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Hintergrund der Erfindung
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1. Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserbearbeitungsvorrichtung, die dazu eingerichtet ist, eine Distanz zwischen einer Bearbeitungsdüse und einem zu bearbeitenden Objekt zu ändern.
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2. Beschreibung des Standes der Technik
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Laserbearbeitungen werden allgemeinen unter Ausführen einer Abstandssteuerung zum Aufrechterhalten der Distanz (Abstand [gap]) zwischen einem zu bearbeitenden Objekt (oder einem Werkstück) und einer Bearbeitungsdüse zum Ausstrahlen eines Laserstrahls mit einem vorbestimmten Wert ausgeführt. Das Dokument
JP 2000-343255 A offenbart als ein Beispiel der Abstandssteuerung, das ein Abstandssensor an einer Düse angeordnet ist, um die Distanz zwischen der Düse und einem Werkstück zu erfassen, und eine Profilsteuerung wird basierend auf einem Signal von dem Abstandssensor ausgeführt.
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Wenn bei der Abstandssteuerung sich eine Bearbeitungsdüse einem Werkstück annähert, fährt ein Abstandssensor zum Erfassen eines Abstandes zwischen der Bearbeitungsdüse und dem Werkstück damit fort, einen Maximalwert auszugeben, bis eine Oberfläche des Werkstücks in einen Erfassungsbereich des Abstandsensors eintritt. Andererseits wird die Geschwindigkeit einer Steuerachse (wie zum Beispiel einer Achse zum Antreiben der Bearbeitungsdüse) zum Steuern des Abstandes normalerweise aus einem Erfassungswert des Abstandsensors und einem Verstärkungsvorgabewert [gain setting value] zum Ermitteln einer Bewegungsgeschwindigkeit berechnet. Dabei wird die Verstärkung auf einen relativ hohen Wert während der Annäherungsbewegung der Düse gesetzt, da die Annäherungsbewegung eine hohe Geschwindigkeit aufweisen muss. Bis die Bearbeitungsdüse bewegt wird oder auf eine bestimmte Höhenposition in der Nähe der Oberfläche des Werkstückes abgesenkt wird, kann die Bearbeitungsdüse andererseits mit einer Annäherungsbewegungsgeschwindigkeit rasch abgesenkt werden, die ohne eine Abhängigkeit von dem Erfassungswert des Abstandsensors bestimmt wird (i. e., die Annäherungsbewegungsgeschwindigkeit rasch abgesenkt werden, die ohne eine Abhängigkeit von dem Erfassungswert des Abstandsensors bestimmt wird (i. e., die Annäherungsbewegungsgeschwindigkeit ist höher als die aus dem Sensorerfassungswert und dem Verstärkungsvorgabewert berechnete Geschwindigkeit).
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Wenn die Annäherungsbewegungsgeschwindigkeit jedoch hoch ist, kann sogar dann, wenn die Steuerachse der Bearbeitungsdüse verlangsamt wird, nachdem das Vorhandensein eines Hindernisses zwischen der Bearbeitungsdüse und dem Werkstück erfasst wird oder nachdem eine Abnormalität (zum Beispiel eine übermäßige Neigung oder Wölbung) des Werkstücks erfasst wird, die Bearbeitungsdüse mit dem Hindernis kollidieren oder das Hindernis beinträchtigen, etc., und beschädigt werden.
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Bei der Technik gemäß Dokument
JP 2000-343255 A erfasst der Sensor, dass die Bearbeitungsdüse sich der Oberfläche des Werkstückes während der Annäherungsbewegung annähert, und die Verstärkung für die Abstandssteuerungsbewegung wird zwischen vor und nach dem Annähern der Bearbeitungsdüse umgeschaltet (mit anderen Worten wird die Verstärkung auf einem relativ hohen Wert gehalten, bevor die Bearbeitungsdüse sich dem Werkstück annähert, und die Verstärkung wird verringert, wenn die Düse näher an das Werkstück gelangt). Die Technik dieses Dokuments ist jedoch dafür vorgesehen, eine Annäherungsbewegungszeit der Bearbeitungsdüse zu verringern. Obwohl dieses Dokument beschreibt, dass erfasst wird, dass sich die Düse dem Werkstück annähert, wird ein Mittel zum Vermeiden einer Beeinträchtigung zwischen der Düse und dem Werkstück nicht in Betracht gezogen. Ferner wird in diesem Dokument eine tatsächliche mechanische Position einer Düsenachse basierend auf einer Ausgabe eines Positionsdetektors nicht berücksichtig.
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Das Dokument
DE 10 2012 109 867 A1 offenbart eine Lösung, bei der ein Spaltsensor eine Größe des Spalts zwischen einem Laserbearbeitungskopf und einem zu bearbeitenden Objekt erfasst. Zur Einnahme einer Referenz-Startposition wird ferner die Positionsabweichung eines Servomechanismus zum Bewegen des Bearbeitungskopfes erfasst und darauf basierend eine Positionsverstärkung ermittelt.
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Das Dokument
US 5 293 024 A betrifft eine Lösung zum Erfassen von Störungen beim Ausführen einer Werkstückbearbeitung mittels einer Laserschneidvorrichtung.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Laserbearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die eine Funktion zum Vermeiden von Beeinträchtigungen während einer Annäherungsbewegung einer Bearbeitungsdüse der Vorrichtung aufweist.
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Hierfür stellt die Erfindung eine Laserbearbeitungsvorrichtung bereit, die Folgendes umfasst: eine Bearbeitungsdüse, die dazu eingerichtet ist, auf ein zu bearbeitendes Objekt zu oder von diesem weg bewegt zu werden, und dazu eingerichtet ist, einen Laserstrahl auszustrahlen; einen Abstandsensor, der eine Distanz zwischen der Bearbeitungsdüse und dem Objekt erfasst; und eine Steuerung, die eine Laserbearbeitung bezüglich des Objekts durch Steuern einer Bewegung der Bearbeitungsdüse ausführt, wobei sie eine Abstandssteuerung zum Steuern der Distanz zwischen der Bearbeitungsdüse und dem Objekt basierend auf einem Erfassungswert des Abstandssensor ausführt, wobei die Steuerung eine Annäherungsbewegung der Bearbeitungsdüse in Richtung des Objekts stoppt, wenn der Abstandssensor erfasst, dass die Distanz zwischen der Bearbeitungsdüse und dem Objekt einem vorgegebenen Wert entspricht, bei dem die Abstandssteuerung gestartet werden kann, während die Bearbeitungsdüse in einer Position angeordnet ist, die höher als eine vorbestimmte Bearbeitungsstartposition ist, wobei dies dadurch erreicht wird, dass die Steuerung nach Erreichen des vorgegebenen Werts beurteilt, ob die Bearbeitungsdüse oberhalb oder unterhalb von der vorbestimmten Bearbeitungsstartposition liegt, und bei einer Position oberhalb der Bearbeitungsstartposition einen Vorschub der Bearbeitungsdüse stoppt.
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Bei einer bevorzugten Ausführungsform führt die Steuerung, nachdem die Annäherungsbewegung gestoppt ist, eine Evakuierungsbewegung aus, um die Bearbeitungsdüse von dem Objekt weg zu bewegen.
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In diesem Fall kann die Steuerung bezogen auf ein Bearbeitungsprogramm zum Ausführen der Laserbearbeitung einen nachfolgenden Befehlsblock suchen, der einem Befehlsblock folgt, der ausgeführt wird, wenn die Annäherungsbewegung gestoppt wird, und kann die Laserbearbeitung von dem nachfolgenden Befehlsblock aus fortsetzen.
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Bei einer bevorzugten Ausführungsform speichert die Steuerung bezogen auf ein Bearbeitungsprogramm zum Ausführen der Laserbearbeitung Informationen bezüglich eines Befehlsblocks, der ausgeführt wird, wenn die Annäherungsbewegung gestoppt wird, und informiert einen Bediener über die Information.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die vorstehenden und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung verdeutlichen sich aus der folgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen, wobei:
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1 eine schematische Konfiguration eines Hauptbereiches einer Laserbearbeitungsvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
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2 ein Flussdiagram eines Beispiels für einen Prozess des Verwendens der Laserbearbeitungsvorrichtung aus 1 zeigt; und
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3 eine Ansicht zeigt, die ein Beispiel erläutert, bei dem eine Bearbeitungsdüse zu einem anderen Bearbeitungspunkt weiterspringt.
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Beschreibung
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1 zeigt eine schematische Konfiguration eines Hauptbereiches einer Laserbearbeitungsvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Laserbearbeitungsvorrichtung 10 weist eine Bearbeitungsdüse 12 auf, die einen Laserstrahl ausstrahlt, und eine Steuerung 14, die eine Bewegung der Bearbeitungsdüse 12 steuert. Die Bearbeitungsdüse 12 ist dazu eingerichtet, durch Verwenden von wenigstens einem Servomotor 16 relativ zu einem zu bearbeitenden Objekt 20 (oder einem Werkstück), das auf einem Tisch 18 angeordnet ist, in eine Richtung einer Bearbeitungsdüsenachse (in der Zeichnung: eine Z-Richtung, die allgemein senkrecht zu einer Oberfläche des Werkstücks verläuft) bewegt zu werden und in X- und Y-Richtungen, die orthogonal zu der Z-Richtung und orthogonal zueinander verlaufen.
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Die Steuerung 14 weist einen Bearbeitungsprogrammleseteil 22 auf, der ein Bearbeitungsprogramm zum Bearbeiten des Werkstückes 20 in der Laserbearbeitungsvorrichtung 10 von einem Speicher (nicht gezeigt) oder dergleichen liest; einen Bearbeitungspfadbefehlsanalyseteil 24, der einen Bearbeitungspfadbefehl bezüglich eines Bearbeitungspfades des Werkstückes 20 analysiert, der in dem Bearbeitungsprogramm enthalten ist; einen Interpolationsverarbeitungsteil 26, der einen Interpolationsprozess zwischen einer Mehrzahl von Punkten auf dem Bearbeitungspfad ausführt; und einen Bewegungsbefehlsausgabeteil 28, der einen Bewegungsbefehl für die Bearbeitungsdüse 12 basierend auf einem Analyseresultat des Bearbeitungspfadbefehlsanalyseteil 24 und einem Verarbeitungsresultat des Interpolationsverarbeitungsteils 26 erzeugt und ausgibt.
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Der Bewegungsbefehl, der von dem Bewegungsbefehlsausgabeteil 28 ausgegeben wird, wird an eine Servosteuerschaltung 30 übertragen. Basierend auf dem Bewegungsbefehl steuert die Servosteuerschaltung 30 einen Servoverstärker 32, der mit dem Servomotor 16 verbunden ist. Hierdurch kann die Bearbeitungsdüse 12 entlang des Bewegungspfades bewegt werden, der bezogen auf das Werkstück 20 ermittelt wird. Eine mechanische Position der Bearbeitungsdüse 12 (zum Beispiel die Position der Bearbeitungsdüse 12 in einem Koordinatensystem, das an einer festgelegen Position in der Laserbearbeitungsvorrichtung 10 definiert ist) kann mittels eines Positionsdetektors 34 (wie zum Beispiel ein Encoder) erfasst werden, der an dem Servermotor 16 angeordnet ist. Im Detail kann eine geeignete Position (zum Beispiel eine Ecke 36 des Tisches 18) der Laserbearbeitungsvorrichtung 10 als eine Referenzposition (oder der Ursprung) definiert werden und der Positionsdetektor 34 kann die mechanische Position der Bearbeitungsdüse 12 relativ zu der Referenzposition erfassen.
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Die Bearbeitungsdüse 12 weist einen Abstandssensor 38 auf, der eine Distanz (oder einen Abstand) g zwischen der Oberfläche des Werkstückes 20 und (einem vorderen Ende) der Bearbeitungsdüse 12 erfasst und anschließend wird ein Erfassungswert (oder ein Erfassungssignal) des Abstandssensor 38 von einem A/D-Wandlerteil 42 der Steuerung 14 mittels einer Sensorschaltung 40 A/D-gewandelt. Die Steuerung 14 weist eine Abstandssteuerschaltung 44 auf, die ein Abstandssteuersignal zum Steuern des Abstandes g an die Servosteuerschaltung 30 überträgt, und einen Steuerungsumschaltteil 48, der den Befehl, der an die Servosteuerschaltung 30 übertragen wird, zwischen dem Abstandssteuerbefehl und dem Bewegungsbefehl von dem Bewegungsbefehlsausgabeteil 28 unter Verwendung eines Drei-Wege-Schalter 46 etc. umschaltet.
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Bei der Laserbearbeitungsvorrichtung 10 wird das Werkstück 20 durch Ausstrahlen des Laserstrahls von der Bearbeitungsdüse 12 bearbeitet, wobei eine Abstandssteuerung ausgeführt wird, bei der die Distanz zwischen der Bearbeitungsdüse 12 und dem Werkstück 20, die durch den Abstandssensor 38 erfasst wird, auf einem vorbestimmten Laserbearbeitungsabstand mittels der Abstandssteuerschaltung 44 gehalten wird. Im Nachfolgenden wird unter Bezugnahme auf ein Ablaufdiagramm aus 2 ein Beispiel des Ablaufes in der Laserbearbeitungsvorrichtung gemäß der Ausführungsform erläutert.
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In Schritt S1 wird zunächst unter Verwendung des Positionsdetektors 34 das Überwachen der mechanischen Position der Bearbeitungsdüse 12 (oder der Bearbeitungsdüsenachse) gestartet. In Schritt S2 wird als nächstes eine Annäherungsbewegung der Bearbeitungsdüse 12 relativ zu dem Werkstück 20 gestartet. Diese Annäherungsbewegung wird fortgeführt, bis der Abstand g zwischen dem vorderen Ende der Bearbeitungsdüse 12 und der Oberfläche des Werkstückes 20 einem vorgegebenen Wert entspricht (zum Beispiel 5 mm bis 20 mm), bei dem die Abstandssteuerung gestartet werden kann (Schritt S3).
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Wenn der Abstand g auf den vorgegebenen Wert erhöht wird, bei dem die Abstandssteuerung gestartet werden kann, wird in Schritt S4 beurteilt, ob die in Schritt S1 überwachte mechanische Position der Bearbeitungsdüse 12 oberhalb oder unterhalb von einer vorbestimmten Bearbeitungsstartposition liegt (Bearbeitungsstarthöhe). Die Bearbeitungsstartposition bezieht sich zum Beispiel auf eine Position, bei der der Abstand g dem vorgegebenen Wert entspricht, ohne dass eine Beeinträchtigung (Kollision) zwischen dem vorderem Ende der Bearbeitungsdüse 12 und dem Werkstück 20 verursacht wird, wenn die Form des Werkstückes 20 normal ist (i. e., das Werkstück 20 weist keine Neigung, Wölbung oder Deformation auf). Mit anderen Worten wird die Bearbeitungsstartposition (Höhe) als eine Position bestimmt, die der mechanischen Position der Bearbeitungsdüse 12 entspricht, bei der der Abstand g dem vorgegebenen Wert entspricht, oder wird als eine Position bestimmt, bei der ein vorbestimmter Bereich [margin] zu der vorbestimmten Position hinzugefügt wird, wenn das Werkstück 20 keine Abnormalität aufweist, bei der eine gewünschte Laserbearbeitung nicht ausgeführt werden kann.
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Wenn die mechanische Position der Bearbeitungsdüse 12 gleich oder geringer als die vorbestimmte Bearbeitungsstartposition zu einem Zeitpunkt ist, bei dem der Abstand g dem vorgegebenen Wert entspricht, kann beurteilt werden, dass sich das Werkstück 20 in einem normalen Zustand befindet, und dann schreitet der Ablauf mit Schritt S5 fort, so dass eine Annäherungsbewegung der Bearbeitungsdüse 12 fortgesetzt wird. Wenn die Annäherungsbewegung vervollständigt ist, wird anschließend ein Laserstrahl von dem vorderen Ende der Bearbeitungsdüse 12 ausgestrahlt, um die Laserbearbeitung des Werkstückes 20 zu starten (Schritt S6).
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Wenn die mechanische Position der Bearbeitungsdüse 12 andererseits oberhalb der vorbestimmten Bearbeitungsstartposition liegt (oder auf der entgegengesetzten Seite des Werkstückes angeordnet ist), wird in Schritt S4 beurteilt, dass das Werkstück 20 zum Beispiel eine ungewöhnliche Form aufweist, wie zum Beispiel eine Wölbung 52, dass das Werkstück 20 gegenüber einer normalen Lage übermäßig geneigt ist oder ein anderes Hindernis zwischen der Bearbeitungsdüse 12 und dem Werkstück 20 vorliegt. In diesem Fall beurteilt die Steuerung 14, dass eine Abnormalität vorliegt, aufgrund derer die Laserbearbeitung nicht ausgeführt kann, und der Ablauf schreitet dann mit Schritt S7 fort, um den Vorschub (oder die Annäherungsbewegung) der Bearbeitungsdüse 12 automatisch zu stoppen. Zu diesem Zeitpunkt kann der Bediener geeignete Maßnahmen einleiten. Beispielsweise kann der Bediener das Hindernis entfernen oder das Werkstück 20 gegen ein anderes Werkstück austauschen, etc.
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Nachdem die Bearbeitungsdüse 12 sich dem Werkstück 20 annähert, wird, wie vorstehend erläutert, die Position (Höhe) der Düse zu einem Zeitpunkt des Ausstrahlens des Laserstrahls, um die Laserbearbeitung zu beginnen, in der Steuerung 14 vorab gespeichert. Anschließend wird die Positionsinformation des Positionsdetektors 34, der an dem Motor 16 zum Antreiben der Bearbeitungsdüse 12 angeordnet ist, fortlaufend mit der Düsenposition (oder der Bearbeitungsstartposition) verglichen, die in der Steuerung 14 vorgegebenen ist, bei der die Laserbearbeitung gestartet wird. Wenn der Abstandssensor 38 reagiert, wenn die Bearbeitungsdüse oberhalb der ermittelten mechanischen Position angeordnet ist (oder an der gegenüberliegenden Werkstückseite), kann beurteilt werden, dass eine Abnormalität erfasst wurde, bei der eine Laserbearbeitung nicht ausgeführt werden kann (z. B., dass ein Hindernis vorliegt oder das Werkstück 20 eine übermäßige Wölbung oder Neigung aufweist, etc.). Durch Stoppen der Achse der Bearbeitungsdüse 12 (in diesem Fall der Vorschubachse entlang der Z-Richtung) kann somit eine Beeinträchtigung oder ein Kollision zwischen der Bearbeitungsdüse 12 und dem Werkstück 20 verhindert werden und eine Beschädigung der Bearbeitungsdüse 12 aufgrund der Beeinträchtigung oder der Kollision können ebenso verhindert werden.
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Der Schritt S8 kann optional nach dem Schritt S7 ergänzt werden, wobei die Steuerung 14 das Bearbeitungsprogramm unterbricht und (vorzugsweise automatisch) eine Evakuierungsbewegung ausführt, um die Bearbeitungsdüse 12 auf eine vorbestimmte Evakuierungsposition anzuheben (oder die Bearbeitungsdüse 12 von dem Werkstück 20 wegzubewegen). Wenn das Hindernis oder die Abnormalität des Werkstücks 20 erfasst wird, wird das Bearbeitungsprogramm unterbrochen und der Vorschub der Achse der Bearbeitungsposition 12 wird gestoppt, und anschließend wird die Bearbeitungsdüse 12 um eine beliebige Distanz angehoben oder zu der vorbestimmten Evakuierungsposition bewegt (oder der Referenzposition). Hierdurch kann ein sicherer Betriebsbereich zum Entfernen des Hindernisses etc. durch den Bediener automatisch erhalten werden. Wie nachfolgend erläutert, kann zudem ein Befehlsblock des Bearbeitungsprogramms übersprungen werden, der ausgeführt wird, wenn das Objekt etc. erfasst wird, um eine Betriebszeit zum Suchen des nächsten Bearbeitungsstartpunktes zu reduzieren und die Laserbearbeitung fortzuführen.
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Der Schritt S9 kann optional nach dem Schritt S7 und S8 ergänzt werden, wobei Informationen bezüglich eines Befehlsblocks des Bearbeitungsprogramms zu einem Zeitpunkt, wenn die Abnormalität etc. des Werkstückes 20 erfasst wird (oder wenn die Annäherungsbewegung der Bearbeitungsdüse 12 gestoppt wird), in einem geeigneten Speicher gespeichert werden, und anschließend werden die Informationen bezüglich des Befehlsblockes auf einem geeigneten Bildschirm angezeigt und/oder per Sprache etc. ausgegeben. Mit anderen Worten informiert die Steuerung 14 in Schritt S9 (vorzugsweise automatisch) den Bediener über die Information bezüglich des Befehlsblockes, bei dem die Abnormalität auftritt. Wenn das Hindernis etc. erfasst wird, kann das Ausführen des Bearbeitungsprogramms unterbrochen werden, um die Beeinträchtigung zwischen der Bearbeitungsdüse 12 und dem Hindernis etc. zu vermeiden, oder das Ausführen des Bearbeitungsprogramms kann durch Umgehen oder Überspringen einer Stelle fortgesetzt werden, an dem das Hindernis vorliegt, und die Stelle, an der das Hindernis vorliegt, kann bearbeitet werden, nachdem die Bearbeitungsserie vervollständigt ist. Durch Informieren des Bedieners bezüglich der Stelle, an der das Hindernis in dem Bearbeitungsprogramm auftritt, können die Zeit und der Aufwand verringert werden, die für ein anfängliches Einrichten für eine zusätzliche Bearbeitung durch den Bediener erforderlich sind.
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Der Schritt S10 kann optional nach dem Anheben der Bearbeitungsdüse 12 auf die vorbestimmte Evakuierungsposition ergänzt werden (oder nach Schritt S8 oder S9), wobei die Steuerung 14 (vorzugweise automatisch) einen nachfolgenden Befehlsblock in dem Bearbeitungsprogramm sucht, der auf einen Befehlsblock folgt, der ausgeführt wird, wenn die Abnormalität erfasst wird (oder wenn die Annäherungsbewegung der Bearbeitungsdüse 12 gestoppt wird), und die Laserbearbeitung ausgehend von dem nachfolgenden Befehlsblock fortsetzt.
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3 zeigt ein Beispiel, das den Ablauf bezüglich des Schrittes S10 erläutert. Wenn die Bearbeitungsdüse 12 auf die Evakuierungsposition mittels des Ablaufes in Schritt S8 angehoben wird, sucht die Steuerung 14 den nachfolgenden Befehlsblock (zum Beispiel einen Block zum Vorgeben eines Schneidprozesses oder eines Bohrprozesses an einer Stelle 54 des Werkstückes 20, die verschieden von der Wölbung 51 ist), der auf den Befehlsblock folgt, der ausgeführt wird, wenn die Abnormalität erfasst wird, und bewegt die Bearbeitungsdüse 12 über die Stelle 54. Anschließend wird der in 2 gezeigte Ablauf wiederholt. Die Bearbeitung kann automatisch fortgesetzt werden, wobei lediglich die Stelle des Auftretens des Hindernisses des Werkstückes 20 übersprungen oder umgangen werden kann, durch Anheben der Bearbeitungsdüse 12 um die beliebige Distanz, nachdem das Hindernis etc. erfasst ist und der Vorschub der Achse der Bearbeitungsdüse 12 gestoppt wird; durch Suchen des nächsten Befehlsblocks des Bearbeitungsprogramms mittels der Steuerung 14; und durch Ausführen der Bearbeitung ausgehend von dem nachfolgenden Befehlsblock.
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In der vorangehenden Ausführungsform ist die Bearbeitungsdüse 12 relativ zu einem feststehenden Tisch 18 (Werkstück 20) beweglich. Alternativ kann die Bearbeitungsdüse 12 lediglich in die Z-Richtung zu oder weg von dem Werkstück 20 bewegbar sein und der Tisch 18 kann in die X- und Y-Richtungen bewegbar sein (i. e., in der X-Y-Ebene). Andererseits kann die Bearbeitungsdüse 12 feststehend sein und der Tisch 18 kann in die X-, Y- und Z-Richtungen bewegbar sein.
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Falls die Position der Bearbeitungsdüse 12 höher als die vorbestimmte Bearbeitungsstartposition ist, wenn die Distanz zwischen der Bearbeitungsdüse 12 und dem zu bearbeitenden Objekt (oder dem Werkstück) gleich dem vorgegebenen Wert ist, bei dem die Abstandssteuerung gestartet werden kann, kann gemäß der vorliegenden Erfindung vorhergesagt werden, dass das Werkstück die Abnormalität aufweist oder das Hindernis besteht, und daher kann die Annäherungsbewegung der Bearbeitungsdüse von der Steuerung gestoppt werden. Somit kann die Bearbeitungsdüse automatisch daran gehindert werden, mit dem Werkstück oder dem Hindernis zu kollidieren oder diese zu beeinträchtigen, und die Laserbearbeitung kann daher effizient ausgeführt werden.
