbindung (z. B. titanhaltigen Verbindung) und einem Dampf einer aktivierenden Verbindung in Kontakt gebracht. Bei einer Ausführung wird das Kohlenstoffpulver gleichzeitig mit den Dämpfen in einem chemischen Gasphasenabscheidungsprozess in Kontakt gebracht. Bei einer anderen Ausführung wird das Kohlenstoffpulver abwechselnd mit dem Dampf einer metallhaltigen Verbindung und dem Dampf einer aktivierenden Verbindung in einem Atomlagenabscheidungsprozess (ALD) in Kontakt gebracht. Die aktivierende Verbindung ist eine Verbindung, die mit der metallhaltigen Verbindung reagiert, um ein Metalloxid, ein Metallnitrid, ein Metalloxynitrid und ein Metallcarbid (z. B. WC) zu reagieren. In einem ALD-Prozess werden die Kontaktschritte mehrere Male wiederholt, um eine titanhaltige Schicht an (z. B. Kontakt der Fläche von) den Kohlenstoffpartikeln zu bilden.
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Mit Bezug auf 1 ist eine Schnittansicht einer Brennstoffzelle vorgesehen, die das korrosionsbeständige Kohlenstoffpulver, wie oben dargestellt ist, enthält. Eine PEM-Brennstoffzelle 10 weist eine Ionen leitende Polymermembran 12 auf, die zwischen einer Kathodenelektrokatalysatorschicht 14 und einer Anodenelektrokatalysatorschicht 16 angeordnet ist. Die Brennstoffzelle 10 weist auch elektrisch leitende Strömungsfeldplatten 20, 22 auf, die Gaskanäle 24 und 26 enthalten. Die Strömungsfeldplatten 28, 30 sind entweder Bipolarplatten (gezeigt) oder Unipolarplatten (d. h. Endplatten). Bei einer Ausführung sind die Strömungsfeldplatten 20, 24 aus einer Metallplatte (z. B. rostfreiem Stahl) hergestellt, die optional mit einem Edelmetall, wie Gold oder Platin, beschichtet ist. Bei einer anderen Ausführung sind die Strömungsfeldplatten 20, 24 aus leitenden Polymeren hergestellt, die ebenfalls optional mit einem Edelmetall beschichtet sind. Gasdiffusionsschichten 32 und 34 sind auch zwischen den Strömungsfeldplatten und einer Katalysatorschicht angeordnet. Die Elektrokatalysatorschicht 14 der Kathode und die Elektrokatalysatorschicht 16 der Anode weisen ein korrosionsbeständiges Kohlenstoffpulver auf, das durch die nachfolgend beschriebenen Prozesse hergestellt wird. Vorteilhafterweise steigert dieses korrosionsbeständige Kohlenstoffpulver die Aktivität der Sauerstoffreduzierungsreaktion, wenn es in die Elektrokatalysatorschichten der Kathode aufgenommen ist.
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Mit Bezug auf 2 ist ein schematischer Schnitt einer Lithiumionenbatterie, die das korrosionsbeständige Kohlenstoffpulver, wie oben dargestellt ist, enthält, vorgesehen. Die Batterie 40 weist eine Anode 42 und eine Kathode 44 auf. Ein Separater 48 ist zwischen der Anode 42 und der Kathode 44 angeordnet, wodurch elektrische Kurzschlüsse zwischen den beiden Elektroden minimiert werden, während ein Durchgang von Ionen, wie Lithium (Li+) zugelassen wird. Vorteilhafterweise weist die Anode 42 das korrosionsbeständige Kohlenstoffpulver auf, das durch die nachfolgend dargestellten Verfahren hergestellt ist.
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Mit Bezug auf 3 ist ein Verfahren für die Herstellung korrosionsbeständiger Kohlenstoffnanopartikel für Brennstoffzellen- und Batterieanwendungen vorgesehen. Bei Schritt a) wird Kohlenstoffpulver 50 auf eine vorbestimmte Temperatur in einem Atomlagenabscheidungs-(ALD-)Reaktor erhitzt. Bei einer Ausgestaltung wird das Kohlenstoffpulver 50 auf eine Temperatur von etwa 150°C bis 300°C erhitzt. Das Kohlenstoffpulver 50 weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Bei einer Ausgestaltung weist das Kohlenstoffpulver 50 Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 20 und 70 Nanometer besitzen. Bei Schritt b) wird das Kohlenstoffpulver 50 mit einem Dampf aus einer metallhaltigen Verbindung (z. B. titanhaltigen Verbindung) in Kontakt gebracht, um Kohlenstoffpartikel 52 mit einer modifizierten metallhaltigen Oberfläche (z. B. modifizierte titanhaltige Oberfläche) in einem Reaktor zu bilden. Geeignete metallhaltige Verbindungen umfassen, sind aber nicht darauf beschränkt, Titantetrahalogenide (beispielsweise TiCl4, TiBr4, usw.), Tantalhalogenide, Niobhalogenide, Wolframhalogenide (z. B. WF6), Metallalkoxide mit C1-6 Alkoxidgruppen (beispielsweise Titanalkoxide) und dergleichen. Bei Schritt p1) werden Kohlenstoffpartikel 52 mit einem Inertgas gespült (z. B. Stickstoff, Helium, Argon und dergleichen), indem der Reaktor gespült wird. Bei Schritt c) werden Kohlenstoffpartikel 52 mit einem Dampf aus einer oder mehreren aktivierenden Verbindung(en) in Kontakt gebracht, um Kohlenstoffpartikel 54 mit einer modifizierten Oberfläche zu bilden, die Reste der aktivierenden Verbindung und insbesondere eine Schicht aus Titan-Oxid, -Nitrid oder -Oxynitrid aufweist. Bei Schritt p2) werden Kohlenstoffpartikel 54 mit einem Inertgas gespült (z. B. Stickstoff, Helium, Argon und dergleichen).
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Weiter mit Bezug auf 3 werden, wie durch die Schleife I dargestellt, die Schritte b, p1, c, p2 mehrere Male wiederholt, um eine Titan enthaltende Schicht 56 auf Kohlenstoffpartikeln 50 zu bilden. Bei einer Ausgestaltung werden diese Schritte 1- bis 1000-mal wiederholt, um die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 (beispielsweise titanhaltigen Schicht) Monoschicht um Monoschicht aufzubauen, bis eine gewünschte Dicke erreicht ist. Bei einer Ausgestaltung liegt die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 von etwa einer Monoschicht bis 30 Nanometer. Bei einer anderen Ausgestaltung liegt die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 zwischen 1 Nanometer bis 30 Nanometer. Bei einer anderen Ausgestaltung liegt die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 im Bereich von 5 Nanometer bis 25 Nanometer. Wenn die metallhaltige Schicht 56 eine Metalloxidschicht (beispielsweise Titanoxid) sein soll, dann weist die aktivierende Verbindung eine OH-Gruppe auf, wenn Metallhalogenide (beispielsweise TiCl4) als die Metallquelle (z. B. Titanquelle) verwendet werden. Wenn eine metallhaltige Schicht 56 eine Metallnitridschicht sein soll (beispielsweise eine Titannitridschicht), dann weist die aktivierende Verbindung eine NH2-Gruppe auf, wenn Metallhalogenide als die Titanquelle verwendet werden. Beispiele für geeignete aktivierende Verbindungen mit einer OH-Gruppe umfassen Wasser und C1-6 Alkohole. Beispiele für geeignete aktivierende Verbindungen mit einer NH2-Gruppe umfassen Ammoniak und primärer C1-6 Amine. Wenn die metallhaltige Schicht 56 ein Metalloxynitridschicht sein soll (z. B. eine Titanoxynitridschicht), dann sind die aktivierende Verbindung oder Verbindungen eine Kombination aus einer Verbindung mit einer OH-Gruppe und einer Verbindung mit einer NH2-Gruppe. Wenn die metallhaltige Verbindung ein Metallalkoxid ist (z. B. Titanalkoxid), sind molekularer Sauerstoff, Wasser und Ammoniak Beispiele einer Sauerstoff- bzw. Stickstoffquelle für die aktivierenden Verbindungen. In dieser Ausgestaltung werden molekularer Sauerstoff und Ammoniak entweder gleichzeitig oder abwechselnd verwendet, Metalloxynitride (z. B. Titanoxynitride) zu produzieren. Wenn die metallhaltige Schicht 56 eine Wolframkarbidschicht sein soll, dann kann die aktivierende Verbindung ein Alcan sein, wie Methan, Ethan und dergleichen. Bei diesem letztgenannten Beispiel ist die metallhaltige Verbindung WF6 oder ein Wolframalkoxid (C1-6)
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Weiter mit Bezug auf 3 wird in einer Variante eine Edelmetallschicht 58 auf eine Metallschicht 56 abgeschieden, um bei Schritt d) edelmetallbeschichtete Kohlenstoffpartikel 60 zu bilden. Beispiele von Edelmetallen zur Bildung einer Edelmetallschicht umfassen Gold, Ruthenium, Rhodium, Palladium, Osmium, Iridium oder Platin. Platin ist besonders nützlich für Brennstoffzellenkatalysatorschichten. Beispiele für Prozesse zur Bildung von Edelmetallschichten 58 umfassen Verdampfung, Sputtern, nasschemische Techniken und dergleichen. Bei einer Ausgestaltung ist die Platinschicht eine nicht kontinuierliche Schicht. Stattdessen werden Platinpartikel oder -kügelchen auf den Kohlenstoffpartikeln abgeschieden. Bei einer anderen Ausgestaltung liegt die Menge an Platin auf den Kohlenstoffpartikeln in einer Menge von etwa 10 bis 70 Gewichtsprozent des kombinierten Gewichts der beschichteten Kohlenstoffpartikel und des Platin vor. Bei Schritt e) werden edelmetallbeschichtete Partikel und insbesondere platinbeschichtete Kohlenstoffpartikel in die Kathodenkatalysatorschicht 14 und/oder Anodenkatalysatorschicht 16 der Brennstoffzelle 10 aufgenommen. Bei einer anderen Variante, wie oben dargestellt ist, werden Kohlenstoffpartikel 54 mit einem Metalloxid (beispielsweise Titanoxid), Metallnitrid (z. B. Titannitrid), einem Metalloxynitrid (z. B. Titanoxynitridschicht) oder einem Metallcarbid (z. B. WC) darauf in der Anodenschicht 42 der Lithiumionenbatterie 40 bei Schritt f) aufgenommen.
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Bezug nehmend auf 4 ist ein Verfahren zum Herstellen korrosionsbeständiger Kohlenstoffnanopartikel mit einer Metalloxynitridbeschichtung und insbesondere einer Titanoxynitridbeschichtung vorgesehen. Bei Schritt a) wird Kohlenstoffpulver 50 auf eine vorbestimmte Temperatur in einem Atomlagenabscheidungs-(ALD-)Reaktor erhitzt. Bei einer Ausgestaltung wird das Kohlenstoffpulver 50 auf eine Temperatur von etwa 150°C bis 300°C erhitzt. Das Kohlenstoffpulver 50 weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Bei einer Ausgestaltung weist das Kohlenstoffpulver Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 20 und 70 Nanometer besitzen. Bei Schritt b) wird das Kohlenstoffpulver 50 mit einem Dampf einer metallhaltigen Verbindung (z. B. einer titanhaltigen Verbindung) in Kontakt gebracht, um Kohlenstoffpartikel 62 mit einer modifizierten metallhaltigen (z. B. titanhaltigen) Oberfläche in einem Reaktor zu bilden. Geeignete metallhaltige Verbindungen umfassen, sind aber nicht darauf beschränkt, Titantetrahalogenide (beispielsweise TiCl4, TiBr4, usw.), Zinntetrahalogenide (z. B. SnCl4, SnBr4, etc.), Tantalhalogenide, Niobhalogenide, Wolframhalogenide (z. B. WF6), Metallalkoxide mit C1-6 Alkoxidgruppen (beispielsweise Titanalkoxide) und dergleichen. Bei Schritt p1) werden Kohlenstoffpartikel 62 mit einem Inertgas gespült (z. B. Stickstoff, Helium, Argon und dergleichen). Bei Schritt c) werden Kohlenstoffpartikel 62 mit einem Dampf einer ersten aktivierenden Verbindung in Kontakt gebracht, um Kohlenstoffpartikel 64 zu bilden, die eine modifizierte Fläche besitzen, die Reste der ersten aktivierenden Verbindung und insbesondere eine Schicht aus einem Metalloxid, -nitrid oder -oxynitrid (z. B. Titanoxid, -nitrid oder -oxynitrid) aufweist. Bei Schritt p2) werden Kohlenstoffpartikel 64 mit einem Inertgas gespült (z. B. Stickstoff, Helium, Argon und dergleichen). Bei Schritt d) werden Kohlenstoffpartikel 64 mit einem Dampf aus einer zweiten aktivierenden Verbindung in Kontakt gebracht, um Kohlenstoffpartikel 66 mit einer modifizierten Oberfläche zu bilden, die Reste der zweiten aktivierenden Verbindung und insbesondere eine Schicht aus Metalloxid, Metallnitrid oder Metalloxynitrid aufweist. Bei Schritt p3) werden Kohlenstoffpartikel 66 mit einem Inertgas gespült (z. B. Stickstoff, Helium, Argon und dergleichen).
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Weiter mit Bezug auf 4, wie durch die Schleife I dargestellt, werden die Schritte b, p1, c, p2, d und p3 mehrere Male wiederholt, um eine Metalloxynitrid-(z. B. Titanoxynitrid-)Schicht 68 auf Kohlenstoffpartikeln 50 zu bilden. Bei einer Ausgestaltung werden diese Schritte 1 bis 1000 Mal wiederholt, um die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 Monoschicht um Monoschicht aufzubauen, bis eine gewünschte Dicke erreicht ist. Bei einer Ausgestaltung liegt die Dicke der metallhaltigen (z. B. titanhaltigen) Schicht 56 von einer Monoschicht bis zu 30 Nanometer. Bei einer anderen Ausgestaltung liegt die Dicke der Metalloxynitridschicht 68 im Bereich von 5 Nanometer bis 25 Nanometer. In dieser Variante ist, wenn die erste aktivierende Verbindung eine Sauerstoffquelle ist, die zweite aktivierende Verbindung eine Stickstoffquelle. Ebenso ist, wenn die erste aktivierende Verbindung eine Stickstoffquelle ist, die zweite aktivierende Verbindung eine Sauerstoffquelle. Beispiele für geeignete Sauerstoffquellen umfassen Wasser und C1-6 Alkohole, wenn Metallhalogenide (beispielsweise Titantetrahalogenide) als Metallquelle verwendet werden, und O2 oder Wasser, wenn Metallalkoxide eingesetzt werden. Beispiele für geeignete Stickstoffquellen umfassen Ammoniak und primäre C1-6 Amine. Bei einer Ausgestaltung weisen geeignete Sauerstoffquellen OH-Gruppe und geeignete Stickstoffquellen eine NH2-Gruppe auf.
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Weiter mit Bezug auf 4 wird in einer Variante eine Edelmetallschicht 70 auf der Metalloxynitridschicht 68 abgeschieden, um edelmetallbeschichtete Kohlenstoffpartikel 72 zu bilden. Beispiele von Edelmetallen zur Bildung einer Edelmetallschicht umfassen Gold, Ruthenium, Rhodium, Palladium, Osmium, Iridium oder Platin. Platin ist besonders nützlich für Brennstoffzellenkatalysatorschichten. Beispiele für Prozesse zur Bildung von Edelmetallschichten 70 umfassen Verdampfung, Sputtern, nasschemische Techniken und dergleichen. Bei einer Ausgestaltung ist die Platinschicht eine nicht kontinuierliche Schicht. Stattdessen werden Platinpartikel oder -kügelchen auf den Kohlenstoffpartikeln abgeschieden. Bei einer anderen Ausgestaltung liegt die Menge an Platin auf den Kohlenstoffpartikeln in einer Menge von etwa 10 bis 70 Gewichtsprozent des kombinierten Gewichts der beschichteten Kohlenstoffpartikel und des Platin vor. Bei Schritt f) werden edelmetallbeschichtete Partikel und insbesondere platinbeschichtete Kohlenstoffpartikel in die Kathodenkatalysatorschicht 14 und/oder Anodenkatalysatorschicht 16 der Brennstoffzelle 10 aufgenommen. Bei einer anderen Variante, wie oben angegeben ist, werden Kohlenstoffpartikel 66 mit einer Metalloxid-, Metallnitrid- oder einer Metalloxynitridschicht (beispielsweise eine Titanoxid-, Titannitrid- oder eine Titanoxynitridschicht) darauf in der Anodenschicht 42 der Lithiumionenbatterie 40 bei Schritt g) eingeschlossen.
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Wie oben dargestellt ist, werden verschiedene Schritte der Verfahren 1 bis 1000 Mal wiederholt, um die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 Monoschicht um Monoschicht aufzubauen, bis eine gewünschte Dicke erreicht ist. Die 5A und 5B zeigen die Kriterien, die die Dicke der titanhaltigen Schicht, die auf den Kohlenstoffpartikeln abgeschieden ist, optimieren. 5A zeigt, dass eine Dicke σ1 existiert, bei der der Kohlenstoffkorrosionsstrom auf weniger als 20 Prozent seines maximalen Wertes reduziert ist. 5B zeigt, dass im Fall der Titanoxide und Oxynitrid eine Dicke σ2 existiert, bei der die elektrische Leitfähigkeit innerhalb 20 Prozent ihres maximalen Wertes beträgt. Bei einer Ausgestaltung ist die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 größer als oder gleich σ1. Bei einer anderen Ausgestaltung ist die Dicke der metallhaltigen Schicht 56 größer als oder gleich σ1 und kleiner als oder gleich σ2, da im Falle von Titanoxiden und Oxynitriden σ1 kleiner als σ2 ist.
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Mit Bezug auf 6 ist eine schematische Darstellung einer Atomlagenabscheidungsvorrichtung für die Umsetzung der oben dargelegten Verfahren vorgesehen. Der Reaktor 80 enthält eine Quelle 82 für metallhaltige (z. B. titanhaltige) Verbindung mit zugehörigem Impulsventil 84, eine Quelle 86 für eine erste aktivierende Verbindung mit zugehörigem Impulsventil 88, eine Quelle 90 für eine zweite aktivierende Verbindung mit zugehörigem Impulsventil 92 und eine Spülgasquelle 94 mit zugehörigem Impulsventil 96. In jedem Fall wird das jeweilige Reagenz durch Öffnen des Impulsventils für eine vorbestimmte Impulszeit eingeleitet. In ähnlicher Weise wird für die Spülschritte das Inertgas durch Öffnen des Impulsventils 96 für eine vorbestimmte Spülzeit eingebracht. Bei einer Ausgestaltung liegen Pulszeiten und Spülzeiten jeweils unabhängig bei etwa 0,0001 bis 200 Sekunden. Bei einer anderen Ausgestaltung liegen die Impuls- und Spülzeiten jeweils unabhängig bei etwa 0,1 bis etwa 10 Sekunden. Während der Beschichtung werden die Kohlenstoffpartikel 50 über die Heizeinrichtung 98 auf eine Temperatur erhitzt, die für die Eigenschaften des/der chemischen Vorläufers) und zu formende Beschichtungen geeignet ist. In einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens weist das Substrat eine Temperatur von etwa 50 bis 450°C auf. In einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens weist das Substrat eine Temperatur von etwa 100 bis 250°C auf. In noch einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens weist das Substrat eine Temperatur von etwa 150 bis 400°C auf. In einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens weist das Substrat eine Temperatur von etwa 200 bis 300°C auf.
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In ähnlicher Weise wird der Druck während der Filmbildung auf einen Wert eingestellt. der für die Eigenschaften der chemischen Vorläufer und Beschichtungen, die zu formen sind, geeignet ist. Das Vakuumsystem 100 wird verwendet, um den Reaktordruck aufzubauen und die Reagenzien und das Spülgas zu entfernen. Bei einer Ausgestaltung liegt der Druck zwischen etwa 10–6 Torr und etwa 760 Torr. Bei einer weiteren Ausgestaltung liegt der Druck zwischen etwa 0,1 millitorr und etwa 10 Torr. Bei einer noch weiteren Ausgestaltung liegt der Druck zwischen etwa 1 und etwa 100 millitorr. Bei einer noch weiteren Ausgestaltung liegt der Druck zwischen etwa 1 bis 20 millitorr.
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Bei einer anderen Ausführungsform ist ein Verfahren zum Herstellen eines korrosionsbeständigen Kohlenstoffpulvers durch chemische Gasphasenabscheidung vorgesehen. Das Verfahren umfasst einen Schritt zum Erwärmen eines Kohlenstoffpulvers auf eine vorbestimmte Temperatur. Das Kohlenstoffpulver weist Kohlenstoffpartikel auf, die eine durchschnittliche räumliche Abmessung zwischen etwa 10 und 100 Nanometer besitzen. Das Kohlenstoffpulver reagiert mit einem Dampf einer metallhaltigen Verbindung und einem Dampf einer aktivierenden Verbindung, um eine metallhaltige Schicht an den Kohlenstoffpartikeln zu bilden. Optional wird dann Platin an der metallhaltigen Schicht abgeschieden. Einzelheiten der metallhaltigen Verbindungen, aktivierenden Verbindungen und der abgeschiedenen metallhaltigen Schicht sind die gleichen, wie die, die oben angegeben sind. Außerdem sind die Abscheidungstemperatur und -Drücke ebenfalls die gleichen, wie oben angegeben ist.
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Die folgenden Beispiele illustrieren die verschiedenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Fachleute auf dem Gebiet erkennen viele Varianten, die innerhalb des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung und des Schutzumfangs der Ansprüche liegen.
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Die 7A, 7B und 8 zeigen experimentelle Ergebnisse für Titanoxidfilme, die durch die ALD-Verfahren hergestellt sind, die oben angegeben sind. 7A sieht Abbildungen eines Transmissionselektronenmikroskops (TEM) von mit TiO2 beschichtetem Kohlenstoff (Vulcan XC-72) vor. 7B sieht ein EDX-Elementverteilungsbild für die Zusammensetzung von mit TiO2 beschichtetem Kohlenstoff (Vulcan XC-72) vor, der einen zentralen Kohlenstoffkern zeigt, der von einer TiO2-Beschichtung umgeben ist. 8 sieht ein Balkendiagramm vor, das den Einfluss der TiO2-Beschichtung auf den Kohlenstoffkorrosionsstrom zeigt. In dem Korrosionstest wird Kohlenstoff oder mit TiO2 beschichteter Kohlenstoff bei 1,2 V gegenüber einer reversiblen Wasserstoffelektrode (RHE) bei Raumtemperatur in 0,1 M HClO4 korrodiert.
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Während beispielhafte Ausführungsformen oben beschrieben wurden, ist es nicht beabsichtigt, dass diese Ausführungsformen alle möglichen Formen der Erfindung beschreiben. Vielmehr ist der in der Beschreibung verwendete Wortlaut ein Wortlaut der Erläuterung anstatt der Beschränkung, und es sei zu verstehen, dass verschiedene Änderungen durchgeführt werden können, ohne von dem Schutzumfang und Erfindungsgedanken der Erfindung abzuweichen. Zusätzlich können die Merkmale von verschiedenen implementierenden Ausführungsbeispiele miteinander kombiniert werden, um weitere Ausführungsformen der Erfindung zu bilden.